JP4914580B2 - 走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
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Description
図6に、従来の光学顕微鏡を備えた走査型プローブ顕微鏡の構成を示す。
光学顕微鏡として用いた倒立顕微鏡は、一般に市販されている倒立顕微鏡を使用している。
本実施例のように走査型プローブ顕微鏡ユニットベース部3に除振機能を持たせることで、走査型プローブ顕微鏡による測定時の床振動の影響を、低コストで狭い設置スペースでも実現することができる。
2 除振台(ベースプレート部)
3 走査型プローブ顕微鏡ユニットベース部
4 走査型プローブ顕微鏡ユニット部
5 照明装置
6 空気バネ
8 光学顕微鏡部(倒立顕微鏡)
9 レボルバ(配置変更手段)
10 対物レンズ
12 支柱
13 テーブル
16 サンプルホルダ
20 カンチレバー
21 プローブ
22 カンチレバーホルダー
26 プローブ微動機構
27 サンプル微動機構
31 XYステージ
33 Z粗動機構部
35 プローブ位置調整機構
40 光源
41 コンデンサレンズ
42 照明用支柱
44 レーザ光源(プローブ変位検出手段)
45 フォトダイオード(プローブ変位検出手段)
50 光学顕微鏡フレーム部
51 ベースプレート部
S サンプル
Claims (10)
- 先端にプローブを有するカンチレバーを備えた走査型プローブ顕微鏡ユニットと、
サンプルを保持するサンプルホルダと、それらを支持する支持体とを有する走査型プローブ顕微鏡ユニットベース部と、
対物レンズおよび照明装置を有した倒立型光学顕微鏡と、それを支持するフレームとを有する倒立型光学顕微鏡部と、
前記走査型プローブ顕微鏡ユニットベース部及び前記倒立型光学顕微鏡部を固定するベースプレート部と、を備えた走査型プローブ顕微鏡において、
前記対物レンズが前記サンプルホルダを介して前記プローブと対向側に、かつ、前記サンプルホルダおよび前記プローブとが該対物レンズの光軸上に位置するように前記走査型プローブ顕微鏡下方へ配置され、
前記照明装置が前記走査型プローブ顕微鏡ユニット上方に配置され、
当該走査型プローブ顕微鏡ユニットベース部と前記光学顕微鏡部が、それぞれ相互に独立して離間した支持構造を有し、該2つの支持構造が前記ベースプレート部を介して連結するように固定され、
前記倒立型光学顕微鏡部に、前記サンプルの面内に対して前記対物レンズと前記照明装置を一体で移動せしめる前記倒立型光学顕微鏡全体を移動可能な移動手段を設け、
前記走査型プローブ顕微鏡ユニットに前記カンチレバーを前記サンプルに対して移動せしめる移動機構を設けたこと、を特徴とする走査型プローブ顕微鏡。 - 前記光学顕微鏡部が対物レンズを複数個有し、該対物レンズが交換可能に配置された請求項1に記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記照明装置に、開口数0.5以上のコンデンサレンズが含まれることを特徴とする請求項1又は2に記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記走査型プローブ顕微鏡ユニットベース部のうち、少なくとも走査型プローブ顕微鏡ユニットが載置されるテーブルと、前記走査型プローブ顕微鏡ユニットが実質的に同一の材質で構成される請求項1乃至3のいずれかに記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記材質が、低膨張材料である請求項4に記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記走査型プローブ顕微鏡ユニットが載置されるテーブルと、前記走査型プローブ顕微鏡ユニットの全質量のうち、80%以上が同一の材質で構成される請求項4又は5に記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記材質の熱膨張係数が4×10-6/K以下である請求項4乃至6のいずれかに記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記走査型プローブ顕微鏡ユニットベース部に除振手段を備えた請求項1乃至7のいずれかに記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記走査型プローブ顕微鏡ユニットベース部の支持構造が、前記ベースプレート部に片端を固定され、前記走査型プローブ顕微鏡ユニットベース部を前記ベースプレート部から空間部を隔てた位置で支持する支持部を含み、該空間部に対物レンズが配置された請求項1乃至8のいずれかに記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記支持部が、除振手段を備えた請求項9に記載の走査型プローブ顕微鏡。
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