JP2007018944A - 荷電粒子装置用試料台 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】上記目的は、荷電粒子線装置用の試料台21の上に、その試料台が如何なる方向の向いているかを特定するための目印22を設けることで達成される。即ち、試料台21の上に、試料の配置角度を特定できるような目印22を形成する。このような構成によれば、試料が配置方向を特定するための目印を持たずとも、また、歯車のバックラッシュがあったとしても、その向きを見失うことなく、加工,観察を継続することができる。更に試料台21に試料を取り付ける際に任意の方向に正確に試料を取り付けることが可能となる。
【選択図】図4
Description
FIB加工装置1の試料室には、試料9を取り付けた試料ホールダ10,その上方に二次電子検出器7,試料9への保護膜の形成および試料台への試料9の支持のための試料ホールダ8,FIB加工により作製した微小試料の運搬のためのマイクロプローブ12がとりつけられている。
Microscope),TEM(Transmission Electron Microscope),STEM(Scanning
Transmission Electron Microscope))にも挿入可能なように構成されている。試料ホールダ10は、図示しない電子顕微鏡鏡筒の側部から、挿入可能なように構成され、FIBによって加工された試料の任意の箇所について、透過電子線を用いた観察が可能となる。
22を元に追加工領域40を正確に把握することができる。図12(i)および図12
(j)は、追加工後の上面図および側面図である。これより、余分な部分が切除されているため、観察目的箇所27を鮮明に観察することができる。
41を1周配置する。その2本以上の線を含む領域をSEM像で取り込むことにより、1本の線を用いた試料台の水平補正、2本以上の線の間隔を用いた偏心補正の把握ができる。
Claims (6)
- 試料を支持するための試料台と、当該試料台を回転させる回転機構を備えた荷電粒子線装置用試料台において、前記試料台には、当該試料台の回転角を特定する目印が形成されていることを特徴とする荷電粒子線装置用試料台。
- 請求項1において、前記試料台の先端部は平坦化されており、当該平坦部の形状が円形あるいは多角形であることを特徴とする荷電粒子線装置用試料台。
- 請求項1において、前記目印は一定角度ごとに設けられていることを特徴とする荷電粒子線装置用試料台。
- 請求項1において、前記目印は、一定間隔ごとに設けられ、それぞれの目印には試料台の回転角度の情報が付されていることを特徴とする荷電粒子線装置用試料台。
- 請求項1において、前記試料台は、荷電粒子線装置の荷電粒子線走査範囲内に、前記目印と前記試料が含まれるような大きさに形成されていることを特徴とする荷電粒子線装置用試料台。
- 試料を支持するための試料台と、当該試料台を回転させる回転機構を備えた荷電粒子線装置用試料台において、当該試料台は集束イオンビーム装置、及び電子顕微鏡の両方に搭載可能であると共に、当該試料台には、前記集束イオンビーム装置によるイオンビームの照射方向と、前記電子顕微鏡による電子ビームの照射方向のそれぞれに前記試料台の回転角を特定する目印が形成されていることを特徴とする荷電粒子線装置用試料台。
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