JP2013002968A - 部品高さ測定方法およびその装置 - Google Patents
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Abstract
周辺を壁で囲まれた凹型形状の被測定部品においても、内側形状を正確に計測することで、被測定部品の高さ及び体積を求めることができるようにする。
【解決手段】
載置面上に被測定部品を載置して被測定部品の高さ方向に移動可能なテーブルの載置面に垂直な方向から載置面上に載置された被測定部品に対物レンズを介して光パターンを投影し、テーブルを被測定部品の高さ方向に順次スッテプ移動させて各ステップ移動ごとに光パターンが投影された被測定部品を対物レンズを介して撮像して光パターンの画像を取得し、テーブルの各ステップ移動ごとに撮像して取得した光パターンの複数の画像を処理して被測定部品の各部の高さ情報を得て被測定部品の高さ画像または高さ情報を含む画像を生成して部品高さを測定するようにした。
【選択図】 図1
Description
まず、被測定部品6を試料台7に搭載する(S2001)。次に、Zステージ8をz方向に移動させてカメラ画像が鮮明な位置で停止させ(S2002)、検出光学系1で被測定部品6を撮像して画像を取得する(S2003)。
6…計測対象部品 7…試料台 8…Zステージ 9…照明光源 10…レンズ
11…マスクパターン 12…接眼レンズ 13…ハーフミラー 14…対物レンズ 15…接眼レンズ 16…検出器 16a…撮像素子 17…光量調整手段
18…カメラ制御手段 19…Zステージ制御手段 20…画像メモリ手段
21…高さ演算手段 22…ノイズフィルタ設定手段 23…像面補正手段
24…重量算出手段 25…計測設定手段 26…計測結果表示手段 500…部品高さ検出ユニット 501…コンピュータ 502…入出力ユニット
503…電子部品搭載機。
Claims (6)
- 載置面上に被測定部品を載置して該被測定部品の高さ方向に移動可能なテーブルの前記載置面に垂直な方向から該載置面上に載置された前記被測定部品に対物レンズを介して光パターンを投影し、
前記テーブルを前記被測定部品の高さ方向に順次スッテプ移動させて各ステップ移動ごとに前記光パターンが投影された前記被測定部品を前記対物レンズを介して撮像して前記光パターンの画像を取得し、
前記テーブルの各ステップ移動ごとに撮像して取得した前記光パターンの複数の画像を処理して前記被測定部品の各部の高さ情報を得て前記被測定部品の高さ画像または高さ情報を含む画像を生成する
ことを特徴とする部品高さ測定方法。 - 前記生成した前記被測定部品の高さ画像または高さ情報を含む画像を画面上に表示し、該画面上には、前記被測定部品の高さ画像または高さ情報を含む画像と共に、前記被測定部品の高さ情報を示す前記高さ画像の波形信号を表示することを特徴とする請求項1記載の部品高さ測定方法。
- 前記画像を処理して得た前記被測定部品の各部の高さ情報を用いて前記被測定部品の重量を算出し、該算出した前記被測定部品の重量の情報を前記被測定部品の高さ画像または高さ情報を含む画像と共に表示することを特徴とする請求項1記載の部品高さ測定方法。
- 載置面上に被測定部品を載置して該被測定部品の高さ方向に移動可能なテーブル手段と、
該テーブル手段の前記載置面に垂直な方向から該載置面上に載置された前記被測定部品に対物レンズを介して光パターンを投影する光パターン投影手段と、
該光パターン投影手段により前記被測定部品に投影された光パターンの像を前記対物レンズを介して撮像する撮像手段と、
前記テーブル手段を前記被測定部品の高さ方向に順次スッテプ移動させて各ステップ移動ごとに前記撮像手段で撮像して得た前記光パターンの像を処理して前記被測定部品の各部の高さ情報を得て該被測定部品の高さ画像または高さ情報を含む画像を生成する画像処理手段と
を備えたことを特徴とする部品高さ測定装置。 - 前記画像処理手段で生成した前記被測定部品の高さ画像または高さ情報を含む画像を表示する表示手段を更に備え、該表示手段上には、前記被測定部品の高さ画像または高さ情報を含む画像と共に、前記被測定部品の高さ情報を示す前記高さ画像または高さ情報を含む画像の波形信号を表示することを特徴とする請求項4記載の部品高さ測定装置。
- 前記画像処理手段で得た前記被測定部品の各部の高さ情報を用いて前記被測定部品の重量を算出する部品重量算出手段を更に備え、前記表示手段は、該部品重量算出手段で算出した前記被測定部品の重量の情報を前記被測定部品の高さ画像または高さ情報を含む画像と共に表示することを特徴とする請求項4記載の部品高さ測定装置。
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