JP2009162772A - 走査プローブ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】試料保持台や探針を交換しながら走査プローブ装置の使用を繰り返し行っても、常に良好に慣性力を相殺し、振動を抑制する。
【解決手段】探針と、走査ステージ400とを有し、探針と走査ステージとを相対的に移動させながら、試料の情報を取得するか、又は試料の加工を行う走査プローブ装置において、走査ステージは、試料を保持する試料保持台と、該試料保持台を移動させるための駆動素子と、駆動素子を支持する駆動素子支持体402とを有し、駆動素子は、第1の駆動素子と、第2の駆動素子と、第3の駆動素子と、を含み、第1の駆動素子403の中央部に第2の駆動素子404の一端が接合され、該第2の駆動素子の中央に第3の駆動素子405の一端が接合され、第2の駆動素子の他端には釣合い重り部材409が接合され、走査ステージは、装置本体に対して、一体的に交換可能に構成される。
【選択図】図4
【解決手段】探針と、走査ステージ400とを有し、探針と走査ステージとを相対的に移動させながら、試料の情報を取得するか、又は試料の加工を行う走査プローブ装置において、走査ステージは、試料を保持する試料保持台と、該試料保持台を移動させるための駆動素子と、駆動素子を支持する駆動素子支持体402とを有し、駆動素子は、第1の駆動素子と、第2の駆動素子と、第3の駆動素子と、を含み、第1の駆動素子403の中央部に第2の駆動素子404の一端が接合され、該第2の駆動素子の中央に第3の駆動素子405の一端が接合され、第2の駆動素子の他端には釣合い重り部材409が接合され、走査ステージは、装置本体に対して、一体的に交換可能に構成される。
【選択図】図4
Description
本発明は、通常、走査型プローブ顕微鏡(SPM)と呼ばれる技術を応用した試料の情報取得や試料の加工や情報記録などを行う走査プローブ装置に関する。
特許文献1には、走査動作に伴う振動の発生が抑えられた、これにより高精度な位置制御を高速で行える走査型プローブ顕微鏡用の走査機構が記載されている。
図7に示すように、走査機構200は、駆動素子(アクチュエータ)の台座201、202と、この台座に設けられた駆動素子保持部材206,207を有している。更に、走査機構200は、これらの保持部材に保持されたY方向に伸縮可能な駆動素子203と、駆動素子203の一端に固定されたX方向に伸縮可能な駆動素子204と、を有している。加えて、走査機構200は、駆動素子204の一端に固定されたZ方向に伸縮可能な駆動素子205と、駆動素子205の一端に設けられた試料ステージ208とを有している。駆動素子205はその中央付近が駆動素子204に接合されており、駆動素子204はその中央付近が駆動素子203に接合されており、駆動素子203はその中央付近が保持部材206,207によって保持されている。
特許文献2には、高速で走査を行っても振動の発生の少ない小型で軽量な駆動ステージを有し、高速に鮮明な像を取得できるSPMが記載されている。
図8には、支持体9と、前記支持体9に支持された少なくとも2つ以上の複数の可動部505、515と、前記複数の可動部を駆動する2つの駆動素子500、510からなる駆動ステージが示されている。このステージは、前記駆動素子の駆動時に、前記複数のそれぞれの可動部の生じる慣性力が互いに相殺する方向に可動部505、515を駆動する構成されている。この場合は駆動素子自体もXYZの3方向に動くために、駆動素子も含めて可動部ということもできる。
SPMでは、観察すべき試料の大きさや観察すべき情報に応じて、装置の規模が異なっている。具体的には、小さい試料で観察すべき視野(走査範囲)が狭いものは、小さな駆動ステージを用い、また、走査範囲が広いものは、大きな駆動ステージを用いることがある。
一方、探針は原子間力顕微鏡(AFM)であれば、同じ探針を用いることができるので、SPM本体から走査ステージを取り外し、別の走査ステージをSPM本体に装着する使用法、即ち走査ステージのみを交換することがある。
上述したように、慣性力を相殺するような可動部(カウンター質量、釣り合い錘)を持つ走査ステージの場合、走査ステージのみを交換すると、カウンター質量との釣り合い関係が維持できず、期待するような慣性力の相殺がなされない場合がある。
特に、走査ステージ或いはカウンター質量の駆動素子(アクチュエータ)として圧電素子のような電気機械変換体を用いる場合、使用に伴って駆動素子の動作性能が経過変化してしまう。よって、走査ステージのみを交換してSPMの使用を続けると、カウンター質量の駆動素子の劣化が進む一方で、走査ステージは交換によりリフレッシュされる。よって、印加電圧に対する変位量は、カウンター質量の駆動素子と走査ステージの駆動素子との間で、異なることになり、走査ステージに発生する慣性力の相殺はより一層困難になってしまう。
このような課題は、試料を固定し、探針を走査する方式のSPMにおいて、探針とそれを走査する駆動素子を交換する場合にも同様であることが判明した。
上述した課題を解決するための本発明の骨子は、
探針と、走査ステージと、を有し、前記探針と前記走査ステージとを相対的に移動させながら、試料の情報を取得するか、又は前記試料の加工を行う走査プローブ装置において、
前記走査ステージは、前記試料を保持する試料保持台と、
該試料保持台を移動させるための駆動素子と、
前記駆動素子を支持する駆動素子支持体と、を有し、
前記駆動素子は、第1の方向に伸縮可能な第1の駆動素子と、第2の方向に伸縮可能な第2の駆動素子と、第3の方向に伸縮可能な第3の駆動素子と、を含み、
前記第1の駆動素子の中央部に前記第2の駆動素子の一端が接合され、該第2の駆動素子の中央に前記第3の駆動素子の一端が接合され、
前記第2の駆動素子の他端には釣合い重り部材が接合されており、
前記走査ステージは、装置本体に対して、一体的に交換可能に構成されていることを特徴とする。
探針と、走査ステージと、を有し、前記探針と前記走査ステージとを相対的に移動させながら、試料の情報を取得するか、又は前記試料の加工を行う走査プローブ装置において、
前記走査ステージは、前記試料を保持する試料保持台と、
該試料保持台を移動させるための駆動素子と、
前記駆動素子を支持する駆動素子支持体と、を有し、
前記駆動素子は、第1の方向に伸縮可能な第1の駆動素子と、第2の方向に伸縮可能な第2の駆動素子と、第3の方向に伸縮可能な第3の駆動素子と、を含み、
前記第1の駆動素子の中央部に前記第2の駆動素子の一端が接合され、該第2の駆動素子の中央に前記第3の駆動素子の一端が接合され、
前記第2の駆動素子の他端には釣合い重り部材が接合されており、
前記走査ステージは、装置本体に対して、一体的に交換可能に構成されていることを特徴とする。
また、本発明の別の骨子は、
探針と、試料ステージと、を有し、前記探針と前記試料ステージとを相対的に移動させながら、試料の情報を取得するか、又は試料の加工を行う走査プローブ装置において、
前記探針は、該探針を保持する探針台と、該探針を移動させるための駆動素子と、前記駆動素子を支持する駆動素子支持体と、を有する駆動ステージに設けられ、
前記駆動素子は、第1の方向に伸縮可能な第1の駆動素子と、第2の方向に伸縮可能な第2の駆動素子と、第3の方向に伸縮可能な第3の駆動素子と、を含み、
前記第1の駆動素子の中央部に前記第2の駆動素子の一端が接合され、該第2の駆動素子の中央に前記第3の駆動素子の一端が接合され、
前記第2の駆動素子の他端には釣合い重り部材が接合されており、
前記駆動ステージは、装置本体に対して、一体的に交換可能に構成されていることを特徴とする。
探針と、試料ステージと、を有し、前記探針と前記試料ステージとを相対的に移動させながら、試料の情報を取得するか、又は試料の加工を行う走査プローブ装置において、
前記探針は、該探針を保持する探針台と、該探針を移動させるための駆動素子と、前記駆動素子を支持する駆動素子支持体と、を有する駆動ステージに設けられ、
前記駆動素子は、第1の方向に伸縮可能な第1の駆動素子と、第2の方向に伸縮可能な第2の駆動素子と、第3の方向に伸縮可能な第3の駆動素子と、を含み、
前記第1の駆動素子の中央部に前記第2の駆動素子の一端が接合され、該第2の駆動素子の中央に前記第3の駆動素子の一端が接合され、
前記第2の駆動素子の他端には釣合い重り部材が接合されており、
前記駆動ステージは、装置本体に対して、一体的に交換可能に構成されていることを特徴とする。
試料保持台や探針を交換しながら走査プローブ装置の使用を繰り返し行っても、常に良好に慣性力を相殺し、振動を抑制することができる。
本発明に用いられる走査プローブ装置としては、走査型プローブ顕微鏡(SPM)がある。これは探針(プローブ)もしくは試料を走査して試料表面の情報を得たり、試料の加工を行う走査型顕微鏡であって、走査型トンネリング顕微鏡(STM)、原子間力顕微鏡(AFM)、走査型磁気力顕微鏡(MFM)、走査型電気容量顕微鏡(SCaM)、走査型近接場光顕微鏡(SNOM)、走査型熱顕微鏡(SThM)などの総称である。
走査型プローブ顕微鏡は、探針と試料とを相対的にXY方向にラスター走査し所望の試料領域の表面情報を探針を介して得て、モニターTV上にマッピング表示することができる。また、SNOMなどは探針先端から発せられる光を被加工物に作用して微細加工を行ったり、光による情報記録を行ったりすることができる。さらには、試料表面に凹凸を形成するなどの、微細加工や情報記録を行うことができる。
このような走査型プローブ顕微鏡においては、XY走査の間、Z方向についても試料と探針との相互作用が一定になるようフィードバック制御してZ方向の移動を担う走査機構を動かしている。このZ方向の動きは規則的な動きをするXY方向の動きとは異なり、試料の表面形状や表面状態を反映するため不規則な動きとなるが、一般にZ方向の走査動作とされている。そしてこのZ方向の走査はXYZ各方向のなかでは最も高い周波数での動きとなる。走査型プローブ顕微鏡のX方向の走査周波数は0.05から200Hz程度であり、Y方向の走査周波数は、X方向走査周波数のY方向走査ライン数分の1程度であって、Y方向走査ライン数は10から1000ラインである。またZ方向の走査周波数はX走査方向周波数に対し、X方向走査1ラインあたりの画素数倍からその100倍程度である。
例えば、X方向100画素、Y方向100画素の画像を1秒で取り込むとき、X方向の走査周波数は100Hz、Y方向の走査周波数は1Hz、Z方向の走査周波数は10kHz以上となる。なお、この走査周波数は走査型プローブ顕微鏡としては今のところ最も高い走査周波数にあたり、多くの走査プローブ顕微鏡のX方向走査周波数は数Hz程度に留まっている。上述のような高い走査周波数を実現するには、その走査機構は、外部からの振動に対し安定であるのはもちろん、内部の走査動作にともない自分白身で発生する振動が小さく抑えられていることが求められる。
本発明の好適な実施形態は、探針と、試料を保持する試料ステージと、を有し、前記探針と前記試料とを相対的に移動させながら試料の情報を取得するか、又は、前記探針と前記試料とを相対的に移動させながら試料の加工を行う、走査プローブ装置である。
そして、この走査プローブ装置においては、
(1)前記試料ステージは、試料保持台を移動させるための駆動素子と、該試料保持台の移動の際に生じる慣性力を相殺する方向に動く可動部と、を有し、
前記試料ステージは、前記試料保持台と前記駆動素子と前記可動部とが一体的に、装置本体に対して、着脱可能に構成されていることを特徴とする。
(1)前記試料ステージは、試料保持台を移動させるための駆動素子と、該試料保持台の移動の際に生じる慣性力を相殺する方向に動く可動部と、を有し、
前記試料ステージは、前記試料保持台と前記駆動素子と前記可動部とが一体的に、装置本体に対して、着脱可能に構成されていることを特徴とする。
或いは、この走査プローブ装置においては、
(2)前記探針は、該探針を保持する探針台と、該探針を移動させるための駆動素子と、該探針台の移動の際に生じる慣性力を相殺する方向に動く可動部と、を有する駆動ステージに設けられ、
前記駆動ステージは、前記探針台と前記駆動素子と前記可動部とが一体的に、装置本体に対して、着脱可能に構成されていることを特徴とする。
更には、上記(1)(2)の両方の構成を備えていてもよい。
(2)前記探針は、該探針を保持する探針台と、該探針を移動させるための駆動素子と、該探針台の移動の際に生じる慣性力を相殺する方向に動く可動部と、を有する駆動ステージに設けられ、
前記駆動ステージは、前記探針台と前記駆動素子と前記可動部とが一体的に、装置本体に対して、着脱可能に構成されていることを特徴とする。
更には、上記(1)(2)の両方の構成を備えていてもよい。
本発明に用いることができる探針は、シリコンや窒化シリコンやタングステンやコバルトやカーボン繊維等が挙げられる。その形状や材質はSPMの用途に応じて適宜選択される。
又、探針はシリコンや他の金属からなるカンチレバーに設けられ、カンチレバーの表面はアルミニウムやプラチナなどの金属で被覆されていてもよい。
本発明に用いられる駆動素子としては、圧電素子のような電気機械変換体が好ましく用いられる。圧電素子としては、円筒状や、積層型でありうる。
本発明に用いられる可動部とは、いわゆるカウンター質量そのもの、或いは、カウンター質量とそれを動かす電気機械変換体との組み合わせ、又は、カウンター質量を兼ねた電気機械変換体そのものでありうる。
本発明に用いられる試料保持台としては、その上に試料を載せるだけの部材であってもよいし、吸着手段を備えて試料が試料保持台上で動かないように固定する部材であってもよい。
また、本発明においては、ステージの装着とともに、ステージの電気接続コネクタと装置本体の電気接続コネクタとが接続され、ステージの取り外しとともに、ステージの電気接続コネクタと装置本体の電気接続コネクタと接続状態が遮断される構成であるとよい。
(参考形態1)
図1は、SPMに用いられる走査ステージの断面図、図2は走査ステージの構成を説明するための模式図である。
図1は、SPMに用いられる走査ステージの断面図、図2は走査ステージの構成を説明するための模式図である。
走査ステージは、必要に応じて、例えば金属製の外装部1を有しており、SPM装置本体の凹部2にかん合するように交換可能に取り付けられる。又、必要に応じて螺子などで装置本体と走査ステージとを固定してもよい。
走査ステージの底部支持体9の外側と装置本体の凹部2の底面には電気接続コネクタ3、4が設けられており、走査スキャナを凹部2にかん合させた時に互いに接続され、外部から試料保持台の駆動素子であるスキャナ駆動素子500と、カウンター駆動素子510とを駆動するための信号が供給される。
スキャナ駆動素子は円筒状の圧電素子であり、その上部に円盤状の試料保持台505を有している。一方、カウンター駆動素子は直径がスキャナ圧電素子より小さい円筒形の圧電素子であり、その上部にカウンター質量515を有している。
装置本体の制御回路6から出力されたX駆動信号、Y駆動信号、Z駆動信号に基づいて、駆動回路5で信号が適宜圧電素子を駆動するに適した電圧信号に変換され、スキャナ駆動素子500と、カウンター駆動素子510とに印加される。
それぞれの圧電素子は、特開2000−088983号公報に記載されているように駆動される。
図2に本発明の一参考形態の走査ステージの構成を示す。本ステージは、図2に示すように円筒形の圧電素子からなる駆動ステージが2つ同心円状に重なった構造をしている。第1の円筒形圧電素子500の内側に第2の円筒形圧電素子510が同心円状に配置されている(図2では分解して表示)。第1の円筒形圧電素子500の周囲には、4分割された電極501〜504が配置されており(ただし504は図2では裏側にあたるため不図示)、その上部には試料保持台505が接合されている(図2では分解して表示)。また、第2の円筒形圧電素子510の周囲には、4分割された電極511〜514が配置されており(ただし、514は図2では裏側にあたるため不図示)、上部にはカウンター質量515が接合されている(図2では分解して表示)。第1、第2の円筒形圧電素子500、510は、相対する電極(501と503、502と504、511と513、512と514)の電圧を制御して、一方が伸び他方が縮むようにすることにより、屈曲させることができる。また、4つの電極に同じように電圧を印加することで長軸方向に伸縮させることができる。ここで、変形例として、501〜504はXY走査用に使用し、Z軸駆動用に別の圧電素子を設けてもよい。つまり501〜504の上方にZ用圧電素子を載せた構成であってもよい。つまり、この圧電素子500、510の屈曲、伸縮を電圧で制御できる。それゆえ、この圧電素子の上部に配置した移動台505とカウンター質量515をそれぞれ3次元方向に駆動することができる。
図3は、本ステージの結線図を示した図である。本結線図に示すように結線することで、外側の円筒形圧電素子500と内側の円筒形圧電素子510は、常に逆方向に駆動されることになる。駆動時の変形の様子は、特許文献2と同じであり、図7と同様に、円筒形圧電素子500は、左向きに曲がって上方向に伸びており、円筒形圧電素子510は、右向きに曲がって下方向に縮んでいる。増幅器520〜522の増幅率−AX、−Ay、−Azはそれぞれ、円筒形圧電素子500と510の発生する慣性力がキャンセルするように設定されている。また、これらの増幅率は、移動台に載せるものの質量が変化した時には、最適な値に調整するのが望ましい。以上のように構成された本発明は、常に外側の第1の円筒形圧電素子500と内側の第2の円筒形圧電素子510の発生する慣性力がキャンセルするように駆動されるので、走査ステージの重心の移動がゼロ又は無視し得る程度に充分小さい。よって、高速に試料保持台を駆動しても振動の少ないステージを提供することができる。
そして、走査用の圧電素子のみを交換可能にするのではなく、底部支持体9に走査用圧電素子と慣性力相殺用の圧電素子を固定し、低部支持体9を装置本体に対して着脱可能として、両圧電素子を一体的に交換可能とする。
こうして、試料保持台を交換しながらSPMの使用を繰り返し行っても、常に良好に慣性力を相殺し、振動を抑制することができる。
また、試料保持台505に代えて、カンチレバーと探針とを取り付ければ、探針の走査ステージとなる。
(実施形態1)
本発明の第1の実施の形態について図4と図5を参照して説明する。本実施の形態の走査ステージ400は、図4と図5に示されるように、SPM本体側の走査ステージ保持台401と、これに交換可能に固定された駆動素子支持体402と、を有する。そして、駆動素子支持体402には駆動素子保持部材406、407が設けられている。駆動素子保持部材406、407は、駆動素子403を保持している。駆動素子403の一端には駆動素子404が固定され、駆動素子404の一端には駆動素子405が固定され、駆動素子404の他端には釣り合い重り部材409が固定されている。駆動素子405の一端には、試料保持台408を有している。
本発明の第1の実施の形態について図4と図5を参照して説明する。本実施の形態の走査ステージ400は、図4と図5に示されるように、SPM本体側の走査ステージ保持台401と、これに交換可能に固定された駆動素子支持体402と、を有する。そして、駆動素子支持体402には駆動素子保持部材406、407が設けられている。駆動素子保持部材406、407は、駆動素子403を保持している。駆動素子403の一端には駆動素子404が固定され、駆動素子404の一端には駆動素子405が固定され、駆動素子404の他端には釣り合い重り部材409が固定されている。駆動素子405の一端には、試料保持台408を有している。
駆動素子403,404,405は、積層圧電体であり、さらに、釣り合い重り部材409も同等の積層圧電体である。駆動素子405はZ方向(第一の方向)に伸縮可能であり、その中央付近が駆動素子404の一方の端部に接合されている。釣り合い重り部材409は駆動素子405とほぼ同じ重量を有しており、その中央付近が駆動素子404の他方の端部に接合されている。駆動素子404はY方向(第二の方向)に伸縮可能であり、その中央付近が駆動素子403の端部に接合されている。駆動素子403はX方向(第三の方向)に伸縮可能であり、その中央付近が駆動素子保持部材406,407によって保持されている。
このように、支持体402が走査ステージ保持台401の凹部にかん合し、螺子などで着脱可能に固定される。こうして、釣り合い重り部材409とともに試料保持台408が一体的に走査ステージ保持台401に対して交換可能になっている。
このように、走査用の圧電素子405と試料保持台408のみを交換可能にするのではなく、支持体402に走査用駆動素子405と慣性力相殺用の駆動素子409を固定し、支持体402を装置本体側の走査ステージ保持台401に対して着脱可能とする。こうして、両圧電素子を一体的に交換可能に構成する。
本実施の形態においては、駆動素子405のZ方向下部に試料保持台408と同質量のカウンター質量を設け、試料保持台408の動く方向と逆の方向にそれを動かすことも好ましいものである。これにより、Z方向の重心移動を抑制し、Z方向の振動を抑制できる。この場合、運動方向がより対象性を増し、かつXYZの全てにカウンターを設けることが可能になる。
また、駆動素子403の404と逆の端部に、試料保持台408、駆動素子405、駆動素子404、釣り合い重り部材409の合計の質量と同質量のカウンター質量を設けて、試料保持台408のX方向の動きと逆に動かすことも好ましいものである。これにより、X方向の重心移動を抑制し、X方向の振動を抑制できる。
以上のように、試料保持台を交換しながらSPMの使用を繰り返し行っても、常に良好に慣性力を相殺し、振動を抑制することができる。
また、試料保持台408に代えて、カンチレバーと探針とを取り付ければ、探針の走査ステージとなる。
(実施形態2)
図6は第2の実施の形態による走査プローブ装置を示す。
図6は第2の実施の形態による走査プローブ装置を示す。
10は装置本体のフレーム、11は装置本体の凹部、12は試料を走査する走査ステージ、13は試料、14は装置本体の駆動ステージ用凹部、15は駆動ステージ、16はカンチレバー、17は探針を示している。
18は駆動回路と制御回路と検出回路と画像処理回路とを有する駆動制御回路である。
走査ステージ12として、実施形態1又は2の走査ステージを用いることができる。
或いは、駆動ステージ15として、実施形態1又は参考形態の走査ステージを用いることもできる。或いは、走査ステージ12と駆動ステージ15との両方に、実施形態1又は2の走査ステージを用いることもできる。
いずれの構成を採る場合においても、ステージ12又はステージ15の少なくともいずれか一方を交換可能に構成する場合には、カウンター質量とそれを駆動する駆動素子も、試料保持台又は探針とともに一体的に装置本体に対して着脱自在とする。
1 外装部
2 凹部
3、4 コネクタ
16 カンチレバー
17 探針
500 スキャナ駆動素子
510 カウンター駆動素子
505 試料保持台
515 カウンター質量
2 凹部
3、4 コネクタ
16 カンチレバー
17 探針
500 スキャナ駆動素子
510 カウンター駆動素子
505 試料保持台
515 カウンター質量
Claims (4)
- 探針と、走査ステージと、を有し、前記探針と前記走査ステージとを相対的に移動させながら、試料の情報を取得するか、又は前記試料の加工を行う走査プローブ装置において、
前記走査ステージは、前記試料を保持する試料保持台と、
該試料保持台を移動させるための駆動素子と、
前記駆動素子を支持する駆動素子支持体と、を有し、
前記駆動素子は、第1の方向に伸縮可能な第1の駆動素子と、第2の方向に伸縮可能な第2の駆動素子と、第3の方向に伸縮可能な第3の駆動素子と、を含み、
前記第1の駆動素子の中央部に前記第2の駆動素子の一端が接合され、該第2の駆動素子の中央に前記第3の駆動素子の一端が接合され、
前記第2の駆動素子の他端には釣合い重り部材が接合されており、
前記走査ステージは、装置本体に対して、一体的に交換可能に構成されていることを特徴とする走査プローブ装置。 - 前記駆動素子及び前記可動部はそれぞれ積層圧電体を有する請求項1記載の走査プローブ装置。
- 探針と、試料ステージと、を有し、前記探針と前記試料ステージとを相対的に移動させながら、試料の情報を取得するか、又は試料の加工を行う走査プローブ装置において、
前記探針は、該探針を保持する探針台と、該探針を移動させるための駆動素子と、前記駆動素子を支持する駆動素子支持体と、を有する駆動ステージに設けられ、
前記駆動素子は、第1の方向に伸縮可能な第1の駆動素子と、第2の方向に伸縮可能な第2の駆動素子と、第3の方向に伸縮可能な第3の駆動素子と、を含み、
前記第1の駆動素子の中央部に前記第2の駆動素子の一端が接合され、該第2の駆動素子の中央に前記第3の駆動素子の一端が接合され、
前記第2の駆動素子の他端には釣合い重り部材が接合されており、
前記駆動ステージは、装置本体に対して、一体的に交換可能に構成されていることを特徴とする走査プローブ装置。 - 前記駆動素子及び前記可動部はそれぞれ積層圧電体を有する請求項3記載の走査プローブ装置。
Priority Applications (1)
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