JPH1194864A - カンチレバーユニット装着具 - Google Patents
カンチレバーユニット装着具Info
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- JPH1194864A JPH1194864A JP25102597A JP25102597A JPH1194864A JP H1194864 A JPH1194864 A JP H1194864A JP 25102597 A JP25102597 A JP 25102597A JP 25102597 A JP25102597 A JP 25102597A JP H1194864 A JPH1194864 A JP H1194864A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 カンチレバーユニットを所望の姿勢で保持し
てカンチレバーユニットホルダへ簡単かつ正確に装着で
きるカンチレバー装着具を提供する。 【解決手段】 ピンセット４０は、一対の腕部４１ａ，
４１ｂの一端を相互に固定して支点４１ｃとしたピンセ
ット部４１と、自由端が各腕部４１ａ，４１ｂの 延在
方向に撓むように、前記各腕部４１ａ，４１ｂの他端に
片持ち梁式に支持さ れた一対の梁部４２ａ，４２ｂ
と、前記各梁部４２ａ，４２ｂの自由端に一端が 固定
され、各腕部４１ａ，４１ｂの延在方向に延びた一対の
保持部４３ａ，４３ ｂとによって構成されている。前
記各保持部４３ａ，４３ｂの相互に対向する面 には、
その他端から予定の長さだけ、前記カンチレバーユニッ
トの板厚に応じた 幅の溝４４ａ，４４ｂが形成されて
いる。
てカンチレバーユニットホルダへ簡単かつ正確に装着で
きるカンチレバー装着具を提供する。 【解決手段】 ピンセット４０は、一対の腕部４１ａ，
４１ｂの一端を相互に固定して支点４１ｃとしたピンセ
ット部４１と、自由端が各腕部４１ａ，４１ｂの 延在
方向に撓むように、前記各腕部４１ａ，４１ｂの他端に
片持ち梁式に支持さ れた一対の梁部４２ａ，４２ｂ
と、前記各梁部４２ａ，４２ｂの自由端に一端が 固定
され、各腕部４１ａ，４１ｂの延在方向に延びた一対の
保持部４３ａ，４３ ｂとによって構成されている。前
記各保持部４３ａ，４３ｂの相互に対向する面 には、
その他端から予定の長さだけ、前記カンチレバーユニッ
トの板厚に応じた 幅の溝４４ａ，４４ｂが形成されて
いる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はカンチレバーユニッ
ト装着具に係り、特に、自己検知型カンチレバーを具備
した薄板状のカンチレバーユニットをカンチレバーユニ
ットホルダへ装着する際に用いるカンチレバー装着具に
関する。
ト装着具に係り、特に、自己検知型カンチレバーを具備
した薄板状のカンチレバーユニットをカンチレバーユニ
ットホルダへ装着する際に用いるカンチレバー装着具に
関する。
【０００２】
【従来の技術】ＡＦＭ等の走査型プローブ顕微鏡では、
試料表面とプローブとの間の相互作用を利用して試料表
面の微細な組織や構造を検出するために、片持ち梁の先
端に探針を装着したカンチレバーが走査プローブとして
使用される。試料表面と探針との間には、原子間力に基
づく引力または斥力が発生するので、探針を試料表面で
ＸＹ方向へ走査させながら原子間力をカンチレバーの歪
量として検出し、この歪量すなわち試料表面と探針との
間隙が一定となるように試料ステージをＺ軸方向へ微動
させれば、その際の微動信号、あるいは検出された歪量
そのものが試料表面の形状を代表するようになる。カン
チレバーの撓み量は、その自由端近傍の背面にレーザ光
を照射し、反射されたレーザ光のスポット位置を位置検
出器で測定することにより検出される。
試料表面とプローブとの間の相互作用を利用して試料表
面の微細な組織や構造を検出するために、片持ち梁の先
端に探針を装着したカンチレバーが走査プローブとして
使用される。試料表面と探針との間には、原子間力に基
づく引力または斥力が発生するので、探針を試料表面で
ＸＹ方向へ走査させながら原子間力をカンチレバーの歪
量として検出し、この歪量すなわち試料表面と探針との
間隙が一定となるように試料ステージをＺ軸方向へ微動
させれば、その際の微動信号、あるいは検出された歪量
そのものが試料表面の形状を代表するようになる。カン
チレバーの撓み量は、その自由端近傍の背面にレーザ光
を照射し、反射されたレーザ光のスポット位置を位置検
出器で測定することにより検出される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記したように、カン
チレバーの撓み量を光学的に検出する方法では、構成が
複雑化して調整も難しいという問題があった。そのた
め、近年になって撓み量を検知するセンサ機能をカンチ
レバー上に設け、検知した撓み量を電気信号として直接
出力し得る特徴を持った自己検知型のカンチレバーが開
発されている。
チレバーの撓み量を光学的に検出する方法では、構成が
複雑化して調整も難しいという問題があった。そのた
め、近年になって撓み量を検知するセンサ機能をカンチ
レバー上に設け、検知した撓み量を電気信号として直接
出力し得る特徴を持った自己検知型のカンチレバーが開
発されている。
【０００４】このような自己検知型カンチレバーによれ
ば、高価な光学系や複雑な調整が不要となるが、その反
面、電気信号を出力するためにカンチレバー側に設けた
電気接点と、カンチレバーを保持するために走査型プロ
ーブ顕微鏡側に設けたホルダの電気接点とが正確に接触
するように、ホルダに対してカンチレバーを正確に位置
決めして固定する必要がある。
ば、高価な光学系や複雑な調整が不要となるが、その反
面、電気信号を出力するためにカンチレバー側に設けた
電気接点と、カンチレバーを保持するために走査型プロ
ーブ顕微鏡側に設けたホルダの電気接点とが正確に接触
するように、ホルダに対してカンチレバーを正確に位置
決めして固定する必要がある。
【０００５】一方、カンチレバーの平均的な交換頻度は
１回／日であるため、カンチレバーはホルダに対して容
易に着脱できるように保持することが望ましい。そこ
で、本出願人は、自己検知型カンチレバーを備えたカン
チレバーユニットを、機械的にも電気的にも容易かつ正
確に装着できるように工夫したカンチレバーユニットホ
ルダを発明して出願した（９７−Ｎ−１）。しかしなが
ら、カンチレバーユニットを所望の姿勢で保持してカン
チレバーユニットホルダへ装着するための装着具に関し
ては考慮されていなかった。
１回／日であるため、カンチレバーはホルダに対して容
易に着脱できるように保持することが望ましい。そこ
で、本出願人は、自己検知型カンチレバーを備えたカン
チレバーユニットを、機械的にも電気的にも容易かつ正
確に装着できるように工夫したカンチレバーユニットホ
ルダを発明して出願した（９７−Ｎ−１）。しかしなが
ら、カンチレバーユニットを所望の姿勢で保持してカン
チレバーユニットホルダへ装着するための装着具に関し
ては考慮されていなかった。
【０００６】本発明の目的は、上記した従来技術の問題
点を解決し、カンチレバーユニットを所望の姿勢で保持
してカンチレバーユニットホルダへ簡単かつ正確に装着
できるようにしたカンチレバー装着具を提供することに
ある。
点を解決し、カンチレバーユニットを所望の姿勢で保持
してカンチレバーユニットホルダへ簡単かつ正確に装着
できるようにしたカンチレバー装着具を提供することに
ある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ために、本発明では、薄板状のカンチレバーユニットを
挟持してカンチレバーユニットホルダへ装着するための
カンチレバー装着具を、一対の腕部の一端を相互に固定
して支点としたピンセット部と、前記ピンセット部の各
腕部に片持ち梁式に支持された一対の挟持部とによって
構成した点に特徴がある。
ために、本発明では、薄板状のカンチレバーユニットを
挟持してカンチレバーユニットホルダへ装着するための
カンチレバー装着具を、一対の腕部の一端を相互に固定
して支点としたピンセット部と、前記ピンセット部の各
腕部に片持ち梁式に支持された一対の挟持部とによって
構成した点に特徴がある。
【０００８】上記した構成のカンチレバー装着具によれ
ば、各挟持部によって挟持したカンチレバーユニットを
カンチレバーユニットホルダの所定位置へ装着する際
に、挿入しようとするカンチレバーユニットが障害物等
と接触すると挟持部が撓むので、障害物等との接触を手
感触のみならず目視によっても確認することができる。
ば、各挟持部によって挟持したカンチレバーユニットを
カンチレバーユニットホルダの所定位置へ装着する際
に、挿入しようとするカンチレバーユニットが障害物等
と接触すると挟持部が撓むので、障害物等との接触を手
感触のみならず目視によっても確認することができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明を詳
細に説明する。図５は、走査プローブとして自己検知型
カンチレバーを用いた走査プローブ顕微鏡の主要部の構
成を示した図である。筐体１の上部には第１の永久磁石
２が装着され、永久磁石２の中央部には、環状溝５で囲
まれた心棒部３が形成されている。永久磁石２の心棒部
３にはキャップ状の可動子４が遊嵌され、可動子４の外
周部にはボイスコイル６が巻回されている。永久磁石
２、心棒部３、可動子４およびボイスコイル６は、音響
用スピーカ等で使用されているボイスコイルモータを形
成している。
細に説明する。図５は、走査プローブとして自己検知型
カンチレバーを用いた走査プローブ顕微鏡の主要部の構
成を示した図である。筐体１の上部には第１の永久磁石
２が装着され、永久磁石２の中央部には、環状溝５で囲
まれた心棒部３が形成されている。永久磁石２の心棒部
３にはキャップ状の可動子４が遊嵌され、可動子４の外
周部にはボイスコイル６が巻回されている。永久磁石
２、心棒部３、可動子４およびボイスコイル６は、音響
用スピーカ等で使用されているボイスコイルモータを形
成している。
【００１０】前記可動子４の閉塞端４ａの中央部には、
ｚ方向に延びるスピンドル８の上端部が固着されてお
り、スピンドル８の下端部近傍は、バネ１２によって中
筒１３に支持されている。また、スピンドル８の下端部
にはホルダ取付台１４が固定されており、このホルダ取
付台１４には、後に図６〜８を参照して詳述するカンチ
レバーユニットホルダ５０が固着されている。ホルダ５
０には、後に図９，１０を参照して詳述するカンチレバ
ーユニット１０が保持されている。
ｚ方向に延びるスピンドル８の上端部が固着されてお
り、スピンドル８の下端部近傍は、バネ１２によって中
筒１３に支持されている。また、スピンドル８の下端部
にはホルダ取付台１４が固定されており、このホルダ取
付台１４には、後に図６〜８を参照して詳述するカンチ
レバーユニットホルダ５０が固着されている。ホルダ５
０には、後に図９，１０を参照して詳述するカンチレバ
ーユニット１０が保持されている。
【００１１】前記筐体１の側面には、また、第２の永久
磁石２１が装着され、永久磁石２１の中央部には、環状
溝２８で囲まれた心棒部２２が形成されている。心棒部
２２にはキャップ状の可動子２３が遊嵌され、可動子２
３の外周部にはボイスコイル２５が巻回されている。第
２の永久磁石２１、心棒部２２、可動子２３およびボイ
スコイル２５は前記と同様のボイスコイルモータを形成
している。
磁石２１が装着され、永久磁石２１の中央部には、環状
溝２８で囲まれた心棒部２２が形成されている。心棒部
２２にはキャップ状の可動子２３が遊嵌され、可動子２
３の外周部にはボイスコイル２５が巻回されている。第
２の永久磁石２１、心棒部２２、可動子２３およびボイ
スコイル２５は前記と同様のボイスコイルモータを形成
している。
【００１２】可動子２３にはｘ方向のスピンドル２７の
一端が固着され、スピンドル２７の他端は中筒１３の側
部に固着されている。このボイスコイルモータは主走査
方向（Ｘ方向）のスピンドル２７に作用するが、図示さ
れていない同構成のボイスコイルモータが９０°回転し
た位置に設けられており、副走査方向（Ｙ方向）のスピ
ンドルに作用する。そして、前記主および副走査方向の
ボイスコイルモータを駆動することにより、カンチレバ
ーユニット１０の自由端に設けられた探針１０ａは試料
表面に対してラスタ走査される。探針１０ａと対向する
位置には試料台３１が設けられ、試料台３１上には観察
対象の試料３２が載置されている。該試料台３１は試料
ステージ３３上に設置されている。
一端が固着され、スピンドル２７の他端は中筒１３の側
部に固着されている。このボイスコイルモータは主走査
方向（Ｘ方向）のスピンドル２７に作用するが、図示さ
れていない同構成のボイスコイルモータが９０°回転し
た位置に設けられており、副走査方向（Ｙ方向）のスピ
ンドルに作用する。そして、前記主および副走査方向の
ボイスコイルモータを駆動することにより、カンチレバ
ーユニット１０の自由端に設けられた探針１０ａは試料
表面に対してラスタ走査される。探針１０ａと対向する
位置には試料台３１が設けられ、試料台３１上には観察
対象の試料３２が載置されている。該試料台３１は試料
ステージ３３上に設置されている。
【００１３】図６は、前記カンチレバーユニットホルダ
５０の側面図であり、図７は図６のＡ矢図であり、図８
は図６のＢ矢図である。本実施形態では、カンチレバー
ユニットホルダ５０はピエゾ加振板５８を介して前記ホ
ルダ取付台１４に固定されている。このピエゾ加振板５
８は、生物分子等の柔らかい試料の観察時にカンチレバ
ーを共振させる目的で設けられている。
５０の側面図であり、図７は図６のＡ矢図であり、図８
は図６のＢ矢図である。本実施形態では、カンチレバー
ユニットホルダ５０はピエゾ加振板５８を介して前記ホ
ルダ取付台１４に固定されている。このピエゾ加振板５
８は、生物分子等の柔らかい試料の観察時にカンチレバ
ーを共振させる目的で設けられている。
【００１４】ホルダ５０の一方の側面には、Ｓ字型の弾
性体電極５４（５４ａ〜５４ｄ）のＵ字部がそれぞれ挿
貫される４つの溝５５が形成されている。ホルダ５０の
下方には、本体と予定の間隙を保って対向するように櫛
歯状の電極ガイド５３が片持ち支持されている。電極ガ
イド５３の櫛歯は、前記各溝５５と対応する位置が欠け
るように構成されている。
性体電極５４（５４ａ〜５４ｄ）のＵ字部がそれぞれ挿
貫される４つの溝５５が形成されている。ホルダ５０の
下方には、本体と予定の間隙を保って対向するように櫛
歯状の電極ガイド５３が片持ち支持されている。電極ガ
イド５３の櫛歯は、前記各溝５５と対応する位置が欠け
るように構成されている。
【００１５】各弾性体電極５４は、図示したように、一
方のＵ字部がそれぞれ各溝５５に挿貫され、他方のＵ字
部から端部に至る部分は、その屈曲部５７が電極ガイド
５３の櫛歯間から間隙内へ弾性的に突出している。ホル
ダ５０の下方にはカンチレバー台５２が形成されてい
る。次いで、本発明におけて挟持対象物となるカンチレ
バーユニットについて説明する。図９は、自己検知型カ
ンチレバーを搭載したカンチレバーユニット１０の平面
図であり、図１０は図９の側面図である。
方のＵ字部がそれぞれ各溝５５に挿貫され、他方のＵ字
部から端部に至る部分は、その屈曲部５７が電極ガイド
５３の櫛歯間から間隙内へ弾性的に突出している。ホル
ダ５０の下方にはカンチレバー台５２が形成されてい
る。次いで、本発明におけて挟持対象物となるカンチレ
バーユニットについて説明する。図９は、自己検知型カ
ンチレバーを搭載したカンチレバーユニット１０の平面
図であり、図１０は図９の側面図である。
【００１６】カンチレバーユニット１０は、図１０に示
したように、厚板状のシリコン基板７２と薄板状のシリ
コン基板７１とを積層し、薄板状シリコン基板７１の一
端から突き出た片持ち梁部７１ａの自由端に探針１０ａ
が形成された自己検知型カンチレバー７０と、図９に示
したように、前記カンチレバー７０の少なくとも片持ち
梁部７１ａが端部から突き出すように当該カンチレバー
７０を保持するガラスエポキシ基板８０とによって構成
されている。
したように、厚板状のシリコン基板７２と薄板状のシリ
コン基板７１とを積層し、薄板状シリコン基板７１の一
端から突き出た片持ち梁部７１ａの自由端に探針１０ａ
が形成された自己検知型カンチレバー７０と、図９に示
したように、前記カンチレバー７０の少なくとも片持ち
梁部７１ａが端部から突き出すように当該カンチレバー
７０を保持するガラスエポキシ基板８０とによって構成
されている。
【００１７】シリコン基板７１の探針１０ａが形成され
た主面には、梁部７１ａの撓み量に応答した電気信号を
出力する検知回路（図示せず）、ならびに当該検知回路
の電源ライン用および信号ライン用のボンディングパッ
ド７９が形成されている。ガラスエポキシ基板８０の表
面には、複数の配線パターン８２が形成されており、各
配線パターン８２の一端には、前記カンチレバーユニッ
トホルダ５０の各電極５４の屈曲部５７が圧接されるコ
ンタクトパターン８２ａが形成され、他端にはボンディ
ングパッド８２ｂが形成されている。
た主面には、梁部７１ａの撓み量に応答した電気信号を
出力する検知回路（図示せず）、ならびに当該検知回路
の電源ライン用および信号ライン用のボンディングパッ
ド７９が形成されている。ガラスエポキシ基板８０の表
面には、複数の配線パターン８２が形成されており、各
配線パターン８２の一端には、前記カンチレバーユニッ
トホルダ５０の各電極５４の屈曲部５７が圧接されるコ
ンタクトパターン８２ａが形成され、他端にはボンディ
ングパッド８２ｂが形成されている。
【００１８】シリコン基板７１のボンディングパッド７
９とガラスエポキシ基板８０のボンディングパッド８２
ｂとはボンディングワイヤ８３で接続され、ボンディン
グワイヤ８３および各ボンディングパッド７９，８２ｂ
には樹脂モールド８１が施されている。前記カンチレバ
ーユニット１０は、図１１に示したように、コンタクト
パターン８２ａ側の端部が専用ケース１５の溝１５ａに
挿貫され、カンチレバー７０が上側を向いて露出する姿
勢で保持されている。
９とガラスエポキシ基板８０のボンディングパッド８２
ｂとはボンディングワイヤ８３で接続され、ボンディン
グワイヤ８３および各ボンディングパッド７９，８２ｂ
には樹脂モールド８１が施されている。前記カンチレバ
ーユニット１０は、図１１に示したように、コンタクト
パターン８２ａ側の端部が専用ケース１５の溝１５ａに
挿貫され、カンチレバー７０が上側を向いて露出する姿
勢で保持されている。
【００１９】図１は、本発明の一実施形態であるカンチ
レバーユニット装着具としてのピンセット４０の斜視図
であり、図２は図１の側面図、図３は図１の正面図、図
４は図１の下面図である。本発明のピンセット４０は、
例えばジェラコン、デルリン（共に登録商標）等の樹脂
によって形成され、一対の腕部４１ａ，４１ｂの一端を
相互に固定して支点４１ｃとしたピンセット部４１と、
ピンセット部４１の各腕部４１ａ，４１ｂに片持ち梁式
に支持された一対の挟持部４９ａ，４９ｂとによって構
成されている。
レバーユニット装着具としてのピンセット４０の斜視図
であり、図２は図１の側面図、図３は図１の正面図、図
４は図１の下面図である。本発明のピンセット４０は、
例えばジェラコン、デルリン（共に登録商標）等の樹脂
によって形成され、一対の腕部４１ａ，４１ｂの一端を
相互に固定して支点４１ｃとしたピンセット部４１と、
ピンセット部４１の各腕部４１ａ，４１ｂに片持ち梁式
に支持された一対の挟持部４９ａ，４９ｂとによって構
成されている。
【００２０】各挟持部４９ａ，４９ｂは、自由端が各腕
部４１ａ，４１ｂの延在方向に撓むように、前記各腕部
４１ａ，４１ｂの他端に片持ち梁式に支持された一対の
梁部４２ａ，４２ｂと、前記各梁部４２ａ，４２ｂの自
由端に一端が固定され、各腕部４１ａ，４１ｂの延在方
向に延びた一対の保持部４３ａ，４３ｂとによって構成
されている。
部４１ａ，４１ｂの延在方向に撓むように、前記各腕部
４１ａ，４１ｂの他端に片持ち梁式に支持された一対の
梁部４２ａ，４２ｂと、前記各梁部４２ａ，４２ｂの自
由端に一端が固定され、各腕部４１ａ，４１ｂの延在方
向に延びた一対の保持部４３ａ，４３ｂとによって構成
されている。
【００２１】前記各保持部４３ａ，４３ｂの相互に対向
する面には、その他端から予定の長さだけ、前記カンチ
レバーユニットの板厚に応じた幅の溝４４ａ，４４ｂが
形成されている。さらに、本実施形態では前記各腕部４
１ａ，４１ｂの他端には、一対のガイド板４５ａ，４５
ｂが各腕部４１ａ，４１ｂの延在方向に沿って予定の間
隙で対向配置されている。
する面には、その他端から予定の長さだけ、前記カンチ
レバーユニットの板厚に応じた幅の溝４４ａ，４４ｂが
形成されている。さらに、本実施形態では前記各腕部４
１ａ，４１ｂの他端には、一対のガイド板４５ａ，４５
ｂが各腕部４１ａ，４１ｂの延在方向に沿って予定の間
隙で対向配置されている。
【００２２】このような構成のピンセット４０を用いて
カンチレバーユニット１０を前記ホルダ５０へ装着する
際、作業者は、前記図１１に関して説明した専用ケース
１５に収容されているカンチレバーユニット１０のガラ
スエポキシ基板８０の両サイドを溝４４ａ，４４ｂに挿
貫し、両腕部４１ａ，４１ｂを指で摘んでカンチレバー
ユニット１０を挟持する。
カンチレバーユニット１０を前記ホルダ５０へ装着する
際、作業者は、前記図１１に関して説明した専用ケース
１５に収容されているカンチレバーユニット１０のガラ
スエポキシ基板８０の両サイドを溝４４ａ，４４ｂに挿
貫し、両腕部４１ａ，４１ｂを指で摘んでカンチレバー
ユニット１０を挟持する。
【００２３】図１４は、カンチレバーユニット１０をピ
ンセット４０で挟持して前記専用ケースから取出した状
態を示した図であり、本実施形態では、カンチレバーユ
ニット１０は樹脂モールド面が下側になる姿勢で挟持さ
れる。次いで、作業者は図１２に示したように、カンチ
レバーユニット１０を略水平状態に保ち、カンチレバー
台５２と電極ガイド５３との間隙部へ下方から斜め上方
へ向けて挿入する。
ンセット４０で挟持して前記専用ケースから取出した状
態を示した図であり、本実施形態では、カンチレバーユ
ニット１０は樹脂モールド面が下側になる姿勢で挟持さ
れる。次いで、作業者は図１２に示したように、カンチ
レバーユニット１０を略水平状態に保ち、カンチレバー
台５２と電極ガイド５３との間隙部へ下方から斜め上方
へ向けて挿入する。
【００２４】このとき、カンチレバーユニット１０の挿
入位置が狂い、その先端部がカンチレバー台５２や電極
ガイド５３等に接触すると、挟持部４９の梁部４２が破
線矢印方向へ撓むので、作業者は挿入位置のずれを手感
触のみならず目視によっても確認することができる。こ
のため、障害物に接触しているにもかかわらずカンチレ
バーユニット１０を無理に挿入してしまうことがなく、
装着時におけるカンチレバーユニット１０やホルダ５０
の破損を防止できる。
入位置が狂い、その先端部がカンチレバー台５２や電極
ガイド５３等に接触すると、挟持部４９の梁部４２が破
線矢印方向へ撓むので、作業者は挿入位置のずれを手感
触のみならず目視によっても確認することができる。こ
のため、障害物に接触しているにもかかわらずカンチレ
バーユニット１０を無理に挿入してしまうことがなく、
装着時におけるカンチレバーユニット１０やホルダ５０
の破損を防止できる。
【００２５】カンチレバーユニット１０は、間隙内に弾
性的に突出した電極５４の弾性力に抗して挿入されるた
め、図１３に示したように、間隙内へ挿入された後は、
その弾性力によってカンチレバー台５２側へ押しつけら
れ、電極５４とカンチレバー台５２とによって挟持され
ることになる。各電極５４は、カンチレバーユニット１
０が正規の位置まで挿入されると、その屈曲部５７がガ
ラスエポキシ基板８０の各コンタクトパターン８２ａと
接触するように予め位置決めされている。
性的に突出した電極５４の弾性力に抗して挿入されるた
め、図１３に示したように、間隙内へ挿入された後は、
その弾性力によってカンチレバー台５２側へ押しつけら
れ、電極５４とカンチレバー台５２とによって挟持され
ることになる。各電極５４は、カンチレバーユニット１
０が正規の位置まで挿入されると、その屈曲部５７がガ
ラスエポキシ基板８０の各コンタクトパターン８２ａと
接触するように予め位置決めされている。
【００２６】なお、本実施形態では、ホルダ取付台１４
の幅とガイド４５ａ，４５ｂの間隙とを等しくしている
ので、図１２に示したように、ガイド４５ａ，４５ｂ間
にホルダ取付台１４を係合させた状態でピンセット４０
をスライドさせてカンチレバーユニット１０を挿入すれ
ば、幅方向の位置決めも同時に達成される。
の幅とガイド４５ａ，４５ｂの間隙とを等しくしている
ので、図１２に示したように、ガイド４５ａ，４５ｂ間
にホルダ取付台１４を係合させた状態でピンセット４０
をスライドさせてカンチレバーユニット１０を挿入すれ
ば、幅方向の位置決めも同時に達成される。
【００２７】
【発明の効果】本発明によれば、以下のような効果が達
成される。 (1) 薄板状のカンチレバーユニットを所望の姿勢で簡単
に保持することができるので、カンチレバーユニットを
カンチレバーユニットホルダへ簡単かつ正確に装着でき
るようになる。 (2) カンチレバーユニットの挿入位置が狂い、その先端
部が障害物等に接触すると、梁部が撓んで位置ずれを目
視により確認することができるので、装着時におけるカ
ンチレバーユニットやホルダの破損を防止できる。 (3) カンチレバーユニットの挿入方向に垂直な幅方向に
関して予定の間隙で対向するガイド板を設けたので、装
着時における幅方向の位置決めが容易になる。
成される。 (1) 薄板状のカンチレバーユニットを所望の姿勢で簡単
に保持することができるので、カンチレバーユニットを
カンチレバーユニットホルダへ簡単かつ正確に装着でき
るようになる。 (2) カンチレバーユニットの挿入位置が狂い、その先端
部が障害物等に接触すると、梁部が撓んで位置ずれを目
視により確認することができるので、装着時におけるカ
ンチレバーユニットやホルダの破損を防止できる。 (3) カンチレバーユニットの挿入方向に垂直な幅方向に
関して予定の間隙で対向するガイド板を設けたので、装
着時における幅方向の位置決めが容易になる。
【図１】本発明の一実施形態であるピンセットの斜視図
である。
である。
【図２】図１に示したピンセットの側面図である。
【図３】図１に示したピンセットの正面図である。
【図４】図１に示したピンセットの下面図である。
【図５】走査プローブとして自己検知型カンチレバーを
採用した走査プローブ顕微鏡の主要部の構成を示した図
である。
採用した走査プローブ顕微鏡の主要部の構成を示した図
である。
【図６】カンチレバーユニットホルダの側面図である。
【図７】図６のＡ矢視図である。
【図８】図６のＢ矢視図である。
【図９】自己検知型カンチレバーを搭載したカンチレバ
ーユニットの平面図である。
ーユニットの平面図である。
【図１０】図９のカンチレバーユニットの側面図であ
る。
る。
【図１１】カンチレバーユニットの収納方法を示した図
である。
である。
【図１２】カンチレバーをホルダへ装着する方法を示し
た図である。
た図である。
【図１３】カンチレバーユニットが装着された状態での
ホルダの側面図である。
ホルダの側面図である。
【図１４】カンチレバーユニットをピンセットで挟持し
た状態を示した図である。
た状態を示した図である。
１０ カンチレバーユニット １０ａ 探針 ４０ ピンセット ５０ カンチレバーユニットホルダ ５２ カンチレバー台 ５３ 電極ガイド ５４ 弾性体電極 ７０ 自己検知型カンチレバー ８０ ガラスエポキシ基板
Claims (4)
- 【請求項１】 薄板状のカンチレバーユニットを挟持し
てカンチレバーユニットホルダへ装着するためのカンチ
レバー装着具において、 一対の腕部の一端を相互に固定して支点としたピンセッ
ト部と、 前記ピンセット部の各腕部に片持ち梁式に支持された一
対の挟持部とを具備したことを特徴とするカンチレバー
ユニット装着具。 - 【請求項２】 前記挟持部は、 自由端が前記ピンセット部の各腕部の延在方向に撓むよ
うに、前記各腕部に片持ち梁式に支持された一対の梁部
と、 前記各梁部の自由端に固定された一対の保持部とによっ
て構成されたことを特徴とする請求項１に記載のカンチ
レバーユニット装着具。 - 【請求項３】 前記各保持部の相互に対向する面には、
カンチレバーユニットの板厚に応じた幅の溝が形成され
たことを特徴とする請求項２に記載のカンチレバーユニ
ット装着具。 - 【請求項４】 前記各腕部の他端には、一対のガイド板
が各腕部の延在方向に沿って予定の間隙で対向配置され
たことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載
のカンチレバーユニット装着具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25102597A JP3270365B2 (ja) | 1997-09-16 | 1997-09-16 | カンチレバーユニット装着具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25102597A JP3270365B2 (ja) | 1997-09-16 | 1997-09-16 | カンチレバーユニット装着具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1194864A true JPH1194864A (ja) | 1999-04-09 |
| JP3270365B2 JP3270365B2 (ja) | 2002-04-02 |
Family
ID=17216511
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25102597A Expired - Lifetime JP3270365B2 (ja) | 1997-09-16 | 1997-09-16 | カンチレバーユニット装着具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3270365B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006072081A (ja) * | 2004-09-03 | 2006-03-16 | Keyence Corp | 顕微鏡装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016126730A1 (en) * | 2015-02-02 | 2016-08-11 | The Trustees Of Columbia University In The City Of New York | Magnetic tweezers, calibration methods and uses thereof |
-
1997
- 1997-09-16 JP JP25102597A patent/JP3270365B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006072081A (ja) * | 2004-09-03 | 2006-03-16 | Keyence Corp | 顕微鏡装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3270365B2 (ja) | 2002-04-02 |
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