JP2776858B2 - 電子顕微鏡用バルク試料ホールダ - Google Patents
電子顕微鏡用バルク試料ホールダInfo
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- JP2776858B2 JP2776858B2 JP64000336A JP33689A JP2776858B2 JP 2776858 B2 JP2776858 B2 JP 2776858B2 JP 64000336 A JP64000336 A JP 64000336A JP 33689 A JP33689 A JP 33689A JP 2776858 B2 JP2776858 B2 JP 2776858B2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F17/00—Fixed inductances of the signal type
- H01F17/04—Fixed inductances of the signal type with magnetic core
- H01F17/06—Fixed inductances of the signal type with magnetic core with core substantially closed in itself, e.g. toroid
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04B—TRANSMISSION
- H04B15/00—Suppression or limitation of noise or interference
- H04B15/02—Reducing interference from electric apparatus by means located at or near the interfering apparatus
-
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- H01F17/06—Fixed inductances of the signal type with magnetic core with core substantially closed in itself, e.g. toroid
- H01F2017/065—Core mounted around conductor to absorb noise, e.g. EMI filter
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- Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は電子顕微鏡用サイドエントリー試料ステージ
に係り、特にサイドエントリー試料ステージを有する走
査電子顕微鏡に用いるのに好適なバルク試料ホールダに
関する。
に係り、特にサイドエントリー試料ステージを有する走
査電子顕微鏡に用いるのに好適なバルク試料ホールダに
関する。
従来のバルク試料ホールダは、一般に透過電子顕微鏡
の特殊試料に用いていたもので、被検試料は試料受皿に
接着して搭載し、該試料受皿を可動式支持体で挾みつ
け、視野窓を設けた試料ホールダ先端下面に保持する構
造を有していた。又、試料厚さの異なる場合には、試料
受皿の下部にスペーサ板を組み合せて、上げ底式による
試料高さ調節を行なつていた。
の特殊試料に用いていたもので、被検試料は試料受皿に
接着して搭載し、該試料受皿を可動式支持体で挾みつ
け、視野窓を設けた試料ホールダ先端下面に保持する構
造を有していた。又、試料厚さの異なる場合には、試料
受皿の下部にスペーサ板を組み合せて、上げ底式による
試料高さ調節を行なつていた。
〔発明が解決しようとする課題〕 走査電子顕微鏡に於ける一般的な試料観察方法には、
試料表面を有りのまま観察することが重要である為にほ
とんどの試料は厚さ等の加工を行なわない場合が多く、
試料の厚さが一定しない。一方、試料はユーセントリツ
ク傾斜位置による観察を容易とする為に、搭載試料の高
さ位置合せが不可欠となり、多くの場合にはスペーサ板
等を用いた高さ調節が行なわれている。又、これらの試
料は試料受皿に接着固定しており、接着剤による試料汚
染の問題、接着不備による試料脱落の問題が発生してお
り、本発明の目的はこれらの問題を解決し、試料高さ合
せを簡易にしたバルク試料ホールダを提供することにあ
る。
試料表面を有りのまま観察することが重要である為にほ
とんどの試料は厚さ等の加工を行なわない場合が多く、
試料の厚さが一定しない。一方、試料はユーセントリツ
ク傾斜位置による観察を容易とする為に、搭載試料の高
さ位置合せが不可欠となり、多くの場合にはスペーサ板
等を用いた高さ調節が行なわれている。又、これらの試
料は試料受皿に接着固定しており、接着剤による試料汚
染の問題、接着不備による試料脱落の問題が発生してお
り、本発明の目的はこれらの問題を解決し、試料高さ合
せを簡易にしたバルク試料ホールダを提供することにあ
る。
試料は、試料ホールダの視野窓の反対側から、試料高
さ基準となる凹面を設けて、この凹面と直線、試料観察
面を重ね合せて搭載する、この場合試料は、弓形に曲げ
たバネを伴なつた蓋を閉じることによりバネ圧を受けて
高さ基準面を有した凹面に密着保持される構造とした。
さらに蓋の開閉支持部には鍵形凸面とバネ付口金を設け
て蓋の開閉を簡易構造とした。
さ基準となる凹面を設けて、この凹面と直線、試料観察
面を重ね合せて搭載する、この場合試料は、弓形に曲げ
たバネを伴なつた蓋を閉じることによりバネ圧を受けて
高さ基準面を有した凹面に密着保持される構造とした。
さらに蓋の開閉支持部には鍵形凸面とバネ付口金を設け
て蓋の開閉を簡易構造とした。
試料は、試料高さ基準面を有した凹面と密着保持され
る為に、試料受皿および試料高さ合わせ調節作業がなく
なり、又、バネ保持式により非接着構造となり、接着剤
による汚染が皆無と成つた。さらに蓋付構造により試料
の脱落が無くなりさらに試料の出し入れも簡易なバルク
試料ホールダが出来た。
る為に、試料受皿および試料高さ合わせ調節作業がなく
なり、又、バネ保持式により非接着構造となり、接着剤
による汚染が皆無と成つた。さらに蓋付構造により試料
の脱落が無くなりさらに試料の出し入れも簡易なバルク
試料ホールダが出来た。
以下、本発明の一実施例を第1,2図により説明する。
第１図は試料観察時の試料ホールダの状態を示す。第２
図は試料を搭載する際の試料ホールダの状態を示し、第
１図を180°回転してある。サイドエントリー試料ステ
ージ用試料ホールダ１の先端部には、試料に電子線を照
射する入口である視野窓14が施され、視野窓14の正反対
側に第２図に示す如く視野窓14より大きな凹面15を設
け、この底面深さ寸法は搭載試料高さ基準寸法と同等に
施してある。この凹面15の中に試料13を観察面を視野窓
14側に向けて落し込む。又、試料ホールダ１の凹面15よ
り先端側には、支軸２を介して蓋５が支持金具３、ネジ
４により支持してある。蓋５の内側には板バネ6,7がネ
ジ８により片側を固定しており、この板バネ6,7は弓形
に曲げを施し６は７より曲げＲが同等以下に施され、第
１図の如く蓋５を閉じると板バネ6,7の弓形面が試料13
の丁度裏面を押し当てるように設けてある。さらに蓋５
の支軸２と反対端部には、傾斜面および鍵形を有した凸
面16が設けてある。又、試料ホールダ１の凹面15より手
前側にはシリンダー10が頭部に口金９を軸形を有して回
転するように支持され、さらにシリンダー10の軸形本体
内部にはコイルバネ11を仕込んでシリンダ受12によつて
試料ホールダ１に組み込まれ口金９と蓋５の凸面16鍵形
部が密接するように構成されている。
第１図は試料観察時の試料ホールダの状態を示す。第２
図は試料を搭載する際の試料ホールダの状態を示し、第
１図を180°回転してある。サイドエントリー試料ステ
ージ用試料ホールダ１の先端部には、試料に電子線を照
射する入口である視野窓14が施され、視野窓14の正反対
側に第２図に示す如く視野窓14より大きな凹面15を設
け、この底面深さ寸法は搭載試料高さ基準寸法と同等に
施してある。この凹面15の中に試料13を観察面を視野窓
14側に向けて落し込む。又、試料ホールダ１の凹面15よ
り先端側には、支軸２を介して蓋５が支持金具３、ネジ
４により支持してある。蓋５の内側には板バネ6,7がネ
ジ８により片側を固定しており、この板バネ6,7は弓形
に曲げを施し６は７より曲げＲが同等以下に施され、第
１図の如く蓋５を閉じると板バネ6,7の弓形面が試料13
の丁度裏面を押し当てるように設けてある。さらに蓋５
の支軸２と反対端部には、傾斜面および鍵形を有した凸
面16が設けてある。又、試料ホールダ１の凹面15より手
前側にはシリンダー10が頭部に口金９を軸形を有して回
転するように支持され、さらにシリンダー10の軸形本体
内部にはコイルバネ11を仕込んでシリンダ受12によつて
試料ホールダ１に組み込まれ口金９と蓋５の凸面16鍵形
部が密接するように構成されている。
以上の如く構成された本実施例によれば、試料ホール
ダ１を第２図の如く凹面15を上向きに置いて、試料13の
観察面を下向きに落し込み、蓋５を口金９側に押し倒す
と蓋５は支軸２を支点として口金９側に閉じます。この
場合、口金９と凸面16に設けた傾斜面とが重さなるよう
に構成されており、口金９は回りながらシリンダ10を傾
斜面から外れるまで図の右方向へスライドさせ再びコイ
ルバネ11により押し戻されて、凸面16の鍵形面に密接支
持すると同時に、試料13は板バネ6,7によつて凹面15の
底面に密着保持される。この為に、試料の観察面は凹面
と密着することにより必然的に基準試料高さに保持され
る。又、試料厚さの異なる場合でも板バネ弓形がほぼ平
らとなるまでの試料厚さの物を挿入可能と成り、さらに
本実施例では省略したが、試料と板バネの間にスペーサ
板を挿入して試料保持力の調整や、試料が視野窓より小
さい場合には試料より小さな窓を設けた薄膜厚さのスペ
ーサ板を先に凹面に挿入してから試料を搭載することが
出来る。この結果、非接着による汚染防止、および、蓋
付による試料脱落防止に効果の著るしい、かつ簡易形
の、サイドエントリー試料ステージのユーセントリツク
バルク試料ホールダが得られた。
ダ１を第２図の如く凹面15を上向きに置いて、試料13の
観察面を下向きに落し込み、蓋５を口金９側に押し倒す
と蓋５は支軸２を支点として口金９側に閉じます。この
場合、口金９と凸面16に設けた傾斜面とが重さなるよう
に構成されており、口金９は回りながらシリンダ10を傾
斜面から外れるまで図の右方向へスライドさせ再びコイ
ルバネ11により押し戻されて、凸面16の鍵形面に密接支
持すると同時に、試料13は板バネ6,7によつて凹面15の
底面に密着保持される。この為に、試料の観察面は凹面
と密着することにより必然的に基準試料高さに保持され
る。又、試料厚さの異なる場合でも板バネ弓形がほぼ平
らとなるまでの試料厚さの物を挿入可能と成り、さらに
本実施例では省略したが、試料と板バネの間にスペーサ
板を挿入して試料保持力の調整や、試料が視野窓より小
さい場合には試料より小さな窓を設けた薄膜厚さのスペ
ーサ板を先に凹面に挿入してから試料を搭載することが
出来る。この結果、非接着による汚染防止、および、蓋
付による試料脱落防止に効果の著るしい、かつ簡易形
の、サイドエントリー試料ステージのユーセントリツク
バルク試料ホールダが得られた。
本発明によれば、試料搭載作業は約1/10時間以下に短
縮され、かつ接着剤による試料汚染および試料脱落が皆
無と成り試料作成や試料搭載のやり直しが無くなる効果
がある。
縮され、かつ接着剤による試料汚染および試料脱落が皆
無と成り試料作成や試料搭載のやり直しが無くなる効果
がある。
又、放射線を含んだホツトサンプル等は一般にマニユ
プレータ操作により行なわれる為、簡易な本ホールダに
より試料の取扱が容易と成つた。
プレータ操作により行なわれる為、簡易な本ホールダに
より試料の取扱が容易と成つた。
第１図は本発明の一実施例のバルク試料ホールダの先端
部に試料を搭載して試料観察時の向きに置かれた横断面
図、第２図は第１図を軸方向に180°回転して置かれた
試料搭載時の横断面図である。 １……試料ホールダ、２……支軸、３……支持金具、４
……ネジ、５……蓋、６……板バネ、７……板バネ、８
……ネジ、９……口金、10……シリンダー、11……コイ
ルバネ、12……シリンダー受、13……試料、14……視野
窓、15……凹面、16……凸面。
部に試料を搭載して試料観察時の向きに置かれた横断面
図、第２図は第１図を軸方向に180°回転して置かれた
試料搭載時の横断面図である。 １……試料ホールダ、２……支軸、３……支持金具、４
……ネジ、５……蓋、６……板バネ、７……板バネ、８
……ネジ、９……口金、10……シリンダー、11……コイ
ルバネ、12……シリンダー受、13……試料、14……視野
窓、15……凹面、16……凸面。
Claims (3)
- 【請求項１】電子線の照射個所に試料を配置するための
試料ホルダにおいて、 該試料ホルダは、前記電子線を通す窓と、前記試料を該
窓に押圧するための弾性体を有する蓋を備え、前記弾性
体は該蓋を閉じることで前記試料を前記電子線の照射方
向とは反対の方向から押圧するように構成されているこ
とを特徴とする試料ホルダ - 【請求項２】請求項１において、前記蓋の一方の端に支
軸を、もう一方の端には傾斜面を有する鍵形の凸部を設
け、該凸部をバネを伴った口金で支持したことを特徴と
する試料ホルダ - 【請求項３】請求項１において、前記弾性体は板バネで
あって、前記蓋に弓形に支持されることを特徴とする試
料ホルダ
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP64000336A JP2776858B2 (ja) | 1989-01-06 | 1989-01-06 | 電子顕微鏡用バルク試料ホールダ |
| DE19893941915 DE3941915A1 (de) | 1989-01-06 | 1989-12-19 | Anordnung zur daempfung unerwuenschter elektromagnetischer wellen |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP64000336A JP2776858B2 (ja) | 1989-01-06 | 1989-01-06 | 電子顕微鏡用バルク試料ホールダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02181351A JPH02181351A (ja) | 1990-07-16 |
| JP2776858B2 true JP2776858B2 (ja) | 1998-07-16 |
Family
ID=11471046
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP64000336A Expired - Fee Related JP2776858B2 (ja) | 1989-01-06 | 1989-01-06 | 電子顕微鏡用バルク試料ホールダ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2776858B2 (ja) |
| DE (1) | DE3941915A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04363007A (ja) * | 1991-01-24 | 1992-12-15 | Nikko Kogyo Kk | 信号弁別器 |
| JP3344695B2 (ja) | 1997-07-29 | 2002-11-11 | 株式会社村田製作所 | ノイズ抑制部品 |
| EP1117285B1 (de) * | 2000-01-11 | 2003-04-23 | Kabelwerk Eupen AG | Arbeitsplatz |
| DE10338697A1 (de) * | 2003-08-22 | 2005-03-24 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Vorrichtung und Verfahren zum Überwachen einer Leitung |
| KR100719711B1 (ko) * | 2005-12-28 | 2007-05-17 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 전자 주사 현미경의 시료 고정장치 |
| JP2008218167A (ja) * | 2007-03-02 | 2008-09-18 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置 |
| JP5255531B2 (ja) * | 2008-07-28 | 2013-08-07 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置用の試料ホルダ |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0310603Y2 (ja) * | 1984-08-31 | 1991-03-15 |
-
1989
- 1989-01-06 JP JP64000336A patent/JP2776858B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1989-12-19 DE DE19893941915 patent/DE3941915A1/de not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02181351A (ja) | 1990-07-16 |
| DE3941915A1 (de) | 1990-07-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |