JP2004087214A - 荷電粒子線装置用試料ホールダ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】上記目的は、荷電粒子線装置用試料ホールダにおいて、ホールダに備え付けた試料台が、任意の角度に方向付けられる機構と、微動装置を備えることで達成される。このような構成によれば、微小試料片を試料台から取り外すことなく、イオンビームによる加工および任意の方向からの二次電子像および電子顕微鏡観察が可能となる。
【選択図】 図3
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、荷電粒子線の照射対象を保持する試料ホールダに関し、特に集束イオンビーム(以下、FIB)加工装置で試料から微小試料片を摘出し、摘出した微小試料片を試料台に固定し加工,観察する際に、摘出した微小試料の任意の方向からの集束イオンビームによる薄膜加工と、その試料の任意の方向からの電子顕微鏡観察を可能にする荷電粒子線装置用試料ホールダに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、例えば集束イオンビーム装置による試料の前処理とこれに続く観察のシステム例として特開平7−134963号公報や特開平6−103947号公報がある。この技術では集束イオンビーム装置で加工した試料の付け替えをしないで、前処理装置,透過電子顕微鏡(以下TEM)などの観察装置へ挿入可能である。しかし、これらの装置では、試料ホールダの中軸のみが回転できる機構となっており、一度試料を装着した場合、試料は、試料ホールダ軸の周りを回転するのみである。このため、試料を試料ホールダ軸に垂直な軸周りに回転させることや、中軸に平行および垂直な面内で試料を回転することは不可能であり、イオンビームおよび電子線に対する試料の方向の微調整は困難であった。
【0003】
また、特開2000−40483号公報のようにα,β二軸方向に試料傾斜可能なホールダもあるが、この方式のホールダも試料傾斜は20°程度で、試料を360°回転して任意の方向から観察することは困難であった。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、集束イオンビーム加工法などにより摘出した微小試料を任意の方向から加工したり、或いは電子顕微鏡により任意の方向から観察することにある。更に、従来は見逃していた微小欠陥部も見逃すことなく探し出し、加工,解析することが可能な荷電粒子線装置用試料ホールダを提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記目的は、荷電粒子線装置用試料ホールダにおいて、試料を固定した試料台を集束イオンビームの光軸の周りで回転する機能を備えたことで達成される。
【0006】
また、上記目的は、前記荷電粒子線装置用試料ホールダにおいて、試料を固定した試料台をホールダ軸の周りに回転する機能を備えたことで達成される。
【0007】
また、上記目的は、前記荷電粒子線装置用試料ホールダにおいて、電子線の進行方向に対し直角に固定した試料を電子線光軸を円心とし、360°回転できる機能を備えたことで達成される。
【0008】
また、上記目的は、前記荷電粒子線装置用試料ホールダにおいて、集束イオンビームの進行方向に対し直角に固定した試料を集束イオンビーム光軸を円心とし、360°回転できる機能を備えたことで達成される。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明について説明する。図1は本発明の一実施例である透過電子顕微鏡(以下TEMと略す)鏡体1の基本構成図である。TEMの鏡体1は電子銃2と照射レンズ3と対物レンズ4,投射レンズ5で構成される。照射レンズ3,対物レンズ4の間には、走査コイル6が配置されており、走査コイル6の下方に試料7が挿入される。試料7は、試料ホールダ8に取り付けられており、試料ホールダ8はホールダ制御部9に接続されている。試料7上方、走査コイル6の下には、二次電子検出器10が組み込まれている。二次電子検出器10は、走査像表示装置11に接続されている。投射レンズ5の下方には、暗視野STEM像観察用の円環状検出器12が配置されている。円環状検出器12は、走査像表示装置11に接続されている。また、円環状検出器12の下方には電子線軸からの出し入れが可能な検出器13(明視野STEM像観察用)が備えられており、走査像表示装置11に接続されている。検出器13の下方には、透過像観察用TVカメラ14が配置されている。TVカメラ14は、TVカメラ制御部15を介してTVモニター16に接続されている。
【0010】
電子線17は、照射レンズ3により、試料36面上でスポット状に収束され、走査コイル6によって試料7面上を走査する。二次電子検出器10は、電子線17の照射によって、試料7から放出される二次電子を検出して、走査像表示装置11により、試料7の電子線17走査領域の二次電子像を表示する。検出器13では試料7から角度が半角約50mrad以内で散乱を受けた透過電子を検出して走査像表示装置11により、明視野透過電子像を表示する。円環状検出器12についても同様であり、電子線17の照射によって、試料7から散乱角度が半角約80〜500mradの範囲で散乱した電子(弾性散乱電子)を検出し、走査像表示装置11により、暗視野透過電子像を表示する。また、照射レンズ3の条件を変えることにより、試料7面上に、ある広がりをもった電子線17が照射され、試料7を透過した電子は対物レンズ4により、結像され、その像は投射レンズ5により拡大され、TVカメラ14上に投影される。投影された透過電子像はTVカメラ制御部15を介し、TVモニター16上に表示される。試料7は試料ホールダ8に接続されたホールダ制御部9により、電子線光軸上で角度を変えることが可能で、様々な角度から二次電子像,走査透過像,透過電子像を観察することが可能である。
【0011】
図2にFIB装置18の構成図を示す。FIB装置18鏡体は、イオン銃19,コンデンサーレンズ20,絞り21,走査電極22,対物レンズ23で構成されている。FIB装置18の試料室には、試料7を取り付けた試料ホールダ8上方に二次電子検出器24,試料7への保護膜の形成および試料台への試料7の固定のためのデポジション銃25,FIB加工により作製した微小試料の運搬のためのマイクロプローブ26がとりつけられている。二次電子検出器24には走査像表示装置27が接続されている。走査像表示装置27は走査電極制御部28を介して走査電極22に接続されている。また、マイクロプローブ26にはマイクロプローブ26の位置制御のためのマイクロプローブ制御装置29が接続されている。また、試料ホールダ8は、ホールダ制御部9に接続されている。イオン銃19から放出されたイオンビーム30は、コンデンサーレンズ20と絞り21により収束され、対物レンズ23を通過し、試料7上に収束する。対物レンズ23上方の走査電極22は、走査電極制御部28の指示により、試料7に入射するイオンビーム30を偏向し走査させる。イオンビーム30が試料7に照射されると、試料7はスパッタされるとともに二次電子を発生する。発生した二次電子は、二次電子検出器24により検出され走査像表示装置27に表示される。デポジション銃25より試料7方向に放出されたガスはイオンビーム30と反応し分解され、金属が試料7面上のイオンビーム30照射領域に堆積する。この堆積膜は、FIB加工前の試料7表面の保護膜の形成および微小試料片の試料台への固定に用いられる。試料7は試料ホールダ8に接続されたホールダ制御部9により、イオンビーム30光軸上で角度を変えることが可能で、様々な角度から加工することが可能である。
【0012】
図3に本発明の一実施例である荷電粒子線装置用試料ホールダ8の先端部の上面図(a)および断面図(b)を示す。試料ホールダ8は、先端部と連結されたホールダ軸31が、軸中心の周りに360°回転可能な機構を有し、さらに前記機構と独立して先端部に傘歯車32(第1の傘歯車)を有する別の回転軸33をホールダ軸31内部に有する。試料回転軸33はホールダ制御部9に接続され、ホールダ制御部9により、試料回転軸33および傘歯車32が回転する。傘歯車32と傘歯車34(第2の傘歯車)は噛み合うように接しており、試料回転軸33を回転することにより、傘歯車32が回転し、同時に傘歯車34が回転する。また、試料ホールダ8はFIB装置18内でイオンビーム30が入射する際、ホールダ8の構造物がイオンビーム30をさえぎることの無いよう一部解放された構造となっている。
【0013】
図4は本発明の一実施例である試料台35側面図(a)および斜視図(b)である。試料台35に微小試料片36を固定した状態の側面図および斜視図をそれぞれ(c),(d)に示す。微小試料片36は試料台35の先端に取り付けられている。試料台35先端部は微小試料片36の固定が容易なように平坦な形状を有する。微小試料片36と試料台35の接触部分には、FIB装置18のデポジション銃25を用いてデポジション膜37を形成させ、接着する。
【0014】
図5(a)に本発明の一実施例である荷電粒子線装置用試料ホールダ8に試料台35(試料支持部)を固定した例を示す。傘歯車32および34は中空状になっており、試料台35を差し込むように装着することができる。FIBによる加工を行うときは、試料台35を傘歯車34に装着し、FIB装置18に試料ホールダ8を挿入し、試料台35上方よりイオンビーム30を入射させ、微小試料片36を加工する。イオンビーム30を一点に留まらせたまま試料台35を回転させると、円筒状の微小試料片36を加工することができる。加工が終わったら、ホールダ軸31自体を90°回転させ透過電子顕微鏡1試料室にホールダ8を挿入し、試料台35の側面から電子線17を入射させる。すなわち、紙面に垂直方向から電子線17を入射させて透過像を観察する。この際、試料回転軸33を動かすことにより、傘歯車34が回転し、試料36の周囲360°の方向から観察することが可能である。また、図5(b)に示したように試料台35を付け替えるようにしてもよい。これにより、X線分析時において効率よくX線の取り出しが可能な方向を選択することができる。
【0015】
なお、上記説明では、試料台35を傘歯車34に固定した例について説明したが、無論、試料台35を傘歯車34に取り付け,取り外しができるような構成にしても良い。取り付け,取り外し可能とすることで、加工や観察条件に応じた試料台を採用することができる。
【0016】
図6に微小試料片36に対するイオンビーム30と電子線17の位置関係を示す。加工時は(a,b)に示すようにイオンビーム30を微小試料片36上方から入射させ、例えば角柱や円柱など任意の形状に加工する。加工した後に、透過電子顕微鏡1により、微小試料片36のイオンビーム30が入射した方向に対し垂直な方向から電子線17を入射させ、その内部を観察する。ここで、二次電子像を用いれば試料36表面の情報がえられ、走査透過電子像を用いることにより内部構造を観察することができる。また試料36は回転可能であるので全方位からの観察が可能となり、試料内部の構造の位置関係を立体的に捉えることが可能となる。
【0017】
図7に本発明の別の一実施例である荷電粒子線装置用試料ホールダ8の先端部の上面図(a)および側面図(b)を示す。試料ホールダ8には、先端と連結されたホールダ軸31自体が回転する機構、傘歯車32と38が設けられている。ホールダ8先端部全体は軸周りに360°回転可能である。試料回転軸33の先端には、傘歯車32が備え付けられている。また、傘歯車32と傘歯車38は噛み合うように接しているので、試料回転軸33を動作させることにより、傘歯車38を360°回転させることができる。試料台35は傘歯車38上の固定台
39に装着する。微小試料片36は試料台35の先端に取り付けられている。
【0018】
図7(c)を用いて試料36の加工方法を説明する。FIBにより試料36を加工する際には、試料ホールダ8のホールダ軸31をイオンビーム30が試料台35上方より入射するように回転し、傘歯車38を一部回転させながら加工する。これにより、例えば、半導体デバイスのようにエッチングレートの異なる材料で構成されている試料の場合、試料厚さに違いが生じ、いわゆる加工スジが出来てしまうことが問題であった。しかし、本実施例のように試料を回転させてイオンビーム19の入射方向を変えながら加工することにより、加工スジなく全体的に均一な厚さの試料を作製できる。作製した試料36は図7(b)に示すように電子線17を入射させ、その二次電子像および透過像を観察する。
【0019】
図8に示すように固定台39の構造を試料台35の取り外しが可能で、試料台35を二方向から取り付けられるようにしても良い。(a)が上面図(b),(c)側面図である。図7(b)のように試料台35は固定台39にイオンビーム30入射方向と平行にも装着でき、図7(c)のように、試料台35を電子線17入射方向と垂直に装着できる。これにより、試料ホールダ8のホールダ軸31自体に回転機構が無くてもFIB加工と電子顕微鏡観察が行える。
【0020】
【発明の効果】
本発明による荷電粒子線装置用試料ホールダを用いることにより、微小試料片を試料台から取り外すことなく、任意の方向からのイオンビームによる試料の加工と、任意の方向からの電子線による観察をすることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例であるTEM装置基本構成図。
【図2】本発明の一実施例であるFIB装置基本構成図。
【図3】本発明の一実施例である荷電粒子線装置用試料ホールダ先端部の上面図および断面図。
【図4】本発明の一実施例である荷電粒子線装置用試料台の側面図および斜視図。
【図5】本発明の一実施例である荷電粒子線装置用試料ホールダ先端部の上面図。
【図6】本発明実施時の試料加工および観察法説明図。
【図7】本発明の一実施例である荷電粒子線装置用試料ホールダ先端部の上面図および側面図。
【図8】本発明の一実施例である荷電粒子線装置用試料ホールダ先端部の上面図および側面図。
【符号の説明】
1…透過電子顕微鏡、2…電子銃、3…照射系レンズ、4,23…対物レンズ、5…投射レンズ、6…走査コイル、7…試料、8…試料ホールダ、9…ホールダ制御部、10,24…二次電子検出器、11,27…走査像表示装置、12…暗視野STEM像観察用円環状検出器、13…明視野検出器、14…TVカメラ、15…TVカメラ制御部、16…TVモニター、17…電子線、18…FIB装置、19…イオン銃、20…コンデンサーレンズ、21…絞り、22…走査電極、25…デポジション銃、26…マイクロプローブ、28…走査電極制御部、29…マイクロプローブ制御装置、30…イオンビーム、31…ホールダ軸、32,34,38…傘歯車、33…試料回転軸、35…試料台、36…微小試料片、37…デポジション膜、39…固定台。
Claims (6)
- 液体金属を備えたイオン源と、該イオン源から発せられたイオンビームを加速する高電圧電源と、イオンビームを試料面上に集束するレンズと、集束されたイオンビームを試料面上で走査する偏向装置と試料を固定した試料ホールダを挿入する試料室を備えた集束イオンビーム加工装置,電子を放出する電子源と該電子を加速する高電圧電源と試料上への電子の集束と、試料を透過した電子像を観察する機能を備えた電子線装置の双方に使用可能な共用試料ホールダにおいて、試料台を集束イオンビームの光軸を中心として、軸に垂直な面内を360°回転する機能を有することを特徴とする荷電粒子線装置用試料ホールダ。
- 請求項1記載の荷電粒子線装置用試料ホールダにおいて、ホールダ軸を中心として、軸に垂直な面内を360°回転する機能をホールダ軸内部に有することを特徴とする荷電粒子線装置用試料ホールダ。
- 請求項1の回転機構と請求項2の回転機構の双方に装着可能な試料台を有することを特徴とする荷電粒子線装置用試料ホールダ。
- 請求項2および請求項3記載の荷電粒子線装置用試料ホールダにおいて、電子線の進行方向に対し直角に固定した試料を電子線光軸を円心とし、360°回転できる機能を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置用試料ホールダ。
- 請求項2および請求項3記載の荷電粒子線装置用試料ホールダにおいて、集束イオンビームの進行方向に対し直角に固定した試料を集束イオンビーム光軸を円心とし、360°回転できる機能を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置用試料ホールダ。
- 荷電粒子線が照射される個所で、荷電粒子線の照射対象である試料を保持すると共に、荷電粒子線照射装置鏡体の側部から挿入可能に構成される試料ホールダにおいて、
前記挿入方向に回転軸を有する第1の傘歯車と、当該第1の傘歯車に噛み合うと共に、前記荷電粒子線の照射方向に回転軸を有する第2の傘歯車と、当該第2の傘歯車に固着、或いは取り付けられ、前記試料を支持する試料支持部を備えたことを特徴とする試料ホールダ。
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