JP2006105960A - 試料検査方法及び試料検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 試料14のパターン面に接触させる第1の探針と第2の探針とからなる2本の探針11,12と、試料14上を電子ビーム又はイオンビームで走査する走査手段と、試料14上の任意の位置の電位を前記2本の探針を用いて検出する電位検出手段18と、該電位検出手段18の出力と電子ビーム又はイオンビームとを同期させて試料電位分布像を取得する取得手段21とを有して構成される。
【選択図】 図1
Description
択して表示するようにすることができる。
ここで、xは試料14に設けられた配線パターン14a内の単位長さを示す。このように構成された装置の動作を説明すれば、以下の通りである。第1の探針11を接地しておき、第2の探針12を図に示す位置で配線パターン14aに接触させておく。この状態で試料14を電子ビーム/イオンビームで走査すると、試料14の表面からは2次電子が発生する。この発生した2次電子は、検出器6で検出され、アンプ7で増幅された後、続くA/D変換器8でディジタル画像データに変換される。コンピュータ21は、このディジタル画像データに所定の画像処理を施した後、画像表示部23に表示させる。
ある。該絶縁部30の上に試料14が載置されている。31は試料14の所定の位置にマーキングするデポジションユニット、32は該デポジションユニット31を制御する制御回路である。33は第2の探針12からの電圧信号を受ける電圧アンプ、34は第1の探針11からの吸収電流を受ける電流アンプである。電圧アンプ33及び電流アンプ34の出力はバス20に接続されている。これら電圧アンプ33の出力と、電流アンプ34の出力は、図示しないA/D変換器によりディジタル画像データに変換された後、バス20に与えられるようになっている。
え、電位検出アンプ、吸収電流検出アンプを搭載したため、抵抗異常箇所、断線部位両方を1台の装置で特定することが可能になる。
2 走査コイル駆動回路
3 走査コイル
4 対物レンズ駆動回路
5 対物レンズ
6 検出器
7 アンプ
8 A/D変換器
9 探針移動制御回路
10 探針移動回路
11 探針
12 探針
13a マニピュレータ
13b マニピュレータ
14 試料
15 試料ステージ
16 ステージ駆動制御回路
17 ステージ駆動回路
20 バス
21 コンピュータ
22 メモリ
Claims (15)
- 探針を試料上の所定の位置に接触させ、
前記試料上を電子ビーム又はイオンビームで走査し、
前記探針から取り出される信号を電子ビーム又はイオンビームの走査に同期させて検出することにより試料電位分布像を取得することを特徴とする試料検査方法。 - 探針を試料上の所定の位置に接触させ、
前記試料上を電子ビーム又はイオンビームで走査し、
前記試料上を電子ビーム又はイオンビームで走査した時に、該探針に流れる吸収電流、或いは該探針の電圧を、当該電子ビーム又はイオンビームの走査に同期させて試料電位分布像を取得することを特徴とする試料検査方法。 - 前記試料電位分布像から得られた情報を基に試料の不良部位を特定し、デポジション制御ユニットを駆動して、当該不良部位にマーキングを行なうことを特徴とする請求項1若しくは2記載の試料検査方法。
- 前記試料電位分布像から得られた情報を基に試料の不良部位を特定し、
特定した不良部位にイオンビームを照射して当該不良部位を薄片化し、
薄片化した部分の断面画像を電子ビーム照射により取得することを特徴とする請求項3記載の試料検査方法。 - 試料上に設けられた配線パターンの一端を接地し、
前記配線パターンの他端に、探針を介して電圧検出器を接続し、
試料上を電子ビーム又はイオンビームで走査した時に、前記電圧検出器により検出された信号を、当該電子ビーム又はイオンビーム走査に同期させて画像を取得し、
これにより取得された画像と、前記ビーム走査により得られる2次電子像又は反射電子像とを加算することを特徴とする試料検査方法。 - 前記配線パターンの一端は、抵抗を介して接地されていることを特徴とする請求項5記載の試料検査方法。
- 前記探針を介して検出される信号は、前記試料が配置される真空室内に設置された増幅器により増幅されることを特徴とする請求項1乃至5何れか記載の試料検査方法。
- 前記増幅器により増幅された信号は、当該増幅器の出力側に設置された微分回路により微分され、これにより微分された信号に基づいて画像を取得することを特徴とする請求項7記載の試料検査方法。
- 前記微分回路の出力信号の変化が一定の大きさを越える画像の領域を、カラー表示することを特徴とする請求項8記載の試料検査方法。
- 前記試料の温度は調整可能となっており、試料温度に応じた画像を取得することができることを特徴とする請求項1乃至9何れか記載の試料検査方法。
- 試料上に接触させる探針と、
試料上を電子ビーム又はイオンビームで走査する走査手段と、
前記探針を介して試料上の電位を検出する電位検出手段と、
該電位検出手段の出力と電子ビーム又はイオンビームの走査とを同期させて試料電位分布像を取得する画像取得手段と、
を有することを特徴とする試料検査装置。 - 試料上に接触させる探針と、
試料上を電子ビーム又はイオンビームで走査する走査手段と、
試料を流れる吸収電流又は試料の電圧を、前記探針を介して検出する検出手段と、
検出された信号と電子ビーム又はイオンビームの走査とを同期させて画像を取得する画像取得手段と、
を有することを特徴とする試料検査装置。 - 前記画像取得手段により取得された画像から得られた情報を基に試料の不良部位を特定し、
特定した不良部位にイオンビームを照射して当該不良部位を薄片化し、
薄片化した部分の断面画像を電子ビーム照射により取得することを特徴とする請求項12若しくは13記載の試料検査装置。 - 第1及び第2の探針を、それぞれ試料の配線上における第1の位置及び第2の位置に接触させ、
前記試料上を電子ビーム又はイオンビームで走査し、
前記探針のうちの一方の探針を介してビーム走査時における電圧を検出するとともに、前記探針のうちの他方の探針を介して当該ビーム走査時における電流を検出し、
検出された電圧及び電流に基づいて、前記試料上での前記探針間に位置する配線部分の抵抗値を取得することを特徴とする試料検査方法。 - 試料に接触される第1及び第2の探針と、
前記試料上に電子ビーム又はイオンビームを走査させる走査手段と
前記探針のうちの一方の探針を介してビーム走査時における電圧を検出する電圧検出手段と、
前記探針のうちの他方の探針を介してビーム走査時における電流を検出する電流検出手段と、
検出された電圧及び電流に基づいて抵抗値を取得する抵抗値取得手段と、
を有することを特徴とする試料検査装置。
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