JP5295814B2 - 走査機構および走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
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Description
本実施形態は、走査機構に向けられている。以下、図1、図2を参照しながら本実施形態について説明する。
本実施形態は、第一実施形態の走査機構を備えた走査型プローブ顕微鏡に向けられている。以下、図3を参照しながら本実施形態について説明する。
この走査型プローブ顕微鏡では次の変形が可能である。
本実施形態は別の走査機構に向けられている。以下、図7〜図9を参照しながら本実施形態について説明する。
本実施形態は、第三実施形態の走査機構10Cを備えた走査型プローブ顕微鏡に向けられている。以下、図10を参照しながら本実施形態について説明する。
本実施形態の走査型プローブ顕微鏡は、第三実施形態の走査機構10Cをベースにした走査機構10Dを有している。以下、図11〜図14を参照しながら本実施形態について説明する。
さらに本実施形態の走査型プローブ顕微鏡では光学顕微鏡との同時観察も可能である。そのための構成を図14に示す。
Claims (6)
- 互いに直交するX軸とY軸に沿って走査対象物を走査する走査機構であって、
固定枠と、
前記固定枠内に位置し、前記走査対象物を支持し、前記X軸とY軸に沿って移動される可動部と、
前記可動部と一体的に形成され、前記可動部のX軸に沿った両側に設けられた同一形状の第一および第二の弾性部と、
前記第一の弾性部と前記固定枠の間にそれらを接続するようにX軸に沿って設けられた、前記第一の弾性部を介して前記可動部をX軸に沿って移動させる第一の圧電素子と、
前記第二の弾性部と一体的に形成され、前記固定枠と接続するように前記第二の弾性部からX軸に沿って延出した、前記可動部がY軸に沿って移動したときのY軸方向の弾性変形が前記第一の圧電素子と同等となる弾性特性を有する第一の延出部と、
前記可動部と一体的に形成され、前記可動部のY軸に沿った両側に設けられた同一形状の第三および第四の弾性部と、
前記第三の弾性部と前記固定枠の間にそれらを接続するようにY軸に沿って設けられた、前記第三の弾性部を介して前記可動部をY軸に沿って移動させる第二の圧電素子と、
前記第四の弾性部と一体的に形成され、前記固定枠と接続するように前記第四の弾性部からY軸に沿って延出した、前記可動部がX軸に沿って移動したときのX軸方向の弾性変形が前記第二の圧電素子と同等となる弾性特性を有する第二の延出部と、
前記第一〜第四の弾性部と一体的に形成され、前記固定枠に固定された、前記第一〜第四の弾性部を支持する支持部とを備えている走査機構。 - 試料に対向して配置され、前記試料との相互作用に応じてZ軸に沿って変位するプローブと、
前記プローブのZ軸に沿った変位を検出する変位センサと、
前記試料と前記プローブの一方を走査する請求項1に記載の走査機構と、
前記プローブの変位情報と前記走査機構の走査情報とに基づいて前記試料の物理情報を取得する処理部とを備えている走査型プローブ顕微鏡。 - 前記走査機構は、前記可動部の重心位置に設けられたZ軸に沿って伸縮する第三の圧電素子をさらに備えており、前記第三の圧電素子の移動端に前記試料が保持される、請求項2記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記可動部が貫通穴を有している請求項1記載の走査機構。
- 試料に対向して配置され、前記試料との相互作用に応じてZ軸に沿って変位するプローブと、
前記プローブのZ軸に沿った変位を検出する変位センサと、
前記試料と前記プローブの一方を走査する請求項4に記載の走査機構と、
前記プローブの変位情報と前記走査機構の走査情報とに基づいて前記試料の物理情報を取得する処理部とを備えている走査型プローブ顕微鏡。 - 前記貫通穴は前記可動部の重心を避けるように設けられ、
前記可動部の重心位置にZ軸に沿って伸縮する第四の圧電素子をさらに備え、前記第四の圧電素子の移動端に前記プローブが支持される、請求項5記載の走査型プローブ顕微鏡。
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