JPH1090610A - 走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
走査型プローブ顕微鏡Info
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- JPH1090610A JPH1090610A JP8245263A JP24526396A JPH1090610A JP H1090610 A JPH1090610 A JP H1090610A JP 8245263 A JP8245263 A JP 8245263A JP 24526396 A JP24526396 A JP 24526396A JP H1090610 A JPH1090610 A JP H1090610A
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- stage
- sample
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q30/00—Auxiliary means serving to assist or improve the scanning probe techniques or apparatus, e.g. display or data processing devices
- G01Q30/02—Non-SPM analysing devices, e.g. SEM [Scanning Electron Microscope], spectrometer or optical microscope
- G01Q30/025—Optical microscopes coupled with SPM
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- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Radiology & Medical Imaging (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】周辺の雰囲気の温度ゆらぎによるステージの変
形の発生が防止された倒立型光学顕微鏡一体型走査型プ
ローブ顕微鏡を提供する。 【解決手段】試料を載せたスライドガラス１８を載置す
る試料ステージ２０の上側にＳＰＭユニット３０が配置
されている。試料ステージ２０の上には、これと共働し
て試料ステージ２０の上面に触れる雰囲気を外界から遮
断するカバー２８が適宜設置される。試料ステージ２０
の下側には、倍率の異なる複数の対物レンズ５２が取り
付けられたレボルバ５４が位置しており、これを回転さ
せることにより所望の倍率の対物レンズ５２が光路上に
配置される。試料ステージ２０は対物レンズ５２による
光学観察を可能にする開口を有している。開口周辺の中
央部分は対物レンズ５２の回転を妨げないようにテーパ
ー状に肉薄に作られている。このテーパー状の肉薄部分
の下面には断熱部材２２が設けられている。
形の発生が防止された倒立型光学顕微鏡一体型走査型プ
ローブ顕微鏡を提供する。 【解決手段】試料を載せたスライドガラス１８を載置す
る試料ステージ２０の上側にＳＰＭユニット３０が配置
されている。試料ステージ２０の上には、これと共働し
て試料ステージ２０の上面に触れる雰囲気を外界から遮
断するカバー２８が適宜設置される。試料ステージ２０
の下側には、倍率の異なる複数の対物レンズ５２が取り
付けられたレボルバ５４が位置しており、これを回転さ
せることにより所望の倍率の対物レンズ５２が光路上に
配置される。試料ステージ２０は対物レンズ５２による
光学観察を可能にする開口を有している。開口周辺の中
央部分は対物レンズ５２の回転を妨げないようにテーパ
ー状に肉薄に作られている。このテーパー状の肉薄部分
の下面には断熱部材２２が設けられている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、試料を光学的に観
察するための倒立型光学顕微鏡を有している走査型プロ
ーブ顕微鏡に関する。
察するための倒立型光学顕微鏡を有している走査型プロ
ーブ顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】走査型プローブ顕微鏡は、探針と試料の
間の相互作用に基づいて試料の凹凸や物性値をサブμｍ
からサブｎｍオーダーの分解能で測定する装置である。
原子間力顕微鏡は、弾性体に支持された探針とこれに対
向した試料との間に働く力を探針変位として検出し、こ
れに基づいて試料の凹凸や物性値を測定する装置であ
り、走査型プローブ顕微鏡の代表的なものである。
間の相互作用に基づいて試料の凹凸や物性値をサブμｍ
からサブｎｍオーダーの分解能で測定する装置である。
原子間力顕微鏡は、弾性体に支持された探針とこれに対
向した試料との間に働く力を探針変位として検出し、こ
れに基づいて試料の凹凸や物性値を測定する装置であ
り、走査型プローブ顕微鏡の代表的なものである。
【０００３】走査型プローブ顕微鏡には、探針と試料の
間の位置決めのために光学顕微鏡を組み込んだものがあ
る。このような光学顕微鏡一体型走査型プローブ顕微鏡
は例えば特願昭６３−５０６７０１号に開示されてい
る。
間の位置決めのために光学顕微鏡を組み込んだものがあ
る。このような光学顕微鏡一体型走査型プローブ顕微鏡
は例えば特願昭６３−５０６７０１号に開示されてい
る。
【０００４】生物試料の光学観察は、一般に倒立型光学
顕微鏡を用いて透過照明による顕微鏡観察や落射照明に
よる蛍光顕微鏡観察により行なわれている。これに対応
して、倒立型光学顕微鏡と走査型プローブ顕微鏡とを組
み合わせた倒立型光学顕微鏡一体型走査型プローブ顕微
鏡がある。このような装置は例えば特開平７−２８０８
１７号に開示されている。
顕微鏡を用いて透過照明による顕微鏡観察や落射照明に
よる蛍光顕微鏡観察により行なわれている。これに対応
して、倒立型光学顕微鏡と走査型プローブ顕微鏡とを組
み合わせた倒立型光学顕微鏡一体型走査型プローブ顕微
鏡がある。このような装置は例えば特開平７−２８０８
１７号に開示されている。
【０００５】倒立型光学顕微鏡一体型走査型プローブ顕
微鏡の一例を図３に示す。図３に示すように、試料を載
せたスライドガラス１８を載置する試料ステージ２０の
上側には、ＳＰＭユニット３０が配置されている。ＳＰ
Ｍユニット３０は、ｚステージ３２と、円筒型圧電アク
チュエーター３６と、カンチレバー変位センサー４０
と、カンチレバー５０とで構成されている。円筒型圧電
アクチュエーター３６の上端は、上下方向に移動可能な
ｚステージ３２のスライダー３４に固定されている。円
筒型圧電アクチュエーター３６の下端にはカンチレバー
変位センサー４０が固定されており、カンチレバー変位
センサー４０の下側にカンチレバー５０が取り付けられ
る。カンチレバー５０はその自由端に探針を備えてお
り、この探針と試料の間に働く相互作用たとえば原子間
力を受けて変位する。
微鏡の一例を図３に示す。図３に示すように、試料を載
せたスライドガラス１８を載置する試料ステージ２０の
上側には、ＳＰＭユニット３０が配置されている。ＳＰ
Ｍユニット３０は、ｚステージ３２と、円筒型圧電アク
チュエーター３６と、カンチレバー変位センサー４０
と、カンチレバー５０とで構成されている。円筒型圧電
アクチュエーター３６の上端は、上下方向に移動可能な
ｚステージ３２のスライダー３４に固定されている。円
筒型圧電アクチュエーター３６の下端にはカンチレバー
変位センサー４０が固定されており、カンチレバー変位
センサー４０の下側にカンチレバー５０が取り付けられ
る。カンチレバー５０はその自由端に探針を備えてお
り、この探針と試料の間に働く相互作用たとえば原子間
力を受けて変位する。
【０００６】カンチレバー５０の変位を計測するカンチ
レバー変位センサー４０は、光てこ法を利用した光学式
変位センサーで、半導体レーザー４２と、レーザー光を
平行ビームに変えるレンズ４４と、平行ビームをカンチ
レバーに向けて反射するミラー４６と、カンチレバーか
らの反射光を受ける二分割受光素子４８とを備えてい
る。
レバー変位センサー４０は、光てこ法を利用した光学式
変位センサーで、半導体レーザー４２と、レーザー光を
平行ビームに変えるレンズ４４と、平行ビームをカンチ
レバーに向けて反射するミラー４６と、カンチレバーか
らの反射光を受ける二分割受光素子４８とを備えてい
る。
【０００７】円筒型圧電アクチュエーター３６の上方に
は、その内側の空間を通して試料を照明する照明装置６
０が配置されている。照明装置６０は、照明光を射出す
る光源６２と、レンズ６４と、位相差観察用のリング開
口６８を有するスライダ６６と、コンデンサ７０とを有
している。リング開口６８は位相差観察の際に照明光路
上に配置される。
は、その内側の空間を通して試料を照明する照明装置６
０が配置されている。照明装置６０は、照明光を射出す
る光源６２と、レンズ６４と、位相差観察用のリング開
口６８を有するスライダ６６と、コンデンサ７０とを有
している。リング開口６８は位相差観察の際に照明光路
上に配置される。
【０００８】試料ステージ２０の下側には、位相差開口
に対応した位相差用対物レンズ５２、対物レンズ５２か
らの観察光を反射するミラー５６、光学像を撮るＣＣＤ
カメラ５８が配置されている。
に対応した位相差用対物レンズ５２、対物レンズ５２か
らの観察光を反射するミラー５６、光学像を撮るＣＣＤ
カメラ５８が配置されている。
【０００９】図３には、装置構成を概略的に示す目的か
ら一個の対物レンズ５２だけが描かれているが、実際
は、図４に示すように、倍率の異なる複数の対物レンズ
５２がレボルバ１０に取り付けられており、レボルバ５
４を回転させることより所望の倍率の対物レンズ５２が
光路上に配置される。
ら一個の対物レンズ５２だけが描かれているが、実際
は、図４に示すように、倍率の異なる複数の対物レンズ
５２がレボルバ１０に取り付けられており、レボルバ５
４を回転させることより所望の倍率の対物レンズ５２が
光路上に配置される。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】試料ステージ２０は、
図４に示すように、対物レンズ５２を用いた試料の光学
観察を可能にする円形の開口を中央に有している。開口
周辺の中央部分は、レボルバ５４による対物レンズ５２
の回転を妨げないように、テーパー状となっており、特
に開口周縁部は非常に肉薄となっている。このため、試
料ステージ２０の周辺の雰囲気に温度ゆらぎがあると、
温度変化に起因する試料ステージ２０の上面と下面の熱
膨張のために、図５に示すように、試料ステージ２０の
開口周縁部が変形してしまう。この試料ステージ２０の
変形は温度変化に対してほとんど時間遅れなく生じる。
倒立型光学顕微鏡に通常使用されている試料ステージ２
０において、０．１℃の温度ゆらぎは開口周縁を高さ方
向に１０〜３０ｎｍ程度変形させる。
図４に示すように、対物レンズ５２を用いた試料の光学
観察を可能にする円形の開口を中央に有している。開口
周辺の中央部分は、レボルバ５４による対物レンズ５２
の回転を妨げないように、テーパー状となっており、特
に開口周縁部は非常に肉薄となっている。このため、試
料ステージ２０の周辺の雰囲気に温度ゆらぎがあると、
温度変化に起因する試料ステージ２０の上面と下面の熱
膨張のために、図５に示すように、試料ステージ２０の
開口周縁部が変形してしまう。この試料ステージ２０の
変形は温度変化に対してほとんど時間遅れなく生じる。
倒立型光学顕微鏡に通常使用されている試料ステージ２
０において、０．１℃の温度ゆらぎは開口周縁を高さ方
向に１０〜３０ｎｍ程度変形させる。
【００１１】このようなステージの変形は走査型プロー
ブ顕微鏡による測定（ＳＰＭ測定）にとっては高さ方向
の誤差となる。走査型プローブ顕微鏡は高さ方向にｎｍ
オーダーの非常に高い分解能を有しているため、ステー
ジの変形はその測定結果を非常に不正確なものとし、結
果的に正確な試料表面の凹凸情報の取得を妨げる。
ブ顕微鏡による測定（ＳＰＭ測定）にとっては高さ方向
の誤差となる。走査型プローブ顕微鏡は高さ方向にｎｍ
オーダーの非常に高い分解能を有しているため、ステー
ジの変形はその測定結果を非常に不正確なものとし、結
果的に正確な試料表面の凹凸情報の取得を妨げる。
【００１２】本発明はこのような現状を鑑みて成された
ものであり、その目的は周辺の雰囲気の温度ゆらぎによ
るステージの変形の発生が防止された倒立型光学顕微鏡
一体型走査型プローブ顕微鏡を提供することである。
ものであり、その目的は周辺の雰囲気の温度ゆらぎによ
るステージの変形の発生が防止された倒立型光学顕微鏡
一体型走査型プローブ顕微鏡を提供することである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明は、試料を載置す
るための試料ステージと、試料ステージの上方に配置さ
れたＳＰＭ測定を行なうためのＳＰＭユニットと、試料
を光学的に観察するための倒立型光学顕微鏡とを有する
走査型プローブ顕微鏡において、試料ステージの下面の
少なくとも一部に断熱部材が設けられており、さらに試
料ステージと共働して試料ステージの上面に触れる雰囲
気を外界から遮断するカバーを有していることを特徴と
する。
るための試料ステージと、試料ステージの上方に配置さ
れたＳＰＭ測定を行なうためのＳＰＭユニットと、試料
を光学的に観察するための倒立型光学顕微鏡とを有する
走査型プローブ顕微鏡において、試料ステージの下面の
少なくとも一部に断熱部材が設けられており、さらに試
料ステージと共働して試料ステージの上面に触れる雰囲
気を外界から遮断するカバーを有していることを特徴と
する。
【００１４】試料ステージの上側の雰囲気は、試料ステ
ージとカバーによって外界から遮断されるため、温度ゆ
らぎのないものとなる。また、試料ステージの下側の雰
囲気の温度ゆらぎは、断熱部材で吸収させるため、試料
ステージの下面に達しない。この結果、試料ステージの
上面と下面は温度ゆらぎによる変形を生じない。
ージとカバーによって外界から遮断されるため、温度ゆ
らぎのないものとなる。また、試料ステージの下側の雰
囲気の温度ゆらぎは、断熱部材で吸収させるため、試料
ステージの下面に達しない。この結果、試料ステージの
上面と下面は温度ゆらぎによる変形を生じない。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
の実施の形態について説明する。 〔第一の実施の形態〕本実施形態の倒立型光学顕微鏡一
体型走査型プローブ顕微鏡を図１に示す。図１は装置の
主要部を示しており、試料を照明する照明部と、試料の
光学像を撮る撮像部は省略してある。
の実施の形態について説明する。 〔第一の実施の形態〕本実施形態の倒立型光学顕微鏡一
体型走査型プローブ顕微鏡を図１に示す。図１は装置の
主要部を示しており、試料を照明する照明部と、試料の
光学像を撮る撮像部は省略してある。
【００１６】（構成）図１に示すように、試料を載せた
スライドガラス等の透明基板１８を載置する試料ステー
ジ２０の上側に、ＳＰＭユニット３０が配置されてい
る。ＳＰＭユニット３０は、ｚステージ３２と、円筒型
圧電アクチュエーター３６、カンチレバー変位センサー
４０、カンチレバー５０とで構成されている。円筒型圧
電アクチュエーター３６の上端は、上下方向に移動する
ｚステージ３２のスライダー３４に固定されている。円
筒型圧電アクチュエーター３６の下端にはカンチレバー
変位センサー４０が固定されており、カンチレバー変位
センサー４０の下側にカンチレバー５０が取り付けられ
る。カンチレバー５０はその自由端に探針を備えてお
り、この探針と試料の間に働く相互作用たとえば原子間
力を受けて変位する。このカンチレバー５０の変位はカ
ンチレバー変位センサー４０によって計測される。
スライドガラス等の透明基板１８を載置する試料ステー
ジ２０の上側に、ＳＰＭユニット３０が配置されてい
る。ＳＰＭユニット３０は、ｚステージ３２と、円筒型
圧電アクチュエーター３６、カンチレバー変位センサー
４０、カンチレバー５０とで構成されている。円筒型圧
電アクチュエーター３６の上端は、上下方向に移動する
ｚステージ３２のスライダー３４に固定されている。円
筒型圧電アクチュエーター３６の下端にはカンチレバー
変位センサー４０が固定されており、カンチレバー変位
センサー４０の下側にカンチレバー５０が取り付けられ
る。カンチレバー５０はその自由端に探針を備えてお
り、この探針と試料の間に働く相互作用たとえば原子間
力を受けて変位する。このカンチレバー５０の変位はカ
ンチレバー変位センサー４０によって計測される。
【００１７】試料ステージ２０の上にはカバー２８が適
宜配置される。カバー２８は試料ステージ２０と共働し
て試料ステージ２０の上面に触れる雰囲気を外界から遮
断する。
宜配置される。カバー２８は試料ステージ２０と共働し
て試料ステージ２０の上面に触れる雰囲気を外界から遮
断する。
【００１８】また、このカバー２８は、試料を照明する
ための光路を確保するために、透明な部材が使用されて
いる。例えば、図３に示される円筒型圧電アクチュエー
ター３６の上方から試料を照明する照明装置６０を用い
た場合、透明な材質からなる窓２８ａを設けて、試料を
照明する。
ための光路を確保するために、透明な部材が使用されて
いる。例えば、図３に示される円筒型圧電アクチュエー
ター３６の上方から試料を照明する照明装置６０を用い
た場合、透明な材質からなる窓２８ａを設けて、試料を
照明する。
【００１９】更に、試料やカンチレバー５０等の状態を
常時観察するのであれば、窓２８ａを含むカバー２８の
全面を透明な材質で構成すればよい。試料ステージ２０
の下側には、レボルバ５４が配置されている。レボルバ
５４には、倍率の異なる複数の対物レンズ５２が取り付
けられており、レボルバ５４を回転させることにより、
所望の倍率の対物レンズ５２が光路上に配置される。光
路上に配置された対物レンズ５２は、撮像部（図示せ
ず）と共働して光学顕微鏡を構成する。
常時観察するのであれば、窓２８ａを含むカバー２８の
全面を透明な材質で構成すればよい。試料ステージ２０
の下側には、レボルバ５４が配置されている。レボルバ
５４には、倍率の異なる複数の対物レンズ５２が取り付
けられており、レボルバ５４を回転させることにより、
所望の倍率の対物レンズ５２が光路上に配置される。光
路上に配置された対物レンズ５２は、撮像部（図示せ
ず）と共働して光学顕微鏡を構成する。
【００２０】試料ステージ２０は、対物レンズ５２を用
いた試料の光学観察を可能にする円形の開口を中央に有
している。開口周辺の中央部分は、レボルバ５４による
対物レンズ５２の回転を妨げないように、テーパー状に
肉薄に作られている。テーパー状の中央部分の下面には
断熱部材２２が設けられている。断熱部材２２は例えば
１ｍｍ厚のゴムシートからなる。
いた試料の光学観察を可能にする円形の開口を中央に有
している。開口周辺の中央部分は、レボルバ５４による
対物レンズ５２の回転を妨げないように、テーパー状に
肉薄に作られている。テーパー状の中央部分の下面には
断熱部材２２が設けられている。断熱部材２２は例えば
１ｍｍ厚のゴムシートからなる。
【００２１】（作用）ＳＰＭ測定に先立ち、まず、カバ
ー２８を外し、試料を載せたスライドガラス１８を試料
ステージ２０に置く。次に、ＳＰＭユニット３０をセッ
トした上で、レボルバ５４を回転させ、観察に適した対
物レンズ５２を光路上に配置する。続いて、光学顕微鏡
により光学観察を行ない、カンチレバー５０の探針とス
ライドガラス１８上の試料との間の位置決めを行なう。
位置決め後、試料ステージ２０の上にカバー２８を設置
する。その後、ＳＰＭ測定を開始する。
ー２８を外し、試料を載せたスライドガラス１８を試料
ステージ２０に置く。次に、ＳＰＭユニット３０をセッ
トした上で、レボルバ５４を回転させ、観察に適した対
物レンズ５２を光路上に配置する。続いて、光学顕微鏡
により光学観察を行ない、カンチレバー５０の探針とス
ライドガラス１８上の試料との間の位置決めを行なう。
位置決め後、試料ステージ２０の上にカバー２８を設置
する。その後、ＳＰＭ測定を開始する。
【００２２】試料ステージ２０の上側の雰囲気は、試料
ステージ２０とカバー２８によって外界から遮断されて
いるため、温度ゆらぎがほとんどない。一方、試料ステ
ージ２０の下側の雰囲気は外界の影響による温度ゆらぎ
がある。このため、ゴムシートの下側表面の温度は雰囲
気の影響を受けて変化しているが、下側表面の温度の変
化は断熱部材２２によって減衰されるため、試料ステー
ジ２０の下面には伝わらない。この結果、試料ステージ
２０の下面の温度は一定に保たれる。
ステージ２０とカバー２８によって外界から遮断されて
いるため、温度ゆらぎがほとんどない。一方、試料ステ
ージ２０の下側の雰囲気は外界の影響による温度ゆらぎ
がある。このため、ゴムシートの下側表面の温度は雰囲
気の影響を受けて変化しているが、下側表面の温度の変
化は断熱部材２２によって減衰されるため、試料ステー
ジ２０の下面には伝わらない。この結果、試料ステージ
２０の下面の温度は一定に保たれる。
【００２３】このように、試料ステージ２０の上側の雰
囲気が外界から遮断されていることと、試料ステージ２
０の下面に断熱部材２２が設けられていることとによ
り、試料ステージ２０の上面と下面の温度が一定に保た
れる。この結果、周辺の雰囲気の温度ゆらぎによる試料
ステージ２０の変形が防止される。
囲気が外界から遮断されていることと、試料ステージ２
０の下面に断熱部材２２が設けられていることとによ
り、試料ステージ２０の上面と下面の温度が一定に保た
れる。この結果、周辺の雰囲気の温度ゆらぎによる試料
ステージ２０の変形が防止される。
【００２４】（効果）カバー２８によって試料ステージ
２０の上側の雰囲気の温度が一定に保たれ、試料ステー
ジ２０の下面には断熱部材２２が設けられているため、
試料ステージ２０の上面と下面の温度が一定に保たれ、
周辺の雰囲気の温度ゆらぎによる試料ステージ２０の変
形が防止される。これにより、高さ方向の誤差の少ない
高精度のＳＰＭ測定が行なえるようになる。
２０の上側の雰囲気の温度が一定に保たれ、試料ステー
ジ２０の下面には断熱部材２２が設けられているため、
試料ステージ２０の上面と下面の温度が一定に保たれ、
周辺の雰囲気の温度ゆらぎによる試料ステージ２０の変
形が防止される。これにより、高さ方向の誤差の少ない
高精度のＳＰＭ測定が行なえるようになる。
【００２５】〔第二の実施の形態〕本実施形態は試料ス
テージ２０の変形例であり、ＳＰＭユニット３０とカバ
ー２８は第一実施形態と同じでなので、本実施形態を示
す図２においては、これらは省略されている。
テージ２０の変形例であり、ＳＰＭユニット３０とカバ
ー２８は第一実施形態と同じでなので、本実施形態を示
す図２においては、これらは省略されている。
【００２６】（構成）試料ステージ２０は、図２に示す
ように、試料が載せたスライドガラス１８が載置される
中座２４と、中座２４を保持するステージ２６とで構成
されている。ステージ２６の中央部には中座２４を受け
る段差が設けられており、中座２４はステージ２６の中
央部に嵌め込まれる。中座２４はアンバー等の低熱膨張
の材料で作られており、その下面には断熱部材２２が設
けられている。
ように、試料が載せたスライドガラス１８が載置される
中座２４と、中座２４を保持するステージ２６とで構成
されている。ステージ２６の中央部には中座２４を受け
る段差が設けられており、中座２４はステージ２６の中
央部に嵌め込まれる。中座２４はアンバー等の低熱膨張
の材料で作られており、その下面には断熱部材２２が設
けられている。
【００２７】（作用）スライドガラス１８が直接接触す
る中座２４には、カバー２８（図１参照）と断熱部材２
２によって、周辺の雰囲気の温度ゆらぎは直接伝わらな
い。中座２４は低熱膨張材料で作られているため、設置
場所の温度変化に対する変形が少ない。
る中座２４には、カバー２８（図１参照）と断熱部材２
２によって、周辺の雰囲気の温度ゆらぎは直接伝わらな
い。中座２４は低熱膨張材料で作られているため、設置
場所の温度変化に対する変形が少ない。
【００２８】（効果）中座２４の上面と下面の温度が一
定に保たれるため、両面の熱膨張の差による熱応力によ
る変形が防止される。この結果、高精度のＳＰＭ測定が
行なえる。さらに、中座２４は低熱膨張材料で作られて
いるため、温度ゆらぎでない設置場所の温度変化に対す
る熱ドリフトを低減させることができる。
定に保たれるため、両面の熱膨張の差による熱応力によ
る変形が防止される。この結果、高精度のＳＰＭ測定が
行なえる。さらに、中座２４は低熱膨張材料で作られて
いるため、温度ゆらぎでない設置場所の温度変化に対す
る熱ドリフトを低減させることができる。
【００２９】本発明は、上述の実施の形態に何等限定さ
れるものではない。発明の要旨を逸脱しない範囲で行な
われる実施は、すべて本発明に含まれる。実施形態では
断熱部材２２はゴムシートであったが、断熱部材２２は
ゴムシートに限らない。断熱部材２２には、良好な断熱
性を有し、レボルバーの回転を妨げないものであれば、
どのようなものを用いてもよい。例えば、断熱部材２２
は塗料や接着剤などあってもよい。このように断熱部材
に塗料や接着剤等を使用した場合には、製造が容易に行
なえるという利点がある。
れるものではない。発明の要旨を逸脱しない範囲で行な
われる実施は、すべて本発明に含まれる。実施形態では
断熱部材２２はゴムシートであったが、断熱部材２２は
ゴムシートに限らない。断熱部材２２には、良好な断熱
性を有し、レボルバーの回転を妨げないものであれば、
どのようなものを用いてもよい。例えば、断熱部材２２
は塗料や接着剤などあってもよい。このように断熱部材
に塗料や接着剤等を使用した場合には、製造が容易に行
なえるという利点がある。
【００３０】
【発明の効果】本発明によれば、試料ステージの上面と
下面の温度は一定に保たれるので、周辺の雰囲気の温度
ゆらぎによる試料ステージの変形が防止される。これに
より、高さ方向の誤差の少ない高精度のＳＰＭ測定が行
なえるようになる。
下面の温度は一定に保たれるので、周辺の雰囲気の温度
ゆらぎによる試料ステージの変形が防止される。これに
より、高さ方向の誤差の少ない高精度のＳＰＭ測定が行
なえるようになる。
【図１】第一の実施の形態の倒立型光学顕微鏡一体型走
査型プローブ顕微鏡の主要部を示している。
査型プローブ顕微鏡の主要部を示している。
【図２】第二の実施の形態を示す図であり、図１の装置
に適用可能な試料ステージの変形例を示している。
に適用可能な試料ステージの変形例を示している。
【図３】従来の倒立型光学顕微鏡一体型走査型プローブ
顕微鏡の一例を概略的に示している。
顕微鏡の一例を概略的に示している。
【図４】図３の装置における試料ステージと対物レンズ
の構造を詳しく示している。
の構造を詳しく示している。
【図５】周辺の雰囲気の温度ゆらぎによる生じる試料ス
テージの変形を示している。
テージの変形を示している。
２０ 試料ステージ ２２ 断熱部材 ２８ カバー ３０ ＳＰＭユニット ５２ 対物レンズ
Claims (2)
- 【請求項１】試料を載置するための試料ステージと、 試料ステージの上方に配置されたＳＰＭ測定を行なうた
めのＳＰＭユニットと、 試料を光学的に観察するための倒立型光学顕微鏡とを有
する走査型プローブ顕微鏡において、 試料ステージの下面の少なくとも一部に断熱部材が設け
られており、 さらに試料ステージと共働して試料ステージの上面に触
れる雰囲気を外界から遮断するカバーを有していること
を特徴とする走査型プローブ顕微鏡。 - 【請求項２】試料ステージは、低熱膨張材料で作られた
中座を有し、 断熱部材は、中座に設けられていることを特徴とする請
求項１に記載の走査型プローブ顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8245263A JPH1090610A (ja) | 1996-09-17 | 1996-09-17 | 走査型プローブ顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8245263A JPH1090610A (ja) | 1996-09-17 | 1996-09-17 | 走査型プローブ顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1090610A true JPH1090610A (ja) | 1998-04-10 |
Family
ID=17131087
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8245263A Withdrawn JPH1090610A (ja) | 1996-09-17 | 1996-09-17 | 走査型プローブ顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1090610A (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1996
- 1996-09-17 JP JP8245263A patent/JPH1090610A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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