JP5191265B2 - 光学顕微鏡装置及び光学顕微鏡用データ処理装置 - Google Patents
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試料の表面形状を三次元的に測定可能な光学顕微鏡装置であって、パターンマッチングの前段階でテンプレート処理を行うことのできる光学顕微鏡装置において、
該光学顕微鏡装置の測定の基準となるテンプレート基準画像に基づく処理条件を記憶する処理条件記憶手段と、
前記テンプレート基準画像においてユーザにより指定された第1領域であって、特徴量を抽出するための第1領域と、該第1領域とは別に前記テンプレート基準画像においてユーザにより指定された第2領域であって、高さ情報を抽出するための第2領域とを、前記テンプレート基準画像に関して設定するROI設定手段と、
該ROI設定手段により設定された前記第1領域内の特徴量を抽出する特徴量抽出手段と、
対象物の対象画像において、前記ROI設定手段で設定した前記第1領域の画像と類似した画像を前記特徴量抽出手段により抽出した特徴量に基づいて探索する画像探索手段と、
該画像探索手段により探索された前記ROI設定手段で設定した前記第1領域の画像と類似した画像の位置が、前記ROI設定手段で設定した前記第1領域の画像の二次元位置と同じ二次元位置になるように前記対象画像の位置を補正する二次元位置補正手段と、
前記テンプレート基準画像において設定された前記特徴量を抽出する前記第2領域の画像の高さ情報を抽出する高さ情報抽出手段と、
該高さ情報抽出手段により抽出された高さ情報に基づいて、前記ROI設定手段で設定した前記テンプレート基準画像の前記領域の画像と、前記対象画像において前記ROI設定手段で設定した第2領域の画像と類似した画像の位置とが一致するように、前記対象画像の高さ情報を補正する高さ情報補正手段と、
前記位置補正手段及び前記高さ情報補正手段により二次元位置及び高さ情報が補正された前記対象画像に対して、前記処理条件記憶手段に記憶された前記処理条件を設定する処理条件設定手段とを有することを特徴とする光学顕微鏡装置を提供することにより達成される。
試料の表面形状を三次元的に測定可能な光学顕微鏡に用いられるデータ処理装置であって、パターンマッチングの前段階でテンプレート処理を行うことのできる光学顕微鏡装置用データ処理装置であって、
前記光学顕微鏡の測定の基準となるテンプレート基準画像に基づく処理条件を記憶する処理条件記憶手段と、
前記テンプレート基準画像においてユーザにより指定された第1領域であって、特徴量を抽出するための第1領域と、該第1領域とは別に前記テンプレート基準画像においてユーザにより指定された第2領域であって、高さ情報を抽出するための第2領域とを、前記テンプレート基準画像に関して設定するROI設定手段と、
該ROI設定手段により設定された前記第1領域内の特徴量を抽出する特徴量抽出手段と、
対象物の対象画像において、前記ROI設定手段で設定した前記第1領域の画像と類似した画像を前記特徴量抽出手段により抽出した特徴量に基づいて探索する画像探索手段と、
該画像探索手段により探索された前記ROI設定手段で設定した前記第1領域の画像と類似した画像の位置が、前記ROI設定手段で設定した前記第1領域の画像の二次元位置と同じ二次元位置になるように前記対象画像の位置を補正する二次元位置補正手段と、
前記テンプレート基準画像において設定された前記第2領域の画像の高さ情報を抽出する高さ情報抽出手段と、
該高さ情報抽出手段により抽出された高さ情報に基づいて、前記ROI設定手段で設定したテンプレート基準画像の前記領域の画像と、前記対象画像において前記ROI設定手段で設定した前記第2領域の画像と類似した画像の位置とが一致するように、前記対象画像の高さ情報を補正する高さ情報補正手段と、
前記位置補正手段及び前記高さ情報補正手段により二次元位置及び高さ情報が補正された前記対象画像に対して、前記処理条件記憶手段に記憶された前記処理条件を設定する処理条件設定手段とを有することを特徴とする光学顕微鏡用データ処理装置を提供することにより達成される。
Claims (12)
- 試料の表面形状を三次元的に測定可能な光学顕微鏡装置であって、パターンマッチングの前段階でテンプレート処理を行うことのできる光学顕微鏡装置において、
該光学顕微鏡装置の測定の基準となるテンプレート基準画像に基づく処理条件を記憶する処理条件記憶手段と、
前記テンプレート基準画像においてユーザにより指定された第1領域であって、特徴量を抽出するための第1領域と、該第1領域とは別に前記テンプレート基準画像においてユーザにより指定された第2領域であって、高さ情報を抽出するための第2領域とを、前記テンプレート基準画像に関して設定するROI設定手段と、
該ROI設定手段により設定された前記第1領域内の特徴量を抽出する特徴量抽出手段と、
対象物の対象画像において、前記ROI設定手段で設定した前記第1領域の画像と類似した画像を前記特徴量抽出手段により抽出した特徴量に基づいて探索する画像探索手段と、
該画像探索手段により探索された前記ROI設定手段で設定した前記第1領域の画像と類似した画像の位置が、前記ROI設定手段で設定した前記第1領域の画像の二次元位置と同じ二次元位置になるように前記対象画像の位置を補正する二次元位置補正手段と、
前記テンプレート基準画像において設定された前記特徴量を抽出する前記第2領域の画像の高さ情報を抽出する高さ情報抽出手段と、
該高さ情報抽出手段により抽出された高さ情報に基づいて、前記ROI設定手段で設定した前記テンプレート基準画像の前記領域の画像と、前記対象画像において前記ROI設定手段で設定した第2領域の画像と類似した画像の位置とが一致するように、前記対象画像の高さ情報を補正する高さ情報補正手段と、
前記位置補正手段及び前記高さ情報補正手段により二次元位置及び高さ情報が補正された前記対象画像に対して、前記処理条件記憶手段に記憶された前記処理条件を設定する処理条件設定手段とを有することを特徴とする光学顕微鏡装置。 - 前記高さ情報抽出手段が、前記ROI設定手段による設定された第2領域の画像の高さ情報の平均値によって該第2領域の高さ情報を抽出し、
前記高さ情報補正手段が、前記高さ情報抽出手段によって抽出された前記平均値と、前記対象画像において前記画像探索手段によって探索された画像の高さ情報の平均値とが一致するように前記対象画像の高さ情報を補正する、請求項1に記載の光学顕微鏡装置。 - 前記二次元位置補正手段及び前記高さ情報補正手段により補正された前記対象画像の所望のプロファイルライン上の断面プロファイルを生成する断面プロファイル生成手段と、
該断面プロファイル生成手段により生成された前記断面プロファイルを表示する表示手段とを更に有する、請求項1又は2に記載の光学顕微鏡装置。 - 前記表示手段が、前記対象画像の断面プロファイル表示において、前記テンプレート基準画像とは異なる高さ情報の部分を、前記テンプレート基準画像と同じ高さ情報の部分と区別して表示する、請求項3に記載の光学顕微鏡装置。
- 前記表示手段が、前記対象画像の断面プロファイル表示において、前記テンプレート基準画像よりも高位の高さ情報の部分を、前記テンプレート基準画像よりも低位の高さ情報の部分とは区別して表示する、請求項3に記載の光学顕微鏡装置。
- 前記表示手段が、色の違いによって、前記テンプレート基準画像よりも高位の高さ情報の部分を、前記テンプレート基準画像よりも低位の高さ情報の部分とは区別して表示する、請求項4又は5に記載の光学顕微鏡装置。
- 前記二次元位置補正手段による前記対象画像の二次元位置の補正及び前記高さ情報補正手段による前記対象画像の高さ情報補正を完了した後の前記対象画像に対して、ユーザのマニュアル操作による二次元位置の補正及び高さ情報の補正を受け付ける手動補正手段を更に有し、
該手動補正手段によりユーザのマニュアル操作によって前記対象画像の二次元位置及び高さ情報の補正が行われたときには、該マニュアル補正に追従して、該マニュアル補正後の前記対象画像の断面プロファイルが前記表示手段に表示される、請求項4〜6のいずれか一項に記載の光学顕微鏡装置。 - 前記位置補正手段及び前記高さ情報補正手段により補正された前記対象画像の高さ情報と、前記テンプレート基準画像の高さ情報との差分画像を生成する差分画像生成手段を更に有する、請求項1〜6のいずれか一項に記載の光学顕微鏡装置。
- 前記手動補正手段によりユーザのマニュアル操作によって前記対象画像の二次元位置及び高さ情報の補正が行われたときに、該マニュアル補正後の前記対象画像の高さ情報と、前記テンプレート基準画像の高さ情報との差分の画像を生成する差分画像生成手段を更に有する、請求項7に記載の光学顕微鏡装置。
- 前記表示手段が、前記差分画像の表示において前記対象画像が前記テンプレート基準画像よりも低い部分と高い部分とを色分けして立体画像で表示する、請求項8又は9に記載の光学顕微鏡装置。
- 前記差分画像の体積及び/又は表面積を測定する測定手段を更に有する、請求項8〜10のいずれか一項に記載の光学顕微鏡装置。
- 試料の表面形状を三次元的に測定可能な光学顕微鏡に用いられるデータ処理装置であって、パターンマッチングの前段階でテンプレート処理を行うことのできる光学顕微鏡装置用データ処理装置であって、
前記光学顕微鏡の測定の基準となるテンプレート基準画像に基づく処理条件を記憶する処理条件記憶手段と、
前記テンプレート基準画像においてユーザにより指定された第1領域であって、特徴量を抽出するための第1領域と、該第1領域とは別に前記テンプレート基準画像においてユーザにより指定された第2領域であって、高さ情報を抽出するための第2領域とを、前記テンプレート基準画像に関して設定するROI設定手段と、
該ROI設定手段により設定された前記第1領域内の特徴量を抽出する特徴量抽出手段と、
対象物の対象画像において、前記ROI設定手段で設定した前記第1領域の画像と類似した画像を前記特徴量抽出手段により抽出した特徴量に基づいて探索する画像探索手段と、
該画像探索手段により探索された前記ROI設定手段で設定した前記第1領域の画像と類似した画像の位置が、前記ROI設定手段で設定した前記第1領域の画像の二次元位置と同じ二次元位置になるように前記対象画像の位置を補正する二次元位置補正手段と、
前記テンプレート基準画像において設定された前記第2領域の画像の高さ情報を抽出する高さ情報抽出手段と、
該高さ情報抽出手段により抽出された高さ情報に基づいて、前記ROI設定手段で設定したテンプレート基準画像の前記領域の画像と、前記対象画像において前記ROI設定手段で設定した前記第2領域の画像と類似した画像の位置とが一致するように、前記対象画像の高さ情報を補正する高さ情報補正手段と、
前記位置補正手段及び前記高さ情報補正手段により二次元位置及び高さ情報が補正された前記対象画像に対して、前記処理条件記憶手段に記憶された前記処理条件を設定する処理条件設定手段とを有することを特徴とする光学顕微鏡用データ処理装置。
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