JPH02181351A - 電子顕微鏡用バルク試料ホールダ - Google Patents
電子顕微鏡用バルク試料ホールダInfo
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- JPH02181351A JPH02181351A JP64000336A JP33689A JPH02181351A JP H02181351 A JPH02181351 A JP H02181351A JP 64000336 A JP64000336 A JP 64000336A JP 33689 A JP33689 A JP 33689A JP H02181351 A JPH02181351 A JP H02181351A
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- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
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- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F17/00—Fixed inductances of the signal type
- H01F17/04—Fixed inductances of the signal type with magnetic core
- H01F17/06—Fixed inductances of the signal type with magnetic core with core substantially closed in itself, e.g. toroid
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04B—TRANSMISSION
- H04B15/00—Suppression or limitation of noise or interference
- H04B15/02—Reducing interference from electric apparatus by means located at or near the interfering apparatus
-
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- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F17/00—Fixed inductances of the signal type
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- H01F17/06—Fixed inductances of the signal type with magnetic core with core substantially closed in itself, e.g. toroid
- H01F2017/065—Core mounted around conductor to absorb noise, e.g. EMI filter
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は電子顕微鏡用サイドエントリー試料ステージに
係り、特にサイドエントリー試料ステージを有する走査
電子顕微鏡に用いるのに好適なバルク試料ホールダに関
する。
係り、特にサイドエントリー試料ステージを有する走査
電子顕微鏡に用いるのに好適なバルク試料ホールダに関
する。
従来のバルク試料ホールダは、一般に透過電子顕微鏡の
特殊試料に用いていたもので、被検試料は試料受皿に接
着して搭載し、該試料受皿を可動式支持体で挾みつけ、
視野窓を設けた試料ホールダ先端下面に保持する構造を
有していた。又、試料厚さの異なる場合には、試料受皿
の下部にスペーサ板を組み合せて、上げ底式による試料
高さ調節を行なっていた。
特殊試料に用いていたもので、被検試料は試料受皿に接
着して搭載し、該試料受皿を可動式支持体で挾みつけ、
視野窓を設けた試料ホールダ先端下面に保持する構造を
有していた。又、試料厚さの異なる場合には、試料受皿
の下部にスペーサ板を組み合せて、上げ底式による試料
高さ調節を行なっていた。
走査電子顕微鏡に於ける一般的な試料ｗｔ察方法には、
試料表面を有りのままｗｔ察することが重要である為に
ほとんどの試料は厚さ等の加工を行なわない場合が多く
、試料の厚さが一定しない。−方、試料はユーセントリ
ック傾斜位置によるａ察を容易とする為に、搭載試料の
高さ位置合せが不可欠となり、多くの場合にはスペーサ
板等を用いた高さ調節が行なわれている。又、これらの
試料は試料受皿に接着固定して′おり、接着剤による試
料汚染の問題、接着不備による試料脱落の問題が発生し
ており、本発明の目的はこれらの開運を解決し、試料高
さ合せを簡易にしたバルク試料ホールダを提供すること
にある。
試料表面を有りのままｗｔ察することが重要である為に
ほとんどの試料は厚さ等の加工を行なわない場合が多く
、試料の厚さが一定しない。−方、試料はユーセントリ
ック傾斜位置によるａ察を容易とする為に、搭載試料の
高さ位置合せが不可欠となり、多くの場合にはスペーサ
板等を用いた高さ調節が行なわれている。又、これらの
試料は試料受皿に接着固定して′おり、接着剤による試
料汚染の問題、接着不備による試料脱落の問題が発生し
ており、本発明の目的はこれらの開運を解決し、試料高
さ合せを簡易にしたバルク試料ホールダを提供すること
にある。
試料は、試料ホールダの視野窓の反対側から、試料高さ
基準となる凹面を設けて、この凹面と直接、試料観察面
を重ね合せて搭載する、この場合試料は、弓形に曲げた
バネを伴なった蓋を閉じることによりバネ圧を受けて高
さ基準面を有した凹面に密着保持される構造とした。さ
らに蓋の開閉支持部には鍵形凸面とバネ付口金を設けて
蓋の開閉を簡易構造とした。
基準となる凹面を設けて、この凹面と直接、試料観察面
を重ね合せて搭載する、この場合試料は、弓形に曲げた
バネを伴なった蓋を閉じることによりバネ圧を受けて高
さ基準面を有した凹面に密着保持される構造とした。さ
らに蓋の開閉支持部には鍵形凸面とバネ付口金を設けて
蓋の開閉を簡易構造とした。
試料は、試料高さ基準面を有した凹面と密着保持される
為に、試料受皿および試料高さ合わせ調節作業がなくな
り、又、バネ保持式により非接着構造となり、接着剤に
よる汚染が皆無と成った。
為に、試料受皿および試料高さ合わせ調節作業がなくな
り、又、バネ保持式により非接着構造となり、接着剤に
よる汚染が皆無と成った。
さらに蓋付構造により試料の脱落が無くなりさらに試料
の出し入れも簡易なバルク試料ホールダが出来た。
の出し入れも簡易なバルク試料ホールダが出来た。
以下、本発明の一実施例を第１，２図により説明する。
第１図は試料ａｍ時の試料ホールダの状態を示す。第２
図は試料を搭載する際の試料ホールダの状態を示し、第
１図を１８０°回転しである。サイドエントリー試料ス
テージ用試料ホールダ１の先端部には、試料に電子線を
照射する入口である視野窓１４が施され、視野窓１４の
正反対側に第２図に示す如く視野窓１４より大きな凹面
１５を設け、この底面深さ寸法は搭載試料高さ基準寸法
と同等に施しである。この凹面１５の中に試料１３を観
察面を視野窓１４側に向けて落し込む。又、試料ホール
ダ１の凹面１５より先端側には、支軸２を介して蓋５が
支持金具３、ネジ４により支持しである。蓋５の内側に
は板バネ６．７がネジ８により片側を固定しており、こ
の板バネ６．７は弓形に曲げを施し６は７より曲げＲが
同等以下に施され、第１図の如く蓋５を閉じると板バネ
６．７の弓形面が試料１３の丁度裏面を押し当てるよう
に設けである。さらに蓋５の支軸２と反対端部には、傾
斜面および鍵形を有した凸面１６が設けである。又、試
料ホールダ１の凹面１５より手前側にはシリンダー１０
が頭部に口金９を軸形を有して回転するように支持され
、さらにシリンダー１０の軸形本体内部にはコイルバネ
１１を仕込んでシリンダ受１２によって試料ホールダ１
に組み込まれ口金９と蓋５の凸面１６ｖＩ形部が密接す
るように構成されている。
図は試料を搭載する際の試料ホールダの状態を示し、第
１図を１８０°回転しである。サイドエントリー試料ス
テージ用試料ホールダ１の先端部には、試料に電子線を
照射する入口である視野窓１４が施され、視野窓１４の
正反対側に第２図に示す如く視野窓１４より大きな凹面
１５を設け、この底面深さ寸法は搭載試料高さ基準寸法
と同等に施しである。この凹面１５の中に試料１３を観
察面を視野窓１４側に向けて落し込む。又、試料ホール
ダ１の凹面１５より先端側には、支軸２を介して蓋５が
支持金具３、ネジ４により支持しである。蓋５の内側に
は板バネ６．７がネジ８により片側を固定しており、こ
の板バネ６．７は弓形に曲げを施し６は７より曲げＲが
同等以下に施され、第１図の如く蓋５を閉じると板バネ
６．７の弓形面が試料１３の丁度裏面を押し当てるよう
に設けである。さらに蓋５の支軸２と反対端部には、傾
斜面および鍵形を有した凸面１６が設けである。又、試
料ホールダ１の凹面１５より手前側にはシリンダー１０
が頭部に口金９を軸形を有して回転するように支持され
、さらにシリンダー１０の軸形本体内部にはコイルバネ
１１を仕込んでシリンダ受１２によって試料ホールダ１
に組み込まれ口金９と蓋５の凸面１６ｖＩ形部が密接す
るように構成されている。
以上の如く構成された本実施例によれば、試料ホールダ
１を第２図の如く凹面１５を上向きに置いて、試料１３
の観察面を下向きに落し込み、蓋５を口金９側に押し倒
すと蓋５は支軸２を支点として口金９側に閉じます、こ
の場合、口金９と凸面１６に設けた傾斜面とが重さなる
ように構成されており、口金９は回りながらシリンダ１
０を傾斜面から外れるまで図の右方向へスライドさせ再
びコイルバネ１１により押し戻されて、凸面１６の鍵形
面に密接支持すると同時に、試料１３は板バネ６．７に
よって凹面１５の底面に密着保持される。この為に、試
料のＩｌＩ察面ば凹面と密着することにより必然的に基
準試料高さに保持される。
１を第２図の如く凹面１５を上向きに置いて、試料１３
の観察面を下向きに落し込み、蓋５を口金９側に押し倒
すと蓋５は支軸２を支点として口金９側に閉じます、こ
の場合、口金９と凸面１６に設けた傾斜面とが重さなる
ように構成されており、口金９は回りながらシリンダ１
０を傾斜面から外れるまで図の右方向へスライドさせ再
びコイルバネ１１により押し戻されて、凸面１６の鍵形
面に密接支持すると同時に、試料１３は板バネ６．７に
よって凹面１５の底面に密着保持される。この為に、試
料のＩｌＩ察面ば凹面と密着することにより必然的に基
準試料高さに保持される。
又、試料厚さの異なる場合でも板バネ弓形がほぼ平らと
なるまでの試料厚さの物を挿入可能と成り、さらに本実
施例では省略したが、試料と板バネの間にスペーサ板を
挿入して試料保持力の調整や。
なるまでの試料厚さの物を挿入可能と成り、さらに本実
施例では省略したが、試料と板バネの間にスペーサ板を
挿入して試料保持力の調整や。
試料が視野窓より小さい場合には試料より小さな窓を設
けた薄膜厚さのスペーサ板を先に凹面に挿入してから試
料を搭載することが出来る。この結果、非接着による汚
染防止、および、蓋付による試料脱落防止に効果の著る
しい、かつ簡易形の、サイドエントリー試料ステージの
ユーセントリックバルク試料ホールダが得られた。
けた薄膜厚さのスペーサ板を先に凹面に挿入してから試
料を搭載することが出来る。この結果、非接着による汚
染防止、および、蓋付による試料脱落防止に効果の著る
しい、かつ簡易形の、サイドエントリー試料ステージの
ユーセントリックバルク試料ホールダが得られた。
本発明によれば、試料搭載作業は約１／１０時間以下に
短縮され、かつ接着剤による試料汚染および試料脱落が
皆無と成り試料作成や試料搭載のやり直しが無くなる効
果がある。
短縮され、かつ接着剤による試料汚染および試料脱落が
皆無と成り試料作成や試料搭載のやり直しが無くなる効
果がある。
又、放射線を含んだホットサンプル等は一般にマニュプ
レータ操作により行なわれる為、簡易な本ホールダによ
り試料の取扱が容易と成った。
レータ操作により行なわれる為、簡易な本ホールダによ
り試料の取扱が容易と成った。
第１図は本発明の一実施例のバルク試料ホールダの先端
部に試料を搭載して試料観察時の向きに置かれた横断面
図、第２図は第１図を軸方向に１８０°回転して置かれ
た試料搭載時の横断面図である。 １・・・試料ホールダ、２・・・支軸、３・・・支持金
具、４・・・ネジ、５・・・蓋、６・・・板バネ、７・
・・板バネ、８・・・ネジ、９・・・口金、１０・・・
シリンダー １１・・・コイルバネ、 １２・・・シリンダー受。 １３・・・試料、
部に試料を搭載して試料観察時の向きに置かれた横断面
図、第２図は第１図を軸方向に１８０°回転して置かれ
た試料搭載時の横断面図である。 １・・・試料ホールダ、２・・・支軸、３・・・支持金
具、４・・・ネジ、５・・・蓋、６・・・板バネ、７・
・・板バネ、８・・・ネジ、９・・・口金、１０・・・
シリンダー １１・・・コイルバネ、 １２・・・シリンダー受。 １３・・・試料、
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、試料ホールダ先端部に設けた凹面部に、被検試料を
挿入して該試料を保持する構造を有した電子顕微鏡用サ
イドエントリー試料ステージのバルク試料ホールダにお
いて、該凹面部と向き合つて、内側にバネを備えた蓋を
設けたことを特徴とする電子顕微鏡用バルク試料ホール
ダ。 ２、特許請求の範囲第１項において、前記蓋の一方の端
は支軸を設け、もう一方の端には傾斜面を有した鍵形の
凸面を設けて、該凸面をバネを伴つた口金で支持したこ
とを特徴とする電子顕微鏡用バルク試料ホールダ。 ３、特許請求の範囲第１項において、前記バネに板バネ
を用いて弓形に施し、弓形を前記該凹面と向き合つて設
けたことを特徴とする電子顕微鏡用バルク試料ホールダ
。 ４、特許請求の範囲第２項において、前記口金を軸形に
設け、シリンダーに回転支持する、又、前記該バネには
コイルバネを用いて、シリンダーに組み組む、このシリ
ンダーを介して伴なつた両者により、前記該凸面を支持
したことを特徴とする電子顕微鏡用バルク試料ホールダ
。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP64000336A JP2776858B2 (ja) | 1989-01-06 | 1989-01-06 | 電子顕微鏡用バルク試料ホールダ |
| DE19893941915 DE3941915A1 (de) | 1989-01-06 | 1989-12-19 | Anordnung zur daempfung unerwuenschter elektromagnetischer wellen |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP64000336A JP2776858B2 (ja) | 1989-01-06 | 1989-01-06 | 電子顕微鏡用バルク試料ホールダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02181351A true JPH02181351A (ja) | 1990-07-16 |
| JP2776858B2 JP2776858B2 (ja) | 1998-07-16 |
Family
ID=11471046
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP64000336A Expired - Fee Related JP2776858B2 (ja) | 1989-01-06 | 1989-01-06 | 電子顕微鏡用バルク試料ホールダ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2776858B2 (ja) |
| DE (1) | DE3941915A1 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6335483B1 (en) | 1997-07-29 | 2002-01-01 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Noise-suppressing component |
| KR100719711B1 (ko) * | 2005-12-28 | 2007-05-17 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 전자 주사 현미경의 시료 고정장치 |
| JP2008218167A (ja) * | 2007-03-02 | 2008-09-18 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
| JP2010056078A (ja) * | 2008-07-28 | 2010-03-11 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置用の試料ホルダ |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04363007A (ja) * | 1991-01-24 | 1992-12-15 | Nikko Kogyo Kk | 信号弁別器 |
| DE50100179D1 (de) * | 2000-01-11 | 2003-05-28 | Kabelwerk Eupen Ag Eupen | Arbeitsplatz |
| DE10338697A1 (de) * | 2003-08-22 | 2005-03-24 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Vorrichtung und Verfahren zum Überwachen einer Leitung |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6148647U (ja) * | 1984-08-31 | 1986-04-01 |
-
1989
- 1989-01-06 JP JP64000336A patent/JP2776858B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1989-12-19 DE DE19893941915 patent/DE3941915A1/de not_active Withdrawn
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6148647U (ja) * | 1984-08-31 | 1986-04-01 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US6335483B1 (en) | 1997-07-29 | 2002-01-01 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Noise-suppressing component |
| KR100719711B1 (ko) * | 2005-12-28 | 2007-05-17 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 전자 주사 현미경의 시료 고정장치 |
| JP2008218167A (ja) * | 2007-03-02 | 2008-09-18 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
| JP2010056078A (ja) * | 2008-07-28 | 2010-03-11 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置用の試料ホルダ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2776858B2 (ja) | 1998-07-16 |
| DE3941915A1 (de) | 1990-07-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |