JP2005530125A5 - - Google Patents

Claims (33)

1. トップのスキャナープレートおよび下部のスキャナープレートを有する２枚のプレートがスキャンされるプローブ顕微鏡であり、一方のプレートがチップのスキャンを可能にし、他方がサンプルのスキャンを可能にし、スキャンされるプローブ顕微鏡の軸は、スキャンされるプローブ顕微鏡の軸がトップ、底部または双方で自由を要求するビーム導入システムへの組み込みが自由である装置。
2. トップのプレートを底部のプレートに対してヒンジ構造にでき、DCまたは他のモータにより、粗いアプローチが引き起こされる請求項１記載の装置。
3. 前記トップのプレートは、底部のプレートの上に単に載置され、そして、二つのプレートスキャナーが大きいｚ範囲を持つ能力を含む、DCモータまたは他の手段により粗いアプローチが引き起こされる請求項１記載の装置。
4. スキャンさせるプローブ装置であり、
   少なくとも一つの支持と、
   サンプルをサンプル位置にマウントする手段と、
   自由な光軸を提供するために、前記サンプルに整列された前記支持内の開口と、および
   スキャン可能に位置する少なくとも一つの前記指示および前記サンプルとを備える装置。
5. 前記開口および前記サンプル位置はビーム導入システムに組み込まれる請求項４記載の装置。
6. 少なくとも一つの支持は、第１の支持および第１の支持から離れた第２の支持を含み、前記サンプル位置が前記第２の支持の上にある請求項４記載の装置。
7. 前記支持の各々に開口を更に含み、ビーム導入システムからのビームが前記サンプル位置への自由なチャンネルを持つように、両開口は前記軸に整列する請求項６記載の装置。
8. 前記第１および第２の支持は、前記プローブを前記サンプル位置に対して位置決めでくるように相対的に移動可能である請求項７記載の装置。
9. 前記第１および第２の支持はｘ−ｙ表面において相対的に移動可能であり、前記支持の少なくとも一つは、前記プローブの位置を前記サンプル位置に対して調整するために、前記ｘ−ｙ平面の一つと直交するｚ方向に移動可能である請求項７記載の装置。
10. 前記第１および第２の支持の間に位置する中間の支持、前記中間の支持に装着される第２のプローブ、および前記軸に整列する、前記中間の支持内の開口を更に備える請求項７記載の装置。
11. サンプルを装着するための前記手段は、前記第２の支持における前記開口内に位置する請求項７記載の装置。
12. 前記サンプルに対する前記プローブの移動を検知するためのセンサを更に含む請求項４記載の装置。
13. 前記サンプルに対する前記プローブの位置を調節するために、検出された移動に応答できるフィードバック機構を更に含む請求項１２記載の装置。
14. 前記フィードバック機構は、前記センサに近接するチューニングフークを含む請求項１３記載の装置。
15. 前記フィードバック機構は、前記センサへの放射光の供給およびそこからの集光のために、前記フィードバック機構は、前記センサに近接する光ファイバ検出器を含む請求項１３に記載の装置。
16. 前記自由な光軸を維持している間、少なくとも前記一つの支持を閉封する冷却器を更に備える請求項４記載の装置。
17. 前記サンプル位置にてサンプルを収容するための液体セルを更に含む請求項４記載の装置。
18. 前記プローブは、固体没入レンズからなるプローブ、シリコンからなる開口付または無開口のプローブおよび、集光用極小プローブチップのグループから選択される請求項４記載の装置。
19. 互いに離隔され、一般に平行で、対応するｘ−ｙ平面で相対的に移動可能な第１、第２および第３の支持と、
    前記支持の内の第１の支持の上のサンプル位置にてサンプルを装着するための手段と、
    対応する第２および第３の支持上に装着される第１および第２のプローブと、
    前記支持を通じて自由な光軸を提供して、ビーム導入システムからのビームが前記サンプル位置に対して自由なチャンネルを持てるように、前記サンプルと整列する、前記各支持における開口とを備え、
    前記支持の少なくとも一つは、前記サンプル位置に対する対応するプローブの位置を調節するためにサンプル位置を含む支持のｘ−ｙ平面と直交するｚ方向に可動であるスキャン用プローブ装置。
20. 前記サンプル位置でのサンプルに関する前記センサの位置無を検出、調節するためのフィードバックシステムを更に含む請求項１９に記載の装置。
21. 前記光軸はスキャンされるプローブ顕微鏡のために、ビーム導入システムに整列される請求項２０に記載の装置。
22. プローブを第１のスキャン可能な支持に装着し、
    サンプルに対して前記プローブをスキャンするために、ｘ−ｙ方向に前記支持を移動し、
    前記サンプルと整列した軸を有する開口を前記支持に備え、
    ビーム導入システムにより、前記開口を通じて前記サンプルを照らし、
    前記サンプル上に影またはポイント反射を与え、
    サンプルが照明された時に、かつ、サンプルが影を与えた時またはポイント反射した時に、前記サンプルの特性を検知し、そして
    前記サンプルのイメージを生成するために、前記検知された特性の間の差異を検出することを備えるスキャンされるプローブ顕微鏡の方法。
23. 前記プローブで前記影またはポイント反射を生成し、
    前記サンプルの検知された特性を得るために、前記プローブを移動させ、そして
    前記イメージを形成するため、前記差異をそれぞれ検知することを更に含む請求項２２記載の方法。
24. プローブを第１のスキャン可能な支持に装着し、
    サンプルに対して前記プローブをスキャンし、
    前記サンプルと整列した軸を有する開口を前記支持に備え、そして
    前記支持およびプローブを、前記軸と整列されたビーム導入システムに組み込むことを備えるスキャンされるプローブ顕微鏡の方法。
25. サンプルを第２の支持上に装着し、そして前記第２の支持をスキャンすることを更に含む請求項２４記載の方法。
26. 前記第１および第２の支持の間を調節することを更に含む請求項２５記載の方法。
27. 前記プローブを前記第１の支持に固定された共振器上に装着することを更に含む請求項２６記載の方法。
28. 前記プローブおよび前記サンプルの相互作用を検出することを更に含む請求項２７記載の方法。
29. 前記サンプルおよびスキャン可能な支持を冷却することを更に含む請求項２４記載の方法。
30. 前記サンプルを光学、電子光学、イオン、原子または分子のビームで照らすことを更に含む請求項２４記載の方法。
31. 前記支持およびプローブをビーム導入システムに組み込む際に、共焦点光学顕微鏡または減衰波の光学顕微鏡を前記軸に整列させることを含む請求項２４記載の方法。
32. 前記支持をスキャンする際に、支持を前記サンプル位置に対してｘおよびｙ方向に移動することを含み、更に、前記センサを前記サンプルに対してｚ方向に移動させ、そして、前記サンプル位置にてサンプルの特性を、前記センサのｚ方向での移動の関数として検知することを含む請求項２４記載の方法。
33. 第１のプローブを第１の支持上に装着し、
    第２のプローブを第２の支持上に装着し、
    第３の支持上にサンプル位置を与え、
    前記各支持に、前記サンプル位置にて、サンプルへの明確な光チャンネルを提供するために、前記サンプル位置に整列されたた軸を有する開口を設け、前記プローブの少なくとも一つと、前記サンプル位置との間で相対的な移動を与えるために、前記支持の少なくとも一つをスキャンさせ、そして、前記支持をビーム導入システムに組み込むことを含むスキャンされるブローブ顕微鏡の方法。