JP2008218167A - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の荷電粒子線装置のサイドエントリー方式の試料ステージの試料ホルダーには、寸法校正用試料用の試料台が装着される。寸法校正用試料用の試料台は、試料ホルダーの凹部に係合するホルダー装着部と、寸法校正用試を保持する試料貼付部と、ホルダー装着部に対して寸法校正用試料の位置を光軸方向に沿って相対的に移動させるための位置調整機構と、を有する。
【選択図】図1
Description
Claims (19)
- 荷電粒子源と、該荷電粒子源からの荷電粒子線を収束するための収束レンズと、該荷電粒子線を偏向するための偏向コイルと、該荷電粒子線を試料上に収束する対物レンズと、試料を保持するサイドエントリー方式の試料ステージと、を有し、
上記試料ステージは、先端に凹部を備えた試料ホルダーを有し、該試料ホルダーの凹部に、寸法校正用試料用の試料台が装着されるように構成されており、
上記寸法校正用試料用の試料台は、上記試料ホルダーの凹部に係合するホルダー装着部と、該ホルダー装着部の上に設けられ寸法校正用試料を保持する試料貼付部と、上記ホルダー装着部に対して上記寸法校正用試料の位置を光軸方向に沿って相対的に移動させるための位置調整機構と、を有することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1記載の荷電粒子線装置において、上記位置調整機構は、上記ホルダー装着部と上記試料貼付部の間に挿入された調節板によって構成されていることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項1記載の荷電粒子線装置において、上記位置調整機構は、上記試料貼付部の下に設けられた突起部と上記ホルダー装着部に設けられた凹部と、を有し、上記試料貼付部の突起部が上記ホルダー装着部の凹部に係合した状態で、上記試料貼付部は上記ホルダー装着部に対して相対的に移動可能であることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項3記載の荷電粒子線装置において、上記試料貼付部を上記ホルダー装着部に対して離れるように押し出すためのバネが設けられ、上記試料貼付部は、上記寸法校正用試料の両側に配置された2つのネジによって上記ホルダー装着部に保持され、該2つのネジを調節することによって、上記ホルダー装着部に対する上記試料貼付部の位置を変化させることができるように構成されていることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項1記載の荷電粒子線装置において、上記試料貼付部はベース部と、該ベース部の上に突出した台座部と、を有し、該台座部の上に上記寸法校正用試料が装着されていることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項5記載の荷電粒子線装置において、上記試料貼付部のベース部は上記寸法校正用試料の両側に配置された2つのネジによって上記ホルダー装着部に固定されていることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項1記載の荷電粒子線装置において、上記寸法校正用試料用の試料台は導電性且つ非磁性の材料によって形成されていることを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項1記載の荷電粒子線装置において、上記ホルダー装着部は、上記試料ホルダーの凹部に形成された溝に係合する突起を有することを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項1記載の荷電粒子線装置において、上記試料ホルダーの凹部は、上記寸法校正用試料用の試料台に隣接して試料台押さえが収容されるように構成されており、該試料台押さえを、上記凹部の内壁と上記試料台の側面の間の空間内にて移動させることにより、上記試料台を上記凹部内に保持することを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項1記載の荷電粒子線装置において、更にオペレータが命令を入力するための入力装置と、オペレータが入力を行う画面を表示する表示装置を有し、該表示装置は、寸法校正用試料における寸法校正に利用可能な範囲を表示し、同時に、既に寸法校正に使用した位置を表示することを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項10記載の荷電粒子線装置において、上記入力装置を介してオペレータが、既に寸法校正に使用した位置を寸法校正に使用する位置として指定した場合には、上記表示装置にエラーを表示することを特徴とする荷電粒子線装置。
- 請求項10記載の荷電粒子線装置において、上記表示装置は、上記入力装置によってオペレータが入力した既に寸法校正を行った条件に基づいて抽出した寸法校正履歴情報を表示することを特徴とする荷電粒子線装置。
- インレンズ方式の走査電子顕微鏡に用いられるサイドエントリー方式の試料ステージの試料ホルダーに用いられる試料台において、
上記試料ホルダーの凹部に係合するホルダー装着部と、該ホルダー装着部の上に配置された試料貼付部とを有し、該試料貼付部はベース部と該ベース部の上に突出した台座部とを有し、該台座部の上に寸法校正用試料が保持されており、上記ホルダー装着部に対して上記寸法校正用試料の位置を光軸方向に沿って相対的に移動させるための位置調整機構が設けられていることを特徴とする試料台。 - 請求項13記載の試料台において、上記位置調整機構は、上記ホルダー装着部と上記試料貼付部のベース部の間に挿入された調節板によって構成されていることを特徴とする試料台。
- 請求項13記載の試料台において、上記試料貼付部のベース部は上記寸法校正用試料の両側に配置された2つのネジによって上記ホルダー装着部に固定されていることを特徴とする試料台。
- 請求項13記載の試料台において、上記位置調整機構は、上記試料貼付部のベース部の下に設けられた突起部と、該突起部が挿入するための上記ホルダー装着部に設けられた凹部と、上記試料貼付部を上記ホルダー装着部に対して離れるように押し出すためのバネと、該バネに抗して上記試料貼付部を上記ホルダー装着部に対して保持するための2つのネジと、を有し、該2つのネジは上記寸法校正用試料の両側に配置され、且つ、該2つのネジを調節することによって、上記ホルダー装着部に対する上記試料貼付部の位置を変化させることができるように構成されていることを特徴とする試料台。
- インレンズ方式の走査電子顕微鏡に用いられるサイドエントリー方式の試料ステージの試料ホルダーにおいて、
先端に設けられた凹部と、該凹部に装着された寸法校正用試料用の試料台と、を有し、上記試料台は、上記試料ホルダーの凹部に係合するホルダー装着部と、該ホルダー装着部の上に装着され寸法校正用試料を保持する試料貼付部と、上記ホルダー装着部に対して上記寸法校正用試料の位置を光軸方向に沿って相対的に移動させるための位置調整機構と、を有することを特徴とする試料ホルダー。 - 請求項17記載の試料ホルダーにおいて、上記試料貼付部はベース部と該ベース部の上に突出した台座部とを有し、該台座部の上に寸法校正用試料が保持されていることを特徴とする試料ホルダー。
- 請求項17記載の試料ホルダーにおいて、上記試料ホルダーの凹部は、上記寸法校正用試料用の試料台に隣接して試料台押さえが収容されるように構成されており、該試料台押さえを、上記凹部の内壁と上記試料台の側面の間の空間内にて移動させることにより、上記試料台を上記凹部内に保持することを特徴とする試料ホルダー。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105612597A (zh) * | 2013-10-07 | 2016-05-25 | 株式会社日立高新技术 | 带电粒子束装置以及带电粒子束装置用样本保持装置 |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02181351A (ja) * | 1989-01-06 | 1990-07-16 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡用バルク試料ホールダ |
JPH0419951A (ja) * | 1990-05-14 | 1992-01-23 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡用バルク試料ホールダ |
JPH07130316A (ja) * | 1993-11-05 | 1995-05-19 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡用バルク試料ホールダ |
JPH0831363A (ja) * | 1994-07-20 | 1996-02-02 | Hitachi Ltd | 寸法校正試料 |
JP2001084939A (ja) * | 1999-09-17 | 2001-03-30 | Canon Inc | 走査電子顕微鏡の試料ホルダ |
JP2002150988A (ja) * | 2000-11-07 | 2002-05-24 | Hitachi Ltd | パターン検査装置 |
JP2002231171A (ja) * | 2001-01-29 | 2002-08-16 | Nippon Light Metal Co Ltd | 試料保持装置 |
JP2002367551A (ja) * | 2001-06-07 | 2002-12-20 | Hitachi Ltd | 電子線装置 |
JP2003229350A (ja) * | 2002-02-01 | 2003-08-15 | Nikon Corp | ステージ装置及び露光装置 |
JP2003297274A (ja) * | 2002-03-28 | 2003-10-17 | Nippon Light Metal Co Ltd | 試料保持装置 |
WO2003098149A1 (fr) * | 2002-05-20 | 2003-11-27 | Hitachi High-Technologies Corporation | Procede de mesure de la dimension d'un echantillon et microscope electronique a balayage |
JP2006078424A (ja) * | 2004-09-13 | 2006-03-23 | Shimadzu Corp | 走査電子顕微装置 |
-
2007
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Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02181351A (ja) * | 1989-01-06 | 1990-07-16 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡用バルク試料ホールダ |
JPH0419951A (ja) * | 1990-05-14 | 1992-01-23 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡用バルク試料ホールダ |
JPH07130316A (ja) * | 1993-11-05 | 1995-05-19 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡用バルク試料ホールダ |
JPH0831363A (ja) * | 1994-07-20 | 1996-02-02 | Hitachi Ltd | 寸法校正試料 |
JP2001084939A (ja) * | 1999-09-17 | 2001-03-30 | Canon Inc | 走査電子顕微鏡の試料ホルダ |
JP2002150988A (ja) * | 2000-11-07 | 2002-05-24 | Hitachi Ltd | パターン検査装置 |
JP2002231171A (ja) * | 2001-01-29 | 2002-08-16 | Nippon Light Metal Co Ltd | 試料保持装置 |
JP2002367551A (ja) * | 2001-06-07 | 2002-12-20 | Hitachi Ltd | 電子線装置 |
JP2003229350A (ja) * | 2002-02-01 | 2003-08-15 | Nikon Corp | ステージ装置及び露光装置 |
JP2003297274A (ja) * | 2002-03-28 | 2003-10-17 | Nippon Light Metal Co Ltd | 試料保持装置 |
WO2003098149A1 (fr) * | 2002-05-20 | 2003-11-27 | Hitachi High-Technologies Corporation | Procede de mesure de la dimension d'un echantillon et microscope electronique a balayage |
JP2006078424A (ja) * | 2004-09-13 | 2006-03-23 | Shimadzu Corp | 走査電子顕微装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105612597A (zh) * | 2013-10-07 | 2016-05-25 | 株式会社日立高新技术 | 带电粒子束装置以及带电粒子束装置用样本保持装置 |
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