JP2007171021A - 走査プローブ装置及び走査プローブ装置用の駆動ステージ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 試料又は探針を駆動する駆動ステージにおいて、探針1又は試料保持台505を移動させるためのカウンター駆動素子500と、該探針又は試料保持台の移動の際に生じる慣性力を相殺する方向に動く可動部515、510と、を有し、前記可動部は、前記カウンター駆動素子500の外側に、該駆動素子を囲むように設けられていることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
前記探針は、該探針を保持する探針台と、該探針を移動させるための駆動素子と、を有する駆動ステージに設けられ、
前記探針台の移動の際に生じる慣性力を相殺する方向に動く可動部が、前記駆動素子の外側に、該駆動素子を囲むように設けられていることを特徴とする。
前記試料ステージは、試料保持台を移動させるための駆動素子を有し、
前記試料保持台の移動の際に生じる慣性力を相殺する方向に動く可動部が、前記駆動素子の外側に、該駆動素子を囲むように設けられていることを特徴とする。
前記探針又は試料保持台を移動させるための駆動素子と、該探針又は試料保持台の移動の際に生じる慣性力を相殺する方向に動く可動部と、を有し、
前記可動部は、前記駆動素子の外側に、該駆動素子を囲むように設けられていることを特徴とする。
(1)前記探針は、該探針を保持する探針台と、該探針を移動させるための駆動素子と、該探針台の移動の際に生じる慣性力を相殺する方向に動く可動部と、を有する駆動ステージに設けられ、
前記可動部は、前記駆動素子の外側に、該駆動素子を囲むように設けられていることを特徴とする。
前記可動部は、前記駆動素子の外側に、該駆動素子を囲むように設けられていることを特徴とする。
図1は、本発明の一実施形態による走査プローブ装置の駆動ステージの構成部品を説明するための模式図である。図2はその駆動ステージの断面図である。
図4は、本発明の一実施形態による走査プローブ装置の駆動ステージの構成部品を説明するための模式図である。
図5は第3の実施の形態による走査プローブ装置としての原子間力顕微鏡を示す。
2、16 カンチレバー
500 カウンター駆動素子
510 駆動素子
505 試料保持台
515 カウンター質量
Claims (11)
- 探針と、試料を保持する試料ステージと、を有し、前記探針と前記試料とを相対的に移動させながら、試料の情報を取得するか、又は試料の加工を行う走査プローブ装置において、
前記探針は、該探針を保持する探針台と、該探針を移動させるための駆動素子と、を有する駆動ステージに設けられ、
前記探針台の移動の際に生じる慣性力を相殺する方向に動く可動部が、前記駆動素子の外側に、該駆動素子を囲むように設けられていることを特徴とする走査プローブ装置。 - 前記駆動素子及び前記可動部はそれぞれ電気機械変換体を有する請求項1記載の走査プローブ装置。
- 前記電気機械変換体は円筒型の圧電素子からなる請求項2記載の走査プローブ装置。
- 前記駆動ステージは、光が通過する光路、又は、配線が設けられた空間のうち少なくともいずれか一方を内部に有する請求項1記載の走査プローブ装置。
- 探針と、試料を保持する試料ステージと、を有し、前記探針と前記試料とを相対的に移動させながら、試料の情報を取得するか、又は試料の加工を行う走査プローブ装置において、
前記試料ステージは、試料保持台を移動させるための駆動素子と、を有し、
前記試料保持台の移動の際に生じる慣性力を相殺する方向に動く可動部が、
前記駆動素子の外側に、該駆動素子を囲むように設けられていることを特徴と
する走査プローブ装置。 - 前記駆動素子及び前記可動部はそれぞれ電気機械変換体を有する請求項5記載の走査プローブ装置。
- 前記電気機械変換体は円筒型の圧電素子を有する請求項6記載の走査プローブ装置。
- 前記試料ステージは、光が通過する光路、又は、配線が設けられた空間のうち少なくともいずれか一方を内部に有する請求項5記載の走査プローブ装置。
- 探針と、試料を保持する試料ステージと、を有し、前記探針と前記試料とを相対的に移動させながら、試料の情報を取得するか、又は試料の加工を行う走査プローブ装置用の駆動ステージにおいて、
前記探針又は試料保持台を移動させるための駆動素子と、該探針又は試料保持台の移動の際に生じる慣性力を相殺する方向に動く可動部と、を有し、
前記可動部は、前記駆動素子の外側に、該駆動素子を囲むように設けられていることを特徴とする駆動ステージ。 - 前記電気機械変換体は円筒型の圧電素子からなる請求項9記載の駆動ステージ。
- 光が通過する光路、又は、配線が設けられた空間のうち少なくともいずれか一方を内部に有する請求項9記載の駆動ステージ。
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