JP2006072081A - 顕微鏡装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 保持機構400はカンチレバー保持機構400Aおよびミラー保持機構400Bから構成されている。カンチレバー保持機構400Aは保持機構保持部11cの下部からZ方向に延びるように設けられている。カンチレバー保持機構400Aは、その下端部においてカンチレバー100を着脱可能に保持する。ミラー保持機構400Bは側壁部11Aの内面11xからX方向に延びるように設けられている。ミラー保持機構400Bは、先端部においてミラー固定部材450を着脱可能に保持する。ミラー固定部材450にはミラー25が固定されている。カンチレバー保持機構400Aとミラー保持機構400Bとは互いに分離されている。
【選択図】 図2
Description
10 原子間力顕微鏡
20 光学顕微鏡
25 ミラー
30,31 試料載置台
50 ベース筐体部
52a,52b,52c,52d 支持脚
53a,53d 被支持部
54 底部
101 探針
100 カンチレバー
400 保持機構
420 固定部材
430 連結部材
440 位置決め部材
450 ミラー固定部材
400A カンチレバー保持機構
400B ミラー保持機構
413a,413b,431a,431b 突起
440a,440b,440c,440d,451a,451b 貫通孔
460 カンチレバー交換治具
Claims (6)
- 試料が載置される試料載置台と、
光学顕微鏡と、
探針を有するカンチレバーと前記試料載置台とを相対的に移動させることにより前記探針を前記試料の表面に沿って走査させる走査型プローブ顕微鏡と、
前記探針の位置を含む前記試料の領域からの光を前記光学顕微鏡に導く反射部材と、
前記カンチレバーおよび前記反射部材をそれぞれ着脱可能に保持する保持機構とを備えたことを特徴とする顕微鏡装置。 - 前記保持機構は、前記カンチレバーを着脱可能に保持する第1の保持部と、前記反射部材を着脱可能に保持する第2の保持部とを備え、
前記第1および第2の保持部は互いに分離されたことを特徴とする請求項1記載の顕微鏡装置。 - 前記第2の保持部は係合部を有し、
前記反射部材は前記係合部に係合可能な第1の被係合部を有することを特徴とする請求項2記載の顕微鏡装置。 - 前記第1の保持部は嵌合部を有し、前記第2の保持部は前記走査型プローブ顕微鏡に固定された固定部材と、前記係合部を有するとともに前記固定部材に接合される連結部材とを含み、
前記第1の保持部材および前記連結部材は、前記嵌合部に嵌合可能な被嵌合部および前記係合部に係合可能な第2の被係合部を有する共通の治具により位置決め可能であることを特徴とする請求項3記載の顕微鏡装置。 - 前記反射部材は、磁力により前記第2の保持部に着脱可能に保持されることを特徴とする請求項2〜4のいずれかに記載の顕微鏡装置。
- 前記保持機構への前記カンチレバーの着脱時に前記カンチレバーを把持する把持部材をさらに備え、
前記保持機構は、前記カンチレバーの着脱時に前記把持部材に把持されたカンチレバーが前記保持機構に対して所定の角度に保たれ、かつカンチレバーの差込量が制限されるように前記把持部材を案内することを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の顕微鏡装置。
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