KR101447184B1 - 게이트슬릿 개폐장치가 구비된 공정챔버 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 플라즈마를 이용, 기판을 식각하는 LCD 기판 식각장치의 공정챔버에 관한 것으로서, 자세하게는 기판의 출입구인 게이트슬릿이 벽체에 마련된 챔버, 이 게이트슬릿의 내측개구를 개폐하는 회전식의 이너도어 및 이 이너도어를 회전시키는 도어구동수단으로 구성되기 때문에 기판을 식각할 때 이너도어를 닫아 챔버의 내부와 게이트슬릿이 공간적으로 통하는 것을 방지할 수 있고, 이로써 플라즈마 형성공간을 대칭으로 유지할 수 있으며, 이에 따라 플라즈마를 챔버의 내부에 균일하게 분포시킬 수 있는 게이트슬릿 개폐장치가 구비된 공정챔버에 관한 것이다.
개폐장치, 게이트슬릿, 공정챔버, 이너도어, 플라즈마, LCD 기판

Description

게이트슬릿 개폐장치가 구비된 공정챔버{Process chamber having apparatus for opening and closing gate slit}
도 1은 일반적인 공정챔버를 나타내는 구성도이다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 게이트슬릿 개폐장치가 구비된 공정챔버를 나타내는 구성도이다.
도 3 및 도 4는 도 2에 도시된 게이트슬릿 개폐장치의 구성을 구체적으로 나타내는 단면도로서, 도 3은 게이트슬릿이 개방된 상태를 나타내고, 도 4는 게이트슬릿이 폐쇄된 상태를 나타낸다.
도 5는 도 4의 P 방향에서 본 정면도이다.
도 6 및 도 7은 도 3, 도 4에 도시된 동력전달유닛의 다른 예를 나타내는 단면도로서, 도 6은 게이트슬릿이 개방된 상태를 나타내고, 도 7은 게이트슬릿이 폐쇄된 상태를 나타낸다.
도 8은 본 발명의 제2실시예에 따른 게이트슬릿 개폐장치가 구비된 공정챔버를 나타내는 구성도이다.
도 9는 8의 Q 방향에서 본 정면도이다.
<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명>
50 : 챔버 52 : 게이트슬릿
52a : 게이트슬릿의 외측개구 52b : 게이트슬릿의 내측개구
54 : 연결통로 60 : 게이트밸브
70, 170 : 이너도어 74, 174 : 망
80, 180 : 도어구동수단 81 : 동력원(모터)
82, 82A : 동력전달유닛 83 : 스크루로드
84 : 무빙블록 85 : 조작와이어
86 : 조작로드 87 : 링크
90 : 스토퍼 170a : 상부도어
170b : 하부도어
본 발명은 액정디스플레이 기판(이하 'LCD 기판'이라 한다) 등을 식각하는 식각장치의 공정챔버에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 식각처리 시에 플라즈마가 기판의 출입구인 게이트슬릿 측으로 쏠리는 것을 방지할 수 있게 한 공정챔버에 관한 것이다.
LCD(Liquid Crystal Display) 기판을 제조하기 위해서는 기판을 식각하는 장치가 요구되는 바, 이 식각장치는 강한 전기장이 형성된 두 전극 사이에 특정 반응가스를 투입, 이 반응가스가 전기장에 의하여 전자를 잃으면서 중성 상태에서 반응성이 우수한 플라즈마가 되도록 한 뒤 이 플라즈마가 기판에 증착된 산화피막 중에서 포토레지스트로 차폐되지 않고 노출된 부분과 반응하여 식각이 진행되도록 하는 장치이다. 이러한 식각장치는 일반적으로 플라즈마에 의하여 기판을 처리하는 공정챔버, 기판을 보관하고 있는 로드록챔버 및 이 로드록챔버와 공정챔버 사이에 위치되어 기판을 반입하고 반출함에 있어 경유지 역할을 하는 반송챔버로 구성된다.
여기에서 공정챔버는 도 1에서와 같이 반송챔버와의 사이에 위치되도록 벽체에 기판의 출입구인 게이트슬릿(2)이 좌우로 기다랗게 형성되고, 아울러 이 게이트슬릿(2)을 개폐하는 위한 게이트밸브(4)가 마련된다. 이때 게이트밸브(4)는 기판을 반입하고 반출할 때 열림 되어 기판이 게이트슬릿(2)을 통과할 수 있게 하고, 기판의 반입이나 반출이 완료된 때 닫힘 되어 공정챔버 내부를 진공분위기로 조성할 수 있게 한다.
그러나 설명한 바와 같은 LCD 기판 식각장치의 공정챔버는 도 1에 나타낸 바와 같이 게이트밸브(4)가 게이트슬릿(2)을 공정챔버의 외측에서 개폐하도록 설치되기 때문에 닫힘 된 때 게이트슬릿(2)의 양쪽 개구(2a)(2b) 중 외측개구(2a)를 폐쇄하는 바, 기판의 식각처리 시 공정챔버의 내부와 게이트슬릿(2)이 서로 공간적으로 통하는 구조를 갖도록 구성된다. 따라서 플라즈마 형성공간이 실질적으로는 공정챔 버 내부공간만이 아닌 게이트슬릿(2) 공간까지도 포함하게 되고, 이에 따라 플라즈마의 분포 등이 불균일하게 되어(즉 게이트슬릿 측에 더 집중되어) 기판의 식각 또한 불균일하게 이루어지는 문제점이 있었다.
즉 공정챔버 내부공간을 게이트슬릿(2) 측과 반대편으로 양분(도 1에서 보아 중심선을 기준으로 좌측과 우측으로 분할)하였을 때 게이트슬릿(2) 측 플라즈마 형성공간이 게이트슬릿(2) 공간에 상당하여 더 넓기 때문에 전체적으로 보았을 때 플라즈마 형성공간이 좌우비대칭일 수밖에 없었고, 이에 따라 기판의 식각처리 시 플라즈마가 게이트슬릿(2) 측으로 쏠리게 되는 현상이 발생되었던 것이다.
본 발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 회전식 도어를 이용하여 공정챔버의 게이트슬릿을 공정챔버의 내측에서 개폐하는 개폐장치를 마련함으로써 기판을 식각할 때 공정챔버 내부와 게이트슬릿이 서로 공간적으로 통하는 것을 방지할 수 있고, 이로써 플라즈마가 게이트슬릿 측으로 쏠려 플라즈마의 분포 등이 불균일하게 되는 것을 방지할 수 있는 게이트슬릿 개폐장치가 구비된 공정챔버를 제공하는 데 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적은 게이트슬릿이 개폐장치에 의하여 폐쇄된 때 개폐장치의 도어가 공정챔버의 내벽과 턱이 지지 않고 평평하게 되도록 함으로써 기판의 식각처리 시 플라즈마의 분포 등을 보다 균일하게 유지시킬 수 있는 게이트슬릿 개폐 장치가 구비된 공정챔버를 제공하는 데 있다.
설명한 바와 같은 기술적 과제를 실현하기 위한 본 발명은 기판을 반입하고 반출하기 위한 게이트슬릿이 벽체에 마련된 챔버와, 상기 게이트슬릿의 양측 개구 중 내측개구에 일단부가 회전 가능하도록 설치되어 이 내측개구를 개폐하는 이너도어와, 상기 내측개구가 개폐되도록 상기 이너도어를 회전시키는 도어구동수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기에서 상기 이너도어는 내측개구를 폐쇄한 때 상기 챔버의 내벽과 동일평면을 이루도록 설치되고, 상기 챔버는 상기 게이트슬릿과 챔버의 외부를 잇는 연결통로가 형성되며, 상기 도어구동수단은 상기 챔버의 외측에 갖추어진 동력원 및 상기 동력원의 동력을 상기 이너도어가 여닫힘 되도록 상기 연결통로를 통하여 이너도어에 전달하는 동력전달유닛으로 구성된 것을 특징으로 한다.
한편 본 발명은 기판을 반입하고 반출하기 위한 게이트슬릿이 벽체에 마련된 챔버와, 하나는 상기 게이트슬릿의 양측 개구 중 내측개구의 한쪽을 개폐하도록 일단부가 회전 가능하게 설치되고, 다른 하나는 상기 내측개구의 다른 쪽을 개폐하도록 타단부가 회전 가능하게 설치된 1쌍의 이너 도어와, 상기 내측개구가 개폐되도록 상기 1쌍의 이너도어를 회전시키는 도어구동수단으로 구성될 수도 있다. 즉 이는 이너도어가 외여닫이 구조를 갖도록 구성하는 것이 아닌 쌍여닫이 구조를 갖도 록 구성한 것이다.
여기에서 상기 1쌍의 이너도어는 내측개구를 폐쇄한 때 상기 챔버의 내벽과 동일평면을 이루도록 설치된 것을 특징으로 한다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하면 다음과 같다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 게이트슬릿 개폐장치가 구비된 공정챔버를 나타내는 구성도이다.
본 발명의 제1실시예에 따른 게이트슬릿 개폐장치가 구비된 공정챔버는 도 2에 도시된 바와 같이 내부에 플라즈마를 이용하여 기판을 식각하기 위한 공간이 형성되고 한쪽 측벽에 기판을 반입하고 반출하기 위한 게이트슬릿(52)이 형성된 챔버(50)와, 이 챔버(50)의 게이트슬릿(52)을 챔버(50)의 내측에서 여닫도록 구성된 게이트슬릿 개폐장치와, 이 게이트슬릿 개폐장치와는 반대로 게이트슬릿(52)을 챔버(50)의 외측에서 여닫도록 구성된 게이트밸브(60)로 구성된다.
도 3 및 도 4는 도 2에 도시된 게이트슬릿 개폐장치의 구성을 구체적으로 나타내는 단면도이다. 이때 도 3은 게이트슬릿이 개방된 상태를 나타내고, 도 4는 게이트슬릿이 폐쇄된 상태를 나타낸다.
게이트슬릿 개폐장치는 도 3, 도 4에 도시된 바와 같이 게이트슬릿(52)을 개 폐하는 이너도어(70), 이 이너도어(70)를 여닫힘 작동시키는 도어구동수단(80), 이너도어(80)가 필요 이상으로 닫힘 되는 것을 방지하는 스토퍼(90) 등으로 이루어진다.
이너도어(70)는 게이트슬릿(52)의 양쪽 개구(52a)(52b) 중에서 챔버(50) 내부와 연접하는 내측개구(52b)에 마련되어 이 내측개구(52b)를 개폐하는 플레이트로서, 그 하단부가 힌지수단(H)에 의하여 내측개구(52b)에 상하회전 가능하도록 연결되고, 닫힘 된 때 내측개구(52b)에 꼭 맞게 끼워지는 크기로 형성된다. 이와 같은 이너도어(70)는 챔버(50) 내부를 향하여 회전, 전도된 때 내측개구(52b)를 개방하고, 이와 반대로 세워지도록 회전된 때 내측개구(52b)를 폐쇄한다.
한편 이너도어(70)는 닫힘 되어 내측개구(52b)를 폐쇄한 때 챔버(50)의 내벽과 동일평면을 이루도록 설치되어 챔버(50)의 내벽과 함께 평평한 벽면으로서의 역할을 하도록 구성된다. 물론 이를 위하여 이너도어(70)는 내측개구(52b)를 폐쇄한 때 챔버(50)의 내벽과 턱이 지지 않도록 마련되어 할 것이며, 또 내측개구(52b)를 폐쇄한 때 챔버(50) 내부를 향하는 면이 평평하도록 형성되어야 할 것이다.
또 한편 이너도어(70)는 그 하단에 닫힘 된 때 챔버(50)의 외부를 향하도록 돌출된 일정한 길이의 돌출부(72)가 갖추어진다.
도 5는 도 4의 P 방향에서 본 정면도로서, 도 5에 도시된 바와 같이 이너도어(70)는 그 일부 또는 전체에 걸쳐 금속재의 망(74)이 설치될 수도 있다. 이에 따 르면 이너도어(70)는 망상구조를 갖도록 구성되는 바, 이는 이너도어(70)의 중량을 감소시켜 준다.
도어구동수단(80)은 게이트슬릿(52)의 내측개구(52b)가 개폐되도록 힌지수단(H)을 중심으로 하여 이너도어(70)를 일정한 각도 회전시키는 것으로서, 동력을 발생시키는 동력원 및 이 동력원의 동력을 이너도어(70)로 전달하여 회전되도록 하는 동력전달유닛(82)으로 구성되는 바, 여기서 동력원은 챔버(40)의 외측에 마련된 모터(81)이다.
여기에서 동력전달유닛(82)은 챔버(50) 외부와 게이트슬릿(52)을 공간적으로 잇기 위하여 챔버(50)에 형성된 일직선형의 연결통로(54)를 통하여 모터(81)의 동력을 이너도어(70)로 전달하는 바, 이의 구현을 위하여 스크루로드(83), 무빙블록(84), 조작와이어(85) 등으로 이루어진다.
스크루로드(83)는 대략 이너도어(70)의 직하에 배치되도록 챔버(50) 외측에 마련된 일직선형의 막대로서, 챔버(50)의 저면에 회전 가능하도록 수직으로 설치되고, 외주에 길이를 따라 수나사가 형성되며, 모터(81)에 의하여 정/역회전된다.
무빙블록(84)은 스크루로드(83)와 나사짝을 이루도록 스크루로드(83)에 나사결합이 된다. 이 같은 무빙블록(84)은 스크루로드(83)가 정/역회전됨에 따라(스크루로드의 회전방향에 따라) 스크루로드(83)를 따라 이동되어 승강된다.
조작와이어(85)는 스크루로드(83)를 따라 승강하는 무빙블록(84)의 운동력으로 인하여 이너도어(70)가 회전되어 내측개구(52b)의 개폐가 이루어지도록 하는 것으로서, 그 양단이 이너도어(70)와 무빙블록(84)에 각각 연결된다.
여기에서 조작와이어(85)는 이너도어(70)의 돌출부(72)에 연결되고, 강직성을 갖는 것을 사용하는 것이 바람직하며, 일례로 외부를 감싸는 피복을 더 포함하여 구성될 수도 있다. 또 조작와이어(85)는 챔버(50)의 연결통로(54)에 관통된 형태로 삽입되어 이너도어(70)와 무빙블록(84)에 연결된다.
설명한 바와 같은 조작와이어(85)는 무빙블록(84)이 하강되면 내측개구(52b)가 폐쇄되도록 이너도어(70)를 회전시킨다.
한편 도면에 도시된 바는 없으나, 챔버(50)와 무빙블록(84)의 사이에는 조작와이어(85)가 외부로부터 간섭을 받게 되는 것을 방지하고, 아울러 미관을 고려하는 측면에서 이 조작와이어(85)를 감싸는 형태의 주름관이 설치될 수도 있다.
참고로 모터(81)는 무빙블록(84)이 과도하게 승강되어 부하(내측개구가 완전히 개방 또는 폐쇄되었음에도 스크루로드를 계속 회전시키는 것을 말한다)가 발생되는 것이 방지되도록 작동된다. 물론 이것의 구현은 센서와 제어유닛 등에 의하여 가능하겠다.
스토퍼(90)는 도어구동수단(80)에 의하여 닫힘 되는 이너도어(70)의 회전을 제한함으로써 이너도어(70)의 닫힌 위치를 결정, 게이트슬릿(52)의 내측개구(52b)가 이너도어(70)에 의하여 정확히 폐쇄되도록 하는 것으로서, 이너도어(70)가 내측개구(52b)를 폐쇄한 때 이너도어(70)의 상단과 맞닿도록 내측개구(52b)에 마련된 하나 이상의 홈 또는 돌기로 구성된다.
여기에서 스토퍼(90)의 위치 및 구성은 설계 변경이 가능한 바, 일례로 내측개구(52b)의 폐쇄가 완료된 때 무빙블록(84)의 하강이 더 이상 진행되지 않도록 스크루로드(83)에 마련된 링으로 구성될 수도 있겠다.
설명한 바와 같은 스토퍼(90)의 기능은 물론 모터(81)의 작동을 제어하는 것으로도 실현 가능하겠다. 그럼에도 이너도어(70)의 회전을 물리적으로 제한하는 것은 이것으로 오작동을 방지할 수 있고, 이로써 작동에 대한 신뢰성을 향상시킬 수 있기 때문이다.
이상 설명되지 않은 도면부호 S는 게이트슬릿(52)의 내측개구(52b)가 폐쇄된 때 기밀을 유지시키기 위하여 연결통로(54)에 마련된 공지의 밀봉수단으로서, 조작와이어(85)의 작동에 방해가 없도록 연결통로(54)를 막음으로써 챔버(50) 내부를 진공분위기로 조성할 수 있게 한다.
상기한 바와 같이 구성되는 본 발명의 작동을 살펴보면 다음과 같다.
<1> 게이트슬릿의 폐쇄
게이트슬릿(52)의 내측개구(52b)가 개방된 때 이너도어(70)는 전도되고, 동력전달유닛(82)의 무빙블록(84)은 상승된 상태를 유지한다.
이 상태에서 동력원인 모터(81)를 작동시킨다. 그러면 이 모터(81)의 회전운동으로 스크루로드(83)는 회전되고, 이 스크루로드(83)와 나사결합이 된 무빙블록(84)은 스크루로드(83)를 따라 이동, 하강되며(물론 무빙블록은 스크루로드의 회전방향에 따라 이동방향이 결정되는 바, 여기에서 모터는 무빙블록이 하강되도록 스크루로드를 회전시킨다), 이 무빙블록(84)이 하강됨에 따라 조작와이어(85)는 당겨지게 된다. 이때 이너도어(70)는 힌지수단(H)을 중심으로 하여 회전됨으로써 세워지게 되는 바, 이너도어(70)가 스토퍼(90)에 닿아 내측개구(52b)가 폐쇄된 때 모터(81)의 작동은 중지된다.
이처럼 내측개구(52b)가 이너도어(70)로 폐쇄되면 챔버(50) 내부와 게이트슬릿(52)이 공간적으로 차단되어 챔버(50) 내부공간은 좌우대칭을 이루게 된다.(도 2 참조) 또한 내측개구(52b)가 폐쇄된 때 이너도어(70)가 챔버(50)의 내벽과 평평하게 되어 챔버(50)의 내벽에 턱이 지지 않게 된다. 따라서 기판의 식각처리 시에 플라즈마의 분포 등은 균일하게 유지된다.
<2> 게이트슬릿의 개방
게이트슬릿(52)을 폐쇄시킬 때와는 달리 스크루로드(83)가 반대방향으로 회전되도록 모터(81)를 작동시킴으로써 무빙블록(84)이 상승되도록 한다. 이때 강직 성을 가지는 조작와이어(85)는 무빙블록(84)의 상승력으로 밀리게 되어 이너도어(70)를 밀고, 이에 따라 이너도어(70)는 전도되도록 회전되며, 게이트슬릿(52)의 내측개구(52b)는 개방된다.
도 6 및 도 7은 도 3, 도 4에 도시된 동력전달유닛의 다른 예를 나타내는 단면도이다. 이때 도 6은 게이트슬릿이 개방된 상태를 나타내고, 도 7은 게이트슬릿이 폐쇄된 상태를 나타낸다.
도 6 및 도 7에 도시된 동력전달유닛(82A)의 다른 예는 도 3 및 도 4에 도시된 동력전달유닛(82)과 비교하여 볼 때 기타 구성 및 그 작용은 모두 동일한 데 대하여 조작와이어(85) 대신에 일직선형으로 형성된 조작로드(86)와 링크(87)를 갖추었다는 점만이 상이하다.
여기에서 조작로드(86)는 챔버(50)의 연결통로(54)에 관통된 형태로 삽입되어 그 하단이 조작와이어(85)와 마찬가지로 무빙블록(84)에 연결된다.
그리고 링크(87)는 조작로드(86)의 상단을 이너도어(70)와 연결하는 매개체의 역할을 하는 것으로서, 무빙블록(84)으로 인하여 연결통로(54)를 따라 승강되는 조작로드(86)의 운동력을 이너도어(70)에 전달, 이 이너도어(70)가 회전되도록 한다. 이때 링크(87)에서 조작로드(86)와 핀 이음으로 연결이 되는 구멍(87s)은 슬롯 모양으로 형성된다. 물론 이 같은 링크(87)는 그 구성을 달리 할 수도 있는 바, 조작로드(86)가 회전됨에 따라 이너도어(70)를 회전시킬 수만 있다면 어떠한 구성이라도 무방하며, 동력전달구조의 변경(예를 들어 스크루로드를 수직이 아닌 수평으 로 설치)에 따라 조작로드(86)와 무빙블록(84)을 연결하는 데 사용할 수도 있다.
도 8은 본 발명의 제2실시예에 따른 게이트슬릿 개폐장치가 구비된 공정챔버를 나타내는 구성도이고, 도 9는 8의 Q 방향에서 본 정면도이다.
본 발명의 제2실시예에 따른 게이트슬릿 개폐장치가 구비된 공정챔버는 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이 제1실시예와 비교하여 볼 때 기타 구성 및 작용은 동일한 것에 대하여 이너도어(170) 및 도어구동수단(180)의 구성만이 상이하다.
제2실시예의 이너도어(170)는 제1실시예의 이너도어(70)와 마찬가지로 게이트슬릿(52)의 내측개구(52b)를 개폐하는 것이기는 하지만, 외여닫이문의 구조를 갖도록 구성된 제1실시예의 이너도어(70)와는 달리 쌍여닫이문의 구조를 갖도록 구성된다. 이러한 제2실시예의 이너도어(170)는 내측개구(52b)의 상부를 개폐하는 상부도어(170a)와, 이 상부도어(170a)의 하측에 마련되어 내측개구(52a)의 나머지 하부를 개폐하는 하부도어(170b)로 구성된다.
여기에서 상부도어(170a)는 그 상단부가 힌지수단(H1)에 의하여 내측개구(52b)에 상하회전 가능하도록 연결되고, 하부도어(170b)는 그 하단부가 힌지수단(H2)에 의하여 내측개구(52b)에 상하회전 가능하도록 연결된다. 또 상부도어(170a) 및 하부도어(170b)는 그 일부 또는 전체가 망상구조를 갖도록 금속재의 망(174)이 각각 설치될 수도 있다.
한편 제2실시예의 이너도어(170)는 챔버(50) 내부를 향하여 회전된 때 내측 개구(52b)를 개방하고, 이와 반대로 회전된 때 내측개구(52b)를 폐쇄하는 바, 닫힘 된 때 챔버(50)의 내벽과 동일평면을 이루도록 설치된다.
제2실시예의 도어구동수단(180)은 내측개구(52b)가 개폐되도록 상/하부도어(170a)(170b)를 회전시키는 것으로서, 2개의 모터이고, 그 모터 축이 각각 커플러 등에 의하여 상/하부도어(170a)(170b)의 힌지수단(H1)(H2)에 직접 연결되도록 챔버(50)의 벽체에 매설된다.
이상 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 본 명세서에 개시된 실시예와 첨부된 도면에 의하여 한정되지 않는 바, 본 발명의 기술사상 범위 이내에서 당업자(본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자)에 의하여 다양한 변형이 이루어질 수 있다.
예를 들어 본 실시예에서는 이너도어가 챔버 내부를 향하여 회전, 전도되도록 설치된 것으로 설명하였으나, 이와 반대방향으로 회전되어 개폐하도록 구성할 수도 있을 것이며, 이 경우 게이트슬릿으로 반입되고 반출되는 기판과 이너도어 간의 간섭이 일지 않도록 적절한 구조변경을 하여야 할 것이다.
또한 제1실시예에서 동력원인 모터가 챔버의 외측에 마련되고, 이 모터의 동력을 동력전달유닛에 의하여 챔버의 내부에 위치된 이너도어로 전달하는 것으로 도어구동수단에 대하여 설명하였으나, 이는 모터의 모터 축이 힌지수단과 직접 연결되도록 모터를 챔버의 벽체에 매설하거나 외측에 마련하는 것으로 구성할 수도 있 을 것이다. 아울러 제2실시예서도 모터가 챔버의 벽체에 매설되는 것으로만 설명하였으나, 모터의 설치위치를 챔버의 외측으로 변경할 수도 있을 것이다.
이상에서 설명한 바와 같이 구성되고 작용하는 본 발명은 기판 출입구인 게이트슬릿의 양쪽 개구 중 내측개구에 이너도어가 설치되어 내측개구를 이 이너도어에 의하여 개폐할 수 있기 때문에 내측개구가 폐쇄된 때 챔버의 내부와 게이트슬릿이 공간적으로 차단되므로 기판의 식각처리 시에 플라즈마가 게이트슬릿 측으로 쏠림을 방지할 수 있고, 이로써 플라즈마의 분포 등을 균일하게 유지시킬 수 있는 이점이 있다.
또한 본 발명은 게이트슬릿이 폐쇄된 때 챔버의 내벽과 이너도어가 평평하게 되도록 이너도어가 설치되기 때문에 플라즈마 형성공간을 정확히 대칭이 되도록 할 수 있고, 이로써 플라즈마의 분포 등을 보다 균일하게 유지시킬 수 있는 이점이 있다. 또 이 같은 대칭구조는 전극과 어스 사이의 거리가 동일하게 하는 바, 이는 파워 측면에서 유리하다는 이점도 있다.

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  9. 기판을 반입하고 반출하기 위한 게이트슬릿이 벽체에 마련된 챔버와;
    하나는 상기 게이트슬릿의 양측 개구 중 내측개구의 한쪽을 개폐하도록 일단부가 회전 가능하게 설치되고, 다른 하나는 상기 내측개구의 다른 쪽을 개폐하도록 타단부가 회전 가능하게 설치되며, 폐쇄 시 상기 게이트슬릿 측으로의 플라즈마 쏠림을 방지하는 1쌍의 이너도어와;
    상기 내측개구가 개폐되도록 상기 1쌍의 이너도어를 회전시키는 도어구동수단을 포함하고,
    상기 게이트슬릿은 상기 벽체에 관통되어, 상기 양측 개구의 간격은 상기 벽체의 두께에 대응되며,
    상기 1쌍으로 이루어져 회전반경이 축소된 각 이너도어는 망상구조를 가지도록 일부에 금속재의 망이 설치된 것을 특징으로 하는,
    게이트슬릿 개폐장치가 구비된 공정챔버.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 1쌍의 이너도어는 내측개구를 폐쇄한 때 상기 챔버의 내벽과 동일평면을 이루도록 설치된 것을 특징으로 하는 게이트슬릿 개폐장치가 구비된 공정챔버.
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