JP2013080605A - 試料ホルダー先端部、試料ホルダー、及び当該試料ホルダー先端部の製造方法 - Google Patents
試料ホルダー先端部、試料ホルダー、及び当該試料ホルダー先端部の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
したがって、本発明の目的は、像への影響を低減する試料ホルダー先端部を提供することにある。
【解決手段】
【0070】
本発明の試料ホルダー先端部は、試料と、前記試料を搭載する先端部とを有する試料ホルダー先端部であって、前記先端部の回転軸と、前記試料の回転軸とが略一致することを特徴とする。本発明の試料ホルダー先端部の製造方法は、試料を切りだす工程と、試料ホルダー先端部の試料搭載部分へ、前記切りだした試料を取り付ける工程と、前記試料搭載部分の回転軸に合わせて、前記試料を加工して、前記試料を回転軸を中心とした柱状にする工程とからなることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
2 試料(八角柱)
3 試料断面
4 元の試料サンプル
5 試料(試料片)
6 試料片を正面から見た様子
7 試料ホルダー回転軸(試料ホルダー先端部の回転軸)
8 試料回転軸
9 FIB Chanber Stub(FIBチャンバースタブ)
10 試料押さえ部材のクランプ部
11 試料ホルダー先端部
12 試料固定台をクランプして回転するθ回転軸
13 イオンビーム
14 観察できる領域
20 電子顕微鏡の電子線光軸
21 フレーム部材(試料ホルダー主軸21aの先端に設けた一体の部材)
21a 試料ホルダー主軸
22 リンク部材1
23 リンク部材2
24 リンク部材3
25 リンク部材4 (β傾斜試料台フレームアーム)
26 固定ピン1
27 固定ピン2
28 移動ピン1
29 移動ピン2
30 組み付けピン1
31 移動ピン3
32 駆動力点
33 β回転軸位置
34 駆動力点の動き
35 β傾斜駆動フレームアーム
36 試料台
37 試料台とβ傾斜駆動フレームアームを連結固定するネジ
38 ホルダー挿入軸 及びα傾斜軸
39 駆動力の入力用棒部材 (駆動力点を押し上げるため部材)
40 スプリング (駆動力点を押し下げるため部材)
51 試料固定台
54 FIB光軸(エッチング、及びデポジット処理)方向
55 SEM観察軸(観察可能方向)
56 試料固定台を挟む試料台押さえ部材
57 試料固定台クランプして回転するθ回転軸
58 試料押さえ部材のクランプ部(の爪)
59 試料固定台のフレーム本体、およびθ軸受け台座
60 ねじ溝が刻まれたθ回転軸のノブ
61 θ回転軸の軸受け部
62 θ回転軸を押さえ付けるための部材(押さえフック)
63 既存ステージのローテーション軸
64 既存ステージと連結するためのスタブピン
65 θ回転軸の回転位置基準面
66 θ回転軸の軸受け相当するV溝基準面
67 θ回転軸を押さえ付けるための部材の支点
68 θ回転軸を押さえ付けるための部材を引き付けるスプリング
69 円弧に加工された試料台押さえ部材とθ回転軸のクランプ部の接合面
Claims (12)
- 試料と、前記試料を搭載する先端部とを有する試料ホルダー先端部であって、前記先端部の回転軸と、前記試料の回転軸とが略一致することを特徴とする試料ホルダー先端部。
- 前記試料が、前記試料の回転軸を中心とした柱状である請求項1記載の試料ホルダー先端部。
- 前記柱状が、多角柱である請求項2記載の試料ホルダー先端部。
- 前記先端部の中で前記試料を搭載する部分が、ニードルであり、ニードルの回転軸と、前記試料の回転軸とが略一致することを特徴とする請求項1〜3項のいずれか1項に記載の試料ホルダー先端部。
- 前記試料ホルダー先端部が、着脱可能である請求項1〜4項のいずれか1項に記載の試料ホルダー先端部。
- 請求項1〜5項のいずれか1項に記載の試料ホルダー先端部を有することを特徴とする試料ホルダー。
- ホルダー本体と、前記ホルダー本体の長手方向に直交する軸回りに回転可能な軸傾斜機構とを有し、前記軸傾斜機構が、前記長手方向に直交する所望の軸回りに回転させるための駆動フレームと、前記駆動フレームへ接続されるリンク部材とを有し、前記リンク部材が、少なくとも2つの支点を介して前記ホルダー本体へ固定されていることを特徴とする請求項6記載の試料ホルダー。
- 請求項1〜5項のいずれか1項に記載の試料ホルダー先端部の製造方法であって、試料を切りだす工程と、試料ホルダー先端部の試料搭載部分へ、前記切りだした試料を取り付ける工程と、前記試料搭載部分の回転軸に合わせて、前記試料を加工して、前記試料を回転軸を中心とした柱状にする工程とからなる試料ホルダー先端部の製造方法。
- 前記試料搭載部分の回転軸に合わせて、前記試料を加工して、前記試料を回転軸を中心とした柱状にする工程において、前記試料搭載部分の回転軸を中心として、試料を回転させながら、試料を削ることにより前記柱状を得ることを特徴とする請求項8記載の方法。
- 前記柱状が、多角柱である請求項7又は8項に記載の方法。
- 試料ホルダー先端部の試料搭載部分へ試料を取り付ける工程と、前記試料搭載部分の回転軸に合わせて、前記試料を回転させて、前記試料を加工して、前記試料を回転軸を中心とした柱状にする工程とからなる電子顕微鏡用試料の加工方法。
- 前記柱状が、多角柱である請求項11記載の方法。
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JP2011219665A JP2013080605A (ja) | 2011-10-03 | 2011-10-03 | 試料ホルダー先端部、試料ホルダー、及び当該試料ホルダー先端部の製造方法 |
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2011
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