JPH1038547A

JPH1038547A - 表面検査装置

Info

Publication number: JPH1038547A
Application number: JP8191971A
Authority: JP
Inventors: Ikuo Konishi; 郁夫小西
Original assignee: Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp
Priority date: 1996-07-22
Filing date: 1996-07-22
Publication date: 1998-02-13

Abstract

(57)【要約】【課題】試料表面を有形のプローブを用いて測定や検
査を行う表面検査装置が備える光学顕微鏡において、欠
損部位のない画像を得る。【解決手段】表面検査装置（走査型プローブ顕微鏡
１）は、試料３の光学像を得る光学顕微鏡１１〜１３を
備え、この光学顕微鏡による光学像と、有形のプローブ
を用いた測定による測定像の両画像を表示する装置であ
り、光学顕微鏡は欠損部位を含む複数の光学像の画像デ
ータを取込み、取り込んだ画像データを用いて欠損部位
における画像のデータ補償を行う画像処理回路１２を備
える。画像処理回路１２は、光学顕微鏡の欠損部位を含
む複数の光学像の画像データを用いて、欠損部位におけ
る画像データを、他の光学像から得られる画像データに
よってデータ補償を行うことによって、欠損部位を含ま
ない光学顕微鏡の画像を得る。これによって、表面検査
装置の測定点での光学像を観察することができ、測定像
と光学像とを対照比較して観察することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、走査型トンネル顕
微鏡，原子間力顕微鏡等の走査型プローブ顕微鏡や、表
面粗さ計や、微小硬度計等の表面検査装置に関し、特
に、表面検査装置が備える、試料を光学的に観察する試
料観察装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】表面形状を分析する表面分析装置とし
て、走査型トンネル顕微鏡，原子間力顕微鏡等の走査型
プローブ顕微鏡が知られている。走査型トンネル顕微鏡
は、探針と試料との間に流れるトンネル電流と呼ばれる
微小電流を測定することによって試料の表面形状を測定
し、また、原子間力顕微鏡は探針と試料との間の原子間
力（引力あるいは斥力）を検出することによって試料の
表面形状を測定を行う。

【０００３】走査型プローブ顕微鏡の空間分解能は非常
に高く、その空間分解能は原子サイズに及んでいる。通
常、表面分析装置等の測定装置による測定を行う場合、
光学顕微鏡やその他の測定装置によって、所定の広がり
を持った試料表面の像を得、その像を観察して測定点を
選び出し、該測定点の狭い範囲内において高分解能の測
定を行っている。

【０００４】しかしながら、走査型プローブ顕微鏡は一
測定で得られる連続データの空間範囲は狭いため、通常
の光学顕微鏡等によって得られる観察像では、試料上に
おいて走査型プローブ顕微鏡の測定点がどの位置に対応
するのか判断することが困難である。そのため、高倍率
の光学顕微鏡を用い、これによって得られた光学像を観
察することによって、試料上の測定点の特定を行うこと
が主流となってきている。

【０００５】また、試料表面を検査する表面検査装置と
して、上記した走査型プローブ顕微鏡等の表面分析装置
の他に、表面粗さ計や微小硬度計があり、この表面粗さ
計や微小硬度計等の表面検査装置においても、高倍率の
光学顕微鏡によって得られた光学像を観察して、試料上
の測定点の特定を行うことが行われる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た走査型プローブ顕微鏡や表面粗さ計や微小硬度計等の
表面検査装置は、電子ビームやイオンビームあるいはＸ
線ビーム等の光学顕微鏡の観察に影響を与えないビーム
と異なり、光学像に影を形成して光学顕微鏡の観察に影
響を与える有形のビームを備えている。上記した表面検
査装置が備える高倍率の光学顕微鏡は、通常探針ヘッド
や探針を保持するカンチレバー等の有形のプローブの真
上から試料の観察を行う構成であるため、この光学顕微
鏡によって得られる画像中には、表面検査装置が備える
有形のプローブが含まれる。そして、表面検査装置が測
定する部位は、このプローブに遮られる位置となるた
め、光学顕微鏡の画像では測定する部位を観察すること
はできない。従って、表面検査装置が備える光学顕微鏡
の画像は、欠損部位を含む画像となり、特に、測定点に
おける光学像を観察することができない。

【０００７】そこで、本発明は前記した従来の表面検査
装置の問題点を解決し、試料表面を有形のプローブを用
いて測定や検査を行う表面検査装置が備える光学顕微鏡
において、欠損部位のない画像を得ることを目的とす
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の表面検査装置
は、試料の光学像を得る光学顕微鏡を備え、試料表面を
有形のプローブを用いて測定や検査を行う装置におい
て、この光学顕微鏡による光学像と、プローブ測定によ
る走査像の両画像を表示する装置であり、光学顕微鏡は
欠損部位を含む複数の光学像の画像データを取込み、取
り込んだ画像データを用いて欠損部位における画像のデ
ータ補償を行う画像処理回路を備える構成である。この
画像処理回路は、光学顕微鏡の欠損部位を含む複数の光
学像の画像データを用いて、欠損部位における画像デー
タを、他の光学像から得られる画像データによってデー
タ補償を行うことによって、欠損部位を含まない光学顕
微鏡の画像を得ることができる。

【０００９】これによって、表面検査装置の測定点での
光学像を観察することができ、また、走査像と光学像と
を対照比較して観察することができる。

【００１０】本発明の第１の実施態様において、画像処
理回路は、欠損部位を含む画像から欠損部位を同定する
処理機能と、他の画像から欠損部位に対応する画像を同
定して補償画像データを形成する処理機能と、画像デー
タの欠損部位に補償画像データを組み込んで欠損部位に
おけるデータ補償を行う処理機能とを備える。これによ
って、一画像中から欠損部位を同定し、他の画像からこ
の欠損部位に対応する画像を同定して抽出し、この抽出
した画像によって補償画像データを形成し、この画像補
償データを欠損部位に組み込むことによって、欠損部位
におけるデータ補償を行い、欠損部位を含まない光学顕
微鏡の画像を得る処理を行うことができる。

【００１１】前記した欠損部位を含む画像から欠損部位
を同定する処理機能を実現するために、本発明の第２の
実施態様の画像処理回路は、表示装置に表示される光学
像上で欠損部位を指定する処理機能を備え、これによっ
て、光学像を観察しながら欠損部位を判定し、その欠損
部位の形状や表示画面上の位置を指定することによっ
て、画像上の欠損部位の同定を行う。また、本発明の第
３の実施態様の画像処理回路は、欠損部位となる形状を
テンプレートとして記憶し、画像データとテンプレート
とのパターンマッチングを行う処理機能を備え、あらか
じめ欠損部位となるプローブ等の形状を入力してテンプ
レートとして記憶し、取り込んだ画像データとテンプレ
ートとをパターンマッチングして、画像上でテンプレー
トと同形の形状を同定する。

【００１２】前記した他の画像から欠損部位に対応する
画像を同定して補償画像データを形成する処理機能を実
現するために、本発明の第４の実施態様の画像処理回路
は、他の画像の画像データと、表示装置上で指定した欠
損部位の形状データあるいはテンプレートとのパターン
マッチングを行う処理機能を備え、これによって、他の
画像データからプローブ等によって隠れている欠損部位
の画像データを同定し、抽出して補償画像データを得
る。また、本発明の第５の実施態様の画像処理回路は、
一の画像と他の画像との位置関係を求め、この位置関係
に基づいて他の画像データからプローブ等によって隠れ
ている欠損部位の画像データを同定し、抽出して補償画
像データを得る。また、本発明の第６の実施態様の画像
処理回路は、第４と第５の実施態様を組み合わせるもの
であり、両画像の位置関係による欠損部位の概算処理
と、パターンマッチング処理の処理機能を備え、一の画
像と他の画像との位置関係を求め、この位置関係に基づ
いて他の画像データにおいてプローブ等によって隠れて
いる欠損部位の位置の概算を行い、さらに、表示装置上
で指定した欠損部位の形状データあるいはテンプレート
とのパターンマッチングによって、最終的な欠損部位の
同定を行い、抽出して補償画像データを得る。

【００１３】本発明の第７の実施態様は、欠損部位の補
償画像データを得るための他の画像を、試料，プロー
ブ，および顕微鏡の光学系との相対的位置関係を異なら
せることによって得るものであり、画像上での欠損部位
の位置を異ならせることによって、一の画像上の欠損部
位の画像データを、他の画像上に表示して画像データの
抽出を可能とし、この画像データによって欠損部位の画
像を補償するものである。

【００１４】本発明の第８の実施態様は、欠損部位の補
償画像データを得るための他の画像を用いて、光学顕微
鏡が表示する光学像を拡大するものであり、試料，プロ
ーブ，および顕微鏡の光学系との相対的位置関係を異な
らせることによって得た複数の画像をつなぎ合わせ、こ
のつなぎ合わせた画像を表示装置上に表示することによ
って、光学像の表示範囲を拡大することができる。

【００１５】本発明の第９の実施態様は、走査型プロー
ブ顕微鏡による走査像等の表面分析装置の画像や、表面
粗さ計，微小硬度計による測定画像等の表面検査装置に
よって得られた測定画像と、光学顕微鏡による光学像と
を、試料上での表示領域が重なるように表示を行うもの
であり、さらに、同一画面上に両画像を重ね合わせて表
示するものであり、これによって、同一観察点での走査
像と光学像との比較対照を行うことができる。本発明の
第１０の実施態様は、前記第９の実施態様における両画
像の重ね合わせを、両画像中の特徴点の抽出と、抽出し
た特徴点による重ね合わせの位置推定により行うもので
ある。

【００１６】本発明の第１１の実施態様の表面検査装置
は走査型トンネル顕微鏡であり、光学顕微鏡の光学像に
おける欠損部位の形状は、探針ヘッドの形状で特徴付け
ることができ、また、本発明の第１２の実施態様の表面
検査装置は原子間力顕微鏡であり、光学顕微鏡の光学像
における欠損部位の形状は、カンチレバーの形状で特徴
付けることができる。また、本発明の第１２の実施態様
の表面検査装置は、表面粗さ計もしくは微小硬度計であ
り、光学顕微鏡の光学像における欠損部位の形状は、プ
ローブの形状で特徴付けることができる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図を
参照しながら詳細に説明する。以下、本発明の表面検査
装置の一実施の形態について、走査型プローブ顕微鏡を
例として図１に示す概略ブロック図を用いて説明する。
図１は、原子間力顕微鏡の場合について、本発明の表面
検査装置の実施の形態を構成した概略ブロック図であ
る。図１において、原子間力顕微鏡１は、試料３の表面
形状を測定する測定部として、カンチレバー３１と、カ
ンチレバー３１の変位を測定するレーザー光源３２およ
びフォトセンサー３３とを備え、試料３はピエゾ素子等
により三次元方向に移動可能な三次元アクチュエータ２
５上に支持される。三次元アクチュエータ２５のＸＹ方
向の制御はＸＹ走査回路２３によって行い、Ｚ方向の制
御はフォトセンサー３３からの測定信号を入力するサー
ボ回路２４によって行う。この移動制御のデータをメモ
リ２２ａに記憶し、処理回路２２で信号処理して試料３
の表面形状を測定し、走査像表示装置２１に表示する。

【００１８】また、原子間力顕微鏡１は、試料３の光学
像を得る光学顕微鏡を備える。光学顕微鏡は、ＣＣＤカ
メラ１３と、画像データを信号処理する画像処理回路１
２と、光学像表示装置１１を備え、ＣＣＤカメラ１３は
カンチレバー３１の真上に位置し、カンチレバー３１を
含んだ光学像を画像データに変換し、画像処理回路１２
に送る。

【００１９】次に、本発明の表面検査装置による光学像
を得る動作について、走査型プローブ顕微鏡を例として
図２〜図６を用いて説明する。図２（Ａ）は光学像を得
るための手順を示すフローチャートであり、図２（Ｂ）
は図２（Ａ）の手順に対応した光学像および画像データ
を示している。

【００２０】走査型プローブ顕微鏡は、試料３を三次元
アクチュエータ２５上にセットし、通常１００μｍ角程
度の走査範囲で走査を行う。この走査と同時に、光学顕
微鏡は同等またはそれより広い観察範囲の光学像で観察
を行う。この光学像は、カンチレバー３１等のプローブ
で遮られて見えない欠損部位を含んでいる。プローブは
走査範囲より小さいため、この欠損部位は光学顕微鏡の
観察部位や走査範囲と比較して小範囲となる。従って、
プローブや試料を移動する等によって他の光学像を得る
ことによって、プローブで遮られていた欠損部位の部分
の光学像を観察することが可能である。

【００２１】光学顕微鏡のＣＣＤカメラは、プローブを
含む試料の光学像を読みとって第１の画像を光学像表示
装置１１に表示する。図２（Ｂ−ａ）は光学像を概略的
に示しており、光学像中の試料形状を符号Ａ，Ｂ，Ｃ，
ａ，ｃで示し、プローブを斜線部分で示している。な
お、このプローブによって隠れて見えない欠損部位の形
状をｂとする（ステップＳ１）。この図２（Ｂ−ａ）の
光学像において、欠損部位を同定するために、プローブ
の形状に関するデータを入力しておく。このプローブの
形状は、あらかじめプローブのみの光学像（図２（Ｂ−
ｂ））を読みとっておくか、あるいはプローブの形状デ
ータをテンプレート（図２（Ｂ−ｃ））として記憶して
おくことができる（ステップＳ２）。第１の画像上にお
いて、ステップＳ２で求めておいたプローブ形状と同じ
形状の部位をパターンマッチングの技術で抽出し（図２
（Ｂ−ｄ））、これによって、欠損部位を同定する（ス
テップＳ３）。そして、この同定した欠損部位のプロー
ブの画像を、第１の画像から削除し、試料のみの画像と
する（（図２（Ｂ−ｅ）），ステップＳ４）。

【００２２】次に、光学顕微鏡により他の画像を取り込
むために試料を移動する。なお、図２（Ｂ−ｆ）では矢
印方向に移動する場合を示しているが、移動方向は任意
とすることができ、また、試料を移動する代わりにプロ
ーブあるいは光学顕微鏡を移動することにより他の光学
像を取り込むこともできる（ステップＳ５）。移動した
後、他の光学像を読みとって、第２の画像を表示する。
図２（Ｂ−ｇ）は第２の画像の概略図であり、第１の画
像で表示されていなかった形状部位Ｄ，ｂ，ｄが表示さ
れるている（ステップＳ６）。

【００２３】次に、第２の画像上で、第１の画像の欠損
部位の画像を同定し、第１の画像においてプローブで隠
れて見えなかった形状部位を求める。これによって、図
２（Ｂ−ｈ）のｂの部分が欠損部位として同定される
（ステップＳ７）。ステップＳ７で同定した欠損部位の
画像（図２（Ｂ−ｉ））を第２の画像から切り出す（ス
テップＳ８）。なお、この同定の工程の詳細は後述す
る。

【００２４】前記ステップＳ４で求めた第１の画像の欠
損部位の位置に、ステップＳ８で求めた欠損部位の画像
を組み込んで、欠損部位のない画像を形成する（（図２
（Ｂ−ｊ），ステップＳ９）。欠損部位のない画像にお
いて、画像中の測定部位を特定する（（図２（Ｂ−
ｋ），ステップＳ１０）。この測定部位の特定は、現在
の画像と、前記ステップＳ９で求めた欠損部位のない画
像とのパターンマッチングを行って、現在の画像の位置
を同定し、欠損部位のない画像上に測定部位の位置を表
示したり、あるいは現在の画像のプローブ上に測定部位
を同定して表示することによって行うことができる。そ
して、欠損部位のない画像と測定部位と同時に表示する
（（図２（Ｂ−ｌ），ステップＳ１１）。

【００２５】次に、第２の画像から第１の画像の欠損部
位の画像を取り出す処理について、図３および図４を用
いて説明する。図３（ａ）において、矩形が囲まれる部
分は第１の光学像であり、符号Ａ，Ｂ，・・・，ａ，
ｂ，・・・，α，β，，・・・で示される試料形状の
内、Ａ，Ｂ，Ｃ，ａ，ｃおよびプローブＰが表示され、
第１の画像は図３（ｂ）となる。図３（ａ）の第１の光
学像に対して、試料あるいは光学顕微鏡の光学系を図中
のＸ軸方向にＸ０だけ移動すると、図３（ｃ）に示す第
２の光学像を得る。この移動によって、新たにＤ，ｂ，
ｄの形状が得られ、図３（ｃ）に示す第２の画像が得ら
れる。

【００２６】第１の画像（図３（ｂ））と第２の画像
（図３（ｄ））とをパターンマッチングの技術によって
一致する形状を求めると、（図３（ｅ））中の斜線で示
される形状Ｂ，Ｃが一致形状として得られる。そして、
このパターンマッチングによって、欠損部位の画像は第
２の画像中のｂの形状であるＪ同定することができる
（図３（ｆ））。また、上記したパターンマッチングに
よる同定の代わりに、第２の光学像を得るときの移動量
Ｘ０を用い、図３（ｄ）の第２の画像において、プロー
ブの位置から移動量Ｘ０だけずれた部位の画像を欠損部
位の画像として同定することもできる（図３（ｇ））。

【００２７】図４は、第２の画像から第１の画像の欠損
部位の画像を取り出す別の処理方法を説明する図であ
る。なお、図４（ａ）〜図４（ｄ）は、前記した図３
（ａ）〜図３（ｄ）と同じであるため、ここでは説明を
省略する。

【００２８】図４（ｂ）の第１の画像と図４（ｄ）の第
２の画像において、あらかじめプローブのみの光学像か
ら求めた形状データ，あるいはプローブ形状のテンプレ
ートを用いて、パターンマッチングによってプローブの
部位を同定し、画像からプローブ画像を除去して、図４
（ｅ）の第１の画像と図４（ｆ）の第２の画像を得る。
そして、この２つの画像をパターンマッチングによって
共通する形状部分を抽出し、該共通する形状部分が重な
るように２つの画像を重ね合わせて、図４（ｇ）に示す
ような合成画像を生成する。これによって、欠損部位の
除去した画像を得ることができる。

【００２９】次に、図５を用いて本発明の表面検査装置
による光学像の拡大表示について、走査型プローブ顕微
鏡を例として説明する。図５において、試料中の符号
Ａ，Ｂ，Ｃ，ａ，ｂ，ｃ，α，β，γの形状部分は、走
査型プローブ顕微鏡の走査によって走査像５０として求
められる。この走査において、例えば測定部位がＡの部
位にあるときは、光学顕微鏡は光学像（Ａ）を形成し、
また、測定部位がγの部位にあるときは、光学顕微鏡は
光学像（γ）を形成する。走査中の各部位において得ら
れる光学像（Ａ），光学像（Ｂ），・・・，光学像
（γ）を、パターンマッチングあるいは各光学像間の距
離に応じてつなぎ合わすと、拡大表示部５６を生成する
ことができる。

【００３０】図６を用いて本発明の表面検査装置による
走査像と光学像の表示について、走査型プローブ顕微鏡
を例として説明する。図６において、データ処理部分６
２中には、走査型プローブ顕微鏡のプローブ走査系で得
られる走査像データ６２ａと光学顕微鏡で得られる光学
像データ６２ｂとを格納する。この走査像データ６２ａ
と光学像データ６２ｂとの特徴点を抽出し、両者のパタ
ーンマッチングを行うことによって共通する部位を特定
する。そして、表示装置６１に、走査像６１ａと光学像
６１ｂを両者が共通する部位について表示する。また、
走査像と光学像とを重ね合わせて表示することもでき
る。

【００３１】前記図１では表面検査装置の１例として走
査型プローブ顕微鏡の原子間力顕微鏡について説明した
が、走査型トンネル顕微鏡についても適用することがで
きる。図７は走査型トンネル顕微鏡の概略ブロック図で
ある。図７において、走査型トンネル顕微鏡２は、試料
３の表面形状を測定する測定部として、探針および該探
針をＸ，Ｙ，Ｚ方向に移動可能なアクチュエータ４１を
備える。アクチュエータ４１のＸＹ方向の制御はＸＹ走
査回路２３によって行い、Ｚ方向の制御は、Ｉ／Ｖプリ
アンプ２６によって検出したトンネル電流を入力するサ
ーボ回路２４によって行う。この移動制御のデータをメ
モリ２２ａに記憶し、処理回路２２で信号処理して試料
３の表面形状を測定し、走査像表示装置２１に表示す
る。また、走査型トンネル顕微鏡２は、図１の構成と同
様な光学顕微鏡を備える。この構成は同様であるため、
ここでの説明は省略する。走査型トンネル顕微鏡の場合
についても、前記と同様の処理によって、欠損部位を除
去した光学像を得ることができ、また、その他の前記し
た動作を行うことができる。

【００３２】また、表面検査装置として、前記の実施の
形態で説明した原子間力顕微鏡や走査型トンネル顕微鏡
の走査プローブ顕微鏡の他に、表面粗さ計や微小硬度計
についても同様に、光学顕微鏡による画像処理を適用す
ることができる。

【００３３】本発明の実施の形態によれば、表面検査装
置の測定点での光学像を観察することができ、また、走
査像と光学像とを対照比較して観察することができる。
本発明の実施の形態によれば、表示装置に表示される光
学像上で欠損部位を指定する処理機能によって、光学像
を観察しながら欠損部位を判定することができ、また、
その欠損部位の形状や表示画面上の位置を指定すること
によって、画像上の欠損部位の同定を行うことができ
る。また、本発明の実施の形態によれば、欠損部位とな
る形状をテンプレートとして記憶し、画像データとテン
プレートとのパターンマッチングを行う処理機能によっ
て、あらかじめ記憶したテンプレートと同形の欠損部位
を同定することができる。

【００３４】本発明の実施の形態によれば、他の画像の
画像データと、欠損部位の形状データあるいはテンプレ
ートとのパターンマッチングによって他の画像データか
らプローブ等によって隠れている欠損部位の画像データ
を同定することができる。本発明の実施の形態によれ
ば、複数の光学像をつなぎ合わせることによって、光学
像の表示範囲を拡大することができる。

【００３５】本発明の実施の形態によれば、走査型プロ
ーブ顕微鏡による走査像や表面粗さ計や微小硬度計によ
る測定像と、光学顕微鏡による光学像とを、試料上での
表示領域が重なるように表示を行うものであり、さら
に、同一画面上に両画像を重ね合わせて表示するもので
あり、これによって、同一観察点での走査像や測定像
と、光学像との比較対照を行うことができる。

【００３６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の表面検査
装置によれば、試料表面を有形のプローブを用いて測定
や検査を行う表面検査装置が備える光学顕微鏡におい
て、欠損部位のない画像を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の表面検査装置の一実施の形態を説明す
るための原子間力顕微鏡の概略ブロック図である。

【図２】本発明の表面検査装置による光学像を得る動作
を説明するためのフローチャートおよび画像例である。

【図３】第２の画像から第１の画像の欠損部位の画像を
取り出す処理を説明するための図である。

【図４】第２の画像から第１の画像の欠損部位の画像を
取り出す他の処理を説明するための図である。

【図５】本発明の拡大画像を得る処理を説明するための
図である。

【図６】本発明の走査像と光学像の表示を説明するため
の図である。

【図７】本発明の表面検査装置の一実施の形態を説明す
るための走査型トンネル顕微鏡の概略ブロック図であ
る。

【符号の説明】

１…原子間力顕微鏡、２…走査型トンネル顕微鏡、３…
試料、１１…光学像表示装置、１２…画像処理回路、１
３…ＣＣＤカメラ、２１…走査像表示装置、２２…処理
回路、２２ａ…メモリ、２３…Ｘ，Ｙ走査回路、２４…
サーボ回路、２５…三次元アクチュエータ、２６…Ｉ／
Ｖプリアンプ、３１…カンチレバー、３２…レーザー光
源、３３…フォトセンサー、４１…アクチュエータ、５
０…走査像、５１〜５４，６１ａ，６１ｂ…光学像、５
５…合成光学像像、６１…表示装置、６２…処理部、６
２ａ…走査像データ、６２ｂ…光学像データ。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】試料の光学像を得る光学顕微鏡を備え、
試料表面を有形のプローブを用いて測定または検査する
表面検査装置において、前記光学顕微鏡の欠損部位を含
む複数の画像データを取込み、該画像データを用いて欠
損部位における画像のデータ補償を行う画像処理回路を
備えたことを特徴とする表面検査装置。