JP2010217153A - 走査型プローブ顕微鏡用プローブ及び走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
走査型プローブ顕微鏡用プローブ及び走査型プローブ顕微鏡 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010217153A JP2010217153A JP2009078274A JP2009078274A JP2010217153A JP 2010217153 A JP2010217153 A JP 2010217153A JP 2009078274 A JP2009078274 A JP 2009078274A JP 2009078274 A JP2009078274 A JP 2009078274A JP 2010217153 A JP2010217153 A JP 2010217153A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- sample
- tip
- vibrator
- microscope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 211
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 14
- 230000010365 information processing Effects 0.000 description 4
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229920006332 epoxy adhesive Polymers 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000004651 near-field scanning optical microscopy Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- HWLDNSXPUQTBOD-UHFFFAOYSA-N platinum-iridium alloy Chemical compound [Ir].[Pt] HWLDNSXPUQTBOD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 1
- 238000004582 scanning ion conductance microscopy Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Abstract
【解決手段】振動子33に固定され、先端34Aが先鋭化された探針部34を有し、試料Sに対向して配置された状態において、前記探針部34の先端34Aが、前記試料S表面に対して傾斜して設けられるとともに、前記振動子33よりも試料S表面の面方向外側に設けられ、前記試料S表面に略垂直な上方又は下方から視認可能である。
【選択図】図2
Description
以下に本発明に係る走査型プローブ顕微鏡(SPM)の第1実施形態について図面を参照して説明する。
ステージ移動機構4及びプローブ移動機構5は、ピエゾ微動素子を用いて構成され、情報処理装置7により印加される電圧値が制御されることにより試料ステージ2及び各プローブ3を移動させる。
プローブ3は、図2に示すように、プローブ移動機構5に装着される取付支柱31と、当該取付支柱31の先端部に設けられる支持体32と、この支持体32に固定される振動子33と、振動子33に固定される探針部34と、を備えている。
次に本発明に係る走査型プローブ顕微鏡の第2実施形態について図面を参照して説明する。なお、前記実施形態に対応する部材には、同一の符号を付している。
例えば、前記実施形態では、複数のプローブ全てにおいて、探針部の先端が、試料表面に対して傾斜して設けられるとともに、振動子及び支持体よりも試料表面の面方向外側に設けられ、試料表面に略垂直な上方から視認可能としているが、少なくとも1つのプローブが上記構成であれば、従来に比べて探針部の先端同士を近づけることができるという効果を奏する。
S ・・・試料
2 ・・・試料ステージ
3 ・・・プローブ
33 ・・・振動子
34 ・・・探針部
34A・・・先端
6 ・・・物理量測定部(シフト量検出部)
Claims (3)
- 振動子に固定され、先端が先鋭化された探針部を有し、
試料に対向して配置された状態において、前記探針部の先端が、前記試料表面に対して傾斜して設けられるとともに、前記振動子よりも試料表面の面方向外側に設けられ、前記試料表面に略垂直な上方又は下方から視認可能である走査型プローブ顕微鏡用プローブ。 - 前記探針部が、略直線形状をなすものである請求項1記載の走査型プローブ顕微鏡用プローブ。
- 試料が載置される試料ステージと、
前記試料ステージに載置された試料に対向して設けられ、振動子及び当該振動子に固定されて先端が先鋭化された探針部を有する複数のプローブと、
前記試料及び前記探針部間に作用する物理量を測定する物理量測定部と、を備え、
前記複数のプローブの少なくとも1つにおいて、前記探針部の先端が、前記試料表面に対して傾斜して設けられるとともに、前記振動子よりも試料表面の面方向外側に設けられ、前記試料表面に略垂直な上方又は下方から視認可能である走査型プローブ顕微鏡。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009078274A JP5306015B2 (ja) | 2009-02-23 | 2009-03-27 | 走査型プローブ顕微鏡用プローブ及び走査型プローブ顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009039357 | 2009-02-23 | ||
JP2009039357 | 2009-02-23 | ||
JP2009078274A JP5306015B2 (ja) | 2009-02-23 | 2009-03-27 | 走査型プローブ顕微鏡用プローブ及び走査型プローブ顕微鏡 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010217153A true JP2010217153A (ja) | 2010-09-30 |
JP5306015B2 JP5306015B2 (ja) | 2013-10-02 |
Family
ID=42976150
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009078274A Active JP5306015B2 (ja) | 2009-02-23 | 2009-03-27 | 走査型プローブ顕微鏡用プローブ及び走査型プローブ顕微鏡 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5306015B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014041677A1 (ja) * | 2012-09-14 | 2014-03-20 | 株式会社日立製作所 | 力プローブ、計測装置及び計測方法 |
JP2016505144A (ja) * | 2013-01-24 | 2016-02-18 | エコール ポリテクニーク | マルチモード局所プローブを有する顕微鏡、先端増強ラマン顕微鏡、および局所プローブとサンプルとの間の距離をコントロールするための方法。 |
CN108915897A (zh) * | 2018-06-01 | 2018-11-30 | 西南石油大学 | 一种通过磁场控制失重/微重力下液氧储罐内液氧流动的方法 |
WO2019147399A1 (en) * | 2018-01-24 | 2019-08-01 | The Boeing Company | Methods, systems and apparatuses for determining composite material characteristics |
US10976908B2 (en) | 2013-01-11 | 2021-04-13 | Zoll Medical Corporation | EMS decision support interface, event history, and related tools |
US11925439B2 (en) | 2018-10-23 | 2024-03-12 | Zoll Medical Corporation | Data playback interface for a medical device |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7037119B2 (ja) | 2017-05-16 | 2022-03-16 | 株式会社アイシン | パレット搬送装置 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03167744A (ja) * | 1989-11-27 | 1991-07-19 | Seiko Instr Inc | 微小距離移動機構 |
JPH09119938A (ja) * | 1995-10-24 | 1997-05-06 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡 |
DE19633546A1 (de) * | 1996-08-20 | 1998-02-26 | Franz J Dr Giesibl | Vorrichtung zum berührungslosen Abtasten einer Oberfläche und Verfahren dazu |
JP2001013416A (ja) * | 1999-06-16 | 2001-01-19 | Ind Technol Res Inst | 近視野光学顕微鏡 |
US6240771B1 (en) * | 1999-02-25 | 2001-06-05 | Franz J. Giessibl | Device for noncontact intermittent contact scanning of a surface and a process therefore |
JP2001174491A (ja) * | 1999-12-20 | 2001-06-29 | Japan Science & Technology Corp | 電気特性評価装置 |
JP2004528569A (ja) * | 2001-05-11 | 2004-09-16 | アンスティテュ・ドゥ・ミクロテクニック・ドゥ・リュニベルシテ・ドゥ・ヌーシャテル | 走査プローブ顕微鏡のための作動および検知装置 |
-
2009
- 2009-03-27 JP JP2009078274A patent/JP5306015B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03167744A (ja) * | 1989-11-27 | 1991-07-19 | Seiko Instr Inc | 微小距離移動機構 |
JPH09119938A (ja) * | 1995-10-24 | 1997-05-06 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡 |
DE19633546A1 (de) * | 1996-08-20 | 1998-02-26 | Franz J Dr Giesibl | Vorrichtung zum berührungslosen Abtasten einer Oberfläche und Verfahren dazu |
US6240771B1 (en) * | 1999-02-25 | 2001-06-05 | Franz J. Giessibl | Device for noncontact intermittent contact scanning of a surface and a process therefore |
JP2001013416A (ja) * | 1999-06-16 | 2001-01-19 | Ind Technol Res Inst | 近視野光学顕微鏡 |
JP2001174491A (ja) * | 1999-12-20 | 2001-06-29 | Japan Science & Technology Corp | 電気特性評価装置 |
JP2004528569A (ja) * | 2001-05-11 | 2004-09-16 | アンスティテュ・ドゥ・ミクロテクニック・ドゥ・リュニベルシテ・ドゥ・ヌーシャテル | 走査プローブ顕微鏡のための作動および検知装置 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014041677A1 (ja) * | 2012-09-14 | 2014-03-20 | 株式会社日立製作所 | 力プローブ、計測装置及び計測方法 |
JPWO2014041677A1 (ja) * | 2012-09-14 | 2016-08-12 | 株式会社日立製作所 | 力プローブ、計測装置及び計測方法 |
US10976908B2 (en) | 2013-01-11 | 2021-04-13 | Zoll Medical Corporation | EMS decision support interface, event history, and related tools |
US11816322B2 (en) | 2013-01-11 | 2023-11-14 | Zoll Medical Corporation | EMS decision support interface, event history, and related tools |
JP2016505144A (ja) * | 2013-01-24 | 2016-02-18 | エコール ポリテクニーク | マルチモード局所プローブを有する顕微鏡、先端増強ラマン顕微鏡、および局所プローブとサンプルとの間の距離をコントロールするための方法。 |
WO2019147399A1 (en) * | 2018-01-24 | 2019-08-01 | The Boeing Company | Methods, systems and apparatuses for determining composite material characteristics |
CN108915897A (zh) * | 2018-06-01 | 2018-11-30 | 西南石油大学 | 一种通过磁场控制失重/微重力下液氧储罐内液氧流动的方法 |
US11925439B2 (en) | 2018-10-23 | 2024-03-12 | Zoll Medical Corporation | Data playback interface for a medical device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5306015B2 (ja) | 2013-10-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5306015B2 (ja) | 走査型プローブ顕微鏡用プローブ及び走査型プローブ顕微鏡 | |
US6583411B1 (en) | Multiple local probe measuring device and method | |
US20120054924A1 (en) | SPM Probe and Inspection Device for Light Emission Unit | |
JP2006343213A (ja) | 微細構造体、カンチレバー、走査型プローブ顕微鏡及び微細構造体の変形量測定方法 | |
US7051582B2 (en) | Actuating and sensing device for scanning probe microscopes | |
JP2006284362A (ja) | コンタクトプローブ | |
JP2006091002A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーホルダおよびそれを用いた走査型プローブ顕微鏡 | |
US7770474B2 (en) | Sample operation apparatus | |
US20030197120A1 (en) | Nanotube, near-field light detecting apparatus and near-field light detecting method | |
JP4697709B2 (ja) | 電気化学測定装置 | |
JP2006258536A (ja) | 仕事関数測定装置 | |
JP4899162B2 (ja) | 走査型プローブ顕微鏡用プローブ及びそれを用いた走査型プローブ顕微鏡 | |
JPH09304409A (ja) | 力変位センサ付カンチレバー | |
JP2002156409A (ja) | 集積回路における電気信号の検出のための測定ゾンデ及びこの測定ゾンデの使用法及びこの測定ゾンデの製造方法及びこの測定ゾンデによる測定システム | |
US8393009B2 (en) | Sensor for noncontact profiling of a surface | |
JP2004085321A (ja) | 探針装置 | |
JP2006184079A (ja) | 原子間力顕微鏡 | |
JP4751190B2 (ja) | 温度測定用プローブ | |
JPH06258072A (ja) | 圧電体薄膜評価装置、原子間力顕微鏡 | |
JP4931708B2 (ja) | 顕微鏡用プローブ及び走査型プローブ顕微鏡 | |
JP4785537B2 (ja) | プローブ、走査型プローブ顕微鏡、及びプローブの製造方法 | |
KR101007816B1 (ko) | 원자력 현미경용 캔틸레버의 고정체 | |
JP2009053017A (ja) | 走査プローブ顕微鏡及びこれを用いた局所的電気特性測定方法 | |
JP2006284599A (ja) | カンチレバーを用いて試料面の情報を取得する装置 | |
JP4931733B2 (ja) | 顕微鏡用プローブ及び走査型プローブ顕微鏡 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120301 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20120302 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121220 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130108 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130311 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130402 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130530 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130618 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130625 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5306015 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |