JP4795308B2 - 内部構造観察用及び電子顕微鏡用試料ホルダー - Google Patents
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Description
試料ホルダー本体と、該本体に配置され前記試料に部分的に電圧を印加して前記試料に電気特性変化を生じさせる複数本の探針を有する探針台と、該探針台に対向して設けられ前記試料を前記探針に接触させるように移動可能に保持する試料保持台と、該試料保持台を前記移動させる圧電素子と、前記探針に接続され該探針を前記試料に接触させて前記試料に電圧を印加する配線と、
を有することを特徴とする。
試料ホルダー本体と、該本体に配置され前記試料を保持する試料押さえと、該試料押さえに対向して設けられ前記試料に部分的に電圧を印加して前記試料に電気特性変化を生じさせる複数本の探針を前記試料に接触させるように移動可能に保持する探針台と、該探針台を前記移動させる圧電素子と、前記探針に接続され該探針を前記試料に接触させて前記探針間の電流電圧特性を検出する配線と、を有することを特徴とする。
試料ホルダー本体と、該本体に配置され前記試料に部分的に電圧を印加して前記試料に電気特性変化を生じさせる複数本の探針を有する探針台と、該探針台に対向して設けられ前記試料を保持する試料保持台と、前記探針及び試料を互いに接触させるように移動可能に前記本体に配置され、前記探針及び試料の一方を前記移動させる圧電素子と、前記探針に接続され前記試料にそれぞれ接触させた前記複数本の探針の間に電圧を印加する配線と、
を有することを特徴とする。
明するブロック図である。本観察は、電子素子の配線内で行った。
しながら内部構造を観察すると共に、電気特性の変化と形状・元素分布変化の相関に関す
る知見を得ることが出来るため、不良発生メカニズムの直接的な指針を得ることが可能と
なり、新製品開発や不良解析対策の効率が向上する。
を生じさせ、電圧の印加による欠陥又は電気特性変化に至る透過粒子の検出状態を随時観
察する。
るので、電子素子における良品に対して種々の段階にある不良品の検査を行うことができ
る。
述したが、試料の内部構造を観察可能な装置であれば、これに限定されるものではない。
Claims (7)
- 高真空容器内で粒子源から発生する一次粒子線を試料に照射する照射手段と、前記試料を透過した前記一次粒子線の透過粒子を検出する検出器と、前記高真空容器内に設けられた前記試料に部分的に探針によって電圧を印加して前記試料に電気特性変化を生じさせる電圧印加手段と、前記探針を移動させその移動を制御する探針移動制御装置と、前記検出器により前記電圧の印加による前記電気特性変化に至る前記透過粒子を検出しその検出状態を随時観察するモニタとを備えた電子顕微鏡によって前記試料の内部構造を観察する内部構造観察用試料ホルダーであって、
試料ホルダー本体と、該本体に配置され前記試料に部分的に電圧を印加して前記試料に電気特性変化を生じさせる複数本の探針を有する探針台と、該探針台に対向して設けられ前記試料を前記探針に接触させるように移動可能に保持する試料保持台と、該試料保持台を前記移動させる圧電素子と、前記探針に接続され該探針を前記試料に接触させて前記試料に電圧を印加する配線と、
を有することを特徴とする内部構造観察用試料ホルダー。 - 高真空容器内で粒子源から発生する一次粒子線を試料に照射する照射手段と、前記試料を透過した前記一次粒子線の透過粒子を検出する検出器と、前記高真空容器内に設けられた前記試料に部分的に探針によって電圧を印加して前記試料に電気特性変化を生じさせる電圧印加手段と、前記探針を移動させその移動を制御する探針移動制御装置と、前記検出器により前記電圧の印加による前記電気特性変化に至る前記透過粒子を検出しその検出状態を随時観察するモニタとを備えた電子顕微鏡によって前記試料の内部構造を観察する内部構造観察用試料ホルダーであって、
試料ホルダー本体と、該本体に配置され前記試料を保持する試料押さえと、該試料押さえに対向して設けられ前記試料に部分的に電圧を印加して前記試料に電気特性変化を生じさせる複数本の探針を前記試料に接触させるように移動可能に保持する探針台と、該探針台を前記移動させる圧電素子と、前記探針に接続され該探針を前記試料に接触させて前記探針間の電流電圧特性を検出する配線と、
を有することを特徴とする内部構造観察用試料ホルダー。 - 高真空容器内で粒子源から発生する一次粒子線を試料に照射する照射手段と、前記試料を透過した前記一次粒子線の透過粒子を検出する検出器と、前記高真空容器内に設けられた前記試料に部分的に探針によって電圧を印加して前記試料に電気特性変化を生じさせる電圧印加手段と、前記探針を移動させその移動を制御する探針移動制御装置と、前記検出器により前記電圧の印加による前記電気特性変化に至る前記透過粒子を検出しその検出状態を随時観察するモニタとを備えた電子顕微鏡によって前記試料の内部構造を観察する電子顕微鏡用試料ホルダーであって、
試料ホルダー本体と、該本体に配置され前記試料に部分的に電圧を印加して前記試料に電気特性変化を生じさせる複数本の探針を有する探針台と、該探針台に対向して設けられ前記試料を保持する試料保持台と、前記探針及び試料を互いに接触させるように移動可能に前記本体に配置され、前記探針及び試料の一方を前記移動させる圧電素子と、前記探針に接続され前記試料にそれぞれ接触させた前記複数本の探針の間に電圧を印加する配線と、
を有することを特徴とする電子顕微鏡用試料ホルダー。 - 請求項1又は2において、前記圧電素子は、前記探針及び試料の一方を、直交した3軸方向に微動させることを特徴とする内部構造観察用試料ホルダー。
- 請求項3において、電子顕微鏡用サイドエントリー型試料ホルダーであることを特徴とする電子顕微鏡用試料ホルダー。
- 請求項1又は2において、前記探針と試料とは、互いの接触角度が垂直又は傾斜した構造を有することを特徴とする内部構造観察用試料ホルダー。
- 請求項1又は2において、前記探針台は、前記試料側の端部に斜面を有し、前記斜面に平行に前記探針を固定したことを特徴とする内部構造観察用試料ホルダー。
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