JPH018986Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、エレクトロンマイクロブローブ
（EPMA）や走査電子顕微鏡（SEM）など荷電粒
子を用いた分析装置において、その試料室に試料
を導入する装置に係り、詳しくは真空状態にある
試料室に試料を導入するための予備排気室を介す
る試料導入装置に関する。

これらの装置内部は常に真空状態に保たれ、分
析効率の向上のためには試料の交換や導入時にお
いても装置内部の真空が低下せずに保たれること
が必要である。このため、従来技術では、第１図
に示すように、予備排気室１を試料室２の側壁に
取付け、その予備排気室１の蓋３を開けて試料４
をその予備排気室１に入れ、次にその蓋３を閉じ
て、排気ポンプに連結された排気管５から予備排
気室１内の排気を行い予備排気室(1)を真空状態に
し、その後、エアロツクバルブ（ゲートバルブ）
６を開けて予備排気室１から、真空状態に保たれ
ている試料室２へ矢符方向に試料４を導入するよ
うにしている。なお、符号７，８はそれぞれ試料
室２内の試料４を所定の分析位置にセツトするた
めの試料セツトつまみであり、９は光学顕微鏡の
接眼部であり、１０は鏡筒である。

ところが、このような従来技術では、試料４を
試料室２に導入した後は必要でなくなる予備排気
室１が、分析操作側に突き出た格好で残されるこ
とになる。このため、接眼部９から試料室２内の
試料４を見ながら、試料セツトつまみ７，８を操
作する上においてこの予備排気室１が邪魔にな
り、時には予備排気室１の交端に操作者の体が突
き当るなどして安全面からいつて好ましくない。

本考案の目的は、上述に鑑み、予備排気室を試
料室の側壁から着脱自在になし、これにより分析
操作等を安全にしかも容易に行うことができるよ
うにした試料導入装置を提供することである。本
考案は、上記目的を達成するため、試料室の側壁
に形成された試料導入窓と、前記側壁の外面に設
けられた試料導入窓閉塞用のエアロツクバルブ
と、試料導入手段および排気口を有する予備排気
室とを備えた試料導入装置において、次の構成を
採る。

すなわち、本考案の試料導入装置では、予備排
気室が、試料導入窓およびエアロツクバルブを覆
つて前記側壁の外面に着脱可能に取り付けられ、
かつ、この予備排気室には前記エアロツクバルブ
開閉駆動用の駆動ギヤが枢支される一方、エアロ
ツクバルブは、その一端が前記側壁の外面に沿つ
て平行に配設された回転軸に固定され、この回転
軸には前記予備排気室の着脱に応じて駆動ギヤに
噛合、離間する従動ギヤが固着されていることを
特徴としている。

以下、本考案を図示の実施例に基づいて詳細に
説明する。

第２図は本考案の一実施例の断面図である。予
備排気室１０は図上、上壁１２、側壁１４、下壁
１６等の壁体により規定される。予備排気室１０
の上壁１２、下壁１６および側壁１４の各々の端
部１８，２０は、各々、上方、下方および側方に
試料室側壁２４に取付けるためのフランジを有
し、Ｏリングなどで気密を保たれる構造になつて
いる。予備排気室１０の上下壁の各端部１８，２
０は、試料室２２を規定する側壁２４の外面に、
各々、蝶ねじ２６，２８によりねじ止めされる。
予備排気室１０は、蝶ねじ２６，２８を取外すこ
とにより、試料室２２から取外されることができ
る。これにより、予備排気室１０は、後述する試
料導入窓３０およびゲートバルブ３２を覆つて側
壁１４の外面にゲートバルブ３２とは別個に着脱
可能に取り付けられる。試料室２２の側壁２４に
は試料導入窓３０が開口される。試料室２２の側
壁２４の外面には、試料導入窓３０を閉塞するゲ
ートバルブ３２が位置する。そのゲートバルブ３
２の下部は、試料室２２の側壁２４の外面に蝶ね
じ３４でねじ止めされており、これにより誤まつ
てゲートバルブ３２が開くことが防止される。そ
のゲートバルブ３２には、気密保持用Ｏリング３
６が嵌入される。試料室２２の側壁２４の上部外
面には、固定ねじ３８により「Ｌ」型をなす従動
ギア支持部４０がねじ止めされる。従動ギア支持
部４０には、回動転軸４２と一体的に回動する従
動部としての従動ギヤ４４が支持される。従動ギ
ア４４と一体に回転する前記回転軸４２には、固
定ねじ４６，４８により一端をゲートバルブ３２
にねじ止めされた連結棒５０の他端が、固定され
る。従動ギヤ４４は、ゲートバルブ３２の開閉駆
動用の駆動部としての駆動ギヤ５２に噛合され
る。駆動ギヤ５２は、予備排気室１０を紙面垂直
方向に貫通する軸５４に固定される。これによ
り、予備排気室１０の着脱に応じて駆動ギヤ５２
と従動ギヤ４４とが係脱することになる。駆動ギ
ヤ５２は、その軸５４に連結されたモータ等によ
り回動される。なお、この軸５４を手動で回動さ
せるようににしてもよい。

予備排気室１０の側壁１４には、試料導入棒５
６が貫設される。試料導入棒５６の先端細径部５
８は、試料支持台６０のねじ切り孔６２にはいり
込んでいる。試料支持台６０の上面に試料ホルダ
ー６４がのせられる。この試料ホルダー６４に図
示しない試料が収納される。予備排気室１０の下
壁１６には、排気口６６が形成される。その排気
口６６が形成されたその下壁１６の外面突部６８
に排気管７０が接続される。排気管７０は図示し
ない排気ポンプに連結される。なお、符号７２は
気密保持用Ｏリングである。

次に作用を説明する。試料室２２内に新たに試
料を導入する際には、まず、蝶ねじ２６，２８に
より予備排気室１０を規定する壁体を試料室２２
の側壁２４に取り付ける。これにより、駆動ギヤ
５２が従動ギヤ４４に噛合する。その後、排気ポ
ンプを駆動して予備排気室１０内の空気を排気口
６６から抜き、予備排気室１０内を真空状態にす
る。予備排気室１０内が真空状態になつたとき、
モータを駆動して駆動ギヤ５２の軸５４を回転さ
せる。この軸５４が回転して駆動ギヤ５２が回転
すると、これと噛合する従動ギヤ４４も回転す
る。従動ギア４４が回転すると、その回転軸４２
を介して連結棒５０が、図上、反時計方向に回転
する。このとき、ゲートバルブ３２の蝶ねじ３４
は既に取外されているものとする。そうすると、
ゲートバルブ３２も図上、反時計方向に回転す
る。ゲートバルブ３２が完全に回転し切つて、図
上、１点鎖線の位置にまでくると、前記モータの
駆動を停止する。この状態で、試料導入棒５６を
図上、左方に押し進めて試料支持台６０を試料導
入窓３０を通つて試料室２２内に入れる。試料室
２２内の所定の位置に試料支持台６０がセツトさ
れたとき、試料導入棒５６の先端細径部５８を試
料支持台６０のねじ切り孔６２から抜き取つて、
試料導入棒５６を図上右方へ引き戻す。試料導入
棒５６が予備排気室１０内に引き戻されたとき
に、今度はモータを逆方向に駆動してゲートバル
ブ３２を図上、時計方向に回転させて試料導入窓
３０を閉塞させる。こうして、試料の試料室２２
にセツトした後、蝶ねじ２６，２８を外して予備
排気室１０を試料室２２から取外す。これに伴
い、駆動ギヤ５２が従動ギヤ４４から離脱する。

以上説明したように、本考案によれば、上述し
た構成を有するので、予備排気室を取り外したと
きには、エアロツクバルブと予備排気室とを機構
的に完全に分離することができ、逆に、予備排気
室を試料室に装着したときは始めて駆動部が従動
部に係合してエアロツクバルブの開閉動作が可能
となる。このため、試料室内の真空状態を損なう
ことなく、予備排気室を試料室に対して着脱する
ことができる。そのため、分析操作等を安全にし
かも容易に行うことができる他、狭いスペースで
あつても大きな試料を導入することができる。ま
た、本考案によれば、試料導入部の蒸着、冷却な
どの前処理機能を付加することもでき、複数の試
料導入部を用意し、必要に応じて任意の試料導入
部を選択的に使用するように構成することができ
る等の効果が発揮される。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来技術の外観構成図、第２図は本考
案の一実施例の断面図である。 １０……予備排気室、２２……試料室、２４…
…側壁、２６，２８……蝶ねじ、３０……試料導
入窓、３２……ゲートバルブ、４４……従動ギ
ヤ、５０……連結棒、５２……駆動ギヤ、５６…
…試料導入棒、６０……試料支持台、６６……排
気口、７０……排気管。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 試料室の側壁に形成された試料導入窓と、前記
   側壁の外面に設けられた試料導入窓閉塞用のエア
   ロツクバルブと、試料導入手段および排気口を有
   する予備排気室とを備えた試料導入装置におい
   て、 前記予備排気室は、前記試料導入窓およびエア
   ロツクバルブを覆つて前記側壁の外面に着脱可能
   に取り付けられ、かつ、この予備排気室には前記
   エアロツクバルブ開閉駆動用の駆動ギヤが枢支さ
   れる一方、 前記エアロツクバルブは、その一端が前記側壁
   の外面に沿つて平行に配設された回転軸に固定さ
   れ、この回転軸には前記予備排気室の着脱に応じ
   て前記駆動ギヤに噛合、離間する従動ギヤが固着
   されていることを特徴とする試料導入装置。