JP3466067B2 - カンチレバーユニット - Google Patents
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- Y10S977/873—Tip holder
Description
微鏡(AFM : Atomic Force Microscope)に代表され
る走査型プローブ顕微鏡に好適なカンチレバーユニット
に係り、特に、自身の撓み量に応答した電気信号を出力
する自己検知型カンチレバーを備えたカンチレバーユニ
ットに関する。
自由端に探針を設けたカンチレバーを走査プローブとし
て利用している。このような構成では、探針を試料表面
で走査すると試料表面と探針との間に原子間力に基づく
引力または斥力が発生するので、この原子間力をカンチ
レバーの撓み量として検出することで試料表面の形状が
測定できる。
レーザビームを照射し、その反射ビームの変位量を光学
的に検出することで測定されていたが、このようにカン
チレバーの撓み量を光学的に検出する方法では、構成が
複雑化して調整も難しいという問題があった。そのた
め、近年になって撓み量を検知する検知回路をカンチレ
バー上に設け、検知した撓み量を電気信号として直接出
力し得る自己検知型のカンチレバーが開発されている。
バーは、単独では取扱が難しいため、これを半導体基板
の表面で片持ばり式に保持し、カンチレバーユニットと
して着脱可能な状態で顕微鏡装置本体に装着される。
には、上記したAFMモードの他に、試料表面とカンチ
レバーとの間にかかる摩擦力の変化をカンチレバーの横
方向のたわみ量として検出する摩擦力顕微鏡(FFM)
モード、磁化された探針とカンチレバーを共振させるA
C検出法により磁気力を検出して試料表面の磁気分布を
測定する磁気力顕微鏡(MFM)モード、試料表面と探
針との間に電圧を印加し、その間に流れるトンネル電流
を制御、検出することで表面形状を測定するトンネル顕
微鏡モード等がある。
を交換することなく専用のカンチレバーユニットを選択
的に装着することで使用できる。したがって、作業者は
ストックされている多種のカンチレバーユニットの中か
ら所望の動作モードに応じたカンチレバーユニットを選
択して装置本体に装着する必要がある。ここで、各カン
チレバーユニットは、その種類に応じてカンチレバー部
の形状や大きさが異なるものの、サイズが非常に小さい
のみならず、構造上の差異が僅かであるために、各カン
チレバーユニットを肉眼で識別することは難しい。した
がって、所望の動作モードに適したカンチレバーユニッ
トをストックの中から探し出す場合に、いずれのカンチ
レバーユニットが所望のものであるかを識別することが
難しかった。また、装置本体に今現在装着されているカ
ンチレバーユニットがいかなる種類のものかを識別する
ことも難しかった。
点を解決し、カンチレバーユニットの種類を視覚的に簡
単に識別できるようにしたカンチレバーユニットを提供
することにある。
ために、本発明では、自由端の撓み量を検知する自己検
知型カンチレバー、および前記自由端が端部から突出す
るように自己検知型カンチレバーを保持する基板によっ
て構成されたカンチレバーユニットにおいて、前記基板
に、当該カンチレバーユニットの用途、すなわち当該カ
ンチレバーユニットに搭載されている自己検知型カンチ
レバーの種類に固有の識別情報を記録したことを特徴と
する。
ットの構造を確認することなく、識別情報を確認するだ
けで当該カンチレバーユニットの種類を識別できるよう
になるので、カンチレバーユニットの識別が容易にな
る。
細に説明する。初めに、自己検知型カンチレバーを搭載
したカンチレバーユニットの構成について簡単に説明す
る。図1は、本発明が適用されるカンチレバーユニット
10の平面図であり、図2は図1の側面図である。
カンチレバー70とガラスエポキシ基板80とによって
構成されている。自己検知型カンチレバー70は、図2
に示したように、薄板状のシリコン基板71と厚板状の
シリコン基板72とを積層して構成され、薄板状シリコ
ン基板71の一端から突き出た片持ち梁部71aの自由
端には、探針10aが形成されている。当該自己検知型
カンチレバー70は、図1に示したように、少なくとも
片持ち梁部71aが端部から突き出すように、ガラスエ
ポキシ基板80によって保持されている。
た主面には、梁部71aの撓み量に応答した電気信号を
出力する検知回路(図示せず)、ならびに当該検知回路
の電源ライン用および信号ライン用のボンディングパッ
ド72bが形成されている。ガラスエポキシ基板80の
表面には、複数の配線パターン82が形成されており、
各配線パターン82の一端には、外部接続用のコンタク
トパターン82aが形成され、他端にはボンディングパ
ッド82bが形成されている。
2bとガラスエポキシ基板80のボンディングパッド8
2bとはボンディングワイヤ83で接続され、ボンディ
ングワイヤ83および各ボンディングパッド72b,8
2bには樹脂モールド81が施されている。図3は、前
記カンチレバーユニット10を保持するカンチレバーユ
ニットホルダ50の、カンチレバーユニット10が装着
された状態での側面図である。カンチレバーユニットホ
ルダ50は、圧電素子板58を介して装置本体40に固
定されている。この圧電素子板58は、生物分子等の柔
らかい試料の観察時にカンチレバーを共振させる目的で
設けられている。
弾性体電極54のU字部がそれぞれ挿貫される複数の溝
55が形成されている。ホルダ50の下方には、本体と
予定の間隙を保って対向するように櫛歯状の電極ガイド
53が片持ち支持されている。電極ガイド53の櫛歯
は、前記各溝55と対応する位置が欠けるように構成さ
れている。
方のU字部がそれぞれ各溝55に挿貫され、他方のU字
部から端部に至る部分は、その屈曲部57が電極ガイド
53の櫛歯間から間隙内へ弾性的に突出している。ホル
ダ50の他方の側面にはプリズム59が固着されてお
り、下方にはカンチレバー台52が形成されている。カ
ンチレバーユニット10は、カンチレバー台52と電極
ガイド53との間隙部へ下方から斜め上方へ向けて挿入
される。カンチレバーユニット10は、間隙内に弾性的
に突出した電極54の弾性力に抗して挿入されるため、
間隙内へ挿入された後は、その弾性力によってカンチレ
バー台52側へ押しつけられ、電極54とカンチレバー
台52とによって挟持されることになる。各電極54
は、カンチレバーユニット10が正規の位置まで挿入さ
れると、その屈曲部57がガラスエポキシ基板80の各
コンタクトパターン82aと接触するように予め位置決
めされている。
カンチレバーユニット10の平面図であり、前記と同一
の符号は同一または同等部分を表している。本実施形態
では、カンチレバーユニット10の種類に応じて、基板
表面の異なる位置に目印用のダミーパターン91を設け
た点に特徴がある。すなわち、当該カンチレバーユニッ
ト10が例えばAFM用であれば、図4に示したよう
に、ガラスエポキシ基板80の右上隅に円形状のダミー
パターン91aを形成し、当該カンチレバーユニット1
0がMFM用であれば、図5に示したように、ガラスエ
ポキシ基板80の左下隅に円形状ダミーパターン91b
を形成する。なお、上記したダミーパターン目印91
は、配線パターン82を形成する際に、これと同時に同
一プロセスで形成しておくことが望ましい。
80の表面に形成されたダミーパターン91の位置に基
づいて、自己検知型カンチレバー70自身の構造を確認
することなく、カンチレバーユニット10の種類を容易
に識別できるようになる。図6、7は、本発明の第2実
施形態であるカンチレバーユニット10の平面図であ
り、前記と同一の符号は同一または同等部分を表してい
る。本実施形態では、ガラスエポキシ基板80の4隅の
いずれかを、カンチレバーユニット10の種類に応じて
切落とした点に特徴がある。
えばAFM用であれば、図6に示したように、ガラスエ
ポキシ基板80の左上隅92aを切落とし、カンチレバ
ーユニット10が例えばMFM用であれば、図7に示し
たように、ガラスエポキシ基板80の左下隅92bを切
落とすようにしている。本実施形態によれば、ガラスエ
ポキシ基板80の切落とされた位置に基づいて、自己検
知型カンチレバー70自身の構造を確認することなく、
カンチレバーユニット10の種類を容易に識別できるよ
うになる。
カンチレバーユニット10の平面図であり、前記と同一
の符号は同一または同等部分を表している。本実施形態
では、ガラスエポキシ基板80の端面に、カンチレバー
ユニット10の種類に応じて異なる模様93を設けた点
に特徴がある。すなわち、カンチレバーユニット10が
例えばAFM用であれば、図8に示したように、ガラス
エポキシ基板80の端面に2本線の模様93aを設け、
カンチレバーユニット10が例えばMFM用であれば、
図9に示したように、3本線の模様93bを設けるよう
にしている。
80の端面に付した模様93に基づいて、自己検知型カ
ンチレバー70自身の構造を確認することなく、カンチ
レバーユニット10の種類を容易に識別できるようにな
る。さらに、本実施形態では、識別のための模様93が
ガラスエポキシ基板80の端面に付されているので、カ
ンチレバーユニット10がカンチレバーホルダに装着さ
れている状態でも、その種類を識別できるようになる。
あるカンチレバーユニット10の平面図であり、前記と
同一の符号は同一または同等部分を表している。本実施
形態では、ガラスエポキシ基板80の表面に、カンチレ
バーユニット10の種類を具体的に表現する文字や数字
等の記号を付した点に特徴がある。すなわち、カンチレ
バーユニット10がAFM用であれば、図10に示した
ように、ガラスエポキシ基板80の表面に、文字“AF
M”を付し、MFM用であれば、図9に示したように、
文字“MFM”を付するようにしている。なお、このよ
うな記号も、配線パターン82を形成する際に、これと
同時に同一プロセスで形成しておくことが望ましい。
80の表面に付した記号に基づいて、自己検知型カンチ
レバー70自身の構造を確認することなく、カンチレバ
ーユニット10の種類を具体的に認識できるようにな
る。なお、上記した各実施形態では、基板表面に目印を
新たに設けたり、基板の一部を新たに切落とすものとし
て説明したが、既存の構成部品を利用し、例えば樹脂モ
ールド81の色や色彩をカンチレバーユニット10の種
類に応じて異ならせるようにしても良い。
せて使用することもでき、より多くの種類の判別が可能
となる。
ー自身の構造を確認することなく、識別情報を確認する
だけで、カンチレバーユニットの種類を容易に識別でき
るようになる。
面図である。
ンチレバーユニットホルダの側面図である。
る。
る。
る。
る。
る。
る。
ある。
ある。
Claims (3)
- 【請求項1】 自由端の撓み量を検知する自己検知型カ
ンチレバー、および前記自由端が端部から突出するよう
に自己検知型カンチレバーを保持する基板によって構成
されたカンチレバーユニットにおいて、 該 カンチレバーユニットの表面にはカンチレバーユニッ
トの種類に応じて異なる色の封止材がモールドされ、当
該カンチレバーユニットの種類に固有の識別情報が記録
されていることを特徴とするカンチレバーユニット。 - 【請求項2】 自由端の撓み量を検知する自己検知型カ
ンチレバー、および前記自由端が端部から突出するよう
に自己検知型カンチレバーを保持する基板によって構成
されたカンチレバーユニットにおいて、 該基板には、 表面に形成される配線パターンと同時に同
一プロセスで形成された当該カンチレバーユニットの種
類に固有の識別情報が記録されていることを特徴とする
カンチレバーユニット。 - 【請求項3】 請求項1または2に記載されたカンチレ
バーユニットをもちいることを特徴とする走査型プロー
ブ顕微鏡。
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- 1997-11-20 JP JP32018597A patent/JP3466067B2/ja not_active Expired - Fee Related
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1998
- 1998-11-19 US US09/197,587 patent/US6176122B1/en not_active Expired - Lifetime
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