JP2002231171A - 試料保持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 加工や分析、観察等を行う種々の機器に適用
され、各々の機器において、各回の観察等終了のたびに
試料を試料台から取り外し、次回の観察等に必要な方向
や角度に向けて試料を試料台に保持し直す等の手間をか
けることなく、試料を所望の傾斜方向及び／又は傾斜角
度で保持することができる試料保持装置を提供する。 【解決手段】 基端側が機器本体側に取り付けられてこ
の機器本体側から突出する支持部材と、この支持部材の
先端側に回転可能に取り付けられ、試料を保持する試料
ホルダと、試料ホルダを所定の位置で固定し、この試料
ホルダに保持された試料の傾斜方向及び／又は傾斜角度
を段階的に又は無段階的に位置決めする位置規制手段と
を備えている試料保持装置である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、走査型電子顕微鏡
（以下ＳＥＭ）、Ｘ線マイクロアナライザー（以下ＥＰ
ＭＡ）、オージェ電子分光装置（ＸＰＳ）等の分析観察
機器や、集束イオンビーム加工装置等の試料加工機器
や、更には試料の加工と分析観察の両機能を備えた集束
イオンビーム加工観察装置等の試料加工分析観察機器等
のような種々の機器に搭載され、各種の試料を当該機器
の所定の位置に、また、所定の姿勢に保持してその観
察、測長、分析、加工等を行う試料保持装置に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】近年、高集積化、超微細化が進むＵＬＳ
Ｉの分野や、より高度な機能や特性が求められる材料開
発の分野等においては、半導体や金属材料等の各種の試
料をより高い加工精度で作製し、また、より高い位置精
度で分析及び／又は観察する必要が生じている。更に、
これらの試料においては、試料の形状や試料自体に特徴
的な構造を有すること等から、一つの試料を複数の方向
や角度から加工、分析、観察を必要とする場合がある。

【０００３】上記の加工、分析、観察を行うには、試料
を各々の機器の試料室に入れるが、その試料室の内部
は、試料を保持させる試料台、その試料台をセットする
試料ステージ、試料に対して電子線やイオンビームを照
射することにより試料から発せられるＸ線や二次電子等
の信号を検出する検出器、及び／又は試料を観察する対
物レンズ等で構成される。試料を複数の角度や方向から
加工、分析、観察を行う場合、試料を保持した試料台を
セットする試料ステージを傾斜させるのが一般的であ
る。しかしながら、上記のように試料室の内部は複数の
ものが存在し、かつ、これら電子光学コラムや検出器等
は、観察、分析等に必要な試料から発せられる信号強度
を充分得るため、それらは互いに近い位置に配置されて
いる。そこで、試料のセットされた試料ステージを所望
の方向や角度に傾斜させようとしても、互いの構成物が
干渉したり、あるいは、はじめから機器本体自体の傾斜
機能が制限されていること等があり、これらの機器では
必ずしも充分な試料傾斜機能を備えているとは言えな
い。

【０００４】実際にこれらの機器を使用しての観察等で
は、試料の観察等を一度終了するたびに、機器の試料室
から試料のセットされた試料台を取り出し、試料が接着
剤等で接着固定されている場合は試料を剥がし取り、あ
るいは、固定治具で留められている場合は固定治具を外
し、次回の観察等に必要な方向あるいは面に向けて試料
を再度試料台に取り付け、あらためて試料台を試料室内
の試料ステージにセットする必要がある。また、試料を
取り付ける方向や面を変えても、機器の試料傾斜機能で
は、所望の傾斜角度が得られない場合は、あらかじめ所
定の傾斜角度を有した試料台を使用して試料を取り付
け、機器の試料傾斜機能と併せて観察等を行う必要があ
る。つまり、機器が備える試料傾斜機能が充分ではない
と、上記のように多くの段取りを必要とするため手間が
かかり観察等の効率が悪くなるほか、一度観察等を行う
たびに試料の着脱をする必要があるため、試料の損傷や
汚染、変形、歪み等を引き起こす原因にもなる。さら
に、機器の試料傾斜機能には使用範囲があり、どうして
も得られない傾斜角度が存在し、充分な観察等が行えな
いといった大きな問題があった。

【０００５】従来において、上記のような機器の傾斜機
能を補充するような試みがなされてきた。例えば特開平
１０−１７２４８４号公報では、走査型電子顕微鏡（Ｓ
ＥＭ）等の荷電粒子装置において、試料ステージの傾斜
機能に加えて、試料に電子線を照射する電子光学コラム
側にも傾斜機能を持たせる方法が提案されている。しか
し、上記のような方法では、電子光学コラム側に傾斜機
能を持たせることで従来の機器よりコスト高になってし
まうほか、試料ステージの傾斜機能と電子光学コラム側
の傾斜機能との関係で傾斜の精度調整が難しくなり、さ
らに機器の操作が複雑化することが考えられる。また、
既設の機器には上記手段を適用することができない等の
問題もある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明者ら
は、種々の機器に搭載されて各種の試料を当該機器の所
定の位置に、また、所定の姿勢に保持する試料保持装置
について、試料を所望の傾斜方向及び／又は傾斜角度に
保持して位置決めすることができる手段について鋭意検
討し、本発明を完成した。

【０００７】従って、本発明の目的は、試料を所定の位
置に所定の姿勢で保持してその加工や分析、観察等を行
う必要のある種々の機器に適用され、各々の機器におい
て、試料を所望の傾斜方向及び／又は傾斜角度で保持す
ることが可能で、各回の観察等終了のたびに試料を試料
台から取り外し、次回の観察等に必要な方向や角度に向
けて試料を試料台に保持し直す等の手間をかけることな
く、試料を容易に所望の位置で保持することができ、既
設の機器に簡単に適用することができる安価な試料保持
装置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、基
端側が機器本体側に取り付けられてこの機器本体側から
突出する支持部材と、この支持部材の先端側に回転可能
に取り付けられ、試料を保持する試料ホルダと、試料ホ
ルダを所定の位置で固定し、この試料ホルダに保持され
た試料の傾斜方向及び／又は傾斜角度を段階的に又は無
段階的に位置決めする位置規制手段とを備えている試料
保持装置である。

【０００９】本発明において、支持部材は、その基端側
が機器本体側に取り付けられてこの機器本体側から突出
し、かつ、その先端側に試料ホルダを回転可能に取り付
けることができるものであればよく、機器本体と一体に
形成されていてもよく、また、機器本体とは別体に形成
されて、基端側にベース部を有し、このベース部を介し
て機器本体側に着脱可能に取り付けられてもよい。ま
た、支持部材がその基端側にベース部を有する場合は、
機器本体側との着脱が容易となり、同一試料を複数の機
器で観察等を行う場合は、試料ホルダから試料を取り外
すことなく、試料保持装置を使い回すこともできる。

【００１０】また、この支持部材については、単に１本
の支柱で構成されて、その先端側に試料ホルダが取り付
けられていてもよく、また、互いに相対向して立設する
一対の突出支柱で構成され、これら一対の突出支柱間に
試料ホルダが取り付けられていてもよい。これらの支持
部材と試料ホルダは回転可能に架設され、この試料ホル
ダに保持した試料を任意の傾斜方向及び／又は傾斜角度
に傾斜させることが可能となる。

【００１１】また、試料ホルダは、試料の形状及びその
大きさに応じて確実に保持することができるものであれ
ば、平板状のもので試料をその表面に粘着テープあるい
は導電性の銀ペーストやカーボンペースト等の接着剤で
貼り付けて保持するものであっても、挿入穴を有し、棒
状の試料の一端をこの挿入穴内に嵌入して保持するもの
であっても、更に、互いに相対向する一対の挟持部を有
し、板状の試料の一端、あるいは、薄膜試料等をあらか
じめ備え付けた試料プレートをこれら一対の挟持部の間
に挟み込んで保持するものであってもよい。以上のよう
に、試料の形状及びその大きさに応じた試料ホルダを使
用することで、多種の試料に対しても、任意の傾斜方向
及び／又は傾斜角度に保持することが可能となる。

【００１２】試料ホルダは、試料ホルダ側端面の中心線
上の位置で支持部材の先端側と架設され、なおかつ、支
持部材側又は試料ホルダ側が有する軸が、試料ホルダ側
又は支持部材側の嵌合穴内に嵌合されていれば、回転可
能に取り付けられ、その取り付け方法は、例えば、試料
ホルダが、一対の突出支柱側に各々設けられ、試料ホル
ダの両側端面に形成された凹溝に挿嵌する固定ネジによ
り一対の突出支柱間に取り付けられてあっても、試料ホ
ルダが試料ホルダ側に突出状態で設けられた支持軸を有
し、支持部材が一対の突出支柱であって、その突出支柱
の片側に設けられた嵌合穴内に、試料ホルダの支持軸が
嵌合されたものであっても、試料ホルダが側端面の中心
線上に貫通穴を有し、支持部材が一対の突出支柱であっ
て、その突出支柱の片側から、その貫通穴にボルトを通
し、他方の突出支柱外側に貫けたボルト端をナットで留
めたものであってもよく、これにより、試料ホルダは任
意の傾斜方向及び／又は傾斜角度の位置に回転させるこ
とが可能となる。

【００１３】位置規制手段は、支持部材の先端側で回転
可能に取り付けられた試料ホルダの回転を規制できるも
のであればよく、また、その手段は、試料ホルダと支持
部材が回転可能に取り付けられている方法に応じて適用
され、例えば、試料ホルダが、一対の突出支柱側に各々
設けられ、試料ホルダの両側端面に形成された凹溝に挿
嵌する固定ネジにより一対の突出支柱間に取り付けられ
ている場合、一対の突出支柱の両方からそれぞれ試料ホ
ルダの凹溝底壁に当接してこの試料ホルダの回転を規制
する固定ネジであってもよく、例えば、試料ホルダが、
一方の突出支柱側又は試料ホルダ側に突出状態に設けら
れ、試料ホルダ側又は一方の突出支柱側に設けられた嵌
合穴内に回転可能に嵌合する支持軸により一対の突出支
柱間に回転可能に取り付けられている場合、他方の突出
支柱に設けられ、試料ホルダを一方の突出支柱側に押圧
してこの試料ホルダの回転を規制する固定ネジであって
もよく、例えば、試料ホルダが側端面の中心線上に貫通
穴を有し、支持部材が一対の突出支柱であって、その突
出支柱の片側から、その貫通穴にボルトを通して取り付
けられている場合、他方の突出支柱外側に貫けたボルト
端に嵌めて締め込むことで、試料ホルダの側端面が突出
支柱の内側面に圧接して固定するナットであってもよ
く、これによりこの試料ホルダに保持された試料の傾斜
方向及び／又は傾斜角度を無段階的に位置決めすること
が可能となる。また、上記の試料ホルダ側に突出状態で
設けられた支持軸が一方の突出支柱側に設けられた嵌合
穴内に回転可能に嵌合した取り付け方法において、その
支持軸の側面が歯車状のピッチを有した形状であり、こ
の支持軸が嵌合されるような同じ歯車状のピッチの溝を
有した突出支柱の嵌合穴内に嵌合される場合、他方の突
出支柱側から試料ホルダに向かって差し込んだネジによ
り試料ホルダを押圧すると、その回転を段階的に規制す
ることが可能となる。

【００１４】さらに、試料ホルダが、一対の突出支柱の
間に回転可能に架設された回転軸部と、この回転軸部の
中間部分から回転軸部の軸方向に対して直角方向に突出
する筒状の中空基部と、試料が保持される平板部及びこ
の平板部の裏面中央部分から下方に向けて突設されてそ
の先端が上記中空基部の中空部内に回転可能に嵌入する
支持棒部を有するステージ部とで構成され、また、一方
の突出支柱側又は試料ホルダの回転軸部の一端側に突出
状態に設けられ、試料ホルダの回転軸部の一端側又は一
方の突出支柱側に設けられた嵌合穴内に回転可能に嵌合
する支持軸により一対の突出支柱間に回転可能に取り付
けられている場合、位置規制手段は、例えば、他方の突
出支柱側に設けられ、試料ホルダの回転軸部を一方の突
出支柱側に押圧してこの試料ホルダの回転を規制する第
１固定ネジと、上記試料ホルダの中空基部に設けられ、
先端が支持棒部に係合してステージ部の回転を規制する
第２固定ネジとであってもよく、例えば、回転軸部及び
／又は支持軸部がボルトナットで固定され、回転軸部の
側端面及び／又は支持軸部の側面を圧接してその回転を
規制していてもよい。これにより、試料を保持した試料
ホルダは一対の突出支柱に架設された回転軸部を中心に
傾斜させることが可能となり、同時に回転軸部の中間の
中空基部に嵌入された支持棒部を中心として回転させる
ことが可能となる。

【００１５】試料ホルダ、支持部材及び位置規制手段は
使用する機器の種類や観察等の内容に応じて、その材質
が決まり、ＳＥＭやＥＰＭＡ装置で使用する場合は、ス
テンレスや黄銅、アルミニウム、カーボン等の導電性材
料で形成される必要がある。

【００１６】本発明の試料保持装置を構成する支持部材
と試料ホルダについては、両者を一度組み付けた後には
常にそのままの関係で使用してもよいし、試料の種類に
応じて複数の試料ホルダを用意し、目的に応じてこれら
の試料ホルダを交換して使用できるようにしてもよい。

【００１７】

【実施例】以下、添付図面に示す実施例に基づいて、本
発明をより具体的に説明する。

【００１８】（実施例１）図１及び図２において、本発
明の実施例１に係る試料保持装置１００が示されてい
る。この試料保持装置１００は、互いに相対向して立設
された一対の突出支柱１０１及びこれら一対の突出支柱
１０１の基端側に設けられて図示外の種々の機器本体側
に固定されるベース部１０２からなる支持部材１０３
と、上記一対の突出支柱１０１の先端側の間に回転可能
に取り付けられた平板状の試料ホルダ１０４とを有して
いる。また、ベース部１０２には、機器本体側と固定す
るためのボルト穴１０５が設けられている。そして、上
記試料ホルダ１０４の一方の側端面には一方の突出支柱
１０１ｂに向けて突出し、この突出支柱１０１ｂに形成
された嵌合穴１０７内に回転可能に嵌合する支持軸１０
６が設けられており、また、他方の突出支柱１０１ａに
は固定ネジ１０８が螺着されており、この固定ネジ１０
８の先端が上記試料ホルダ１０４の他方の側端面に形成
した凹溝１０９底壁に当接し、この固定ネジ１０８を締
め込むことにより上記一対の突出支柱１０１の間に試料
ホルダ１０４を無段階的に所望の傾斜角度で固定できる
ようになっている。

【００１９】この実施例１において、上記試料ホルダ１
０４の回転軸心線はこの試料ホルダ１０４の中心線上に
位置し、また、この回転軸心線からの回転半径は一対の
突出支柱１０１の高さより小さく設計されており、これ
によって試料ホルダ１０４はその回転軸心線を中心に３
６０°回転できるようになっている。更に、上記支持軸
１０６、嵌合穴１０７、固定ネジ１０８、及び凹溝１０
９は、試料ホルダ１０４の中心を通る回転軸心線上に位
置し、固定ネジ１０８を締め込んだ際に支持軸１０６が
突設された試料ホルダ１０４の側端面が突出支柱１０１
ｂの内側面に確実に圧接され、また、この固定ネジ１０
８の先端も凹溝１０９内に確保され、これによって一対
の突出支柱１０１の間で試料ホルダ１０４が所望の位置
で確実に固定されるようになっている。

【００２０】上記実施例１の試料保持装置１００を用い
て、試料を集束イオンビーム（以下ＦＩＢ）加工した
後、次いでＳＥＭ観察及びエネルギー分散型Ｘ線（以下
ＥＤＸ）分析を行う場合の使用例について図３及び図４
を参照して説明する。図３の使用例は、試料保持装置１
００のベース部１０２をＦＩＢ用試料台１５１の所定の
位置に載せ、取り付けボルト１５０にて固定し、試料ホ
ルダ１０４に試料１１０を接着剤１１１で接着固定した
ものである。図３の使用例のように試料表面１１０ａを
水平にして試料ホルダ１０４を位置決めし、イオン銃か
らイオンビームの照射を受けて、次のＳＥＭ観察及びＥ
ＤＸ分析を行うために必要となる試料断面１１０ｂを得
る。

【００２１】上記ＦＩＢ加工の終了後、一度取り付けボ
ルト１５０を緩めて、試料保持装置１００をＦＩＢ用試
料台１５１から取り外し、次いで、図４の使用例のよう
にＳＥＭ観察及びＥＤＸ用試料台１５２の所定の位置に
ベース部１０２を載せて取り付けボルト１５０にて固定
する。このとき、試料ホルダ１０４は前工程のＦＩＢ加
工の場合より、９０°傾斜させた位置で固定ネジ１０８
により固定し、ＦＩＢ加工して得た試料断面１１０ｂを
電子線発生源から電子線を垂直に受ける位置で位置決め
すれば試料断面１１０ｂのＳＥＭ観察及びＥＤＸ分析が
行え、これにより、ＦＩＢ加工並びにＳＥＭ観察及びＥ
ＤＸ分析といった異なる機器において、接着固定した試
料を取り外すことなく、所望の方向に試料を保持してＦ
ＩＢ加工並びにＳＥＭ観察及びＥＤＸ分析を行うことが
できる。また、上記において、ＦＩＢ装置と、ＳＥＭに
ＥＤＸを付加した装置とが互換性を有する場合は、試料
保持装置１００をＦＩＢ用試料台１５１から取り外す手
間を要さずに試料ホルダ１０４を所望の傾斜角度に調整
するだけでＳＥＭ観察及びＥＤＸ分析まで行うことがで
きる。

【００２２】実施例１の試料保持装置１００を用いて、
試料に任意の傾斜角度を付けてＳＥＭ観察を行う場合の
使用例について図５及び図６を参照して説明する。図５
の使用例は、ＳＥＭ用試料台１５３の所定の位置に試料
保持装置１００のベース部１０２を載せ、取り付けボル
ト１５０にて固定し、試料ホルダ１０４に試料１１０を
接着剤１１１にて接着固定したものである。まず、試料
１１０の上方にある対物レンズ１６０に対して試料表面
１１０ａが水平になるように試料ホルダ１０４を位置決
めし、試料表面１１０ａのＳＥＭ観察を行う。その後、
図６の使用例のように固定ネジ１０８を緩めて、試料ホ
ルダ１０４を次の観察に必要な傾斜角度の位置まで回転
させ、固定ネジ１０８を締めて固定すれば試料ホルダ１
０４が位置決めされ、試料表面１１０ａの所望の傾斜角
度にてＳＥＭ観察が行える。さらに試料表面１１０ａを
別な傾斜角度でＳＥＭ観察をする場合でも、同様に試料
ホルダ１０４の傾斜角度を変えて観察を行えばよく、接
着剤で固定した試料１１０を剥がして、再度取り付ける
等の手間を必要とせずに任意の傾斜角度を付けてＳＥＭ
観察が行える。また、接着固定させる試料１１０は試料
ホルダ１０４の片側の試料取り付け面１０４ａに限る必
要はなく、もう一方の試料取り付け面１０４ｂに試料１
２０を接着剤１１１にて接着固定させ、試料ホルダ１０
４に対して一度に試料を２つ取り付ければ、ＳＥＭ用試
料台１５３に固定した試料保持装置１００を取り外す手
間をかけずに、試料ホルダ１０４を１８０°反転させれ
ば２つの試料の観察が行え、効率よく観察が行える。

【００２３】（実施例２）図７及び図８において、本発
明の実施例２に係る試料保持装置２００が示されてい
る。この試料保持装置２００は、互いに相対向して立設
された一対の突出支柱２０１及びこれら一対の突出支柱
２０１の基端側に設けられて図示外の種々の機器本体側
に固定されるベース部２０２からなる支持部材２０３
と、上記一対の突出支柱２０１の間には、互いに相対向
する一対の挟持部２４０を持つ試料ホルダ２０４が回転
可能に取り付けられている。また、ベース部２０２に
は、機器本体側と固定するためのボルト穴２０５が設け
られている。そして、一対の突出支柱２０１にはそれぞ
れ固定ネジ２０８が螺着されており、この固定ネジ２０
８の先端が上記試料ホルダ２０４の側端面に形成された
凹溝２０９底壁に当接し、この固定ネジ２０８を締め込
むことにより上記一対の突出支柱２０１の間に試料ホル
ダ２０４を無段階的に所望の傾斜角度で固定できるよう
になっている。この実施例２において、上記試料ホルダ
２０４の回転軸心線はこの試料ホルダ２０４の凹溝２０
９中心に位置し、試料ホルダ２０４はその回転軸心線を
中心に１８０°以上回転できるようになっている。更
に、試料ホルダ２０４の両面には、それぞれ試料固定ネ
ジ穴２１２が設けられ、これに螺合する試料固定ネジ２
１３を締め込むことにより、一対の挟持部２４０の間に
挟み込まれた試料を固定する。

【００２４】上記実施例２の試料保持装置２００を用い
て、薄板状の試料２１０の表裏両面をＳＥＭにて観察す
る場合の使用例を図９及び図１０を参照して説明する。
図９の使用例はＳＥＭ用試料台２５１の所定の位置に試
料保持装置２００のベース部２０２を載せ、取り付けボ
ルト２５０にて固定し、さらに、薄板状の試料２１０の
片端を試料ホルダ２０４の挟持部２４０に挟み込み、薄
板状の試料表面２１０ａの面を試料固定ネジ２１３の先
端が押圧するように固定し、薄板状の試料表面２１０ａ
を対物レンズ２６０に対して水平になる位置まで試料ホ
ルダ２０４を傾斜させ、固定ネジ２０８にて試料ホルダ
２０４を固定したものである。この状態で、薄板状の試
料表面２１０ａのＳＥＭ観察を行う。その後、一度固定
ネジ２０８を緩めて、試料ホルダ２０４を１８０°反転
させた後、固定ネジ２０８を再度締め込み固定する。こ
のとき、試料ホルダ２０４は図１０の使用例のように薄
板状の試料裏面２１０ｂを対物レンズ２６０に対して水
平になる位置で位置決めする。これにより一度保持させ
た薄板状の試料２１０を試料ホルダから取り外して、再
度取り付ける等の手間を必要とせずに、薄板状の試料の
表裏両面をＳＥＭ観察することができる。さらに、図１
０に示したように薄板状の試料２１０の側面の一部を試
料断面２１０ｃとした場合、上記と同様にして試料ホル
ダ２０４を垂直に立てて位置決めすれば、薄板状の試料
断面２１０ｃのＳＥＭ観察も行うことができる。

【００２５】試料が薄膜等のように破損し易いものであ
る場合は、図１１及び図１２に示した試料プレート２１
４を使用すれば、実施例２の試料保持装置２００を用い
て試料の表裏両面をＳＥＭ観察することができる。つま
り、試料プレート２１４に設けられた試料取り付け窓２
１５に薄膜状の試料２２０を接着剤２１１にて接着固定
させ、試料プレート２１４を実施例２の試料保持装置２
００における試料ホルダ２０４の挟持部２４０の間に挟
み込めば、薄板状の試料での使用例と同様に薄膜状の試
料２２０についても表裏両面を試料の着脱を必要とせず
にＳＥＭ観察を行うことができる。また、図１３及び図
１４に示したように凹状をした試料プレート２１６を使
用すれば、薄膜状の試料２２０の側面一部を試料断面２
２０ａとした場合、上記と同様に薄膜状の試料２２０を
凹状の試料取り付け窓２１７に保持させ、試料取り付け
窓２１７とは逆側の試料プレート２１６基端部を挟持部
２４０の間に挟み込めば、薄膜状の試料断面２２０ａの
ＳＥＭ観察も行うことができる。

【００２６】試料が棒状のものである場合は、実施例２
で示した試料保持装置２００の試料ホルダ２０４の替わ
りに、図１５に示した挿入穴２４１を有する試料ホルダ
２４４を使用すれば、任意の傾斜方向及び／又は傾斜角
度でＳＥＭ観察が行える。つまり、棒状の試料２３０を
挿入穴２４１に差し込み、試料固定ネジ２２３によって
試料ホルダ内に挿入した棒状の試料２３０の片側先端を
固定することで、薄板状の試料での使用例と同様に棒状
の試料２３０についても、試料の着脱を必要とせずにＳ
ＥＭ観察を行うことができる。

【００２７】（実施例３）図１６及び図１７において、
本発明の実施例３に係る試料保持装置３００が示されて
いる。この試料保持装置３００は、支持部材３０３と試
料ホルダ３０４からなる。支持部材３０３は、互いに相
対向して立設された一対の突出支柱３０１及びこれら一
対の突出支柱３０１の基端側に設けられて図示外の種々
の機器本体側に固定されるベース部３０２から構成され
る。このベース部３０２には機器本体側との固定の際に
使用するボルト穴３０５が設けられている。また、試料
ホルダ３０４は、上記一対の突出支柱３０１の先端側の
間に回転可能に取り付けられた回転軸部３４０と、この
回転軸部３４０の中間に突出する筒状の中空基部３４１
と、試料が保持される平板部３４３及びこの平板部３４
３の裏面中央部分から下方に向けて突設されてその先端
が上記中空基部３４１に回転可能に嵌入された支持棒部
３４４を有するステージ部３４２から構成される。上記
回転軸部３４０の一方の側端面には一方の突出支柱３０
１ｂに向けて突出し、この突出支柱３０１ｂに形成され
た嵌合穴３０７内に回転可能に嵌合する支持軸３０６が
設けられており、また、他方の突出支柱３０１ａには第
１固定ネジ３０８が螺着されており、この第１固定ネジ
３０８の先端が上記回転軸部３４０の他方の側端面に形
成した凹溝３０９底壁に当接し、この第１固定ネジ３０
８を締め込むことにより上記一対の突出支柱３０１の間
に試料ホルダ３０４を無段階的に所望の傾斜角度で固定
できるようになっている。また、中空基部３４１には、
その先端が支持棒部３４４に係合してステージ部３４２
の回転を規制する第２固定ネジ３１２が付設されてい
る。この実施例３において、上記試料ホルダ３０４の回
転軸心線は回転軸部３４０側面の中心線上に位置し、ま
た、上記支持軸３０６、嵌合穴３０７、第１固定ネジ３
０８、及び凹溝３０９は、試料ホルダ３０４の中心を通
る回転軸心線上に位置し、第１固定ネジ３０８を締め込
んだ際に支持軸３０６が突設された試料ホルダ３０４の
側端面が突出支柱３０１ｂの内側面に確実に圧接され、
また、この第１固定ネジ３０８の先端も凹溝３０９内に
確保され、これによって一対の突出支柱３０１の間で試
料ホルダ３０４が所望の位置で確実に固定されるように
なっている。

【００２８】上記実施例３の試料保持装置３００を用い
て、多面体の試料３１０をＥＰＭＡにてＸ線分析する場
合の使用例について図１８及び図１９を参照して説明す
る。図１８の使用例は、試料保持装置３００のベース部
３０２をＥＰＭＡ用試料台３５１の所定の位置に載せ、
取り付けボルト３５０にて固定し、試料ホルダ３０４の
平板部３４３に多面体の試料３１０を接着剤３１１で接
着固定したものである。図１８の使用例のように多面体
の試料表面３１０ａが電子線を垂直に受ける位置で試料
ホルダ３０４を位置決めし、第１固定ネジ３０８により
固定して、試料表面３１０ａをＸ線分析する。その後、
図１９の使用例のように、試料ホルダ３０４をベース部
３０２側に傾斜させ、次いで支持棒部３４４を中心軸と
して平板部３４３を回転させ、多面体の試料側面３１０
ｂが電子線を垂直に受ける位置で試料ホルダ３０４を位
置決めし、多面体の試料側面３１０ｂをＸ線分析する。
これにより、試料ホルダ３０４は２軸を中心に回転で
き、多面的な試料についても任意の傾斜方向及び／又は
傾斜角度でＸ線分析が行える。

【００２９】

【発明の効果】本発明によれば、種々の機器に搭載され
て各種の試料を当該機器の所定の位置に、また、所定の
姿勢に保持する試料保持装置について、試料を所望の傾
斜方向及び／又は傾斜角度に保持して位置決めすること
ができる試料保持装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 図１は、試料保持装置の斜視図である。

【図２】 図２は、図１の試料保持装置における試料ホ
ルダが突出支柱に取り付けられる部分を分解した斜視図
である。

【図３】 図３は、図１の試料保持装置を使用した使用
例の正面説明図である。

【図４】 図４は、図１の試料保持装置を使用した使用
例の正面説明図である。

【図５】 図５は、図１の試料保持装置を使用した使用
例の正面説明図である。

【図６】 図６は、図１の試料保持装置を使用した使用
例の正面説明図である。

【図７】 図７は、試料ホルダが挟持部を有する試料保
持装置の斜視図である。

【図８】 図８は、図７の試料保持装置における試料ホ
ルダが突出支柱に取り付けられる部分を分解した斜視図
である。

【図９】 図９は、図７の試料保持装置を使用した使用
例の正面説明図である。

【図１０】 図１０は、図７の試料保持装置を使用した
使用例の正面説明図である。

【図１１】 図１１は、図７の試料保持装置に使用する
試料プレートの平面図である。

【図１２】 図１２は、図７の試料保持装置に使用する
試料プレートの側面図である。

【図１３】 図１３は、図７の試料保持装置に使用する
試料プレートの平面図である。

【図１４】 図１４は、図７の試料保持装置に使用する
試料プレートの側面図である。

【図１５】 図１５は、図７の試料保持装置における試
料ホルダが挿入穴を有する試料保持装置の斜視図であ
る。

【図１６】 図１６は、試料ホルダが２軸を中心に回転
可能である試料保持装置の斜視図である。

【図１７】 図１７は、図１６の試料保持装置における
試料ホルダが突出支柱に取り付けられる部分を分解した
斜視図である。

【図１８】 図１８は、図１６の試料保持装置を使用し
た使用例の正面説明図である。

【図１９】 図１９は、図１６の試料保持装置を使用し
た使用例の正面説明図である。

【符号の説明】

１００、２００、３００ 試料保持装置 １０１、２０１、３０１ 突出支柱 １０１ａ、１０１ｂ、３０１ａ、３０１ｂ 突出支柱 １０２、２０２、３０２ ベース部 １０３、２０３、３０３ 支持部材 １０４、２０４、２４４、３０４ 試料ホルダ １０４ａ、１０４ｂ 試料取り付け面 １０５、２０５、３０５ ボルト穴 １０６、３０６ 支持軸 １０７、３０７ 嵌合穴 １０８、２０８ 固定ネジ １０９、２０９、３０９ 凹溝 １１０、１２０、２１０、２２０、２３０、３１０ 試
料 １１０ａ、２１０ａ、３１０ａ 試料表面 １１０ｂ、２１０ｃ、２２０ａ 試料断面 ２１０ｂ 試料裏面 ３１０ｂ 試料側面 １１１、２１１、３１１ 接着剤 １５０、２５０、３５０ 取り付けボルト １５１ ＦＩＢ用試料台 １５２ ＳＥＭ用及びＥＤＸ用試料台 １５３、２５１ ＳＥＭ用試料台 １６０、２６０ 対物レンズ ３５１ ＥＰＭＡ用試料台 ２１２ 試料固定ネジ穴 ２１３、２２３ 試料固定ネジ ２１４、２１６ 試料プレート ２１５、２１７ 試料取り付け窓 ２４０ 挟持部 ２４１ 挿入穴 ３０８ 第１固定ネジ ３１２ 第２固定ネジ ３４０ 回転軸部 ３４１ 中空基部 ３４２ ステージ部 ３４３ 平板部 ３４４ 支持棒部

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基端側が機器本体側に取り付けられてこ
   の機器本体側から突出する支持部材と、この支持部材の
   先端側に回転可能に取り付けられ、試料を保持する試料
   ホルダと、試料ホルダを所定の位置で固定し、この試料
   ホルダに保持された試料の傾斜方向及び／又は傾斜角度
   を段階的に又は無段階的に位置決めする位置規制手段と
   を備えていることを特徴とする試料保持装置。
2. 【請求項２】 支持部材は、その基端側にベース部を有
   し、このベース部を介して機器本体側に取り付けられる
   請求項１に記載の試料保持装置。
3. 【請求項３】 支持部材は、互いに相対向して立設され
   た一対の突出支柱で構成されており、これら一対の突出
   支柱間に試料ホルダが取り付けられる請求項１〜２に記
   載の試料保持装置。
4. 【請求項４】 試料ホルダは、互いに相対向する一対の
   挟持部を有し、板状の試料の一端をこれら一対の挟持部
   の間に挟み込んで保持する請求項１〜３のいずれかに記
   載の試料保持装置。
5. 【請求項５】 試料ホルダは、挿入穴を有し、棒状の試
   料の一端をこの挿入穴内に嵌入して保持する請求項１〜
   ４のいずれかに記載の試料保持装置。
6. 【請求項６】 試料ホルダが、一対の突出支柱側に各々
   設けられ、試料ホルダの両側端面に形成された凹溝に挿
   嵌する固定ネジにより一対の突出支柱間に回転可能に取
   り付けられており、位置規制手段は、試料ホルダの凹溝
   底壁に当接してこの試料ホルダの回転を規制する上記固
   定ネジで構成されている請求項３〜５のいずれかに記載
   の試料保持装置。
7. 【請求項７】 試料ホルダが、一対の突出支柱の間に回
   転可能に架設された回転軸部と、この回転軸部の中間部
   分から回転軸部の軸方向に対して直角方向に突出する筒
   状の中空基部と、試料が保持される平板部及びこの平板
   部の裏面中央部分から下方に向けて突設されてその先端
   が上記中空基部の中空部内に回転可能に嵌入する支持棒
   部を有するステージ部とで構成され、また、一方の突出
   支柱側又は試料ホルダの回転軸部の一端側に突出状態に
   設けられ、試料ホルダの回転軸部の一端側又は一方の突
   出支柱側に設けられた嵌合穴内に回転可能に嵌合する支
   持軸により一対の突出支柱間に回転可能に取り付けられ
   ており、位置規制手段が、他方の突出支柱に設けられ、
   試料ホルダの回転軸部を一方の突出支柱側に押圧してこ
   の試料ホルダの回転を規制する第１固定ネジと、上記試
   料ホルダの中空基部に設けられ、先端が支持棒部に係合
   してステージ部の回転を規制する第２固定ネジとで構成
   されている請求項３〜５のいずれかに記載の試料保持装
   置。