JP2013104780A - 試料支持治具 - Google Patents
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Abstract
【課題】 試料の微小領域における高倍率な測定を容易に行うことができるようにするための試料支持治具を提供する。
【解決手段】 顕微測定の際に、試料ステージ11上に載置する被測定試料Sを固定支持するための試料支持治具12であって、非熱伝導性材料からなり、かつ、試料ステージ11により下部側が支持されるとともに、少なくとも上部側は細線形状または先細形状となるようして最上面に先端部12pが形成され、被測定試料Sの下面が先端部12pにより一点で支持される構造とする。
【選択図】図1
【解決手段】 顕微測定の際に、試料ステージ11上に載置する被測定試料Sを固定支持するための試料支持治具12であって、非熱伝導性材料からなり、かつ、試料ステージ11により下部側が支持されるとともに、少なくとも上部側は細線形状または先細形状となるようして最上面に先端部12pが形成され、被測定試料Sの下面が先端部12pにより一点で支持される構造とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、顕微測定のため試料ステージ上に試料を載置するときに用いる試料支持治具に関する。本発明の試料支持治具は、具体的には光学顕微鏡、レーザ顕微鏡、原子間力顕微鏡等を用いて各種観察測定を行ったり、表面処理をしたりするときに、試料ステージ上に試料を載置する際に用いられる。
被測定試料を1000倍あるいはそれ以上の高倍率で観察するために、光学顕微鏡、レーザ顕微鏡、さらには原子間力顕微鏡等、いろいろな顕微測定用の測定装置が用いられている。これらの測定機器を用いて顕微測定する試料の外形形状はさまざまである。以下、レーザ顕微鏡による顕微測定を例にして説明する。
共焦点光学系を用いたレーザ顕微鏡では、レーザ光源(例えば405nm半導体レーザ)からの入射レーザ光を、ハーフミラーを介して対物レンズに導き、試料の分析位置に集光させる。そして試料からの検出光(可視光や蛍光)を、再び対物レンズおよびハーフミラーに導き、ハーフミラー通過後の光路上(ハーフミラーにより入射レーザ光から分岐した別の光路上)に設けた共焦点ピンホールの位置に集光させた後、光検出器で光強度を検出する。このようにして検出される集光点(分析位置)からの検出光を、試料ステージに付設されたスキャナ機構を用いて2次元方向に走査しながら多数点採取することにより、2次元の光強度情報(2次元スライス画像)が得られる。
上述したレーザ顕微鏡によれば、共焦点ピンホールを用いて集光点以外からの光をカットできるため、光軸方向(高さ方向)の分解能を持つことが知られている。この特性を利用して、対物レンズと試料との光軸方向(高さ方向)の相対位置を一定にして2次元走査することにより画像を取得し、続いて、光軸方向の相対位置をわずかに変化させて再び2次元走査することにより再び画像を取得し、これを繰り返して複数の2次元スライス画像を取得し、これらの2次元スライス画像から3次元画像を再構築することにより試料の3次元画像を合成することができる(例えば、特許文献1、特許文献2参照)。
図5は、従来のレーザ顕微鏡の概略構成を示す図である。なお、水平面内の一方向をX方向とし、水平面内でX方向と垂直な方向をY方向とし、X方向とY方向とに垂直な方向(鉛直方向)をZ方向とする。
レーザ顕微鏡101は、試料Sが載置される試料ステージ111と、レーザ光を試料Sの分析位置に照射するレーザ光源20と、試料Sの分析位置からの検出光を光検出器により検出する光検出部30と、対物レンズ41と、ハーフミラー42と、レーザ顕微鏡101全体の制御を行うコンピュータ50とを備える。なお共焦点光学系のレーザ顕微鏡では光検出部30において光検出器の直前に共焦点ピンホールが配置されている。
レーザ顕微鏡101は、試料Sが載置される試料ステージ111と、レーザ光を試料Sの分析位置に照射するレーザ光源20と、試料Sの分析位置からの検出光を光検出器により検出する光検出部30と、対物レンズ41と、ハーフミラー42と、レーザ顕微鏡101全体の制御を行うコンピュータ50とを備える。なお共焦点光学系のレーザ顕微鏡では光検出部30において光検出器の直前に共焦点ピンホールが配置されている。
試料ステージ111は、金属製で平板形状の試料台であり、図示しないX方向駆動機構、Y方向駆動機構、Z方向駆動機構を備える。
試料ステージ111の上面には、試料Sを載せることが可能となっている。なお、試料ステージ111の上面と試料Sの下面とを、粘土やテープやネジ等の接着部材113を用いて固定するようにしてもよい。
試料ステージ111の上面には、試料Sを載せることが可能となっている。なお、試料ステージ111の上面と試料Sの下面とを、粘土やテープやネジ等の接着部材113を用いて固定するようにしてもよい。
このようなレーザ光源20によれば、−Z方向(鉛直下方)に向けて出射されたレーザ光は、ハーフミラー42を通過して対物レンズ41によって集束され、試料ステージ111に載せられた試料Sの分析位置(集光点)に照射されるようになっている。
一方、試料Sの分析位置(焦光点)からの検出光は、対物レンズ41とハーフミラー42とを介して光検出部30に導かれて光強度が検出される。
一方、試料Sの分析位置(焦光点)からの検出光は、対物レンズ41とハーフミラー42とを介して光検出部30に導かれて光強度が検出される。
コンピュータ50は、CPU51を備え、さらに入出力装置であるモニタ53(液晶パネル)と操作部54(マウス、ジョイスティック、キーボードなど)とが接続されている。また、CPU51で処理される機能をブロック化して説明すると、試料ステージ111を制御するステージ制御部51aと、光検出部30から光強度情報を取得する画像取得部51bとを有する。
ここで、レーザ顕微鏡101を用いて3次元画像を取得する取得方法について説明する。まず、分析者により試料ステージ110の上面に試料Sが載置される。測定を開始すると、試料ステージ111に載せられた試料Sの分析位置に向けてレーザ光が照射され、対物レンズ41で集光されたレーザ光は試料Sの分析位置(集光点)に絞られた状態で照射される。分析位置から出射された検出光は、再び対物レンズ41を通過し、ハーフミラー42によって進行方向をX方向に変え、光検出部30に導かれて光強度が検出される。そして、ステージ制御部51aにより試料ステージ111をXY2次元面内で走査し、さらにZ方向(高さ)をわずかずつ変化させて再び同様の2次元走査を繰り返すようにして、光検出部30に多数の2次元走査による検出光データを採取する。画像取得部51bは、光検出部30で検出された多数の2次元走査による検出光データを再構成することにより、試料Sの3次元画像をモニタ53に表示する。
しかしながら、上述したようなレーザ顕微鏡101では、平板状の試料やブロック形状の試料のように、試料ステージ111に直接接する試料表面が平面である試料を分析した場合には正確な3次元画像を取得することができたが、試料各部位での厚みが異なる試料、湾曲した試料(例えば光学レンズ、樹脂レンズ等)、厚みが薄い試料(例えばCD、DVD等)等を分析した場合には、正確な3次元画像を取得することができないという問題が発生した。特に、1000倍以上の高倍率で、各部位での厚みが異なる試料や湾曲した試料や厚みが薄い試料等を分析するときには、時々刻々変形するドリフト現象が発生し、微細な傷や研磨痕や表面処理した形状等の粗さ計測等の形状計測が困難であった。
そこで本発明は、そのようなドリフト現象の発生原因を究明し、試料の微小領域における高倍率な測定(観察)を容易に行うことができるようにするための試料支持治具を提供することを目的とする。
本件発明者らは、上記課題を解決するために、レーザ顕微鏡でドリフト現象の影響を低減して正確な3次元画像を取得する取得方法について鋭意検討を行った。その結果、平板状の試料やブロック形状の試料ではドリフトはほとんど問題にならない程度であるのに対し、各部位での厚みが異なる試料や湾曲した試料や厚みが薄い試料では、時々刻々と変形するドリフトが発生するようになっていた。この原因として、試料ステージから試料Sに複数の互いに離隔した経路で熱が伝導することに起因していることが原因の一つであることがわかった。そこで、試料ステージから試料自体に熱が伝導しにくくなるように、試料ステージの上で本発明に係る試料支持治具を用いて試料を支持すればよいことを見いだした。
すなわち、本発明の試料支持治具は、顕微測定の際に、試料ステージ上に載置する被測定試料を固定支持するための試料支持治具であって、前記試料支持治具は非熱伝導性材料からなり、かつ、前記試料ステージにより下部側が支持されるとともに、少なくとも上部側は細線形状または先細形状となるようして最上面に先端部が形成され、前記被測定試料の下面が前記先端部により一点で支持されるようにしている。
ここで「非熱伝導性材料」とは、熱伝導率が少なくとも10W/m・K以上である金属のような良熱伝導性材料ではなく、一般の樹脂材料のような熱伝導率が少なくとも1W/m・K以下である固体の熱絶縁性材料をいう。なお被測定試料を支持したときに変形しない樹脂材料であることが要求される。具体的にはABS樹脂等が好ましいが、例えばパーソナルコンピュータの入力装置であるメカニカルマウスに使用されているマウスボールの材料を用いることができる。
また、ここでいう「一点で支持」とは、厳密に点接触することをいうのではなく、顕微測定の視野程度の領域程度(例えば100μm角程度)での接触面積であれば好ましいが、接触面が0.1mm〜3mm径内であれば問題にならない程度までドリフト量を抑えることができる。
ここで「非熱伝導性材料」とは、熱伝導率が少なくとも10W/m・K以上である金属のような良熱伝導性材料ではなく、一般の樹脂材料のような熱伝導率が少なくとも1W/m・K以下である固体の熱絶縁性材料をいう。なお被測定試料を支持したときに変形しない樹脂材料であることが要求される。具体的にはABS樹脂等が好ましいが、例えばパーソナルコンピュータの入力装置であるメカニカルマウスに使用されているマウスボールの材料を用いることができる。
また、ここでいう「一点で支持」とは、厳密に点接触することをいうのではなく、顕微測定の視野程度の領域程度(例えば100μm角程度)での接触面積であれば好ましいが、接触面が0.1mm〜3mm径内であれば問題にならない程度までドリフト量を抑えることができる。
本発明によれば、試料支持治具が樹脂のような非熱伝導性材料で形成され、しかも被測定試料の下面が試料支持治具の先端部(支点)により一点で支持されるようにしてあるので、試料への熱伝達の経路が細い1本の流路だけになり、非常に伝達しにくい形状になっている。そのため試料ステージから試料へ流入する熱量が激減するようになり、ドリフト現象が低減される。
ちなみに、各部位での厚みが異なる試料や湾曲した試料や厚みが薄い試料では、試料ステージと試料との接点(支点)を、従来のように離隔した2点以上(通常は3点支持または多点支持)としたときには、熱伝達の経路がこれら2つ以上となり、別々に熱伝達がなされるので、顕微測定を行う微小測定領域は、各接点から別々に熱伝達の影響を受けて、不均一な熱の影響を受けるようになるのでドリフトが生じやすくなって、測定が困難になる。
ちなみに、各部位での厚みが異なる試料や湾曲した試料や厚みが薄い試料では、試料ステージと試料との接点(支点)を、従来のように離隔した2点以上(通常は3点支持または多点支持)としたときには、熱伝達の経路がこれら2つ以上となり、別々に熱伝達がなされるので、顕微測定を行う微小測定領域は、各接点から別々に熱伝達の影響を受けて、不均一な熱の影響を受けるようになるのでドリフトが生じやすくなって、測定が困難になる。
(他の課題を解決するための手段及び効果)
上記発明において、前記先端部と前記被測定試料との接触面において、前記先端部側の曲率半径が前記被測定試料側の曲率半径よりも小さくなるように、前記先端部の曲率半径を形成してもよい。これにより、確実に一点で支持することができる。
上記発明において、前記試料支持治具全体の形状が、球体、半球体、棒状体、円錐体、尖頭体であってもよい。なお、球体や棒状体では転げたり、倒れたりしないように試料ステージに安定的に固定するための補助脚を用いればよい。
上記発明において、前記先端部と前記被測定試料との接触面において、前記先端部側の曲率半径が前記被測定試料側の曲率半径よりも小さくなるように、前記先端部の曲率半径を形成してもよい。これにより、確実に一点で支持することができる。
上記発明において、前記試料支持治具全体の形状が、球体、半球体、棒状体、円錐体、尖頭体であってもよい。なお、球体や棒状体では転げたり、倒れたりしないように試料ステージに安定的に固定するための補助脚を用いればよい。
以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。なお、本発明は、以下に説明するような実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の態様が含まれる。
ここでは湾曲した透明樹脂レンズにおけるレンズ表面の粗さを、レーザ顕微鏡を用いて観察する場合を例にして説明する。この場合、被測定試料が支持される試料下面が凹曲面になる。
ここでは湾曲した透明樹脂レンズにおけるレンズ表面の粗さを、レーザ顕微鏡を用いて観察する場合を例にして説明する。この場合、被測定試料が支持される試料下面が凹曲面になる。
<第一実施形態>
図1は、本発明の第一実施形態に係るレーザ顕微鏡1を示す構成図である。なお、上述したレーザ顕微鏡101と同じ構成部分については、同符号を付して説明の一部を省略する。
レーザ顕微鏡1は、レンズ(試料)Sが載置される試料ステージ11と、レーザ光をレンズSの分析位置に照射するレーザ光源20と、レンズSの分析位置から放出された蛍光を検出する光検出部30と、対物レンズ41と、ハーフミラー42と、レーザ顕微鏡1全体の制御を行うコンピュータ50とからなる。
なお、レンズ(試料)Sの下面(凹面)の曲率半径をRとする。
図1は、本発明の第一実施形態に係るレーザ顕微鏡1を示す構成図である。なお、上述したレーザ顕微鏡101と同じ構成部分については、同符号を付して説明の一部を省略する。
レーザ顕微鏡1は、レンズ(試料)Sが載置される試料ステージ11と、レーザ光をレンズSの分析位置に照射するレーザ光源20と、レンズSの分析位置から放出された蛍光を検出する光検出部30と、対物レンズ41と、ハーフミラー42と、レーザ顕微鏡1全体の制御を行うコンピュータ50とからなる。
なお、レンズ(試料)Sの下面(凹面)の曲率半径をRとする。
試料ステージ11は、金属製の平板状からなり、図示しないX方向駆動機構、Y方向駆動機構、Z方向駆動機構により3次元的に移動できるようにしてある。
試料ステージ11の上面の中央には、非熱伝導性である樹脂製の球体12(具体的にはマウスボールの材料)の試料支持治具が同じ樹脂製の補助脚12a(リング状の脚)により転がらないようにして固定されている。この球体12は、上部側は最上面に近づくにつれて先細になる形状であり、球面の曲率半径rが、レンズSの曲率半径Rよりも小さくなるように、すなわち、(R>r)となる球体12の大きさを選択するようにしている。これにより球体12の最上面である先端部12pにレンズSを載せたときに、球体12の先端部12pとレンズSの下面とが一点で接するようにしてある。なお、必要があれば、安定して保持するために、接点部分を、粘土やテープなどの接着部材13を用いて固定させることも可能となっている。
試料ステージ11の上面の中央には、非熱伝導性である樹脂製の球体12(具体的にはマウスボールの材料)の試料支持治具が同じ樹脂製の補助脚12a(リング状の脚)により転がらないようにして固定されている。この球体12は、上部側は最上面に近づくにつれて先細になる形状であり、球面の曲率半径rが、レンズSの曲率半径Rよりも小さくなるように、すなわち、(R>r)となる球体12の大きさを選択するようにしている。これにより球体12の最上面である先端部12pにレンズSを載せたときに、球体12の先端部12pとレンズSの下面とが一点で接するようにしてある。なお、必要があれば、安定して保持するために、接点部分を、粘土やテープなどの接着部材13を用いて固定させることも可能となっている。
球体12の表面の平均粗度Raをある程度高く設定することで(後述するその他形状の試料支持治具でも同じ)、摩擦係数を高めて試料Sを滑りにくくして安定保持させることができる。具体的には、平均粗度Raを、例えば3μm〜10μm程度にすることが好ましい。平均粗度Raを3μm程度にすることで、試料Sが球体12から滑り落ちにくくなり、簡単に載置できるようになる。
ちなみに、比較例として鏡面に仕上げた金属球体に試料Sを載せた場合は、滑りやすく、安定的に支持するには慎重にセットすることが必要であった。
ちなみに、比較例として鏡面に仕上げた金属球体に試料Sを載せた場合は、滑りやすく、安定的に支持するには慎重にセットすることが必要であった。
試料ステージ11は、コンピュータ50のステージ制御部51aによってXYZ各方向の駆動機構へ駆動信号が出力されることにより、所望の方向に移動できるようになっている。
ここで、レーザ顕微鏡1を用いて3次元画像を取得する取得方法について説明する。
まず、分析者により試料ステージ11上に載せた球体12(試料支持治具)の先端部12pに、レンズSが載せられて固定される。測定が開始されると、コンピュータ50のCPU51からの制御信号により、球体12に固定保持されたレンズSの分析位置に、−Z方向に向けてレーザ光が照射される。そしてレンズSの分析位置から放出された検出光は、ハーフミラー42によって進行方向をX方向に変え、光検出部30に導かれる。ステージ制御部51aは試料ステージ11のZ方向の位置(高さ)を固定した状態で試料ステージ11をXY方向に走査し、その高さでの2次元データを採取する。さらにZ方向を少し変化させて再びXY方向に走査するようにし、同様の走査を繰り返し、次々と検出光を光検出部30に導く。その結果、画像取得部51bには、高さが異なる多数の2次元画像が採取される。そして、採取された多数の2次元画像に基づいて3次元画像を再構成し、レンズSの3次元画像をモニタ53に表示する。図2は、作成された3次元画像の一例である。
まず、分析者により試料ステージ11上に載せた球体12(試料支持治具)の先端部12pに、レンズSが載せられて固定される。測定が開始されると、コンピュータ50のCPU51からの制御信号により、球体12に固定保持されたレンズSの分析位置に、−Z方向に向けてレーザ光が照射される。そしてレンズSの分析位置から放出された検出光は、ハーフミラー42によって進行方向をX方向に変え、光検出部30に導かれる。ステージ制御部51aは試料ステージ11のZ方向の位置(高さ)を固定した状態で試料ステージ11をXY方向に走査し、その高さでの2次元データを採取する。さらにZ方向を少し変化させて再びXY方向に走査するようにし、同様の走査を繰り返し、次々と検出光を光検出部30に導く。その結果、画像取得部51bには、高さが異なる多数の2次元画像が採取される。そして、採取された多数の2次元画像に基づいて3次元画像を再構成し、レンズSの3次元画像をモニタ53に表示する。図2は、作成された3次元画像の一例である。
以上のように、本発明のレーザ顕微鏡1によれば、樹脂製の球体12(試料支持治具)により試料ステージ11からレンズSに熱が伝導しにくい構造としたため、試料ステージ11をXY方向とZ方向とに移動させながら検出光を光検出部30に導いて計測する間に、ほとんどドリフトが発生せず、正確な3次元画像を取得することができる。
なお、比較例として、樹脂製の球体12を、金属製の球体に代え、他の条件は同じにして計測してみたが、その場合は顕著にドリフト現象が発生し、計測ができなかった。すなわち、金属球体ではドリフト低減の効果は得られなかった。
<第二実施形態>
図3は、本発明の第二実施形態に係る試料ステージ61の断面図である。試料ステージ61は、第一実施形態の図1の例と同様に、金属製の平板形状からなり、X方向駆動機構、Y方向駆動機構、Z方向駆動機構を備えている。
試料ステージ61の上面の中央には、非熱伝導性である樹脂製の細線で形成された円柱体62(棒状体)の試料支持治具が補助脚62aにより固定されている。なお、これら以外の構成部分については第一実施形態と同様なので、同じ符号を付すことにより説明の一部を省略する。
図3は、本発明の第二実施形態に係る試料ステージ61の断面図である。試料ステージ61は、第一実施形態の図1の例と同様に、金属製の平板形状からなり、X方向駆動機構、Y方向駆動機構、Z方向駆動機構を備えている。
試料ステージ61の上面の中央には、非熱伝導性である樹脂製の細線で形成された円柱体62(棒状体)の試料支持治具が補助脚62aにより固定されている。なお、これら以外の構成部分については第一実施形態と同様なので、同じ符号を付すことにより説明の一部を省略する。
そして、円柱体62の先端部62p(最上面)で、レンズSの下面が固定支持されるようにしてある。先端部62pは測定視野となる直径100μmの領域と、ほぼ同程度の接触面積で試料Sと接するようにしてあり、この部分により一点で固定保持されるようにしてある。なお、ここでも接着部材63(粘土またはテープ)により固定されるようにしてもよい。
以上のように、試料ステージ61では、試料ステージ61からレンズSに熱が伝導しにくい構造のため、試料ステージ61をXY方向およびZ方向に移動させながら、光検出部30に検出光を導いて検出している間も、ほとんどドリフトの発生がなくなり、正確な3次元画像を取得することができる。
<第三実施形態>
図4は、本発明の第三実施形態に係る試料ステージ71の断面図である。試料ステージ71は、第一実施形態の図1の例と同様に、金属製の平板形状からなり、X方向駆動機構、Y方向駆動機構、Z方向駆動機構を備えている。
試料ステージ71の上面の中央には、非熱伝導性である樹脂製の円錐体72の試料支持治具が固定されている。円錐体72は先端部72pに近づくにつれて先細になる形状である。なお、これら以外の構成部分については第一実施形態と同様なので、同じ符号を付すことにより説明の一部を省略する。
そして、円錐体72の先端部72p(最上面)にて、レンズSの下面が固定支持されるようにしてある。ここでも接着部材73(粘土またはテープ)により固定されるようにしてもよい。先端部72p(最上面)は測定視野である直径100μmの領域と、ほぼ同程度の接触面積で試料Sと接するようにして、この部分により一点で固定保持されるようにしてある。
図4は、本発明の第三実施形態に係る試料ステージ71の断面図である。試料ステージ71は、第一実施形態の図1の例と同様に、金属製の平板形状からなり、X方向駆動機構、Y方向駆動機構、Z方向駆動機構を備えている。
試料ステージ71の上面の中央には、非熱伝導性である樹脂製の円錐体72の試料支持治具が固定されている。円錐体72は先端部72pに近づくにつれて先細になる形状である。なお、これら以外の構成部分については第一実施形態と同様なので、同じ符号を付すことにより説明の一部を省略する。
そして、円錐体72の先端部72p(最上面)にて、レンズSの下面が固定支持されるようにしてある。ここでも接着部材73(粘土またはテープ)により固定されるようにしてもよい。先端部72p(最上面)は測定視野である直径100μmの領域と、ほぼ同程度の接触面積で試料Sと接するようにして、この部分により一点で固定保持されるようにしてある。
以上のように、試料ステージ71では、試料ステージ71からレンズSに熱が伝導しにくい構造のため、試料ステージ71をXY方向およびZ方向に移動させながら、光検出部30に検出光を導くことにより、レンズSにドリフトが発生せず正確な3次元画像を取得することができる。
<他の実施形態>
(1)上述した試料ステージ11では、試料ステージ11の上面の中央には、球体12を載せたが、底面を平面とした半球体を試料ステージ11に載せる構成としてもよい。
(2)上述した試料ステージ71では、試料ステージ71の上面の中央には、円錐体72が形成されている構成を示したが、三角錐体や四角錐体が形成されている構成としてもよい。
以上、レーザ顕微鏡による測定を例にして説明したが、光学顕微鏡による測定、原子間力顕微鏡による測定においても本発明を適用することができる。
(1)上述した試料ステージ11では、試料ステージ11の上面の中央には、球体12を載せたが、底面を平面とした半球体を試料ステージ11に載せる構成としてもよい。
(2)上述した試料ステージ71では、試料ステージ71の上面の中央には、円錐体72が形成されている構成を示したが、三角錐体や四角錐体が形成されている構成としてもよい。
以上、レーザ顕微鏡による測定を例にして説明したが、光学顕微鏡による測定、原子間力顕微鏡による測定においても本発明を適用することができる。
本発明の試料支持治具は、光学顕微鏡、レーザ顕微鏡、原子間力顕微鏡の試料ステージ上で好適に利用できる。
1 レーザ顕微鏡
10 試料ステージ
12 試料支持治具(球体)
12p 先端部
10 試料ステージ
12 試料支持治具(球体)
12p 先端部
Claims (3)
- 顕微測定の際に、試料ステージ上に載置する被測定試料を固定支持するための試料支持治具であって、
前記試料支持治具は非熱伝導性材料からなり、かつ、前記試料ステージにより下部側が支持されるとともに、少なくとも上部側は細線形状または先細形状となるようして最上面に先端部が形成され、
前記被測定試料の下面が前記先端部により一点で支持されることを特徴とする試料支持治具。 - 前記先端部と前記被測定試料との接触面において、前記先端部側の曲率半径が前記被測定試料側の曲率半径よりも小さくなるように、前記先端部の曲率半径を形成してある請求項1に記載の試料支持治具。
- 前記試料支持治具全体の形状が、球体、半球体、棒状体、円錐体、尖頭体のいずれかである請求項1または請求項2に記載の試料支持治具。
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Citations (13)
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---|---|---|---|---|
JPH02504314A (ja) * | 1988-03-21 | 1990-12-06 | ザ ボード オブ トラステイーズ オブ ザ ユニバーシテイ オブ イリノイ | 可変温度走査トンネル顕微鏡 |
JPH0619253U (ja) * | 1992-08-19 | 1994-03-11 | 株式会社ニコン | 試料ホルダー |
JPH0668828A (ja) * | 1991-10-24 | 1994-03-11 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡用試料ホルダ |
JPH07103988A (ja) * | 1993-10-01 | 1995-04-21 | Shimadzu Corp | 走査型プローブ顕微鏡 |
JPH1090610A (ja) * | 1996-09-17 | 1998-04-10 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡 |
JPH10507284A (ja) * | 1995-07-31 | 1998-07-14 | ライカ ミクロスコピー ウント ズュステーメ ゲーエムベーハー | 薄いスライドガラスのための保持器 |
JPH11237390A (ja) * | 1998-02-19 | 1999-08-31 | Seiko Instruments Inc | プローブ走査装置 |
JP2000241332A (ja) * | 1999-02-25 | 2000-09-08 | Jeol Ltd | 走査型プローブ顕微鏡 |
JP2002018687A (ja) * | 2000-07-06 | 2002-01-22 | Hoya Corp | 眼鏡レンズ用画像撮像装置のレンズ保持装置 |
JP2003279440A (ja) * | 2002-03-26 | 2003-10-02 | Tomey Corp | 眼用レンズの厚み測定方法 |
JP2005127914A (ja) * | 2003-10-24 | 2005-05-19 | Fujinon Corp | 干渉計装置の被検レンズ載置台 |
JP2007018944A (ja) * | 2005-07-11 | 2007-01-25 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子装置用試料台 |
WO2009081928A1 (ja) * | 2007-12-26 | 2009-07-02 | Hoya Corporation | レンズ用画像撮像装置 |
-
2011
- 2011-11-14 JP JP2011248745A patent/JP5708451B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02504314A (ja) * | 1988-03-21 | 1990-12-06 | ザ ボード オブ トラステイーズ オブ ザ ユニバーシテイ オブ イリノイ | 可変温度走査トンネル顕微鏡 |
JPH0668828A (ja) * | 1991-10-24 | 1994-03-11 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡用試料ホルダ |
JPH0619253U (ja) * | 1992-08-19 | 1994-03-11 | 株式会社ニコン | 試料ホルダー |
JPH07103988A (ja) * | 1993-10-01 | 1995-04-21 | Shimadzu Corp | 走査型プローブ顕微鏡 |
JPH10507284A (ja) * | 1995-07-31 | 1998-07-14 | ライカ ミクロスコピー ウント ズュステーメ ゲーエムベーハー | 薄いスライドガラスのための保持器 |
JPH1090610A (ja) * | 1996-09-17 | 1998-04-10 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡 |
JPH11237390A (ja) * | 1998-02-19 | 1999-08-31 | Seiko Instruments Inc | プローブ走査装置 |
JP2000241332A (ja) * | 1999-02-25 | 2000-09-08 | Jeol Ltd | 走査型プローブ顕微鏡 |
JP2002018687A (ja) * | 2000-07-06 | 2002-01-22 | Hoya Corp | 眼鏡レンズ用画像撮像装置のレンズ保持装置 |
JP2003279440A (ja) * | 2002-03-26 | 2003-10-02 | Tomey Corp | 眼用レンズの厚み測定方法 |
JP2005127914A (ja) * | 2003-10-24 | 2005-05-19 | Fujinon Corp | 干渉計装置の被検レンズ載置台 |
JP2007018944A (ja) * | 2005-07-11 | 2007-01-25 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子装置用試料台 |
WO2009081928A1 (ja) * | 2007-12-26 | 2009-07-02 | Hoya Corporation | レンズ用画像撮像装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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