JP2005037361A - マイクロ・ナノ材料用疲労試験装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】微小試験片1を片持ち式に支持する試料ホルダ10と、この試験片1の自由端に当接するように配置した可撓性のカンチレバー2,2’と、試料ホルダ10又はカンチレバー2,2’に、その一方が他方に対して当接、離間する方向に微小往復振動を付与する手段とを設け、微小試験片1にカンチレバー2,2’の撓み弾力に対応する繰返し微小荷重を負荷し、試験片1又はカンチレバー2,2’の撓み量から、試験片1に作用する荷重を計測してマイクロ・ナノ材料の疲労寿命を評価する。
【選択図】図4
Description
2 カンチレバー
3 圧子
4 レーザ変位計
5 振動アクチュエータ
10 試料ホルダ
50 取付けジグ
52 振動体
53 フレーム
54 アーム
55 ピエゾ式アクチュエータ
56 バネ部
57 スリット
60 ピエゾ抵抗体
100 ベース本体
101 粗動ステージ
102 微動ステージ
Claims (5)
- 微小試験片を片持ち式に支持する試料ホルダと、この試験片の自由端に両側から当接するように配置した可撓性のカンチレバーと、前記試料ホルダ又はカンチレバーに、その一方が他方に対して当接、離間する方向に微小往復振動を付与する手段とを設け、微小試験片にカンチレバーの撓み弾力に対応する繰返し微小荷重を負荷することを特徴とするマイクロ・ナノ材料用疲労試験装置。
- 前記試験片又はカンチレバーの撓み量を検出する手段によって疲労を測定することを特徴とする請求項1に記載のマイクロ・ナノ材料用疲労試験装置。
- 前記試験片又はカンチレバーの撓み量から、微小試験片に作用する荷重を測定する手段と、前記微小往復振動付与手段による振動数又は振動付与時間を計測する手段とを備え、何れか一方又は双方の出力によって疲労寿命を評価することを特徴とする請求項1に記載のマイクロ・ナノ材料用疲労試験装置。
- 前記撓み量を、光学的な方式によって検出することを特徴とする請求項2又は3に記載のマイクロ・ナノ材料用疲労試験装置。
- 前記撓み量を、圧電又は電歪特性をもつ素子によって検出することを特徴とする請求項2又は3に記載のマイクロ・ナノ材料用疲労試験装置。
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