JP2003149121A - 走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
走査型プローブ顕微鏡Info
- Publication number
- JP2003149121A JP2003149121A JP2001352139A JP2001352139A JP2003149121A JP 2003149121 A JP2003149121 A JP 2003149121A JP 2001352139 A JP2001352139 A JP 2001352139A JP 2001352139 A JP2001352139 A JP 2001352139A JP 2003149121 A JP2003149121 A JP 2003149121A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- image
- microscope
- scanning probe
- optical microscope
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q30/00—Auxiliary means serving to assist or improve the scanning probe techniques or apparatus, e.g. display or data processing devices
- G01Q30/02—Non-SPM analysing devices, e.g. SEM [Scanning Electron Microscope], spectrometer or optical microscope
- G01Q30/025—Optical microscopes coupled with SPM
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q30/00—Auxiliary means serving to assist or improve the scanning probe techniques or apparatus, e.g. display or data processing devices
- G01Q30/04—Display or data processing devices
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Radiology & Medical Imaging (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】光学顕微鏡を備えた走査型プローブ顕微鏡にお
いて、画像認識機能を用いてプローブの種別を判別する
機能を有する走査型プローブ顕微鏡を提供する。 【解決手段】プローブを観察することができる光学顕微
鏡を備えた走査型プローブ顕微鏡において、光学顕微鏡
像をデジタル画像として取り込むための撮像素子と、取
り込まれた画像を処理することのできる処理装置を備え
る。
いて、画像認識機能を用いてプローブの種別を判別する
機能を有する走査型プローブ顕微鏡を提供する。 【解決手段】プローブを観察することができる光学顕微
鏡を備えた走査型プローブ顕微鏡において、光学顕微鏡
像をデジタル画像として取り込むための撮像素子と、取
り込まれた画像を処理することのできる処理装置を備え
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、走査型プローブ顕
微鏡に関する。特に、光学顕微鏡を備えた走査型プロー
ブ顕微鏡装置に関する。
微鏡に関する。特に、光学顕微鏡を備えた走査型プロー
ブ顕微鏡装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、走査型プローブ顕微鏡は、先端
が微細なプローブを、対象とする試料表面の極近傍に接
近させ、プローブ先端と試料表面の間に働く相互作用を
検知しながら、プローブを試料表面に対して機械的に走
査させることで、試料表面の形状や物理的性質をナノメ
ートルオーダーの高分解能で観察することのできる顕微
鏡である。
が微細なプローブを、対象とする試料表面の極近傍に接
近させ、プローブ先端と試料表面の間に働く相互作用を
検知しながら、プローブを試料表面に対して機械的に走
査させることで、試料表面の形状や物理的性質をナノメ
ートルオーダーの高分解能で観察することのできる顕微
鏡である。
【０００３】このような走査型プローブ顕微鏡において
は、プローブをもちいた観察は微小な範囲であるため、
あらかじめ別の観察手段を用いて、観察したい場所にプ
ローブの位置を合わせる必要がある。そのため、実用的
な用途においては、多くの走査型プローブ顕微鏡は位置
合わせのための光学顕微鏡を備えている。
は、プローブをもちいた観察は微小な範囲であるため、
あらかじめ別の観察手段を用いて、観察したい場所にプ
ローブの位置を合わせる必要がある。そのため、実用的
な用途においては、多くの走査型プローブ顕微鏡は位置
合わせのための光学顕微鏡を備えている。
【０００４】走査型プローブ顕微鏡の測定手法はいくつ
かの種類に分かれており、用途に応じて測定手法を使い
分けられている。また、測定モードによって、プローブ
に求められる特性が異なることから、使用されるプロー
ブの種類も異なり、最適な測定条件なども異なってい
る。
かの種類に分かれており、用途に応じて測定手法を使い
分けられている。また、測定モードによって、プローブ
に求められる特性が異なることから、使用されるプロー
ブの種類も異なり、最適な測定条件なども異なってい
る。
【０００５】従来の走査型プローブ顕微鏡では、選択さ
れたプローブの種類に応じた最適条件をオペレータが入
力して測定を行う必要がある。
れたプローブの種類に応じた最適条件をオペレータが入
力して測定を行う必要がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】このような従来の走査
型プローブ顕微鏡においては、異なる種類のプローブに
交換するたびに、測定条件をオペレータが変更する必要
があり、一連の測定を自動的に行う上での障害となって
いた。また、各種のプローブに応じた最適条件をオペレ
ータが把握しなければならないため、オペレータが測定
方法を習得する上での負担となっていた。
型プローブ顕微鏡においては、異なる種類のプローブに
交換するたびに、測定条件をオペレータが変更する必要
があり、一連の測定を自動的に行う上での障害となって
いた。また、各種のプローブに応じた最適条件をオペレ
ータが把握しなければならないため、オペレータが測定
方法を習得する上での負担となっていた。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明では、光学顕微鏡
で撮影されたプローブの画像を対象とし、パターン認識
処理を用いて、あらかじめ登録された複数種類のプロー
ブ形状のなかから最も相関の高い形状を選ぶことで、プ
ローブ顕微鏡に取付けられたプローブの種類を自動的に
判別する。判別されたプローブの種類をもとに、取付け
られたプローブに適した測定条件を自動的に設定するこ
とで、従来技術の課題を解決する。
で撮影されたプローブの画像を対象とし、パターン認識
処理を用いて、あらかじめ登録された複数種類のプロー
ブ形状のなかから最も相関の高い形状を選ぶことで、プ
ローブ顕微鏡に取付けられたプローブの種類を自動的に
判別する。判別されたプローブの種類をもとに、取付け
られたプローブに適した測定条件を自動的に設定するこ
とで、従来技術の課題を解決する。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明を詳
細に説明する。図1は、本発明の一実施形態の走査型プ
ローブ顕微鏡について、本発明に関係する主要部の構成
を示した図である。
細に説明する。図1は、本発明の一実施形態の走査型プ
ローブ顕微鏡について、本発明に関係する主要部の構成
を示した図である。
【０００９】本実施例においては、走査型プローブ顕微
鏡の一種である原子間力顕微鏡（AFM、Atomic Force Mi
croscope）が組み込まれた装置が示されている。走査型
プローブ顕微鏡の測定は、微小な力を検知するカンチレ
バープローブ101が、XYZスキャナ104によって試料102の
表面を走査されることで行われる。
鏡の一種である原子間力顕微鏡（AFM、Atomic Force Mi
croscope）が組み込まれた装置が示されている。走査型
プローブ顕微鏡の測定は、微小な力を検知するカンチレ
バープローブ101が、XYZスキャナ104によって試料102の
表面を走査されることで行われる。
【００１０】試料102は、試料台103に設置されており、
XYZスキャナ104が試料台103を駆動して微動走査を行う
ことで、プローブ顕微鏡の測定が行なわれる。
XYZスキャナ104が試料台103を駆動して微動走査を行う
ことで、プローブ顕微鏡の測定が行なわれる。
【００１１】装置内には対物レンズ110、光源106などか
ら構成される光学顕微鏡が組み込まれており、試料102
やカンチレバープローブ101の観察を行うことができ
る。
ら構成される光学顕微鏡が組み込まれており、試料102
やカンチレバープローブ101の観察を行うことができ
る。
【００１２】顕微鏡の画像はCCD素子108によって撮像さ
れ、デジタル画像として画像処理装置109に取り込まれ
る。
れ、デジタル画像として画像処理装置109に取り込まれ
る。
【００１３】以上に述べた構成の走査型プローブ顕微鏡
において、以下に示す手順によって測定が行われる。
において、以下に示す手順によって測定が行われる。
【００１４】図2は、本発明の一実施形態の走査型プロ
ーブ顕微鏡について、プローブの種類を判別方法をしめ
した模式図である。
ーブ顕微鏡について、プローブの種類を判別方法をしめ
した模式図である。
【００１５】走査型プローブ顕微鏡測定の準備作業とし
て、プローブが走査型プローブ顕微鏡装置に装着された
あと、光学顕微鏡像でプローブの撮影が行われ、その画
像がCCD素子108によってデジタル画像として画像処理装
置109にとりこまれる。画像処理装置109には、あらかじ
め本実施例のプローブ顕微鏡装置に取付けられうる複数
種類のカンチレバー像が、判別の手本となるモデル画像
として登録されている。本実施例では、202、203、204
の3種類のカンチレバーのモデル像が登録されている。
取付けられているプローブの光学顕微鏡像201を原画像
として、202、203、204それぞれのモデル像に対して、
パターン認識処理をもちいた相関係数の計算を行う。こ
れは、原画像のなかからモデル像に最も一致する度合い
が高い原画像の部分を抽出して、その一致度（相関係
数）を算出するもので、本実施例では、0?100％の値で
あらわされ、値が高いほど一致度が高いことをしめして
いる。
て、プローブが走査型プローブ顕微鏡装置に装着された
あと、光学顕微鏡像でプローブの撮影が行われ、その画
像がCCD素子108によってデジタル画像として画像処理装
置109にとりこまれる。画像処理装置109には、あらかじ
め本実施例のプローブ顕微鏡装置に取付けられうる複数
種類のカンチレバー像が、判別の手本となるモデル画像
として登録されている。本実施例では、202、203、204
の3種類のカンチレバーのモデル像が登録されている。
取付けられているプローブの光学顕微鏡像201を原画像
として、202、203、204それぞれのモデル像に対して、
パターン認識処理をもちいた相関係数の計算を行う。こ
れは、原画像のなかからモデル像に最も一致する度合い
が高い原画像の部分を抽出して、その一致度（相関係
数）を算出するもので、本実施例では、0?100％の値で
あらわされ、値が高いほど一致度が高いことをしめして
いる。
【００１６】このようなパターン認識の計算手法として
は、一般的には正規化相関式を用いることもできるし、
そのほかにもエッジ検出を組み合わせた計算方法なども
使用することができる。図2に示した例では、原画像201
は、登録された3種類のモデル像のなかで、モデル像202
との相関係数が最も高い結果が得られたことから、取付
けられたプローブはモデル像202に対応する種類のもの
であると判定される。このようにして判別されたプロー
ブの情報は、プローブ顕微鏡のコントローラ111に伝え
られる。コントローラ11 1には、各種類のプローブに関
する特性や最適測定条件が図４のような形で登録されて
おり、画像処理装置から伝えられたプローブの種類に対
応した測定モードや測定条件などが設定され、走査型プ
ローブ顕微鏡の測定が行われる。
は、一般的には正規化相関式を用いることもできるし、
そのほかにもエッジ検出を組み合わせた計算方法なども
使用することができる。図2に示した例では、原画像201
は、登録された3種類のモデル像のなかで、モデル像202
との相関係数が最も高い結果が得られたことから、取付
けられたプローブはモデル像202に対応する種類のもの
であると判定される。このようにして判別されたプロー
ブの情報は、プローブ顕微鏡のコントローラ111に伝え
られる。コントローラ11 1には、各種類のプローブに関
する特性や最適測定条件が図４のような形で登録されて
おり、画像処理装置から伝えられたプローブの種類に対
応した測定モードや測定条件などが設定され、走査型プ
ローブ顕微鏡の測定が行われる。
【００１７】本発明で用いられる、正規化相関法を用い
たパターン認識方法について、図3を参照して説明す
る。画像処理装置内部において、光学顕微鏡で撮影され
た原画像301および、モデル像303は2次元の配列として
格納されている。本明細書の図面においては、単純化の
ために画像が白黒の2値で描かれているが、実際には中
間の輝度値を持つグレースケール画像として格納され
る。本実施例においては、各画素は8ビットであらわさ
れ、輝度値は0〜255の256階調の値をとることができ
る。原画像301のある座標(x, y)におけるモデル像303と
の相関係数 r(x, y)は、次のようにして計算する。座標
(x, y)を基準として、原画像301からモデル像に対応す
る領域をとりだし、それを原画像の一部画像302とす
る。原画像の一部画像302における座標(i, j)での輝度
値をfij、モデル像303の座標(i, j)における輝度値をgi
jとすると、r(x , y)は式1で求めることができる。
たパターン認識方法について、図3を参照して説明す
る。画像処理装置内部において、光学顕微鏡で撮影され
た原画像301および、モデル像303は2次元の配列として
格納されている。本明細書の図面においては、単純化の
ために画像が白黒の2値で描かれているが、実際には中
間の輝度値を持つグレースケール画像として格納され
る。本実施例においては、各画素は8ビットであらわさ
れ、輝度値は0〜255の256階調の値をとることができ
る。原画像301のある座標(x, y)におけるモデル像303と
の相関係数 r(x, y)は、次のようにして計算する。座標
(x, y)を基準として、原画像301からモデル像に対応す
る領域をとりだし、それを原画像の一部画像302とす
る。原画像の一部画像302における座標(i, j)での輝度
値をfij、モデル像303の座標(i, j)における輝度値をgi
jとすると、r(x , y)は式1で求めることができる。
【００１８】
【数１】
このようにして、原画像301の各座標においてモデル像
との相関係数を求め、相関係数の最大値が原画像と301
とモデル像303との相関係数となる。
との相関係数を求め、相関係数の最大値が原画像と301
とモデル像303との相関係数となる。
【００１９】この、輝度値からそのまま相関係数を求め
る方法では、画素の輝度値によって相関係数の値が影響
を受ける。そのため、照明の不均一などが原因で原画像
301に輝度ムラがある場合、相関係数が低下してパター
ン認識が正しく行われないことがある。そのような場合
の改善策として、原画像301とモデル像303に対して直接
パターン認識処理を行うのではなく、エッジ抽出処理を
おこなった後にパターン認識処理を行う手法を用いるこ
とができる。この手法を用いることで画像の輝度ムラに
よる影響が小さくなり、パターン認識率が低下しないと
いう特徴がある。
る方法では、画素の輝度値によって相関係数の値が影響
を受ける。そのため、照明の不均一などが原因で原画像
301に輝度ムラがある場合、相関係数が低下してパター
ン認識が正しく行われないことがある。そのような場合
の改善策として、原画像301とモデル像303に対して直接
パターン認識処理を行うのではなく、エッジ抽出処理を
おこなった後にパターン認識処理を行う手法を用いるこ
とができる。この手法を用いることで画像の輝度ムラに
よる影響が小さくなり、パターン認識率が低下しないと
いう特徴がある。
【００２０】エッジ抽出処理というのは、画像の中の輪
郭部分が明るく浮き出て、それ以外で背景の緩やかに輝
度変化しているところが暗くなるような画像に変換する
処理である。具体的には、微分処理（隣接する画素との
微分値に置きかえる処理）や、あるいはソーベルフィル
タとよばれるフィルタを用いてエッジ抽出して、エッジ
強調を行う。
郭部分が明るく浮き出て、それ以外で背景の緩やかに輝
度変化しているところが暗くなるような画像に変換する
処理である。具体的には、微分処理（隣接する画素との
微分値に置きかえる処理）や、あるいはソーベルフィル
タとよばれるフィルタを用いてエッジ抽出して、エッジ
強調を行う。
【００２１】
【発明の効果】本発明により、以下のような効果が得ら
れる。
れる。
【００２２】取付けられたプローブの種類の判別、測定
条件の切り替えを自動的に行うことで、オペレータの負
担を低減され、あるいは測定の自動化、無人化を可能に
する。
条件の切り替えを自動的に行うことで、オペレータの負
担を低減され、あるいは測定の自動化、無人化を可能に
する。
【００２３】本発明の方法は、プローブ種別の判別を画
像処理で行うことから、汎用のマイクロコンピュータお
よびソフトウェアで実現でき、専用ハードウェアを用い
ない、低コストなシステムを構築できるというメリット
がある。
像処理で行うことから、汎用のマイクロコンピュータお
よびソフトウェアで実現でき、専用ハードウェアを用い
ない、低コストなシステムを構築できるというメリット
がある。
【００２４】特に、位置合わせ用の光学顕微鏡を備えた
走査型プローブ顕微鏡においては、当該光学顕微鏡がプ
ローブの画像認識に利用できるので、本願発明がより低
コストで実現できる。
走査型プローブ顕微鏡においては、当該光学顕微鏡がプ
ローブの画像認識に利用できるので、本願発明がより低
コストで実現できる。
【図１】本発明の一実施形態の走査型プローブ顕微鏡で
ある。
ある。
【図２】プローブの種類を判別方法をしめした模式図で
ある。
ある。
【図３】正規化相関法を用いたパターン認識方法につい
ての説明図である。
ての説明図である。
【図４】登録された、各種類のプローブに関する特性や
最適測定条件を表す表である。
最適測定条件を表す表である。
１０８ ＣＣＤ素子
１０９ 画像処理装置
２０１ 原画像
２０２ モデル像１
２０３ モデル像２
２０４ モデル像３
Claims (3)
- 【請求項1】プローブを観察することのできる光学顕微
鏡と、 前記光学顕微鏡の画像をデジタルデータとして取り込む
撮像素子と、 前記撮像素子により取り込まれた画像の処理を行うこと
のできる画像処理装置を備える走査型プローブ顕微鏡に
おいて、 走査型プローブ顕微鏡に取付けられたプローブを光学顕
微鏡で撮影した画像と、あらかじめモデル画像として登
録された複数種類のプローブ像から、パターン認識処理
を行うことによって、取付けられたプローブの種別を自
動的に判別することで、プローブの種類に応じた測定条
件を自動的に設定する機能を有することを特徴とする走
査型プローブ顕微鏡。 - 【請求項２】前記パターン認識処理の前に、エッジ抽出
処理を行うことを特徴とする請求項１記載の走査型プロ
ーブ顕微鏡。 - 【請求項３】あらかじめ試料上の観察したい場所にプロ
ーブの位置を合わせるために、光学顕微鏡と、前記光学
顕微鏡の画像をデジタルデータとして取り込む撮像素子
と、前記撮像素子により取り込まれた画像の処理を行う
ことのできる画像処理装置を備える走査型プローブ顕微
鏡の測定条件設定方法において、前記光学顕微鏡で撮影
したプローブ画像とあらかじめモデル画像として登録さ
れた複数種類のプローブ像との相関係数を求め、それに
より、前記プローブの種別を自動判別し、該プローブの
種別によりあらかじめ登録された測定条件の中から、前
記プローブの種類に応じた測定条件を自動的に選択し、
設定することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡の測定
条件設定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001352139A JP2003149121A (ja) | 2001-11-16 | 2001-11-16 | 走査型プローブ顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001352139A JP2003149121A (ja) | 2001-11-16 | 2001-11-16 | 走査型プローブ顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003149121A true JP2003149121A (ja) | 2003-05-21 |
Family
ID=19164358
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001352139A Withdrawn JP2003149121A (ja) | 2001-11-16 | 2001-11-16 | 走査型プローブ顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003149121A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011033398A (ja) * | 2009-07-30 | 2011-02-17 | Hitachi High-Technologies Corp | 画像処理方法及び画像処理装置 |
| EP2466360A1 (de) * | 2010-12-17 | 2012-06-20 | Natascha Dalheimer | Optische Vorrichtung, insbesondere Fernrohr oder Mikroskop |
| KR20220072963A (ko) * | 2020-11-25 | 2022-06-03 | 파크시스템스 주식회사 | 원자 현미경에서 목표 위치를 인식하기 위한 장치 및 방법 |
| KR20220079740A (ko) * | 2020-12-04 | 2022-06-14 | 파크시스템스 주식회사 | 원자 현미경에서 프로브 종류를 인식하기 위한 장치 및 방법 |
| JP7298813B1 (ja) | 2021-12-22 | 2023-06-27 | パーク システムズ コーポレーション | 原子顕微鏡で目標位置を認識するための装置及び方法 |
Citations (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03229102A (ja) * | 1990-02-05 | 1991-10-11 | Hitachi Ltd | 走査型顕微鏡 |
| JPH05231814A (ja) * | 1992-02-19 | 1993-09-07 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡 |
| JPH08211074A (ja) * | 1995-02-06 | 1996-08-20 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | プローブ顕微鏡 |
| JPH09251025A (ja) * | 1996-03-15 | 1997-09-22 | Fujitsu Ltd | 検査装置および半導体装置の製造方法 |
| JPH1038547A (ja) * | 1996-07-22 | 1998-02-13 | Shimadzu Corp | 表面検査装置 |
| JPH10293133A (ja) * | 1997-04-18 | 1998-11-04 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型近接場光学顕微鏡 |
| JPH11153610A (ja) * | 1997-11-20 | 1999-06-08 | Seiko Instruments Inc | カンチレバーユニット |
| JP2000055927A (ja) * | 1998-08-11 | 2000-02-25 | Nikon Corp | 走査型プローブ顕微鏡 |
| JP2000208575A (ja) * | 1999-01-08 | 2000-07-28 | Schlumberger Technol Inc | 形状特徴に基づく欠陥検出方法及び装置 |
| JP2001500958A (ja) * | 1995-08-30 | 2001-01-23 | デジタル・インストルメンツ・インコーポレーテッド | 自動的なプローブ交換および位置合わせを有する走査プローブ顕微鏡 |
| JP2002323426A (ja) * | 2001-04-24 | 2002-11-08 | Seiko Instruments Inc | 走査型プローブ顕微鏡 |
-
2001
- 2001-11-16 JP JP2001352139A patent/JP2003149121A/ja not_active Withdrawn
Patent Citations (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03229102A (ja) * | 1990-02-05 | 1991-10-11 | Hitachi Ltd | 走査型顕微鏡 |
| JPH05231814A (ja) * | 1992-02-19 | 1993-09-07 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡 |
| JPH08211074A (ja) * | 1995-02-06 | 1996-08-20 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | プローブ顕微鏡 |
| JP2001500958A (ja) * | 1995-08-30 | 2001-01-23 | デジタル・インストルメンツ・インコーポレーテッド | 自動的なプローブ交換および位置合わせを有する走査プローブ顕微鏡 |
| JPH09251025A (ja) * | 1996-03-15 | 1997-09-22 | Fujitsu Ltd | 検査装置および半導体装置の製造方法 |
| JPH1038547A (ja) * | 1996-07-22 | 1998-02-13 | Shimadzu Corp | 表面検査装置 |
| JPH10293133A (ja) * | 1997-04-18 | 1998-11-04 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型近接場光学顕微鏡 |
| JPH11153610A (ja) * | 1997-11-20 | 1999-06-08 | Seiko Instruments Inc | カンチレバーユニット |
| JP2000055927A (ja) * | 1998-08-11 | 2000-02-25 | Nikon Corp | 走査型プローブ顕微鏡 |
| JP2000208575A (ja) * | 1999-01-08 | 2000-07-28 | Schlumberger Technol Inc | 形状特徴に基づく欠陥検出方法及び装置 |
| JP2002323426A (ja) * | 2001-04-24 | 2002-11-08 | Seiko Instruments Inc | 走査型プローブ顕微鏡 |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011033398A (ja) * | 2009-07-30 | 2011-02-17 | Hitachi High-Technologies Corp | 画像処理方法及び画像処理装置 |
| EP2466360A1 (de) * | 2010-12-17 | 2012-06-20 | Natascha Dalheimer | Optische Vorrichtung, insbesondere Fernrohr oder Mikroskop |
| KR20220072963A (ko) * | 2020-11-25 | 2022-06-03 | 파크시스템스 주식회사 | 원자 현미경에서 목표 위치를 인식하기 위한 장치 및 방법 |
| KR102509460B1 (ko) | 2020-11-25 | 2023-03-14 | 파크시스템스 주식회사 | 원자 현미경에서 목표 위치를 인식하기 위한 장치 및 방법 |
| KR20220079740A (ko) * | 2020-12-04 | 2022-06-14 | 파크시스템스 주식회사 | 원자 현미경에서 프로브 종류를 인식하기 위한 장치 및 방법 |
| KR102465302B1 (ko) * | 2020-12-04 | 2022-11-10 | 파크시스템스 주식회사 | 원자 현미경에서 프로브 종류를 인식하기 위한 장치 및 방법 |
| JP7298813B1 (ja) | 2021-12-22 | 2023-06-27 | パーク システムズ コーポレーション | 原子顕微鏡で目標位置を認識するための装置及び方法 |
| JP2023093149A (ja) * | 2021-12-22 | 2023-07-04 | パーク システムズ コーポレーション | 原子顕微鏡で目標位置を認識するための装置及び方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6049518B2 (ja) | 画像処理装置、内視鏡装置、プログラム及び画像処理装置の作動方法 | |
| AU2014236057B2 (en) | Image quality assessment of microscopy images | |
| CN113358654B (zh) | 一种图像获取与分析系统 | |
| JP2011188496A (ja) | 逆光検知装置及び逆光検知方法 | |
| JP2006209698A (ja) | 対象追跡装置、顕微鏡システムおよび対象追跡プログラム | |
| JP2016125913A (ja) | 画像取得装置及び画像取得装置の制御方法 | |
| KR101792564B1 (ko) | 영상 처리 방법 및 이를 이용한 영상 처리 장치 | |
| JP2003149121A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
| JP2009109682A (ja) | 自動焦点調節装置、および自動焦点調節方法 | |
| WO2008065741A1 (fr) | Microscope confocal | |
| JP2001021332A (ja) | 表面検査装置及び表面検査方法 | |
| JP5191265B2 (ja) | 光学顕微鏡装置及び光学顕微鏡用データ処理装置 | |
| JP5572464B2 (ja) | 共焦点顕微鏡装置 | |
| JP6312410B2 (ja) | アライメント装置、顕微鏡システム、アライメント方法、及びアライメントプログラム | |
| JP4829055B2 (ja) | 微小高さ測定方法及び微小高さ測定装置 | |
| TWI333089B (en) | Method and system for displaying image focusing | |
| JP2005291720A (ja) | 蛍光検出装置、濃淡情報補正方法および濃淡情報補正プログラム | |
| JP2007171455A (ja) | 撮像装置 | |
| KR20030011636A (ko) | 미소 치수 측정 장치 | |
| CN115830053B (zh) | 一种基于机器视觉的帘线钢镶嵌样边缘定位方法及系统 | |
| TWI450572B (zh) | 影像邊界掃描的電腦系統及方法 | |
| JPH08294035A (ja) | 画像処理装置及び画像処理方法 | |
| WO2024111366A1 (ja) | ピント調整装置、観察装置、検査装置およびピント調整方法 | |
| JP4885646B2 (ja) | 細胞自動解析装置および細胞自動解析方法 | |
| WO2023188663A1 (ja) | 画像処理装置、画像処理方法、顕微鏡システム、プログラム及び記憶媒体 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20040304 |
|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20040526 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040707 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060222 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20060413 |