JP7298813B1 - 原子顕微鏡で目標位置を認識するための装置及び方法 - Google Patents
原子顕微鏡で目標位置を認識するための装置及び方法 Download PDFInfo
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Abstract
Description
110:カンチレバー
115:プローブ
120:第1駆動部
130:光学部
140:光学検出部
150:第2駆動部
155:試料
160:撮影部
170:制御部
175:NPU
180:表示部
200:電子装置
210:通信部
220:表示部
230:格納部
240:制御部
245:NPU
Claims (14)
- プローブが配置されるように構成されたカンチレバー(Cantilever)と、
前記カンチレバーの上面を撮影する撮影部と、
前記カンチレバー及び前記撮影部と動作可能に連結された制御部とを含み、
前記制御部は、
前記撮影部を通じて撮影された映像に基づいて前記カンチレバーを認識するように学習された認識モデルを利用して前記映像から前記カンチレバーを認識した結果データを獲得し、
前記獲得された結果データを利用して前記カンチレバー上の目標位置を算出するように構成され、
前記結果データは、前記カンチレバーの境界を含むバウンディングボックス(bounding box)を表したバウンディングボックスデータ、及び前記カンチレバーと前記カンチレバーでない客体とを分割した分割データ(segmentation data)のうち少なくとも一つを含む、原子顕微鏡の目標位置を認識するための装置。 - 前記カンチレバーの表面にレーザー光を照射するように構成された光学部と、
前記カンチレバーの位置を調整するように構成された駆動部とをさらに含み、
前記制御部は、前記算出された目標位置に前記光学部のレーザー光が照射されるように前記駆動部を通じて前記カンチレバーの位置を調整するように構成される、請求項1に記載の原子顕微鏡の目標位置を認識するための装置。 - 前記カンチレバーの表面にレーザー光を照射するように構成された光学部をさらに含み、
前記制御部は、前記算出された目標位置に前記光学部のレーザー光が照射されるように前記光学部の位置を調整するように構成される、請求項1に記載の原子顕微鏡の目標位置を認識するための装置。 - 前記認識モデルは、
前記カンチレバーの周辺環境に関する複数の参照映像を利用して前記カンチレバーを認識するように学習された人工ニューラルネットワークモデルである、請求項1に記載の原子顕微鏡の目標位置を認識するための装置。 - 前記複数の参照映像は、
前記カンチレバーの周辺の照明強さ、及び前記撮影部の焦点距離のうち少なくとも一つを変化させながら撮影された映像である、請求項4に記載の原子顕微鏡の目標位置を認識するための装置。 - 前記制御部は、
前記バウンディングボックスをなす複数の頂点に対する座標値を利用して前記目標位置を算出するように構成される、請求項1に記載の原子顕微鏡の目標位置を認識するための装置。 - 前記制御部は、
前記分割データを二進化して二進化データを獲得し、前記獲得された二進化データを利用して前記カンチレバーの外郭線を検出し、前記検出された外郭線を含むバウンディングボックスを生成し、前記生成されたバウンディングボックスをなす複数の頂点に対する座標値を利用して前記目標位置を算出するように構成される、請求項1に記載の原子顕微鏡の目標位置を認識するための装置。 - 原子顕微鏡の制御部により行われる目標位置を認識するための方法において、
撮影部を通じてプローブが配置されるように構成されたカンチレバー(Cantilever)の上面を撮影する段階と、
前記撮影部を通じて撮影された映像に基づいて前記カンチレバーを認識するように学習された認識モデルを利用して前記映像から前記カンチレバーを認識した結果データを獲得する段階と、
前記獲得された結果データを利用して前記カンチレバー上の目標位置を算出する段階とを含み、
前記結果データは、前記カンチレバーの境界を含むバウンディングボックス(bounding box)を表したバウンディングボックスデータ、及び前記カンチレバーと前記カンチレバーでない客体とを分割した分割データ(segmentation data)のうち少なくとも一つを含む、目標位置を認識するための方法。 - 前記算出された目標位置に光学部の光が照射されるように前記カンチレバーの位置を調整する段階をさらに含む、請求項8に記載の目標位置を認識するための方法。
- 前記算出された目標位置に光学部の光が照射されるように前記光学部の位置を調整する段階をさらに含む、請求項8に記載の目標位置を認識するための方法。
- 前記認識モデルは、
前記カンチレバーの周辺環境に関する複数の参照映像を利用して前記カンチレバーを認識するように学習された人工ニューラルネットワークモデルである、請求項8に記載の目標位置を認識するための方法。 - 前記複数の参照映像は、
前記カンチレバーの周辺の照明強さ、及び前記撮影部の焦点距離のうち少なくとも一つを変化させながら撮影された映像である、請求項11に記載の目標位置を認識するための方法。 - 前記獲得された結果データを利用して前記カンチレバー上の前記目標位置を算出する段階は、
前記バウンディングボックスをなす複数の頂点に対する座標値を利用して前記目標位置を算出する段階である、請求項8に記載の目標位置を認識するための方法。 - 前記獲得された結果データを利用して前記カンチレバー上の前記目標位置を算出する段階は、
前記分割データを二進化して二進化データを獲得する段階と、
前記獲得された二進化データを利用して前記カンチレバーの外郭線を検出する段階と、
前記検出された外郭線を含むバウンディングボックスを生成する段階と、
前記生成されたバウンディングボックスをなす複数の頂点に対する座標値を利用して前記目標位置を算出する段階とを含む、請求項8に記載の目標位置を認識するための方法。
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JP2021208597A JP7298813B1 (ja) | 2021-12-22 | 2021-12-22 | 原子顕微鏡で目標位置を認識するための装置及び方法 |
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JP2003149121A (ja) | 2001-11-16 | 2003-05-21 | Seiko Instruments Inc | 走査型プローブ顕微鏡 |
JP2005308406A (ja) | 2004-04-16 | 2005-11-04 | Hitachi Kenki Fine Tech Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡 |
JP2012225722A (ja) | 2011-04-19 | 2012-11-15 | Shimadzu Corp | 走査型プローブ顕微鏡 |
WO2016189575A1 (ja) | 2015-05-22 | 2016-12-01 | 株式会社島津製作所 | 走査型プローブ顕微鏡 |
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- 2021-12-22 JP JP2021208597A patent/JP7298813B1/ja active Active
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