JPH08210556A

JPH08210556A - 真空用仕切弁

Info

Publication number: JPH08210556A
Application number: JP1944595A
Authority: JP
Inventors: Shuichi Uryu; 修一瓜生
Original assignee: Japan Steel Works Ltd
Current assignee: Japan Steel Works Ltd
Priority date: 1995-02-07
Filing date: 1995-02-07
Publication date: 1996-08-20

Abstract

(57)【要約】【目的】本発明は真空用仕切弁に関し、特に、弁板を
作動させるアクチュエータを真空下の製造装置又は真空
容器の厚さ以内に配置し、小型で薄型とすることを目的
とする。【構成】本発明による真空用仕切弁は、弁板(3)を回
動するためのアクチュエータ(10)のアクチュエータ動作
方向(10A)を前記弁板(3)の弁板長手方向(3a)に対して直
交させ、かつ、前記アクチュエータ動作方向(10A)を、
製造装置(5)又は真空容器(1)の側壁(1a,5a)の奥行方向
(1aA)に沿うように配置した構成である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、真空用仕切弁に関し、
特に、弁板を作動させるアクチュエータを、真空下の製
造装置又は真空容器の厚さ以内に配置し、小型で薄型と
するための新規な改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、用いられていたこの種の真空用仕
切弁としては、一般に、図６及び図７で示す構成が採用
されている。すなわち、図６において符号１で示される
ものはウェハー等の板状加工物を収納可能な薄形箱形状
をなす真空容器であり、この真空容器１の開口２には、
弁板３を有する真空用仕切弁４が真空容器１の薄形平面
方向に直交して設けられていると共に、この真空容器１
はこの真空用仕切弁４を介して真空下の半導体等の製造
装置５に接続されている。

【０００３】前記弁板３は前記開口２の周囲に当接する
シール部材６を有すると共に、この弁板３を内蔵する箱
体７の上部にベローズ８を介して設けられたロッド９
は、この弁板３に接続されており、このロッド９は前記
箱体７側に固定保持されたシリンダ等のアクチュエータ
１０に接続されている。従って、前記アクチュエータ１
０の作動によって、ロッド９を介して弁板３を上下動さ
せ、開口面に沿って往復移動させることにより開口２の
開閉を行っている。

【０００４】また、図７で示す他の従来構成において
は、弁板３、ロッド９及びアクチュエータ１０を真空容
器１の奥方向に傾斜させて取付け、同様に傾斜させて形
成された開口２に対し、弁板３を開口面に対して鉛直方
向に往復移動させることにより開口２の開閉を行ってお
り、図６の構成よりは、全体の高さを低く抑えるように
している。なお、図６と同一部分には同一符号を付し、
その説明は省略している。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従来の真空用仕切弁
は、以上のように構成されていたため、次のような課題
が存在していた。すなわち、図６の構成の場合、弁板３
の面方向とロッド９の長手方向とが同一であり、このロ
ッド９の長手方向とアクチュエータ１０の軸方向とが同
一方向であるため、その全体の高さＨが真空容器１の高
さＨ₁ よりも高くなり、この種の製造装置の小型化及び
薄型化への大きな障害となっている。また、図７に示す
構成の場合、高さＨはやや低く出来るが、傾斜している
ために長さＬが発生し、真空容器１と製造装置５との接
続に際して障害となっていた。

【０００６】本発明は、以上のような課題を解決するた
めになされたもので、特に、弁板を作動させるアクチュ
エータを、真空下の製造装置又は真空容器の厚さ以内に
配置し、小型で薄型とする真空用仕切弁を提供すること
を目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明による真空用仕切
弁は、真空下の製造装置と前記製造装置に接続される真
空容器との間に位置する開口を弁板で開閉するようにし
た真空用仕切弁において、前記弁板を回動するためのア
クチュエータのアクチュエータ動作方向を前記弁板の弁
板長手方向に対して直交させ、かつ、前記アクチュエー
タ動作方向を、前記製造装置又は真空容器の側壁の奥行
方向に沿うように配置した構成である。

【０００８】さらに詳細には、前記アクチュエータは前
記真空容器に設けられている構成である。

【０００９】さらに詳細には、前記弁板は、前記開口の
近傍に設けられた軸支部に回動自在に設けられ、前記ア
クチュエータと前記弁板とを接続するロッド及びリンク
により前記弁板を回動させるようにした構成である。

【００１０】さらに詳細には、前記真空容器は、可搬型
である構成である。

【００１１】さらに詳細には、前記真空容器は、据置型
である構成である。

【００１２】さらに詳細には、前記真空容器には、ゲッ
ターポンプが設けられている構成である。

【００１３】

【作用】本発明による真空用仕切弁においては、アクチ
ュエータを作動させることにより、ロッドとリンクを介
して弁板が回動するため、アクチュエータの押動作で開
口が開弁し、引き動作で開口が閉弁する。また、この弁
板を回動するためのアクチュエータのアクチュエータ動
作方向は、製造装置又は真空容器の側壁の奥行方向に沿
っているため、このアクチュエータは、真空用仕切弁及
び製造装置又は真空容器全体の高さ（厚さ）を低く（薄
く）かつ小型化することができる。

【００１４】

【実施例】以下、図面と共に本発明による真空用仕切弁
の好適な実施例について詳細に説明する。なお、従来例
と同一又は同等部分については同一符号を用いて説明す
る。図１において符号１で示されるものはウェハー等の
板状加工物を収納可能な薄形箱形状をなす真空容器であ
り、この真空容器１の開口２には、この開口２を覆うこ
とができる形状され２重のシール部材６を有す長手形状
の弁板３が、図２及び図５で示すように、真空容器１の
前壁６０に設けた軸支部２０を介して一方の長辺側を回
転中心として回動自在に設けられ、この弁板３により開
口２の開閉が行われる。

【００１５】前記真空容器１の開口２の両側に位置する
側壁１ａには、アクチュエータ２０が設けられており、
各アクチュエータ２０の各アクチュエータ長手方向２０
Ａは、前記弁板３の弁板長手方向３ａと直交し、かつ、
前記側壁１ａの奥行方向１ａＡに沿って設けられれてい
る。前記各アクチュエータ２０は、前記弁板３に弁板３
の短辺部に設けられた第１軸部２３を介して接続したリ
ンク２２、このリンク２２に第２軸部２４を介して接続
したロッド９、このロッド９に接続部２５を介して接続
し取手３０ａを有する回動レバー３０とから構成され、
この回動レバー３０は、前記各側壁１ａに設けられ１対
の位置決め凹部３１ち，３１ｂを有する位置決め体３１
に回動レバー３０の突起３０ｂが係合することにより、
弁体３の開弁Ａ及び閉弁Ｂ状態を保持することができる
ように構成されている。

【００１６】前記各ロッド９は、周知の金属製のベロー
ズ８がその外周に同軸配置され、このベローズ８の基端
８ａが前記真空容器１の開口２を有する前壁６０に気密
状に固定されていることにより、ロッド９が作動した場
合でもこの真空容器１内は外気と触れることのないよう
に気密（真空）に保持されるように構成されている。

【００１７】前記真空容器１の前記前壁６０と対向する
後壁３２の内側には、この真空容器１内のパーティクル
等を吸収するための周知のゲッターポンプ３３が設けら
れていると共に、この真空容器１の前壁６０には、周知
の半導体製造装置又は薄膜製造装置からなる製造装置５
が機密状態で接続される。従って、前述の弁板３及びア
クチュエータ１０とからなる真空用仕切弁４及び開口２
は、前記製造装置５と真空容器１との間に位置し、この
真空容器１は、製造装置５から真空状態のまま切離し、
可搬型として、構成されているが、他の構成として据置
型とすることもできる。また、この各アクチュエータ１
０及び弁板３も真空容器１側だけでなく、製造装置５の
側壁５ａに前述と同様の構成で取付けることもできる。
また、前述のアクチュエータ１０は、回動レバー３０を
用いた構成に限らず、ロッド９を図示しない）シリンダ
又はモータと送りねじで押引する構成又はカムを用いて
作動させた場合も同じ作用を得ることができる。

【００１８】次に、動作について述べる。まず、図１に
おいて、内部が所要真空度の状態にある真空容器１と製
造装置５とを機密状態に接続した状態で、接続部の空間
を所要真空度に真空引きした後、回動レバー３０を点線
で示す開弁Ａの位置に回動させておくことにより弁板２
がロッド９で押されて開口２が図５のように開弁状態と
なり、製造装置５側で作られたウェハー５０が図示しな
いマニピュレータを介して開口２から真空容器１内に搬
送される。

【００１９】このウェハー５０の搬入される状態ではこ
の真空容器１内も真空状態下であるため、回動レバー３
０を点線から実線の位置に回動することによって、回動
レバー３０は閉弁Ｂの位置に移動し、同時に、弁板３は
図５から図２のように閉弁状態となる。この状態で、真
空容器１を製造装置５から切離すと、ウェハー５０を真
空状態下で内蔵した真空容器１を独立させることがで
き、例えば、任意の場所に搬送してこのウェハー５０の
特性をサンプリング検査することができる。また、真空
状態に密封された真空容器１内は、新たに発生するパー
ティクル等がゲッターポンプ３３により吸収されること
により、真空状態が維持される。以上説明した弁板３及
びアクチュエータ１０の構成を構造装置５の開口部に設
けることにより、同様の作用を得ることが可能である。

【００２０】

【発明の効果】本発明による真空用仕切弁は、以上のよ
うに構成されているため、次のような効果を得ることが
できる。すなわち、弁板を作動させるためのアクチュエ
ータが、製造装置又は真空容器側の側壁の奥行方向に沿
って配設されているため、アクチュエータと製造装置又
は真空容器全体の厚さを小さくすることができ、従来に
比べると、高さを大幅に低くして、小型化、薄型化、軽
量化を実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による真空用仕切弁を真空容器に取付け
た状態を示す半断面を含む平面図である。

【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。

【図３】図１の矢視Ｐ図である。

【図４】図１の左側面図である。

【図５】図１の要部の拡大断面図である。

【図６】真空用仕切弁の第１従来例を示す構成図であ
る。

【図７】真空用仕切弁の第２従来例を示す構成図であ
る。

【符号の説明】

１真空容器１ａ，５ａ側壁２開口３弁板３ａ弁板長手方向５製造装置９ロッド１０アクチュエータ１０Ａアクチュエータ動作方向２２リンク２４軸支部３０回動レバー３３ゲッターポンプ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】真空下の製造装置(5)と前記製造装置(5)
に接続される真空容器(1)との間に位置する開口(2) を
弁板(3) で開閉するようにした真空用仕切弁において、
前記弁板(3)を回動するためのアクチュエータ(10)のア
クチュエータ動作方向(10A)を前記弁板(3)の弁板長手方
向(3a)に対して直交させ、かつ、前記アクチュエータ動
作方向(10A)を、前記製造装置(5)又は真空容器(1)の側
壁(1a,5a) の奥行方向(1aA)に沿うように配置した構成
よりなることを特徴とする真空用仕切弁。
【請求項２】前記アクチュエータ(20)は前記真空容器
(1)に設けられていることを特徴とする請求項１記載の
真空用仕切弁。
【請求項３】前記弁板(3)は、前記開口(2)の近傍に設
けられた軸支部(20)に回動自在に設けられ、前記アクチ
ュエータ(10)と前記弁板(3)とを接続するロッド(9)及び
リンク(22)により前記弁板(3)を回動させる構成とした
ことを特徴とする請求項１又は２記載の真空用仕切弁。
【請求項４】前記真空容器(1)は、可搬型であること
を特徴とする請求項１ないし３の何れかに記載の真空用
仕切弁。
【請求項５】前記真空容器(1)は、据置型であること
を特徴とする請求項１ないし３の何れかに記載の真空用
仕切弁。
【請求項６】前記真空容器(1)には、ゲッターポンプ
(33)が設けられていることを特徴とする請求項１ないし
５の何れかに記載の真空用仕切弁。