JPS5849568Y2 - 電子顕微鏡等における試料装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は電子顕微鏡等において試料を対物レンズめレン
ズ中心に保持するための試料装置に関する。

電子顕微鏡においては大角度の試料傾斜が容易に得られ
るために、試料を光軸と直交する方向から挿入するいわ
ゆるサイドエントリータイプの試料装置が用いられてい
る。

このような装置における試料移動機構としては試料を保
持する試料ホルダーの鏡体への取付位置に対して反対側
の位置に駆動機構を設け、該駆動機構と試料ホルダーの
先端（真空側）とを連結棒にて連結し、試料ホルダーを
軸心方向に移動させることにより試料を移動させるもの
が使用されている。

しかし乍ら斯様な試料移動機構においては、試料交換を
行う関係上試料ホルダーはオーリングバッキングを介し
て鏡体に取り外し可能に挿入されているため、試料ホル
ダーには常に大気圧の力が作用している。

又試料ホルダーの試料を保持している部分は対物レンズ
の上磁極と下磁極との間隔を狭くするために、できるだ
け薄い厚さに形成されている。

従って大気圧により試料ホルダーの試料を保持している
部分にたわみが生じ、それによって試料が光軸方向に微
動し、フォーカスずれが生じる。

その結果観察途中でその都度フォーカス合せを行なわな
ければならず、取扱いが非常に厄介である。

又真空シール用のオーリングバッキングの摩擦により、
スムーズな試料移動を与えることが難かしい。

本考案は斯様な不都合を解決することを目的とするもの
で、以下図面に基づき詳説する。

添付図面は本考案の一実施例を示す断面図であり、１は
鏡体、例えばレンズヨーク外壁又は試料ステージである
。

２は該鏡体１の側壁に回転可能に取付けられた筒状の傾
斜体で該傾斜体の回転中心は電子線光軸Ｚと直交するよ
うにおかれており又該傾針体２の内側には球体軸受３を
介して筒体４が回動自在に取付けである。

該筒体４の内側にはオーリングバッキング５により真空
を保った状態で試料ホルダー６が移動可能に挿入されて
おり、この筒体４と試料ホルダー６との間にはキー及び
キー溝（図示せず）が設けてあって互いの回転が阻止さ
れている。

前記試料ホルダー６の真空側の端部には試料台γが移動
可能に挿入されており、該試料台７はスプリング８によ
り試料ホルダー６から常に飛び出すように押圧されてい
る。

該試料台７には試料ホルダー６に設けたキー溝りａ内に
嵌合されたキー９ｂが設けてあり、試料台が試料ホルダ
ーからはずれるのを防止している又試料台７の先端は対
物レンズの上磁極１０ａと下磁極１０ｂとの間に挿入さ
れており、更に該試料台７の光軸と交叉する部分には試
料１１が保持されている。

１２は試料ホルダー６の鏡体１への挿入位置と反対側の
位置におかれた移動杆で、該移動杆の軸心は前記傾斜体
２の軸心の延長線上におかれており、又該移動杆１２の
真空側は連結棒１３を介して前記試料台７の先端に連結
されている。

該移動杆１２の他端は大気中に出されていて、鏡体１に
回転可能に取付けられたテコ体１４の一端に係合されて
いる。

該テコ体１４の他端には鏡体１に螺合されたネジ棒１５
が係合されている。

１６は移動杆１２が大気圧により鏡体に押し込まれるの
を防止するためのスプリングである。

今、該ネジ棒１５を回して前後移動させると、テコ体１
４を介してその前後移動が移動杆１２に伝達されるため
、連結棒１３を介して試料台７がスプリング８の押圧力
に抗して或いは押圧力にて図中左右（Ｘ方向に移動する
。

従って試料１１がＸ方向に移動する。

又試料１１をＸ軸と直交するＹ方向（図示せず）に移動
させるには筒体４を球体軸受３を中心にて図面中紙面に
対して垂直方向に回動させればよい。

更に傾斜体２を回転させると球体軸受３及び筒体４を介
して試料ホルダー６が回転するため、試料１１を傾斜さ
せることができる。

斯様な構成となせば、試料１１を保持する試料台Ｉは真
空中におかれるため、大気圧に関係なくスプリング８の
力で動かされる。

そのため従来のように試料台がたわむことがなくなるの
で、観察中にフォーカスずれが発生するようなことがな
くなり、更に試料をスムーズに移動させることができる
効果を有し、実用性大である。

尚前述の実施例では移動杆１２をテコ体１４を介してネ
ジ棒１５で移動させるように構成したが、移動杆１２を
設けることなく、鏡体１の側壁にネジ棒１５を螺合させ
ることにより連結棒１３を直接駆動するように構成して
もよい。

この場合においてスプリング１６が不要になる。

又筒体４と試料ホルダー６との間に設ける真空シール部
材としてオーリングバッキング５を使用したが、ガスケ
ットタイプの真空シールを使用してもよい。

この場合にはシール部材からのガス放出による試料の汚
染がなくなる点で有利である。

尚前述の実施例では試料台に１個の試料を保持させたが
、試料を２個以上設置してもよい。

【図面の簡単な説明】

添付図面は本考案の一実施例を示す断面図である。 図中１は鏡体、２は傾斜体、３は球体軸受、４は筒体、
５はオーリングバッキング、６は試料ホルダー、７は試
料台、８はスプリング、９ａ及び９ｂはキー溝及びキー
、１０ａ及び１０ｂは対物レンズの上磁極及び下磁極、
１１は試料、１２は移動杆、１３は連接棒、１４はテコ
体、１５はネジ棒、１６はスプリングである。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 試料を保持した試料ホルダーを鏡体壁に貫通させると共
   にこの試料ホルダーの先端を試料ホルダーの挿入位置と
   反対側に設けられた移動手段に係合させることにより試
   料ホルダーを軸心方向に移動させて試料の移動を行なう
   ようになした装置において、前記試料ホルダーを真空内
   で分割し、この分割された試料ホルダーの内、一方の大
   気に接する部分は鏡体壁又は試料駆動機構に取り付け、
   他方の試料を保持する部分は試料ホルダーの軸心方向に
   移動できるように前記一方の部分に挿入し、更に該試料
   を保持している部分を押圧して前記移動手段に係合させ
   るための弾性体を設けてなる電子顕微鏡等における試料
   装置。