JPS6366839A - 耐環境性評価試験用ガス分析システム - Google Patents
耐環境性評価試験用ガス分析システムInfo
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- JPS6366839A JPS6366839A JP61209560A JP20956086A JPS6366839A JP S6366839 A JPS6366839 A JP S6366839A JP 61209560 A JP61209560 A JP 61209560A JP 20956086 A JP20956086 A JP 20956086A JP S6366839 A JPS6366839 A JP S6366839A
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- JP
- Japan
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- gas
- sample chamber
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- envelope
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- 238000011156 evaluation Methods 0.000 title claims abstract description 26
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 title claims abstract description 18
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims abstract description 35
- 238000004868 gas analysis Methods 0.000 claims description 11
- 230000000274 adsorptive effect Effects 0.000 abstract description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 26
- 238000004949 mass spectrometry Methods 0.000 description 10
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 6
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- 229920000742 Cotton Polymers 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
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- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は各種材料の耐環境性評価試験において、耐環
境性評価試験装置の試料室内の材料から放出されるガス
および試料室内の雰囲気ガスの分析を行うためのガス分
析システムに関するものである。
境性評価試験装置の試料室内の材料から放出されるガス
および試料室内の雰囲気ガスの分析を行うためのガス分
析システムに関するものである。
第３図は従来の耐環境性評価試験装置の試料室に備えら
れたガス分析システムの断面図である。
れたガス分析システムの断面図である。
図において、（１）は試料、（２）は試料（１）を収容
する耐環境性評価試験装置の試料室、（３）は試料室（
２）の中のガス成分を質量分析を行うための四重極質量
分析計の分析管、（４）は分析管（３）を収納するエン
ベロープ、（５）はエンベロープ（４）の中を高真空に
保持するための真空排気装置、（６）はエンベロープ（
４）と真空排気装置（５）の間を開閉するための高真空
バルブ、（７）は試料室（２）からエンベロープ（４）
の中へ流入するガスの量を制限するためのオリフィス板
である。
する耐環境性評価試験装置の試料室、（３）は試料室（
２）の中のガス成分を質量分析を行うための四重極質量
分析計の分析管、（４）は分析管（３）を収納するエン
ベロープ、（５）はエンベロープ（４）の中を高真空に
保持するための真空排気装置、（６）はエンベロープ（
４）と真空排気装置（５）の間を開閉するための高真空
バルブ、（７）は試料室（２）からエンベロープ（４）
の中へ流入するガスの量を制限するためのオリフィス板
である。
次に動作について説明する。まず寞空排気装匝（５）を
稼働させ、次いで試料室（２）の中に試料（１）を取付
けて耐環境性評価試験装置を稼働させる。
稼働させ、次いで試料室（２）の中に試料（１）を取付
けて耐環境性評価試験装置を稼働させる。
試験開始前に高真空バルブ（６）を開き、分析管（３）
を収納しているエンベロープ（４）の中を真空排気する
。そしてエンベロープ（４）の中の圧力が１×１０−’
ｔｏｒｒよりも低く、かつ試料室（２）の圧力よりも低
くなったら四重極質量分析計を稼働させ、試料室（２）
からオリフィス板（７）のオリフィスを通してエンベロ
ープ（４）の中に流入してきたガスの質量分析を行う。
を収納しているエンベロープ（４）の中を真空排気する
。そしてエンベロープ（４）の中の圧力が１×１０−’
ｔｏｒｒよりも低く、かつ試料室（２）の圧力よりも低
くなったら四重極質量分析計を稼働させ、試料室（２）
からオリフィス板（７）のオリフィスを通してエンベロ
ープ（４）の中に流入してきたガスの質量分析を行う。
従来の耐環境性評価試験装置に備えられでいるガス分析
システムは以上のように構成されているので、四重極質
量分析計による試料室（２）内のガスの測定はオリフィ
ス板（７）のオリフィスの径に応じ、試料室（２）の圧
力の狭い範囲でしか実施できなかった。そして測定不可
能な試料室（２）内の圧力においては、その圧力に応じ
た径のオリフィスに変えるために、試料室（２）と分析
管（３）の接続部を外してオリフィス板（７）を取換え
なければならなかった。また高真空の試料室（２）内に
おいて、測定対象ガスが微量ないし吸着性の場合は、分
析管（３）まで到達する測定対象ガスの量が少ないため
、測定が非常に困難であるなどの問題点があった。
システムは以上のように構成されているので、四重極質
量分析計による試料室（２）内のガスの測定はオリフィ
ス板（７）のオリフィスの径に応じ、試料室（２）の圧
力の狭い範囲でしか実施できなかった。そして測定不可
能な試料室（２）内の圧力においては、その圧力に応じ
た径のオリフィスに変えるために、試料室（２）と分析
管（３）の接続部を外してオリフィス板（７）を取換え
なければならなかった。また高真空の試料室（２）内に
おいて、測定対象ガスが微量ないし吸着性の場合は、分
析管（３）まで到達する測定対象ガスの量が少ないため
、測定が非常に困難であるなどの問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解決するためになされ
たもので、耐環境性評価試験装置の試料室内の圧力が大
気圧から高真空に至るまで、試料室内のガスの質量分析
ができるとともに、高真空の試料室内において測定対象
ガスが微量であっても、また吸着性のものであっても、
質量分析ができるガス分析システムを得ることを目的と
する。
たもので、耐環境性評価試験装置の試料室内の圧力が大
気圧から高真空に至るまで、試料室内のガスの質量分析
ができるとともに、高真空の試料室内において測定対象
ガスが微量であっても、また吸着性のものであっても、
質量分析ができるガス分析システムを得ることを目的と
する。
この発明に係る耐環境性評価試験用ガス分析システムは
、質量分析計の分析管と、この分析管を収納しかつ前後
にベローズを有するエンベロープと、このエンベロープ
内の圧力を高真空に保つ真空排気装置と、耐環境性評価
試験装置の試料室側から質量分析計の分析管側へのガス
流入量を制御するためのコンダクタンス可変の回転式オ
リフィス板と、この回転式オリフィス板を回転させるた
めの回転導入機と、前記回転式オリフィス板に接触する
エンベロープ前面を前後に移動させる直線導入機とを設
けたものである。
、質量分析計の分析管と、この分析管を収納しかつ前後
にベローズを有するエンベロープと、このエンベロープ
内の圧力を高真空に保つ真空排気装置と、耐環境性評価
試験装置の試料室側から質量分析計の分析管側へのガス
流入量を制御するためのコンダクタンス可変の回転式オ
リフィス板と、この回転式オリフィス板を回転させるた
めの回転導入機と、前記回転式オリフィス板に接触する
エンベロープ前面を前後に移動させる直線導入機とを設
けたものである。
この発明による耐環境性評価試験用ガス分析システムに
おいては、回転式オリフィス板は回転導入機により回転
運動伝達部を介して回転され、耐環境性評価試験装置の
試料室内の圧力や測定対象ガスに応じて適切な径のオリ
フィスに切換えられ、試料室側から質量分析計の分析管
側へ流入するガスを適切な量にする。これにより試料室
内の圧力が大気圧から高真空に至っても試料室内のガス
の質量分析を可能にする。０リングが取付けられている
エンベロープ前面は、エンベロープの前部にベローズが
設けられているため、直線導入機により前後に移動され
、エンベロープ前面と回転式オリフィス板の接触部のシ
ールおよび回転式オリフィス板の固定および回転がスム
ーズに行われる。
おいては、回転式オリフィス板は回転導入機により回転
運動伝達部を介して回転され、耐環境性評価試験装置の
試料室内の圧力や測定対象ガスに応じて適切な径のオリ
フィスに切換えられ、試料室側から質量分析計の分析管
側へ流入するガスを適切な量にする。これにより試料室
内の圧力が大気圧から高真空に至っても試料室内のガス
の質量分析を可能にする。０リングが取付けられている
エンベロープ前面は、エンベロープの前部にベローズが
設けられているため、直線導入機により前後に移動され
、エンベロープ前面と回転式オリフィス板の接触部のシ
ールおよび回転式オリフィス板の固定および回転がスム
ーズに行われる。
質量分析計の分析管は１分析管を収納しているエンベロ
ープ後部のベローズにより前方に移動され、回転式オリ
フィス板のオリフィスを全開にして分析管の前部（イオ
ン源）を試料に近づけ、高真空の試料室内において試料
から放出される微量ガスや吸着性ガスの質量分析が可能
になる。
ープ後部のベローズにより前方に移動され、回転式オリ
フィス板のオリフィスを全開にして分析管の前部（イオ
ン源）を試料に近づけ、高真空の試料室内において試料
から放出される微量ガスや吸着性ガスの質量分析が可能
になる。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図はこの発明の一実施例を示す断面図。
図はこの発明の一実施例を示す断面図。
第２図はＡ方向矢視図であり、図において、（１）〜（
７）は第３図と同一または相当部分を示す。分析管（３
）を収納するエンベロープ（４）は前後部にベローズ（
１１） 、 （１２）を備え、分析管（３）を前後に移
動できるようになっている。（１３）は試料室（２）側
から四重極質量分析計の分析管（３）側へ導入するガス
を適切な量にするための回転式オリフィス板で、回転軸
（１４）を中心に回転可能となっており、同一円周上に
異なった径のオリフィス（１５） （最大径６２ａｍφ
）を有し、コンダクタンス可変となっている。
７）は第３図と同一または相当部分を示す。分析管（３
）を収納するエンベロープ（４）は前後部にベローズ（
１１） 、 （１２）を備え、分析管（３）を前後に移
動できるようになっている。（１３）は試料室（２）側
から四重極質量分析計の分析管（３）側へ導入するガス
を適切な量にするための回転式オリフィス板で、回転軸
（１４）を中心に回転可能となっており、同一円周上に
異なった径のオリフィス（１５） （最大径６２ａｍφ
）を有し、コンダクタンス可変となっている。
（１６）は試料室（２）の中にある回転式オリフィス板
（１３）を外部から回転させるための回転導入機、（１
７）は回転導入機（１６）の回転を回転式オリフィス板
（１３）に伝えるための回転運動伝達部であり、回転式
オリフィス板（１３）の外周に形成された歯車にかみ合
う歯車からなる。（１８）は回転式オリフィス板（１３
）の固定および回転をスムーズにするため、分析管（３
）を収納しているエンベロープ（４）の前面を前後に動
かすための真綿導入機、 （１９）は直線導入機（１８
）による直線運動をエンベロープ（４）の前部に伝達す
るための直線運動伝達部、（２０）は回転式オリフィス
板（１３）のオリフィス（１５）の周囲に接するように
エンベロープ（４）の前面にはめ込まれたＯリングであ
る。
（１３）を外部から回転させるための回転導入機、（１
７）は回転導入機（１６）の回転を回転式オリフィス板
（１３）に伝えるための回転運動伝達部であり、回転式
オリフィス板（１３）の外周に形成された歯車にかみ合
う歯車からなる。（１８）は回転式オリフィス板（１３
）の固定および回転をスムーズにするため、分析管（３
）を収納しているエンベロープ（４）の前面を前後に動
かすための真綿導入機、 （１９）は直線導入機（１８
）による直線運動をエンベロープ（４）の前部に伝達す
るための直線運動伝達部、（２０）は回転式オリフィス
板（１３）のオリフィス（１５）の周囲に接するように
エンベロープ（４）の前面にはめ込まれたＯリングであ
る。
次に動作について説明する。まず耐環境性評価試験装置
の試料室（２）の中がＩ Ｘ １０−’ｔｏｒｒよりも
窩い圧力における動作について説明する。通常、耐環境
性評価試験装置稼働前は回転式オリフィス板（１３）お
よび高真空バルブ（６）が閉じた状態であるので、まず
真空排気袋Ｕ、（５）を稼働させる。次いで試料（１）
を取付け、耐環境性評価試験装置を稼働させる。試験開
始前に高真空バルブ（６）を開き、四重極質量分析計の
分析管（３）を収納しているエンベロープ（４）の中を
真空排気する。そして、エンベロープ（４）の中が高真
空（Ｉ Ｘ １０−’ｔｏｒｒ）に達したら四重極質量
分析計を稼働させ、質量分析が可能な状態に分析管（３
）を制御する。次いで直線導入機（１８）を引いて前部
のベローズ（１１）を縮め、直線運動伝達部（１９）を
介してＯリング（２０）がはめ込まれているエンベロー
プ（４）の前面を回転式オリフィス板（１３）との接触
部のシールが損わない程度に離す。そして閉止の状態で
ある回転式オリフィス板（１３）を回転導入機（１６）
によって回転させ、試料室（２）側のガスの流入によっ
て分析管（３）側の圧力がＩ Ｘ １０””ｔｏｒｒ以
上にならないように適切な径のオリフィス（１５）を分
析管（３）の前面に位置させ、真綿導入機（１８）を押
して直線運動伝達部（１９）を介してＯリング（２０）
がはめ込まれているエンベロープ（４）の前面を回転式
オリフィス板（１３）に押付け、エンベロープ（４）の
前面と回転式オリフィス板（１３）の接触部のシールお
よび回転式オリフィス板（１３）の固定を行う。そして
耐環境性評価試験を開始し、試料室（２）内のガスの質
量分貸を行う。
の試料室（２）の中がＩ Ｘ １０−’ｔｏｒｒよりも
窩い圧力における動作について説明する。通常、耐環境
性評価試験装置稼働前は回転式オリフィス板（１３）お
よび高真空バルブ（６）が閉じた状態であるので、まず
真空排気袋Ｕ、（５）を稼働させる。次いで試料（１）
を取付け、耐環境性評価試験装置を稼働させる。試験開
始前に高真空バルブ（６）を開き、四重極質量分析計の
分析管（３）を収納しているエンベロープ（４）の中を
真空排気する。そして、エンベロープ（４）の中が高真
空（Ｉ Ｘ １０−’ｔｏｒｒ）に達したら四重極質量
分析計を稼働させ、質量分析が可能な状態に分析管（３
）を制御する。次いで直線導入機（１８）を引いて前部
のベローズ（１１）を縮め、直線運動伝達部（１９）を
介してＯリング（２０）がはめ込まれているエンベロー
プ（４）の前面を回転式オリフィス板（１３）との接触
部のシールが損わない程度に離す。そして閉止の状態で
ある回転式オリフィス板（１３）を回転導入機（１６）
によって回転させ、試料室（２）側のガスの流入によっ
て分析管（３）側の圧力がＩ Ｘ １０””ｔｏｒｒ以
上にならないように適切な径のオリフィス（１５）を分
析管（３）の前面に位置させ、真綿導入機（１８）を押
して直線運動伝達部（１９）を介してＯリング（２０）
がはめ込まれているエンベロープ（４）の前面を回転式
オリフィス板（１３）に押付け、エンベロープ（４）の
前面と回転式オリフィス板（１３）の接触部のシールお
よび回転式オリフィス板（１３）の固定を行う。そして
耐環境性評価試験を開始し、試料室（２）内のガスの質
量分貸を行う。
次に耐環境性評価試験時において、試験装置の試料室（
２）の中がＩ Ｘ １０−’ｔｏｒｒよりも低い圧力に
おける動作について説明する。まず真空排気装置（５）
を稼働させ、次いで試料（１）を取付け、耐環境性評価
試験装置を稼働させる。試験開始前に高真空バルブ（６
）を開き、分析管（３）を収納しているエンベロープ（
４）の中を真空排気する。そして試料室（２）およびエ
ンベロープ（４）の中が高真空（ｌ Ｘ １０−’ｔｏ
ｒｒ以上）に達したら高真空バルブ（６）を閉じて、閉
止の状態にある回転式オリフィス板（１３）を回転導入
ＩＩ（１６）によって回転させ、全開となる径のオリフ
ィス（直径６２ｍｍφ）（Ｉｓ）を分析管（３）の前面
に位置させて直線導入機（１８）を押して直線運動伝達
部（１９）を介してＯリング（２０）がはめ込まれてい
るエンベロープ（４）の前記を回転式オリフィス板（１
３）に押付けて固定する。次に四重極質量分析計を稼働
させ、質量分析が可能な状態に分析管（３）を制御する
。そして耐環境性評価試験を開始し、試料室（２）内の
ガスの質量分析を行う。
２）の中がＩ Ｘ １０−’ｔｏｒｒよりも低い圧力に
おける動作について説明する。まず真空排気装置（５）
を稼働させ、次いで試料（１）を取付け、耐環境性評価
試験装置を稼働させる。試験開始前に高真空バルブ（６
）を開き、分析管（３）を収納しているエンベロープ（
４）の中を真空排気する。そして試料室（２）およびエ
ンベロープ（４）の中が高真空（ｌ Ｘ １０−’ｔｏ
ｒｒ以上）に達したら高真空バルブ（６）を閉じて、閉
止の状態にある回転式オリフィス板（１３）を回転導入
ＩＩ（１６）によって回転させ、全開となる径のオリフ
ィス（直径６２ｍｍφ）（Ｉｓ）を分析管（３）の前面
に位置させて直線導入機（１８）を押して直線運動伝達
部（１９）を介してＯリング（２０）がはめ込まれてい
るエンベロープ（４）の前記を回転式オリフィス板（１
３）に押付けて固定する。次に四重極質量分析計を稼働
させ、質量分析が可能な状態に分析管（３）を制御する
。そして耐環境性評価試験を開始し、試料室（２）内の
ガスの質量分析を行う。
試料（１）から放出されるガスが微量ないし吸着性の場
合は、エンベロープ（４）の後部のベローズ（１２）を
縮めて分析管（３）を試料（１）側へ移動させ、分析管
（３）の前部を試料（１）に近づけて、試料（１）から
放出されたガスを質量分析する。
合は、エンベロープ（４）の後部のベローズ（１２）を
縮めて分析管（３）を試料（１）側へ移動させ、分析管
（３）の前部を試料（１）に近づけて、試料（１）から
放出されたガスを質量分析する。
なお、上記実施例では、質量分析に四重極質量分析計を
用いたが、セクター型質量分析計等の他の質量分析計で
もよい。またエンベロープ（４）および回転式オリフィ
ス板（１３）の構造、駆動機構等は変更可能である。
用いたが、セクター型質量分析計等の他の質量分析計で
もよい。またエンベロープ（４）および回転式オリフィ
ス板（１３）の構造、駆動機構等は変更可能である。
以上のように、この発明によれば、耐環境性評価試験装
置の外部からガス分析システムのオリフィス径を変換で
きるようにしたので、分析管を外してオリフィス板を取
換えることなく、試験装置内の圧力が大気圧から高真空
に至るまでのガス分析が可能になり、質量分析計の分析
管を試験装置内の試料に近づけることができるので、高
真空の試験装置内において試料から放出される微量ガス
や吸着性ガスの分析が可能になるなどの効果がある。
置の外部からガス分析システムのオリフィス径を変換で
きるようにしたので、分析管を外してオリフィス板を取
換えることなく、試験装置内の圧力が大気圧から高真空
に至るまでのガス分析が可能になり、質量分析計の分析
管を試験装置内の試料に近づけることができるので、高
真空の試験装置内において試料から放出される微量ガス
や吸着性ガスの分析が可能になるなどの効果がある。
第１図はこの発明の一実施例を示す断面図、第２図はへ
方向矢視図、第３図は従来のガス分析システムを示す断
面図である。 各図中、同一符号は同一または相当部分を示し、（１）
は試料、（２）は試料室、（３）は分析管、（４）はエ
ンベロープ、（５）は真空排気装置、（６）は高真空バ
ルブ、（１１）、 （１２）はベローズ、（１３）は回
転式オリフィス板、（Ｉ５）はオリフィス、（１６）は
回転導入機、（１７）は回転運動伝達部、（１８）は直
線導入機、（１９）は直線運動伝達部である。
方向矢視図、第３図は従来のガス分析システムを示す断
面図である。 各図中、同一符号は同一または相当部分を示し、（１）
は試料、（２）は試料室、（３）は分析管、（４）はエ
ンベロープ、（５）は真空排気装置、（６）は高真空バ
ルブ、（１１）、 （１２）はベローズ、（１３）は回
転式オリフィス板、（Ｉ５）はオリフィス、（１６）は
回転導入機、（１７）は回転運動伝達部、（１８）は直
線導入機、（１９）は直線運動伝達部である。
Claims (2)
- （１）質量分析計の分析管と、この分析管を収納しかつ
前後にベローズを有するエンベロープと、このエンベロ
ープ内の圧力を高真空に保つ真空排気装置と、耐環境性
評価試験装置の試料室側から質量分析計の分析管側への
ガス流入量を制御するためのコンダクタンス可変の回転
式オリフィス板と、この回転式オリフィス板を回転させ
るための回転導入機と、前記回転式オリフィス板に接触
するエンベロープ前面を前後に移動させる直線導入機と
を備えたことを特徴とする耐環境性評価試験用ガス分析
システム。 - （２）回転式オリフィス板が同一円周上に異なる径の複
数のオリフィスを有するものであることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の耐環境性評価試験用ガス分析
システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61209560A JPS6366839A (ja) | 1986-09-08 | 1986-09-08 | 耐環境性評価試験用ガス分析システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61209560A JPS6366839A (ja) | 1986-09-08 | 1986-09-08 | 耐環境性評価試験用ガス分析システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6366839A true JPS6366839A (ja) | 1988-03-25 |
| JPH043062B2 JPH043062B2 (ja) | 1992-01-21 |
Family
ID=16574848
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61209560A Granted JPS6366839A (ja) | 1986-09-08 | 1986-09-08 | 耐環境性評価試験用ガス分析システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6366839A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103364304A (zh) * | 2013-06-21 | 2013-10-23 | 浙江工业大学 | 材料形变过程中的氢释放测试装置及测试方法 |
| KR101529608B1 (ko) * | 2013-11-21 | 2015-06-18 | 한국표준과학연구원 | 가스환경 소형펀치 시험장치, 이를 이용한 시험방법, 분석방법 및 기록매체 |
-
1986
- 1986-09-08 JP JP61209560A patent/JPS6366839A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103364304A (zh) * | 2013-06-21 | 2013-10-23 | 浙江工业大学 | 材料形变过程中的氢释放测试装置及测试方法 |
| CN103364304B (zh) * | 2013-06-21 | 2015-08-12 | 浙江工业大学 | 材料形变过程中的氢释放测试装置及测试方法 |
| KR101529608B1 (ko) * | 2013-11-21 | 2015-06-18 | 한국표준과학연구원 | 가스환경 소형펀치 시험장치, 이를 이용한 시험방법, 분석방법 및 기록매체 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH043062B2 (ja) | 1992-01-21 |
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