JP4498285B2 - 走査型プローブ装置 - Google Patents

Description

本発明は、通常、走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）と呼ばれる技術を応用した走査型プローブ装置に関する。
特に、探針と試料とを相対的に移動させながら、試料の情報を取得し、または情報記録を行い、または試料を加工する走査型プローブ装置に関する。

近年、ナノメートル以下の分解能で導電性物質表面を観察可能な走査型トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）が開発され、更に絶縁物質等の表面をＳＴＭと同様の分解能で観察可能な原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）等が開発されてきた。
さらに別の発展形として、尖鋭なプローブ先端の微小開口からしみ出すエバネッセント光を利用して試料表面状態を調べる走査型近接場光顕微鏡（ＳＮＯＭ）等が開発されてきた。
また、これら以外にも走査型磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）、走査型電気容量顕微鏡（ＳＣａＭ）、走査型熱顕微鏡（ＳＴｈＭ）、等が開発されている。
このように、現在では探針（プローブ）もしくは試料を走査し、上記した試料表面の種々の物理量を高い分解能で測定できる顕微鏡が開発されているが、これらの顕微鏡は走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）と総称されている。

ところで、走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）においては、高精度な制御を達成するため、走査動作に伴う振動の発生を抑制することが求められる。
そのため、例えば特許文献１では、走査動作に伴う振動の発生を抑制し、これにより高精度な位置制御を高速で行える走査型プローブ顕微鏡用走査機構が提案されている。
この提案では、例えば図５に示すように、走査機構７００は、駆動素子（アクチュエータ）の台座７０２と、この台座に設けられた駆動素子保持部材７０６、７０７を有している。
更に、走査機構７００は、これらの保持部材に保持されたＹ方向に伸縮可能な駆動素子７０３と、駆動素子７０３の一端に固定されたＸ方向に伸縮可能な駆動素子７０４と、を有している。
加えて、走査機構７００は、駆動素子７０４の一端に固定されたＺ方向に伸縮可能な駆動素子７０５と、駆動素子７０５の一端に設けられた試料保持部材７０８とを有している。
駆動素子７０５はその中央付近が駆動素子７０４に接合されており、駆動素子７０４はその中央付近が駆動素子７０３に接合されており、駆動素子７０３はその中央付近が保持部材７０６、７０７によって保持されている。

また、特許文献２には、高速で走査を行っても振動の発生の少ない小型で軽量な駆動ステージを有し、高速に鮮明な像を取得できる走査型プローブ顕微鏡が提案されている。
この提案では、走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）の駆動ステージとして、支持体と、前記支持体に支持された少なくとも２つ以上の複数の可動部と、前記複数の可動部を駆動する１つ以上の駆動素子からなる駆動ステージが構成される。
このステージは、前記駆動素子の駆動時に、前記複数のそれぞれの可動部の生じる慣性力が互いに相殺する方向に可動部を駆動する構成とされている。
具体的には、図６（ａ）に示すように このステージは、円筒形の圧電素子からなる駆動ステージが２つ同心円状に重なった構造を有している。
第１の円筒形圧電素子８００の内側に第２の円筒形圧電素子８１０が同心円状に配置されている（図６（ａ）では分解して表示）。
第１の円筒形圧電素子８００の周囲には、４分割された電極８０１〜８０４が配置されており、その上部には移動台８０５が接合されている（図６（ａ）では分解して表示）。
また、第２の円筒形圧電素子８１０の周囲には、４分割された電極８１１〜８１４が配置されており、上部には重り８１５が接合されている（図６（ａ）では分解して表示）。
第１、第２の円筒形圧電素子８００、８１０は、相対する電極（８０１と８０３、８０２と８０４、８１１と８１３、８１２と８１４）の電圧を制御して、一方が伸び他方が縮むようにすることにより、屈曲させることができる。
また、４つの電極に同じように電圧を印加することで長軸方向に伸縮させることができる。つまり、この圧電素子８００、８１０の屈曲、伸縮を電圧で制御できる。これにより、この圧電素子の上部に配置した移動台８０５と重り８１５をそれぞれ３次元方向に駆動することができる。
また、図６（ｂ）の本ステージの結線図に示すように結線することで、外側の円筒形圧電素子８００と内側の円筒形圧電素子８１０は、常に逆方向に駆動されることになる。
図６（ｃ）は、駆動時の変形の様子の断面図である。
図中で、円筒形圧電素子８００は、左向きに曲がって上方向に伸びており、円筒形圧電素子８１０は、右向きに曲がって下方向に縮んでいる。
増幅器８２０〜８２２の増幅率−ＡＸ、−Ａｙ、−Ａｚはそれぞれ、円筒形圧電素子８００と８１０の発生する慣性力がキャンセルするように設定されている。また、これらの増幅率は、移動台に載せるものの質量が変化した時には、最適な値に調整するのが望ましい。
以上のように構成された本発明は、常に外側の第１の円筒形圧電素子８００と内側の第２の円筒形圧電素子８１０の発生する慣性力がキャンセルするように駆動されるので、高速に駆動しても振動の少ないステージを提供することができる。
特開２００２−０８２０３６号公報 特開２０００−０８８９８３号公報

ところで、走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）では、観察すべき試料の大きさや観察すべき情報に応じて、装置の規模が異なってくる。
例えば、小さい試料で観察すべき視野（走査範囲）が狭い場合には、小さな駆動ステージが用いられ、また、走査範囲が広い場合には、大きな駆動ステージが用いられることとなる。
一方、探針については、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）であれば、同じ探針を用いることができるので、本体から走査ステージを取り外し、別の走査ステージを本体に装着して使用する使用法が採られる場合がある。すなわち、走査ステージのみを交換する使用法が採られる場合がある。

しかしながら、このように走査ステージのみを交換する使用法を採る際に、例えば上述した慣性力を相殺する可動部（カウンター質量、釣り合い錘）を持つ走査ステージを用いる場合、つぎのような不都合が生じる。
すなわち、慣性力を相殺する可動部（カウンター質量、釣り合い錘）をそのままにして、走査ステージのみを交換すると、カウンター質量との釣り合い関係が維持できず、期待する慣性力の相殺がなされない場合が生じる。
特に、走査ステージ或いはカウンター質量の駆動素子（アクチュエータ）として、圧電素子のような電気機械変換体を用いる場合には、使用に伴って駆動素子の動作性能が経過変化してしまうこととなる。
そのため、走査ステージのみを交換して走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）の使用を続けると、カウンター質量の駆動素子の劣化が進む一方で、走査ステージは交換によりリフレッシュされるという現象が生じる。
このようなことから、印加電圧に対する変位量は、カウンター質量の駆動素子と走査ステージの駆動素子との間で、異なることになり、走査ステージに発生する慣性力の相殺はより一層困難となる。
また、走査ステージの駆動素子の特性、例えば、印加電圧に対する変位量はヒステリシスを持つことが多く、また、駆動素子毎に特性にばらつきがある。
以上のことを考慮し、期待する慣性力の相殺がなされるように駆動するためには、走査ステージを交換するたびに操作者が校正を行うことが必要となる。
すなわち、走査ステージを交換するたびに走査ステージに発生する慣性力が適正に相殺されるように操作者が校正をする手間を要することとなる。

本発明は、上記課題に鑑み、走査ステージあるいは探針の駆動ステージを交換するたびに操作者による校正の手間を要することなく、これらのステージに発生する慣性力を適正に相殺することができる走査型プローブ装置を提供することを目的とするものである。

本発明は、上記課題を達成するために、以下のように構成した走査型プローブ装置を提供するものである。
本発明の走査型プローブ装置は、
探針と、
試料を保持する試料保持台を移動させるための駆動素子と、該試料保持台の移動の際に生じる慣性力を相殺する方向に動く可動部とを備えた走査ステージと、
を有し、前記探針と前記試料とを相対的に移動させ、前記試料の情報を取得し、または前記試料に情報を記録し、または前記試料を加工する走査型プローブ装置であって、
前記走査ステージは、前記走査型プローブ装置の使用の際に使用履歴情報を書き込み可能であり、前記走査ステージの校正を行うための特性情報が格納されたメモリーを備え、
前記試料保持台を含む前記駆動素子、前記可動部、及び前記メモリーが、前記走査ステージと一体的に前記走査型プローブ装置本体に対して着脱交換可能に構成されていることを特徴としている。
また、本発明の走査型プローブ装置は、前記走査型プローブ装置の本体側に、前記メモリーに格納された情報を非接触で受信する通信手段を有し、該通信手段によって受信した情報に基づいて、前記走査ステージの駆動を制御することを特徴としている。
また、本発明において、前記駆動素子及び前記可動部は、それぞれ電気機械変換体で構成されていることを特徴としている。
また、本発明において、前記電気機械変換体は円筒型の圧電素子からなり、前記駆動素子を構成する第１の円筒型の圧電素子の内側に、前記可動部を構成する第２の円筒型の圧電素子が同心円状に配置されていることを特徴としている。
また、本発明の走査型プローブ装置は、探針保持台を移動させるための駆動素子と、該探針保持台の移動の際に生じる慣性力を相殺する方向に動く可動部とを備えた探針の駆動ステージと、
試料を保持する走査ステージと、
を有し、前記探針と前記試料とを相対的に移動させ、前記試料の情報を取得し、または前記試料に情報を記録し、または前記試料を加工する走査型プローブ装置であって、
前記探針の駆動ステージは、前記走査型プローブ装置の使用の際に使用履歴情報を書き込み可能であり、前記探針の駆動ステージの校正を行うための特性情報が格納されたメモリーを備え、
前記探針保持台を含む前記駆動素子、前記可動部、及び前記メモリーが、前記探針の駆動ステージと一体的に前記走査型プローブ装置本体に対して着脱交換可能に構成されていることを特徴としている。
また、本発明の走査型プローブ装置は、前記走査型プローブ装置の本体側に、前記メモリーに格納された情報を非接触で受信する通信手段を有し、該通信手段によって受信した情報に基づいて、前記探針の駆動ステージの駆動を制御することを特徴としている。
また、本発明において、前記駆動素子及び前記可動部は、それぞれ電気機械変換体で構成されていることを特徴としている。
また、本発明において、前記電気機械変換体は円筒型の圧電素子からなり、前記駆動素子を構成する第１の円筒型の圧電素子の内側に、前記可動部を構成する第２の円筒型の圧電素子が同心円状に配置されていることを特徴としている。
また、本発明は、探針と試料とを相対的に移動させ、前記試料の情報を取得し、または前記試料に情報を記録し、または前記試料を加工する走査型プローブ装置のステージであって、
前記探針又は前記試料を保持する保持台を移動させるための駆動素子と、該探針又は該試料を保持する保持台の移動の際に生じる慣性力を相殺する方向に動く可動部と、
前記走査型プローブ装置の使用の際に使用履歴情報を書き込み可能であり、前記ステージの校正を行うための特性情報が格納されたメモリーと、を備え、
前記探針又は前記試料を保持する保持台を含む前記駆動素子、前記可動部、及び前記メモリーが、該ステージと一体的に前記走査型プローブ装置本体に対して着脱交換可能に構成されていることを特徴としている。

本発明によれば、走査ステージあるいは探針の駆動ステージを交換するたびに操作者による校正の手間を軽減させつつ、これらのステージに発生する慣性力を適正に相殺することができる走査型プローブ装置を実現することができる。

本発明の構成によれば、例えば、従来例の課題で説明したような走査圧電素子のみを交換した場合のような不都合が生じることなく、また、特性情報と使用履歴情報とに基づいて、自動的に走査ステージの校正を行うことができる。
これにより、走査型プローブ装置の使用を繰り返し行っても、常に良好に慣性力を相殺し、振動を抑制することが可能となる。特に、つぎに説明するように、ＸＹＺ各方向のなかでも最も高い周波数による動きとなるＺ方向の走査に求められる要求に対しても、有効に応えることが可能となる。

走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）は、探針と試料とを相対的にＸＹ方向にラスター走査し所望の試料領域の表面情報を探針を介して得て、モニターＴＶ上にマッピング表示することができる。
また、ＳＮＯＭなどは探針先端から発せられる光を被加工物に作用して微細加工を行ったり、光による情報記録を行ったりすることができる。
さらには、試料表面に凹凸を形成し、やはり微細加工を行ったり、情報記録を行ったりすることができる。

このような走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）においては、ＸＹ走査の間、Ｚ方向についても試料と探針との相互作用が一定になるようフィードバック制御してＺ方向の移動を担う走査機構を動かしている。
このＺ方向の動きは、規則的な動きをするＸＹ方向の動きとは異なり、試料の表面形状や表面状態を反映するため不規則な動きとなる。
そして、このＺ方向の走査はＸＹＺ各方向のなかでは最も高い周波数での動きとなる。
走査型プローブ顕微鏡のＸ方向の走査周波数は０．０５から２００Ｈｚ程度であり、Ｙ方向の走査周波数は、Ｘ方向走査周波数のＹ方向走査ライン数分の１程度であって、Ｙ方向走査ライン数は１０から１０００ラインである。
またＺ方向の走査周波数はＸ走査方向周波数に対し、Ｘ方向走査１ラインあたりの画素数倍からその１００倍程度である。
例えば、Ｘ方向１００画素、Ｙ方向１００画素の画像を１秒で取り込むとき、Ｘ方向の走査周波数は１００Ｈｚ、Ｙ方向の走査周波数は１Ｈｚ、Ｚ方向の走査周波数は１０ｋＨｚ以上となる。
なお、この例に示す走査周波数は走査型プローブ顕微鏡としては、今のところ最も高い水準の走査周波数に当たるものであり、通常はＸ方向走査周波数は数Ｈｚ程度に留まっている。
この例に示すような高い水準の走査周波数を実現するには、その走査機構は、外部からの振動に対し安定であるのはもちろん、内部の走査動作にともない自分白身で発生する振動が小さく抑えられていることが求められる。
本発明によれば、これらの要求に対しても、有効に応えることが可能となる。

以下に、本発明の実施例１について説明する。
［実施例１］
実施例１においては、本発明を適用して、走査型プローブ装置に用いられる交換可能な走査ステージを構成した。
図１に、本実施例における走査型プローブ装置に用いられる本体に対して交換可能とした走査ステージの断面図を示す。
図２に、本実施例における走査型プローブ装置に用いられる走査ステージの構成を説明するための模式図を示す。
図１及び図２において、１は走査型プローブ装置本体側に設けられた凹部、２は底部基台、３は底部基台２に設けられた電気接続コネクタ、４は走査型プローブ装置本体の凹部に設けられた電気接続コネクタ３と接続される電気接続コネクタである。
５は底部基台２の外殻に設けられている走査ステージの各種特性情報が格納されているメモリー、６は装置本体側に設けられた通信回路モジュールである。
５００は第１の円筒形圧電素子、５０５は移動台、５１０は第２の円筒形圧電素子、５１５は重りである。

本実施例においては、走査ステージは、底部基台２と、この底部基台２に固定されている移動台５０５を備えた第１の円筒形圧電素子５００及び重り５１５を備えた第２の円筒形圧電素子５１０により構成されている。
この走査ステージは、走査型プローブ装置本体側に設けられた凹部１に篏合するように交換可能に取り付けられる。
この凹部１の底面には、電気接続コネクタ４が設けられており、上記凹部１に篏合させた時に、底部基台２に設けられた電気接続コネクタ３と互いに接続される。
これにより、外部から試料台の駆動素子である走査用圧電素子を構成する第１の円筒形圧電素子５００と、カウンター圧電素子である第２の円筒形圧電素子５１０とを駆動するための信号が供給される。
上記走査ステージを構成している底部基台２の外殻には、走査ステージの各種特性情報が格納されているメモリー５が設けられており、上記走査ステージと一体的に走査型プローブ装置本体の凹部１から取り外して交換可能となっている。

本実施例においては、前記メモリー５が無線で情報通信が可能なＩＣチップに搭載されており、メモリ５内には上記走査ステージ側の特性情報が格納されている。
ここでは、特性情報としてスキャナ圧電素子側の校正情報と、カウンター圧電素子側の動作情報、等が格納されている。
例えば、校正情報としては、３ボルトの電圧をスキャナ圧電素子に印加したときに、どの方向（Ｘ，Ｙ，Ｚ方向）にいくつ（何ｎｍ）移動するか、といった特性情報等が格納されている。
また、動作情報としては、スキャナの移動量に対するカウンター質量の移動量など、スキャナ圧電素子とカウンター圧電素子の両特性を関連付ける情報である。一方、走査型プローブ装置本体側には、ＩＣチップと非接触で通信を行う通信回路モジュール６が設けられている。上記走査ステージが走査型プローブ装置本体の凹部１に篏合され、装置本体の電源がオンになると、ＩＣチップと相互に通信を行い、上記走査ステージ側の特性情報を読み取る。
装置本体は読み取られた特性情報を基に、上記走査ステージ側の校正を行い、正確な走査が行えるようになる。
そして、走査型プローブ装置の使用を行うたびに、使用履歴情報をＩＣチップのメモリに書き込む動作を行う。
こうして、特性情報と使用履歴情報とに基づいて、装置本体は上記走査ステージ側の動作制御を行う。

前述したように、スキャナ圧電素子は第１の円筒形圧電素子５００で構成され、その上部に試料台としての円盤状の移動台５０５を有している。
一方、カウンター圧電素子は直径がスキャナ圧電素子より小さい円筒形の圧電素子で構成され、その上部にカウンター質量としての重り５１５を有している。
そして、それぞれの圧電素子は、上記特許文献２に記載されているように駆動される。

つぎに、図２を用いて、上記走査ステージの具体的構成について、さらに詳細に説明する。
本実施例の走査ステージは、図２に示すように円筒形の圧電素子からなる駆動ステージが２つ同心円状に重なった構造をしている。
すなわち、第１の円筒形圧電素子５００の内側に、第２の円筒形圧電素子５１０が同心円状に配置されている（図２では分解して表示）。
第１の円筒形圧電素子５００の周囲には、４分割された電極５０１〜５０４が配置されており（但し、５０４は図２では裏側にあたるため不図示）、その上部には移動台５０５が接合されている（図２では分解して表示）。
また、第２の円筒形圧電素子５１０の周囲には、４分割された電極５１１〜５１４が配置されており（ただし、５１４は図２では裏側にあたるため不図示）、上部には重り５１５が接合されている（図２では分解して表示）。
第１、第２の円筒形圧電素子５００、５１０は、相対する電極（５０１と５０３、５０２と５０４、５１１と５１３、５１２と５１４）の電圧を制御して、一方が伸び他方が縮むようにすることにより、屈曲させることができる。
また、４つの電極に同じように電圧を印加することで長軸方向に伸縮させることができる。
つまり、この圧電素子５００、５１０の屈曲、伸縮を電圧で制御できる。したがって、これらによって圧電素子の上部に配置した移動台５０５と重り５１５をそれぞれ３次元方向に駆動することができる。本発明においては、５０１〜５０４をＸＹ走査用に使用し、Ｚ軸駆動用に別の圧電素子を設けてもよい。この場合は、５０１〜５０４の上方にＺ用圧電素子が載ることになる。

図３は、本実施例における走査ステージの結線図を示す図である。本結線図に示すように結線することで、外側の円筒形圧電素子５００と内側の円筒形圧電素子５１０は、常に逆方向に駆動されることになる。
駆動時の変形の様子は、前述した特許文献２と同じであり、図６（ｃ）と同様に、円筒形圧電素子５００は、左向きに曲がって上方向に伸びており、円筒形圧電素子５１０は、右向きに曲がって下方向に縮んでいる。
増幅器５２０〜５２２の増幅率−ＡＸ、−Ａｙ、−Ａｚはそれぞれ、円筒形圧電素子５００と５１０の発生する慣性力がキャンセルするように設定されている。また、これらの増幅率は、移動台に載せるものの質量が変化した時には、最適な値に調整するのが望ましい。

以上の本実施例の構成によれば、常に外側の第１の円筒形圧電素子５００と内側の第２の円筒形圧電素子５１０の発生する慣性力がキャンセルするように駆動されるので、高速に駆動しても振動の少ないステージを提供することができる。すなわち、本実施例では走査用圧電素子である第１の円筒形圧電素子５００のみを交換可能にするのではなく、走査用圧電素子と慣性力相殺用のカウンター圧電素子とが固定されている底部基台２が、装置本体に対して着脱可能に構成されている。これにより、両圧電素子が一体的に交換可能となる。
したがって、従来例の課題で説明したような慣性力相殺用のカウンター圧電素子をそのまま用い、走査用圧電素子のみを交換した場合のような不都合が生じることなく、また、特性情報と使用履歴情報とに基づいて、自動的に走査ステージの校正を行うことができる。
これにより、走査ステージを交換しながら走査型プローブ装置の使用を繰り返し行っても、常に良好に慣性力を相殺し、振動を抑制することが可能となる。
なお、本実施例においては円筒形圧電素子を使用した例を説明したが、これにかぎられるものではなく、３軸直交タイプの圧電素子を使用した場合にも同様の効果を得ることができる。

［実施例２］
本発明の実施例２においては、探針の駆動ステージ及び試料ステージの両方にメモリーが設けられた走査型プローブ装置の構成例について説明する。
なお、本実施例では、試料ステージとして実施例１の走査ステージと同様の構成のものが用いられる。
また、探針の駆動ステージにも実施例１の走査ステージの基本構成を適用して、探針保持台を移動させるための駆動素子と、該探針保持台の移動の際に生じる慣性力を相殺する方向に動く可動部とを備えた探針の駆動ステージが構成される。そして、この探針の駆動ステージは、前記探針保持台を含む前記駆動素子と前記可動部とが、前記走査型プローブ装置本体に対して一体的に着脱交換可能に構成される。

図４に本実施例の走査型プローブ装置の構成例を説明する図を示す。
図４において、６１０は走査型プローブ装置本体、６１１は走査型プローブ装置本体における篏合凹部を有する試料ステージ支持部、６１２は試料ステージの底部基台、６１３は試料ステージに載置された試料である。
６１４は走査型プローブ装置本体における篏合凹部を有する探針の駆動ステージ支持部、６１５は探針の駆動ステージの底部基台、６１６は走査プローブ、６１７は探針である。
６１８は、走査型プローブ装置全体の制御を司る制御コンピュータである。
６１９は試料ステージの底部基台６１２の外殻に設けられている試料ステージの各種特性情報が格納されているメモリー、６２０は装置本体側に設けられた通信回路モジュールである。
６２１は探針の駆動ステージの底部基台６１５の外殻に設けられている駆動ステージの各種特性情報が格納されているメモリー、６２２は装置本体側に設けられた通信回路モジュールである。
これらメモリーは、実施例１と同様に無線で情報通信が可能なＩＣチップに搭載されており、メモリー６１９内には上記試料ステージ側の特性情報が格納されている。また、メモリー６２１内には上記探針の駆動ステージ側の特性情報が格納されている。

本実施例の構成例では、それぞれに慣性力相殺用のカウンター圧電素子を含む両ステージは、上記慣性力相殺用のカウンター圧電素子を含んで一体的に交換可能に構成されている。この交換可能とした構成は、基本的には実施例１と同様の構成が採られる。
その際、相互に設けられた電気接続コネクタ（不図示）を介して、互いに電気接続されるように構成されている。これらにおいても、基本的には実施例１と同様の構成が採られる。
そして、装置本体の電源がオンになると、装置本体側に設けられた通信回路モジュール６２０、６２２と前記メモリ６１９、６２１が搭載されているＩＣチップと相互に通信を行い、これら特性情報を基に、それぞれの校正を行う。また、走査型プローブ装置の使用を行うたびに、使用履歴情報を更新する。
これら特性情報と使用履歴情報とに基づいて、動作制御を行うようにすることは、基本的には実施例１と同様であるから、これ以上の説明は省略する。

本実施例の構成によれば、探針の駆動ステージあるいは試料ステージの交換に際し、特性情報と使用履歴情報とに基づいて、自動的にこれらのステージの校正を行うことができる。
したがって、走査型プローブ装置の使用を繰り返し行っても、常に良好に慣性力を相殺し、振動を抑制することが可能となる。

本発明の実施例１における走査型プローブ装置に用いられる本体に対して交換可能とした走査ステージの断面図を示す図。 本発明の実施例１における走査型プローブ装置に用いられる走査ステージの構成を説明するための模式図。 本発明の実施例１における走査ステージの結線を示す図。 本発明の実施例２における探針の駆動ステージ及び試料ステージの両方にメモリーが設けられた走査型プローブ装置の構成例を説明する図。 従来例である特許文献１の走査型プローブ顕微鏡用走査機構を説明する図。 従来例である特許文献２の走査型プローブ顕微鏡の駆動ステージを説明する図。

符号の説明

１：走査型プローブ装置本体側に設けられた凹部
２：底部基台
３：底部基台２に設けられた電気接続コネクタ
４：走査型プローブ装置本体の凹部に設けられた電気接続コネクタ
５：走査ステージの各種特性情報が格納されているメモリー
６：装置本体側に設けられた通信回路モジュール
５００：第１の円筒形圧電素子
５０１〜５０４：電極
５０５：移動台
５１０：第２の円筒形圧電素子
５１１〜５１４：電極
５１５：重り
６１０：走査型プローブ装置本体
６１１：走査型プローブ装置本体における篏合凹部を有する試料ステージ支持部６１２：試料ステージの底部基台
６１３：試料ステージに載置された試料
６１４：走査型プローブ装置本体における篏合凹部を有する探針の駆動ステージ支持部
６１５：探針の駆動ステージの底部基台
６１６：走査プローブ
６１７：探針
６１８：走査型プローブ装置全体の制御を司る制御コンピュータ
６１９は試料ステージの各種特性情報が格納されているメモリー
６２０、６２２：装置本体側に設けられた通信回路モジュール
６２１：探針の駆動ステージの各種特性情報が格納されているメモリー

Claims (9)

1. 探針と、
   試料を保持する試料保持台を移動させるための駆動素子と、該試料保持台の移動の際に生じる慣性力を相殺する方向に動く可動部とを備えた走査ステージと、
   を有し、前記探針と前記試料とを相対的に移動させ、前記試料の情報を取得し、または前記試料に情報を記録し、または前記試料を加工する走査型プローブ装置であって、
   前記走査ステージは、前記走査型プローブ装置の使用の際に使用履歴情報を書き込み可能であり、前記走査ステージの校正を行うための特性情報が格納されたメモリーを備え、
   前記試料保持台を含む前記駆動素子、前記可動部、及び前記メモリーが、前記走査ステージと一体的に前記走査型プローブ装置本体に対して着脱交換可能に構成されていることを特徴とする走査型プローブ装置。
2. 前記走査型プローブ装置の本体側に、前記メモリーに格納された情報を非接触で受信する通信手段を有し、該通信手段によって受信した情報に基づいて、前記走査ステージの駆動を制御することを特徴とする請求項１に記載の走査型プローブ装置。
3. 前記駆動素子及び前記可動部は、それぞれ電気機械変換体で構成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の走査型プローブ装置。
4. 前記電気機械変換体は円筒型の圧電素子からなり、前記駆動素子を構成する第１の円筒型の圧電素子の内側に、前記可動部を構成する第２の円筒型の圧電素子が同心円状に配置されていることを特徴とする請求項３に記載の走査型プローブ装置。
5. 探針保持台を移動させるための駆動素子と、該探針保持台の移動の際に生じる慣性力を相殺する方向に動く可動部とを備えた探針の駆動ステージと、
   試料を保持する走査ステージと、
   を有し、前記探針と前記試料とを相対的に移動させ、前記試料の情報を取得し、または前記試料に情報を記録し、または前記試料を加工する走査型プローブ装置であって、
   前記探針の駆動ステージは、前記走査型プローブ装置の使用の際に使用履歴情報を書き込み可能であり、前記探針の駆動ステージの校正を行うための特性情報が格納されたメモリーを備え、
   前記探針保持台を含む前記駆動素子、前記可動部、及び前記メモリーが、前記探針の駆動ステージと一体的に前記走査型プローブ装置本体に対して着脱交換可能に構成されていることを特徴とする走査型プローブ装置。
6. 前記走査型プローブ装置の本体側に、前記メモリーに格納された情報を非接触で受信する通信手段を有し、該通信手段によって受信した情報に基づいて、前記探針の駆動ステージの駆動を制御することを特徴とする請求項５に記載の走査型プローブ装置。
7. 前記駆動素子及び前記可動部は、それぞれ電気機械変換体で構成されていることを特徴とする請求項５または請求項６に記載の走査型プローブ装置。
8. 前記電気機械変換体は円筒型の圧電素子からなり、前記駆動素子を構成する第１の円筒型の圧電素子の内側に、前記可動部を構成する第２の円筒型の圧電素子が同心円状に配置されていることを特徴とする請求項７に記載の走査型プローブ装置。
9. 探針と試料とを相対的に移動させ、前記試料の情報を取得し、または前記試料に情報を記録し、または前記試料を加工する走査型プローブ装置のステージであって、
   前記探針又は前記試料を保持する保持台を移動させるための駆動素子と、該探針又は該試料を保持する保持台の移動の際に生じる慣性力を相殺する方向に動く可動部と、
   前記走査型プローブ装置の使用の際に使用履歴情報を書き込み可能であり、前記ステージの校正を行うための特性情報が格納されたメモリーと、を備え、
   前記探針又は前記試料を保持する保持台を含む前記駆動素子、前記可動部、及び前記メモリーが、該ステージと一体的に前記走査型プローブ装置本体に対して着脱交換可能に構成されていることを特徴とするステージ。

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