JPS6237327Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、測定あるいは各種の処理を目的とす
る、高真空装置中の、試料の出入機構に関するも
のであり特に予備排気室を有し、試料を挿入する
際には、一旦予備排気室に入れてから排気後高真
空室へ移動させ、しかも試料の測定あるいは処理
を行つている時には予備排気室と高真空室との間
を気密に遮断しているような高真空装置への試料
導入機構に関するものである。

高真空中で試料表面に電子ビームやイオンビー
ム等を当て、その試料表面における反射や回折あ
るいは二次電子放射等を測定することは屡々行な
われる。又このような測定に先立つて試料表面を
強いイオンビーム等で衝撃処理することも少なく
ない。これらの場合、多数の試料を効率よく交換
するために予備排気室が設けられることが多い
が、特に高い真空度中での測定や処理が目的の場
合には、試料を予備排気室から高真空室へ移した
後に、両室の間をゲートバルブなどで遮断するの
が普通である。これは小容積に作られているとは
いつても、１気圧の大気が出入する予備排気室の
器壁等からは、真空に排気後も吸着ガス等の放出
が続く恐れがあるからである。

例えば、第１図は、従来用いられているオージ
エ電子分光分析装置の試料出入機構の一例であ
る。図において１は試料表面のオージエ電子分光
を行なうための高真空室である。この高真空室１
は大型のゲートバルブ２を経て予備排気室３に接
続される。予備排気室３の蓋４には気密を保つた
まゝ上下に動かすことのできる軸５が取り付けら
れており、軸５の先端には試料台６が着脱可能に
取付けられている。この機構では、試料の真空中
への挿入は次のように行なわれる。ゲートバルブ
２を閉じた状態で予備排気室３に大気を導入し、
蓋４を軸５と一緒に外し、軸５の先端に、試料７
を載せた試料台６を取り付ける。次いで軸５、試
料台６、試料７とともに蓋４をローリング２２を
介して所定の位置に載せ、排気孔９を通じて予備
排気室３を真空にする。次にゲートバルブ２を開
き、軸５を押し下げて試料台を図中に点線で示し
た位置６まで下げ、試料台保持装置１０に取り付
ける。続いて試料台６を取外した軸５を上方に引
き上げ、ゲートバルブ２を閉じる。高真空室１中
に残された試料は軸１１により適当な角度回転さ
れ、試料保持軸１２によつて取り出されて測定に
かけられる。

上記の例以外にも、高真空中への試料出入機構
として、従来種々の形式のものが使われている。
しかし、そのほとんどはゲートバルブを使用して
おり、操作、構造ともに複雑になつている。更
に、ゲートバルブを通じての物品の出入は、大き
な動作範囲を必要とし、従つて、出入機構自身が
大型となり、その周囲にも操作のための大きな空
間が必要であつた。

本考案は、ゲートバルブを使用することなく、
操作、構造ともに簡単な予備排気室を持つた高真
空装置への試料出入装置を提供することにある。

以下、本考案の一実施例を第２図に基いて説明
する。図において、試料台６はそのほヾ中心で、
垂直な１３及び軸１３′を連結しており試料台６
は、軸１３、軸１３′の双方に対し４組のベアリ
ング８を介して軸方向を中心として回転自在に取
付けられている。

軸１３は、外部からの操作によつて、回転する
ことなく、上下方向に動き得る。又軸１３′の上
方には隔壁１７の孔１７を閉塞する金属板１４が
着脱可能に取り付けられている。（本実施例の場
合はピン１５の抜差しにより簡単に着脱できるよ
うになつている）。更に金属板１４の下面には、
Ｏ−リング１６が取り付けられており、軸１３を
充分に下方に動かした時にＯ−リング１６は、高
真空室１と予備排気室３とを分ける隔壁１７の上
面と、金属板１４との間に押し付けられ、隔壁１
７と金属板１４との間の気密を保持する。

また、試料台６の上面には、Ｏ−リング１８が
取付けられており、軸１３を押し上げた時には、
試料台６と隔壁１７の下面との間にＯ−リング１
８が強く押し付けられ、その両者間の気密を保持
する。

次に本考案の試料出入機構の動作について説明
する。試料７を出入する場合には、まず試料台６
を隔壁１７に押し付けたその孔１７ａを閉塞させ
て両室１，３間を隔絶させた状態で、予備排気室
３に大気を導入する。次いで蓋４を開いてから金
属板１４を軸１３′から取外し、試料７の交換な
ど行なつた後、金属板１４を軸１３′に取付け、
また蓋４を元に戻し、予備排気室３を真空にす
る。次いで、軸１３を引き下げて金属板１４をＯ
−リング１６を挟んで隔壁１７に押し付け、その
孔１７ａを閉塞して両室１，３間を隔絶させ、ま
た試料７を高真空室１に挿入する。

この操作に続いて、軸１９の回転と軸１９に連
らなる歯車２０，２１によつて試料７の位置を適
当に選び、試料保持軸１２により、試料の１つを
取り、測定位置に移動させる。

以上の説明から明らかなように、従来の試料出
入機構を大型のゲートバルブを必要とし、これを
挟んで試料及び試料台の受け渡しを行つていたた
め、構造が複雑になり、試料受け渡しのための動
きの範囲を広く必要としたのに反し、本考案の機
構では試料の上下に配置された板がそのまま弁の
作用も行なうため、複雑、大型になり勝ちなゲー
トバルブは不必要であり、更に試料の上下に配し
た板材がそのまゝ弁の動作を行ない構造、操作と
もに簡単である。従つて動作のための空間も挟く
てすむ効果を有する。

なお、上記実施例では試料出入機構の動作が上
下方向に行なわれているが、本考案は、これに限
定されるものではなく、垂直方向の隔壁に対して
水平に動作する出入機構に対しても、応用でき
る。又上記実施例では、弁体の役目をする２枚の
板材の片方に試料を設置しているが、本考案は、
これに限定されるものではなく、上記板材とは別
に試料台を作りこれを、弁体として作用する２枚
の金属板の間に設置して、この別に作られた試料
台を回転等の動作可能な構造にしてもよい。要
は、試料を挟んで設けられた２枚の金属板が、そ
れぞれ反対方向に移動した限度において、高真空
室と予備排気室との隔壁を弁座とする真空遮断弁
として作用する構造であれば良いものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の高真空装置用試料出入機構を説
明するための断面図、第２図は本考案の一実施例
を説明するための断面図である。 １……高真空室、３……予備排気室、６……試
料台、７……試料、１３，１３′……軸、１４…
…金属板、１６，１８……Ｏ−リング、１７……
隔壁。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 高真空室と予備排気室との間の隔壁に開口した
   孔を挟んで相対して配置され前記孔を閉塞する２
   枚の板材を有し、該２枚の板材を、前記孔を貫通
   した連結杆で連結して該２枚の板材を前記隔壁に
   対して変位可能に配設するとともに、前記２枚の
   板材間に試料を保持可能とし、前記２枚の板材の
   いずれか一方で前記孔を閉塞し、高真空室と予備
   排気室とを遮断するようにしたことを特徴とする
   高真空装置用試料出入機構。