JP2011129500A - トモグラフィー法を用いた試料の3次元画像取得方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】走査透過型電子顕微鏡において、試料の3次元画像を得る3次元画像取得手段を設け、該3次元画像取得手段を用いて試料の第1の3次元画像を得、次に、試料を裏返して該3次元画像取得手段を用いて試料の第2の3次元画像を得、得られた試料の第1の3次元画像と第2の3次元画像とから試料の3次元画像を得る、ように構成する。
【選択図】図1
Description
方法及び装置に関する
ように構成されたことを特徴とする。
以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する。本発明で用いる走査透過型電子顕微鏡(STEM)は、従来知られている既存のものを用いるものとする。図1は本発明による高分解トモグラフィー法の説明図である。本発明は高傾斜機構を有する試料保持台と、電子顕微鏡像の取得を制御する外部コンピュータと、取得した画像を演算するためのプログラムからなる。以上の構成は、以下に説明する実施例に共通のものである。
(実施例2)
実施例2の高分解トモグラフィー法は実施例1と同じである。試料保持台2が実施例1と異なる。図3は自動回転機構を持つ試料保持台の模式図である。2aは回転機構を持つ試料保持台である。該試料保持台2aには、リテーナー3と試料1が取り付けられている。この状態で、試料保持台2aを180度回転させると、試料1は丁度裏返しになる。実施例2では、試料保持台2aが180度回転することで、従来の試料を裏返す方法に比べて自動で180度回転できるので、試料の裏返しを操作性よく行なうことができる。
(実施例3)
図8は本発明による他の高分解能トモグラフィー法の説明図である。先ず通常のSTEMトモグラフィーと同様にして傾斜STEM像シリーズを取得し、CT法を適用して再構成断面像丸1を得る。次に、観察した試料を裏返して先ほどと同じ領域について傾斜STEM像シリーズを取得し、CT法を適用して再構成断面像丸2を得る。次に再構成断面像丸1と同じ方向になるように再構成断面像丸2を回転させる。
(実施例4)
図13は本発明による他の高分解能トモグラフィー法の説明図である。先ず、通常のSTEMトモグラフィーと同様にして傾斜STEM像シリーズを取得し、CT法を適用することで再構成断面像丸1を得る。次に、観察した試料を裏返して先ほどと同じ領域を再度、傾斜STEM像シリーズを取得し、CT法を適用して再構成断面像丸2を得る。
2 試料保持台
2a’ 試料保持台
3 リテーナー
Claims (7)
- 走査透過型電子顕微鏡において、試料を傾斜させて計算機トモグラフィー法を用いて試料の第1の3次元画像を得、
次に試料を裏返して試料を傾斜させて計算機トモグラフィー法を用いて試料の第2の3次元画像を得、
前記得られた試料の第1の3次元画像と前記試料の第2の3次元画像とから試料の3次元画像を得る、
ようにしたことを特徴とするトモグラフィー法を用いた試料の3次元画像取得方法。 - 走査透過型電子顕微鏡において、試料の3次元画像を得る3次元画像取得手段を設け、
該3次元画像取得手段を用いて試料の第1の3次元画像を得、
次に、試料を裏返して該3次元画像取得手段を用いて試料の第2の3次元画像を得、
得られた試料の第1の3次元画像と第2の3次元画像とから試料の3次元画像を得る、
ようにしたことを特徴とするトモグラフィー法を用いた試料の3次元画像取得装置。 - 前記試料を自動で裏返すための試料回転機構を設けたことを特徴とする請求項2記載のトモグラフィー法を用いた試料の3次元画像取得装置。
- 走査透過型電子顕微鏡において、試料を傾斜させて計算機トモグラフィー法を用いて試料の第1の再構成断面像を得、
次に試料を裏返して試料を傾斜させて計算機トモグラフィー法を用いて試料の第2の再構成断面像を得、
前記第1の再構成断面像をフーリエ変換して第1のフーリエ変換画像を得、
前記第2の再構成断面像を回転させた後フーリエ変換して第2のフーリエ変換画像を得、
これら第1のフーリエ変換画像と第2のフーリエ変換画像とを足し合わせて第3のフーリエ変換画像を得、
この第3のフーリエ変換画像を逆フーリエ変換して再構成された再構成断面像を得る、
ようにしたことを特徴とするトモグラフィー法を用いた試料の3次元画像取得方法。 - 走査透過型電子顕微鏡において、試料の再構成断面像を得る再構成断面像取得手段を設け、
該再構成断面像取得手段を用いて試料の第1の再構成断面像を得、
次に、試料を裏返して前記再構成断面像取得手段を用いて試料の第2の再構成断面像を得、
試料の再構成断面像をフーリエ変換するフーリエ変換手段を設け、
前記第1の再構成断面像を該フーリエ変換手段を用いて第1のフーリエ変換画像を得、
前記第2の再構成断面像を回転させた後、前記フーリエ変換手段を用いて第2のフーリエ変換画像を得、
これら第1のフーリエ変換画像と第2のフーリエ変換画像を加算して第3のフーリエ変換画像を得る加算手段を設け、
該加算手段の出力である第3のフーリエ変換画像を逆フーリエ変換する逆フーリエ変換手段を設け、
該逆フーリエ変換手段の出力を最終的な再構成断面像とする、
ように構成されたことを特徴とする試料の3次元画像取得装置。 - 傾斜STEM像シリーズを取得し、CT法を適用することで第1の再構成断面図を得、
次に、観察した試料を裏返して先ほどと同じ領域を再度、傾斜STEM像シリーズを取得し、CT法を適用して第2の再構成断面像を得、
次に、第1の再構成断面像と同じ方向になるように第2の再構成断面像を回転させ、
次に、第1の再構成断面像と第2の再構成断面像を実空間で足し合わせて第3の再構成断面像を得る、
ようにしたことを特徴とする試料の3次元画像取得方法。 - 走査透過型電子顕微鏡において、試料の再構成断面像を得る再構成断面像取得手段を設け、
該再構成断面像取得手段を用いて試料の第1の再構成断面像を得、
次に、試料を裏返して前記再構成断面像取得手段を用いて試料の第2の再構成断面像を得、
そして、第1の再構成断面像と同じ方向になるように第2の再構成断面像を回転させ、
次に、第1の再構成断面像と第2の再構成断面像を実空間で足し合わせる足し合わせ手段を設け、
該足し合わせ手段を用いて第1の再構成断面像と第2の再構成断面像を実空間で足し合わせて第3の再構成断面像を得る、
ように構成されたことを特徴とする試料の3次元画像取得装置。
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