JP2003140053A - 光学顕微鏡別軸一体型走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
光学顕微鏡別軸一体型走査型プローブ顕微鏡Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】既存の光学顕微鏡と走査型プローブ顕微鏡とを
組み合わせて構成された光学顕微鏡別軸一体型走査型プ
ローブ顕微鏡を提供する。 【解決手段】光学顕微鏡別軸一体型走査型プローブ顕微
鏡１００は、試料を光学的に観察するための既知の光学
顕微鏡１１０と、プローブ（探針）を用いて試料を観察
するための走査型プローブ顕微鏡ユニット１４０とを有
している。光学顕微鏡１１０は三眼鏡筒１１６と対物レ
ボルバー１１８とＸＹステージ１３０とＺステージ１２
０とを有している。光学顕微鏡別軸一体型走査型プロー
ブ顕微鏡１００は、ＸＹステージ１３０を移動させるた
めの移動機構１５０を更に有している。移動機構１５０
はＺステージ１２０とＸＹステージ１３０の間に位置
し、Ｚステージ１２０に着脱自在に保持され、ＸＹステ
ージ１３０を着脱自在に保持する。
組み合わせて構成された光学顕微鏡別軸一体型走査型プ
ローブ顕微鏡を提供する。 【解決手段】光学顕微鏡別軸一体型走査型プローブ顕微
鏡１００は、試料を光学的に観察するための既知の光学
顕微鏡１１０と、プローブ（探針）を用いて試料を観察
するための走査型プローブ顕微鏡ユニット１４０とを有
している。光学顕微鏡１１０は三眼鏡筒１１６と対物レ
ボルバー１１８とＸＹステージ１３０とＺステージ１２
０とを有している。光学顕微鏡別軸一体型走査型プロー
ブ顕微鏡１００は、ＸＹステージ１３０を移動させるた
めの移動機構１５０を更に有している。移動機構１５０
はＺステージ１２０とＸＹステージ１３０の間に位置
し、Ｚステージ１２０に着脱自在に保持され、ＸＹステ
ージ１３０を着脱自在に保持する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば原子オーダ
ーの分解能で試料の表面を測定するための走査型プロー
ブ顕微鏡に関し、特に光学顕微鏡と走査型プローブ顕微
鏡とを有している光学顕微鏡別軸一体型走査型プローブ
顕微鏡に関している。
ーの分解能で試料の表面を測定するための走査型プロー
ブ顕微鏡に関し、特に光学顕微鏡と走査型プローブ顕微
鏡とを有している光学顕微鏡別軸一体型走査型プローブ
顕微鏡に関している。
【０００２】
【従来の技術】特開平９−２０３７４０号は従来の光学
顕微鏡別軸一体型走査型プローブ顕微鏡の一例を開示し
ている。その光学顕微鏡別軸一体型走査型プローブ顕微
鏡を図３に示す。
顕微鏡別軸一体型走査型プローブ顕微鏡の一例を開示し
ている。その光学顕微鏡別軸一体型走査型プローブ顕微
鏡を図３に示す。
【０００３】図３に示されるように、光学顕微鏡別軸一
体型走査型プローブ顕微鏡は、試料１３をＸ軸とＹ軸と
Ｚ軸の三軸に沿って微小移動させるための三次元スキャ
ナ１４と、試料１３をＸ軸とＹ軸の二軸に沿って大きく
移動させるためのＸＹステージ１２と、試料１３を光学
的に観察するための光学顕微鏡２１と、試料１３をプロ
ーブを用いて観察するための走査型プローブ顕微鏡１９
と、これらを支持するための装置フレーム１１とを有し
ている。
体型走査型プローブ顕微鏡は、試料１３をＸ軸とＹ軸と
Ｚ軸の三軸に沿って微小移動させるための三次元スキャ
ナ１４と、試料１３をＸ軸とＹ軸の二軸に沿って大きく
移動させるためのＸＹステージ１２と、試料１３を光学
的に観察するための光学顕微鏡２１と、試料１３をプロ
ーブを用いて観察するための走査型プローブ顕微鏡１９
と、これらを支持するための装置フレーム１１とを有し
ている。
【０００４】光学顕微鏡２１と走査型プローブ顕微鏡１
９は共に装置フレーム１１の上部１１ａに支持されてい
る。装置フレーム１１の上部１１ａは実質的に剛体と見
なせ、光学顕微鏡２１と走査型プローブ顕微鏡１９の間
隔は一定に保たれる。
９は共に装置フレーム１１の上部１１ａに支持されてい
る。装置フレーム１１の上部１１ａは実質的に剛体と見
なせ、光学顕微鏡２１と走査型プローブ顕微鏡１９の間
隔は一定に保たれる。
【０００５】ＸＹステージ１２は装置フレーム１１の下
部１１ｂの上に設けられ、三次元スキャナ１４はＸＹス
テージ１２の上に設けられている。三次元スキャナ１４
の上に載置された試料１３は、ＸＹステージ１２によっ
て三次元スキャナ１４と共に光学顕微鏡２１と走査型プ
ローブ顕微鏡１９の間を移動され得る。
部１１ｂの上に設けられ、三次元スキャナ１４はＸＹス
テージ１２の上に設けられている。三次元スキャナ１４
の上に載置された試料１３は、ＸＹステージ１２によっ
て三次元スキャナ１４と共に光学顕微鏡２１と走査型プ
ローブ顕微鏡１９の間を移動され得る。
【０００６】走査型プローブ顕微鏡１９は、探針（プロ
ーブ）を自由端に備える弾性変形可能なカンチレバー
と、カンチレバーの弾性変形のたわみを光学的に検出す
るための光てこ方式等の検出光学系とを有しており、探
針試料間に発生した原子間力をカンチレバーのたわみ量
として検出する。
ーブ）を自由端に備える弾性変形可能なカンチレバー
と、カンチレバーの弾性変形のたわみを光学的に検出す
るための光てこ方式等の検出光学系とを有しており、探
針試料間に発生した原子間力をカンチレバーのたわみ量
として検出する。
【０００７】光学顕微鏡別軸一体型走査型プローブ顕微
鏡では、試料１３は以下のように観察される。
鏡では、試料１３は以下のように観察される。
【０００８】試料１３は、光学顕微鏡２１により観察さ
れながら、ＸＹステージ１２により移動され、目的の観
察部位が光学顕微鏡２１の視野の中心に配置される。
れながら、ＸＹステージ１２により移動され、目的の観
察部位が光学顕微鏡２１の視野の中心に配置される。
【０００９】その後、試料１３は、ＸＹステージ１２に
よって、走査型プローブ顕微鏡１９の探針位置と光学顕
微鏡２１の光軸位置の間隔に等しい既知の距離だけ移動
される。この移動により、試料１３は走査型プローブ顕
微鏡１９の下方に配置される。
よって、走査型プローブ顕微鏡１９の探針位置と光学顕
微鏡２１の光軸位置の間隔に等しい既知の距離だけ移動
される。この移動により、試料１３は走査型プローブ顕
微鏡１９の下方に配置される。
【００１０】その後、走査型プローブ顕微鏡１９の探針
が試料１３の表面に近づけられ、三次元スキャナ１４に
よってＸＹ走査される。ＸＹ走査の間、例えば探針のＺ
位置が、カンチレバーのたわみが一定に保たれるように
サーボ制御される。ＸＹ走査中の試料１３に対する探針
のＸＹ位置とＺ位置とに基づいて、試料１３の目的の観
察部位の像が得られる。
が試料１３の表面に近づけられ、三次元スキャナ１４に
よってＸＹ走査される。ＸＹ走査の間、例えば探針のＺ
位置が、カンチレバーのたわみが一定に保たれるように
サーボ制御される。ＸＹ走査中の試料１３に対する探針
のＸＹ位置とＺ位置とに基づいて、試料１３の目的の観
察部位の像が得られる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】従来の光学顕微鏡別軸
一体型走査型プローブ顕微鏡は、装置フレームとＸＹス
テージとが一体的に構成されているために製造コストが
かかり、非常に高価である。
一体型走査型プローブ顕微鏡は、装置フレームとＸＹス
テージとが一体的に構成されているために製造コストが
かかり、非常に高価である。
【００１２】また、従来の光学顕微鏡別軸一体型走査型
プローブ顕微鏡は、これに組み込まれる走査型プローブ
顕微鏡が既存の光学顕微鏡と組み合わせることができな
いため、汎用性が乏しい。
プローブ顕微鏡は、これに組み込まれる走査型プローブ
顕微鏡が既存の光学顕微鏡と組み合わせることができな
いため、汎用性が乏しい。
【００１３】本発明の目的は、既存の光学顕微鏡と走査
型プローブ顕微鏡とを組み合わせて構成された光学顕微
鏡別軸一体型走査型プローブ顕微鏡を提供することであ
る。
型プローブ顕微鏡とを組み合わせて構成された光学顕微
鏡別軸一体型走査型プローブ顕微鏡を提供することであ
る。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明の光学顕微鏡別軸
一体型走査型プローブ顕微鏡は、試料を光学的に観察す
るための光学顕微鏡であり、その上に載置された試料を
Ｘ軸とＹ軸の二軸に沿って移動させるためのＸＹステー
ジを含んでいる光学顕微鏡と、プローブを用いて試料を
観察するための走査型プローブ顕微鏡ユニットであり、
光学顕微鏡に取り付けられた走査型プローブ顕微鏡ユニ
ットと、ＸＹステージを光学顕微鏡と走査型プローブ顕
微鏡ユニットの間で移動させるための移動機構であり、
光学顕微鏡に取り付けられた移動機構とを有している。
好適な移動機構は光学顕微鏡に着脱自在に保持され得
る。さらに好適な移動機構はＸＹステージを着脱自在に
保持し得る。
一体型走査型プローブ顕微鏡は、試料を光学的に観察す
るための光学顕微鏡であり、その上に載置された試料を
Ｘ軸とＹ軸の二軸に沿って移動させるためのＸＹステー
ジを含んでいる光学顕微鏡と、プローブを用いて試料を
観察するための走査型プローブ顕微鏡ユニットであり、
光学顕微鏡に取り付けられた走査型プローブ顕微鏡ユニ
ットと、ＸＹステージを光学顕微鏡と走査型プローブ顕
微鏡ユニットの間で移動させるための移動機構であり、
光学顕微鏡に取り付けられた移動機構とを有している。
好適な移動機構は光学顕微鏡に着脱自在に保持され得
る。さらに好適な移動機構はＸＹステージを着脱自在に
保持し得る。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
の実施の形態について説明する。
の実施の形態について説明する。
【００１６】光学顕微鏡別軸一体型走査型プローブ顕微
鏡１００は、試料を光学的に観察するための光学顕微鏡
１１０と、これに取り付けられた、プローブ（探針）を
用いて試料を観察するための走査型プローブ顕微鏡ユニ
ット１４０とを有している。
鏡１００は、試料を光学的に観察するための光学顕微鏡
１１０と、これに取り付けられた、プローブ（探針）を
用いて試料を観察するための走査型プローブ顕微鏡ユニ
ット１４０とを有している。
【００１７】光学顕微鏡１１０は、既存の公知の光学顕
微鏡であり、ベース１１２とこれに立てられたアーム１
１４を含む本体と、一対の接眼レンズを含む三眼鏡筒１
１６と、それに取り付けられた複数の対物レンズを選択
的に光路上に配置させるための対物レボルバー１１８
と、その上に載置された試料１８０をＸ軸とＹ軸の二軸
に沿って移動させるためのＸＹステージ１３０と、ＸＹ
ステージ１３０の上に載置された試料１８０をＺ軸に沿
って移動させるためのＺステージ１２０とを有してい
る。
微鏡であり、ベース１１２とこれに立てられたアーム１
１４を含む本体と、一対の接眼レンズを含む三眼鏡筒１
１６と、それに取り付けられた複数の対物レンズを選択
的に光路上に配置させるための対物レボルバー１１８
と、その上に載置された試料１８０をＸ軸とＹ軸の二軸
に沿って移動させるためのＸＹステージ１３０と、ＸＹ
ステージ１３０の上に載置された試料１８０をＺ軸に沿
って移動させるためのＺステージ１２０とを有してい
る。
【００１８】走査型プローブ顕微鏡ユニット１４０は、
例えば、探針を自由端に備える弾性変形可能なカンチレ
バーと、探針をＸ軸とＹ軸とＺ軸の三軸に沿って微小移
動させ得る三次元スキャナと、試料１８０と探針との間
に発生した原子間力によって引き起こされるカンチレバ
ーの弾性変形を例えば光学的に検出するための検出光学
系とを含んでいる。
例えば、探針を自由端に備える弾性変形可能なカンチレ
バーと、探針をＸ軸とＹ軸とＺ軸の三軸に沿って微小移
動させ得る三次元スキャナと、試料１８０と探針との間
に発生した原子間力によって引き起こされるカンチレバ
ーの弾性変形を例えば光学的に検出するための検出光学
系とを含んでいる。
【００１９】三眼鏡筒１１６と対物レボルバー１１８は
共にアーム１１４によって支持されている。また走査型
プローブ顕微鏡ユニット１４０もアーム１１４によって
支持されている。これにより、光学顕微鏡１１０の光軸
位置と走査型プローブ顕微鏡ユニット１４０の探針位置
の間隔（距離）は既存の一定値に保たれる。
共にアーム１１４によって支持されている。また走査型
プローブ顕微鏡ユニット１４０もアーム１１４によって
支持されている。これにより、光学顕微鏡１１０の光軸
位置と走査型プローブ顕微鏡ユニット１４０の探針位置
の間隔（距離）は既存の一定値に保たれる。
【００２０】ＸＹステージ１３０は、連結機構によっ
て、ベース１１２に固定されたＺステージ１２０に着脱
自在に取り付け可能である。連結機構は、例えば、互い
に係合し得る一対の連結部材から成り、Ｚステージ１２
０とＸＹステージ１３０は、一対の連結部材をそれぞれ
備えている。
て、ベース１１２に固定されたＺステージ１２０に着脱
自在に取り付け可能である。連結機構は、例えば、互い
に係合し得る一対の連結部材から成り、Ｚステージ１２
０とＸＹステージ１３０は、一対の連結部材をそれぞれ
備えている。
【００２１】光学顕微鏡別軸一体型走査型プローブ顕微
鏡１００は、光学顕微鏡１１０と走査型プローブ顕微鏡
ユニット１４０に加えて、ＸＹステージを少なくとも光
学顕微鏡１１０と走査型プローブ顕微鏡ユニット１４０
の間で移動させるための移動機構１５０を有している。
鏡１００は、光学顕微鏡１１０と走査型プローブ顕微鏡
ユニット１４０に加えて、ＸＹステージを少なくとも光
学顕微鏡１１０と走査型プローブ顕微鏡ユニット１４０
の間で移動させるための移動機構１５０を有している。
【００２２】移動機構１５０はＺステージ１２０とＸＹ
ステージ１３０の間に配置されている。移動機構１５０
はＺステージ１２０に着脱自在に保持されており、また
移動機構１５０はＸＹステージ１３０を着脱自在に保持
している。
ステージ１３０の間に配置されている。移動機構１５０
はＺステージ１２０に着脱自在に保持されており、また
移動機構１５０はＸＹステージ１３０を着脱自在に保持
している。
【００２３】移動機構１５０は、基台１５２と、その上
を直線的に移動し得るスライド台１５４とを有してい
る。移動機構１５０の基台１５２はＺステージ１２０に
取り付けられ、移動機構１５０のスライド台１５４にＸ
Ｙステージ１３０が取り付けられる。これにより、ＸＹ
ステージ１３０は少なくとも光学顕微鏡１１０と走査型
プローブ顕微鏡ユニット１４０の間で移動され得る。
を直線的に移動し得るスライド台１５４とを有してい
る。移動機構１５０の基台１５２はＺステージ１２０に
取り付けられ、移動機構１５０のスライド台１５４にＸ
Ｙステージ１３０が取り付けられる。これにより、ＸＹ
ステージ１３０は少なくとも光学顕微鏡１１０と走査型
プローブ顕微鏡ユニット１４０の間で移動され得る。
【００２４】移動機構１５０は、好ましくは、スライド
台１５４の移動方向が、光学顕微鏡１１０の光軸位置と
走査型プローブ顕微鏡ユニット１４０の探針位置を通る
直線に平行となるように配置される。
台１５４の移動方向が、光学顕微鏡１１０の光軸位置と
走査型プローブ顕微鏡ユニット１４０の探針位置を通る
直線に平行となるように配置される。
【００２５】連結機構の一対の連結部材は、例えば、丸
アリと、これに嵌まり得るホゾとで構成される。図２に
示されるように、Ｚステージ１２０と移動機構１５０の
スライド台１５４は、連結機構の一対の連結部材の一方
である丸アリを有しており、移動機構１５０の基台１５
２とＸＹステージ１３０は、図示されていないが、連結
機構の一対の連結部材の他方であるホゾを有している。
アリと、これに嵌まり得るホゾとで構成される。図２に
示されるように、Ｚステージ１２０と移動機構１５０の
スライド台１５４は、連結機構の一対の連結部材の一方
である丸アリを有しており、移動機構１５０の基台１５
２とＸＹステージ１３０は、図示されていないが、連結
機構の一対の連結部材の他方であるホゾを有している。
【００２６】これにより、移動機構１５０の基台１５２
はＺステージ１２０に着脱自在に取り付けられ、移動機
構１５０のスライド台１５４にＸＹステージ１３０が着
脱自在に取り付けられる。また、前述したように、ＸＹ
ステージ１３０とＺステージ１２０は、互いに着脱自在
に取り付け可能でもある。
はＺステージ１２０に着脱自在に取り付けられ、移動機
構１５０のスライド台１５４にＸＹステージ１３０が着
脱自在に取り付けられる。また、前述したように、ＸＹ
ステージ１３０とＺステージ１２０は、互いに着脱自在
に取り付け可能でもある。
【００２７】つまり、ＸＹステージ１３０とＺステージ
１２０は、それらの間に何も介することなく、直接的に
着脱自在に取り付け可能でもあり、また、移動機構１５
０を介して、間接的に着脱自在に直接取り付け可能でも
ある。
１２０は、それらの間に何も介することなく、直接的に
着脱自在に取り付け可能でもあり、また、移動機構１５
０を介して、間接的に着脱自在に直接取り付け可能でも
ある。
【００２８】光学顕微鏡別軸一体型走査型プローブ顕微
鏡１００において、試料１８０は以下のように観察され
る。
鏡１００において、試料１８０は以下のように観察され
る。
【００２９】試料１８０はＸＹステージ１３０の上に載
置される。ＸＹステージ１３０が移動機構１５０によっ
て移動されて、光学顕微鏡１１０の対物レボルバー１１
８の下方に配置される。試料１８０がＸＹステージ１３
０によって移動され、試料１８０の観察部位が光学顕微
鏡１１０の光軸位置に配置される。試料１８０の観察部
位が光学顕微鏡１１０によって観察される。
置される。ＸＹステージ１３０が移動機構１５０によっ
て移動されて、光学顕微鏡１１０の対物レボルバー１１
８の下方に配置される。試料１８０がＸＹステージ１３
０によって移動され、試料１８０の観察部位が光学顕微
鏡１１０の光軸位置に配置される。試料１８０の観察部
位が光学顕微鏡１１０によって観察される。
【００３０】光学顕微鏡１１０による観察の後、ＸＹス
テージ１３０が移動機構１５０によって移動されて、走
査型プローブ顕微鏡ユニット１４０の下方に配置され
る。移動機構１５０のスライド台１５４は、光学顕微鏡
１１０の光軸位置と走査型プローブ顕微鏡ユニット１４
０の探針位置の間隔に等しい距離だけ移動される。これ
により、試料１８０の観察部位が走査型プローブ顕微鏡
ユニット１４０の探針位置に自動的に配置される。従っ
て、新たに位置決めすることなく、試料１８０の観察部
位が走査型プローブ顕微鏡ユニット１４０によって観察
される。
テージ１３０が移動機構１５０によって移動されて、走
査型プローブ顕微鏡ユニット１４０の下方に配置され
る。移動機構１５０のスライド台１５４は、光学顕微鏡
１１０の光軸位置と走査型プローブ顕微鏡ユニット１４
０の探針位置の間隔に等しい距離だけ移動される。これ
により、試料１８０の観察部位が走査型プローブ顕微鏡
ユニット１４０の探針位置に自動的に配置される。従っ
て、新たに位置決めすることなく、試料１８０の観察部
位が走査型プローブ顕微鏡ユニット１４０によって観察
される。
【００３１】本実施形態の光学顕微鏡別軸一体型走査型
プローブ顕微鏡は、既存の光学顕微鏡を利用しているの
で安価に作製できる。また、既存の光学顕微鏡は様々な
検鏡法に対応するための付加的ユニット等が充実してい
るので、本実施形態の光学顕微鏡別軸一体型走査型プロ
ーブ顕微鏡は、走査型プローブ顕微鏡と様々な検鏡法の
光学顕微鏡との組み合わせが可能であり、高い汎用性を
有している。
プローブ顕微鏡は、既存の光学顕微鏡を利用しているの
で安価に作製できる。また、既存の光学顕微鏡は様々な
検鏡法に対応するための付加的ユニット等が充実してい
るので、本実施形態の光学顕微鏡別軸一体型走査型プロ
ーブ顕微鏡は、走査型プローブ顕微鏡と様々な検鏡法の
光学顕微鏡との組み合わせが可能であり、高い汎用性を
有している。
【００３２】これまで、本発明の実施形態について図面
を参照しながら説明したが、本発明は、上述した実施形
態に限定されることなく、その要旨を逸脱しない範囲で
様々に変形されてよい。
を参照しながら説明したが、本発明は、上述した実施形
態に限定されることなく、その要旨を逸脱しない範囲で
様々に変形されてよい。
【００３３】実施形態では、丸アリとホゾから成る連結
機構を例示的に示したが、他の任意の連結機構であって
よい。移動機構１５０に設けられる連結機構は、これの
適用対象である光学顕微鏡に応じて決められる。すなわ
ち、移動機構１５０は、これの適用対象である光学顕微
鏡のＸＹステージとＺステージの連結機構と同じ連結機
構を有しているとよい。他の実施形態として、移動機構
１５０は光学顕微鏡１１０と走査型プローブ顕微鏡ユニ
ット１４０との距離が予め移動量として設定してあって
もよい。
機構を例示的に示したが、他の任意の連結機構であって
よい。移動機構１５０に設けられる連結機構は、これの
適用対象である光学顕微鏡に応じて決められる。すなわ
ち、移動機構１５０は、これの適用対象である光学顕微
鏡のＸＹステージとＺステージの連結機構と同じ連結機
構を有しているとよい。他の実施形態として、移動機構
１５０は光学顕微鏡１１０と走査型プローブ顕微鏡ユニ
ット１４０との距離が予め移動量として設定してあって
もよい。
【００３４】また実施形態では、一軸に沿って移動し得
るスライド台を有する移動機構１５０を例示的に示した
が、移動機構は二軸に沿って移動し得るスライド台を有
していてもよい。
るスライド台を有する移動機構１５０を例示的に示した
が、移動機構は二軸に沿って移動し得るスライド台を有
していてもよい。
【００３５】移動機構１５０は電動式であってもよく、
光学顕微鏡１１０の光軸位置と走査型プローブ顕微鏡ユ
ニット１４０の探針位置の間隔に等しい距離だけＸＹス
テージ１３０を移動するように制御されてもよい。
光学顕微鏡１１０の光軸位置と走査型プローブ顕微鏡ユ
ニット１４０の探針位置の間隔に等しい距離だけＸＹス
テージ１３０を移動するように制御されてもよい。
【００３６】既存の光学顕微鏡１１０の部品であるＸＹ
ステージ１３０とＺステージ１２０に代えて、走査型プ
ローブ顕微鏡用の高精度ＸＹステージと高精度Ｚステー
ジが使用されてもよい。
ステージ１３０とＺステージ１２０に代えて、走査型プ
ローブ顕微鏡用の高精度ＸＹステージと高精度Ｚステー
ジが使用されてもよい。
【００３７】ここに述べた各種の変形はいずれも、本発
明の要旨を逸脱しない範囲で行なわれており、本発明に
含まれる。
明の要旨を逸脱しない範囲で行なわれており、本発明に
含まれる。
【００３８】
【発明の効果】本発明によれば、既存の光学顕微鏡と走
査型プローブ顕微鏡とを組み合わせて構成された光学顕
微鏡別軸一体型走査型プローブ顕微鏡が提供される。こ
のような光学顕微鏡別軸一体型走査型プローブ顕微鏡は
既存の光学顕微鏡を利用しているので安価に作製でき
る。また、既存の光学顕微鏡は様々な検鏡法に対応する
ための付加的ユニット等が充実しているので、本発明の
光学顕微鏡別軸一体型走査型プローブ顕微鏡は、走査型
プローブ顕微鏡と様々な検鏡法の光学顕微鏡との組み合
わせが可能であり、高い汎用性を有している。
査型プローブ顕微鏡とを組み合わせて構成された光学顕
微鏡別軸一体型走査型プローブ顕微鏡が提供される。こ
のような光学顕微鏡別軸一体型走査型プローブ顕微鏡は
既存の光学顕微鏡を利用しているので安価に作製でき
る。また、既存の光学顕微鏡は様々な検鏡法に対応する
ための付加的ユニット等が充実しているので、本発明の
光学顕微鏡別軸一体型走査型プローブ顕微鏡は、走査型
プローブ顕微鏡と様々な検鏡法の光学顕微鏡との組み合
わせが可能であり、高い汎用性を有している。
【図１】本発明の実施形態の光学顕微鏡別軸一体型走査
型プローブ顕微鏡を示している。
型プローブ顕微鏡を示している。
【図２】図１に示される互いに重ねられたＺステージと
移動機構とＸＹステージとを分解して示している。
移動機構とＸＹステージとを分解して示している。
【図３】特開平９−２０３７４０号に開示されている従
来の光学顕微鏡別軸一体型走査型プローブ顕微鏡を示し
ている。
来の光学顕微鏡別軸一体型走査型プローブ顕微鏡を示し
ている。
１００ 光学顕微鏡別軸一体型走査型プローブ顕微鏡
１１０ 光学顕微鏡
１３０ ＸＹステージ
１４０ 走査型プローブ顕微鏡ユニット
１５０ 移動機構
１５２ 基台
１５４ スライド台
Claims (3)
- 【請求項１】 試料を光学的に観察するための光学顕微
鏡であり、その上に載置された試料をＸ軸とＹ軸の二軸
に沿って移動させるためのＸＹステージを含んでいる光
学顕微鏡と、 プローブを用いて試料を観察するための走査型プローブ
顕微鏡ユニットであり、光学顕微鏡に取り付けられた走
査型プローブ顕微鏡ユニットと、 ＸＹステージを光学顕微鏡と走査型プローブ顕微鏡ユニ
ットの間で移動させるための移動機構であり、光学顕微
鏡に取り付けられた移動機構とを有している、光学顕微
鏡別軸一体型走査型プローブ顕微鏡。 - 【請求項２】 請求項１において、移動機構は光学顕微
鏡に着脱自在に保持され得る、光学顕微鏡別軸一体型走
査型プローブ顕微鏡。 - 【請求項３】 請求項２において、移動機構はＸＹステ
ージを着脱自在に保持し得る、光学顕微鏡別軸一体型走
査型プローブ顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001339816A JP2003140053A (ja) | 2001-11-05 | 2001-11-05 | 光学顕微鏡別軸一体型走査型プローブ顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001339816A JP2003140053A (ja) | 2001-11-05 | 2001-11-05 | 光学顕微鏡別軸一体型走査型プローブ顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003140053A true JP2003140053A (ja) | 2003-05-14 |
Family
ID=19154108
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001339816A Withdrawn JP2003140053A (ja) | 2001-11-05 | 2001-11-05 | 光学顕微鏡別軸一体型走査型プローブ顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003140053A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US7631547B2 (en) | 2005-12-22 | 2009-12-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Scanning probe apparatus and drive stage therefor |
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| US7765606B2 (en) | 2006-02-01 | 2010-07-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Scanning probe apparatus |
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| US11163146B2 (en) | 2018-12-29 | 2021-11-02 | Xinyu Li | Scanning microscope object stage |
-
2001
- 2001-11-05 JP JP2001339816A patent/JP2003140053A/ja not_active Withdrawn
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