JP2002350321A - 走査型プローブ顕微鏡及び光顕別軸一体型走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明の目的は、振動の影響を受けにくい光
顕同軸走査型プローブ顕微鏡を提供することである。ま
た、本発明の他の目的は、所望の複数の検鏡法での測定
し得る光学顕微鏡と、前記光学顕微鏡と自由に組み合わ
し得る走査型プローブ顕微鏡とを有している光顕別軸一
体型走査型プローブ顕微鏡を提供することである。 【解決手段】 本発明の走査型プローブ顕微鏡は、探針
２０と、カンチレバー２１と、３次元スキャナ３０と、
変位検出機構４０と、照明機構５０と、観察機構６０
と、ＳＰＭ本体７０と、ＸＹステージを有している。照
明機構５０の照明用光源５１は、ＬＥＤにより構成され
ており、前記ＳＰＭ本体に収容され得る寸法を有してお
り、ファイバーなどの導線を必要としない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば原子オーダ
ーの分解能で試料の表面を測定するための走査型プロー
ブ顕微鏡に関し、特に試料を観察する観察部と走査型プ
ローブ顕微鏡の探針とが同軸である光顕同軸走査型プロ
ーブ顕微鏡に関している。

【０００２】また、本発明は、光学顕微鏡と、走査型プ
ローブ顕微鏡とを有している光顕別軸一体型走査型プロ
ーブ顕微鏡に関している。

【０００３】

【従来の技術】走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）は、先
端の尖ったプローブすなわち探針を、試料に対してｎｍ
（ナノメータ）のオーダーで接近させるとともに、前記
試料の表面上を走査させ、探針と試料との間に生じる原
子間力などによる探針の変位等を測定することにより、
試料の表面の形状等の特性を測定するための装置であ
る。このため、前記走査型プローブ顕微鏡は、前記探針
と、前記探針を走査するための走査部と、前記探針の変
位を測定する変位検出機構とを有している。

【０００４】前記走査型プローブ顕微鏡は、試料表面に
おける測定範囲は、最大でも数１０μｍである。従っ
て、例えば光ディスク等の大きな試料において１つのア
ドレスビットの細部の異常をチェックするような場合、
そのような微小な部分に探針の先端を目視で合せること
は非常に困難である。そこで、通常、走査型プローブ顕
微鏡では、試料を平面内、例えば直交するＸ軸とＹ軸で
定義されるＸＹ平面内で相対的に大きな変位量で変位さ
せるためのＸＹステージと、走査型プローブ顕微鏡の測
定範囲よりも大きな測定領域を有する観察機構、例えば
光学顕微鏡が備えられている。なお、前記走査型プロー
ブ顕微鏡は、前述の探針、走査部、変位検出機構、及び
観察機構を、収容するＳＰＭ本体を有している。

【０００５】前記観察機構は、自身の光軸と前記探針の
位置とが一致するように構成され、光学顕微鏡によって
試料と探針とを真上から観察し得る。上記構成により、
前記走査型プローブ顕微鏡は、目的とする測定対象箇所
に対して、前記探針を、正確に位置合せし得る。このよ
うに、観察機構の光軸と前記探針の位置とが実質的に一
致するように構成された走査型プローブ顕微鏡は、特
に、光顕同軸走査型プローブ顕微鏡と言われている。

【０００６】前記光顕同軸走査型プローブ顕微鏡は、前
記観察機構により、試料及び探針を観察するために、前
記試料及び探針を照明する照明機構を有している。

【０００７】前記照明機構は、前記観察機構の光軸と一
致する経路を通り、前記試料及び探針に照明用光を照射
する照明用光源を有している。

【０００８】前記走査型プローブ顕微鏡は、近年、前記
探針により試料の表面を測定するのみならず、複数の検
鏡法を有している光学顕微鏡と組み合わせて、複数の検
鏡法により同一測定部位を観察し得るように構成される
ものが出てきている。このような走査型プローブ顕微鏡
は、光顕別軸一体型走査型プローブ顕微鏡と呼ばれてい
る。前記光顕別軸一体型走査型プローブ顕微鏡は、例え
ば、特開平９−２０３７４０号公報により開示されてい
る。

【０００９】前記光顕別軸一体型走査型プローブ顕微鏡
は、前記探針により試料の表面を測定するプローブ顕微
鏡部と、前記プローブ顕微鏡部から所定距離離間した箇
所に前記光学顕微鏡部とを備えている。前記プローブ顕
微鏡部と前記光学顕微鏡部とは、一体的に構成されてい
る。また、前記光顕別軸一体型走査型プローブ顕微鏡
は、前記試料を前記プローブ顕微鏡部と、前記汎用光学
顕微鏡部との間移動させるためのＸＹステージをさらに
有している。

【００１０】前記光顕別軸一体型走査型プローブ顕微鏡
は、前記光学顕微鏡部で試料の表面を観察する。続い
て、ＸＹステージが、前記光学顕微鏡部で観察した観察
位置に、前記プローブ顕微鏡部の探針を配置するよう
に、前記試料を移動させる。そして、前記光学顕微鏡部
により、前記観察位置を測定する。このように、前記光
顕別軸一体型走査型プローブ顕微鏡は、前記光学顕微鏡
部と前記プローブ顕微鏡部とを切替えることにより、試
料表面上の目的とする測定対象箇所を観察し、測定する
構成を有する

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】前記光顕同軸走査型プ
ローブ顕微鏡において、前記照明機構は、前記照明用光
を照射する照明用光源に、ハロゲンランプなどを利用
し、前記照明用光源をＳＰＭ本体から離れた場所に配置
している。このため、前記照明機構は、前記照明用光源
からファイバーなどを前記ＳＰＭ本体中に挿入し、前記
照明用光を導く必要がある。

【００１２】このため、前記光顕同軸走査型プローブ顕
微鏡は、前記ＳＰＭ本体に、前記ファイバーから振動が
伝わり、試料の測定に悪影響を及ぼす欠点を有してい
る。また、ハロゲンランプなどの比較的大きい光源を使
用しているため装置の小型化が難しい。さらに、上記光
顕同軸走査型プローブ顕微鏡は、前記ファイバーを引き
回すためのスペースを前記ＳＰＭ本体の周辺に必要とす
るため、小型化が困難であった。

【００１３】前記光顕別軸一体型走査型プローブ顕微鏡
は、前記プローブ顕微鏡部と前記光学顕微鏡部とは、一
体的に構成されているため、製造コストがかかり、非常
に高価である。また、前記光顕別軸一体型走査型プロー
ブ顕微鏡は、前記プローブ顕微鏡部による測定と、前記
光学顕微鏡部が有している検鏡法以外の検鏡法との組み
合わせで、試料を測定することが困難である。そのた
め、前記光顕別軸一体型走査型プローブ顕微鏡は、別の
検鏡法の光学顕微鏡部と、前記プローブ顕微鏡部とを組
み合わせるためには、新しい別の装置を製造する必要が
ある。

【００１４】上記課題を鑑みて、本発明の目的は、振動
の影響を受けにくい走査型プローブ顕微鏡を提供するこ
とである。

【００１５】また、本発明の他の目的は、所望の複数の
検鏡法での測定し得る光学顕微鏡と、前記光学顕微鏡と
自由に組み合わし得る走査型プローブ顕微鏡とを有して
いる光顕別軸一体型走査型プローブ顕微鏡を提供するこ
とである。

【００１６】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決し目的を
達成するために、本発明の走査型プローブ顕微鏡は、下
記の如く構成されている。

【００１７】本発明の走査型プローブ顕微鏡は、前記試
料の表面を測定するように設けられた探針と、前記探針
を備えるカンチレバーと、前記カンチレバーを支持し、
前記探針に前記試料の表面を走査させる３次元スキャナ
と、前記３次元スキャナに支持され、前記カンチレバー
の変位を検出する変位検出機構と、前記探針が自身の光
軸上に配置された状態で、前記探針及び前記試料を観察
する観察機構と、前記探針が自身の光軸上に配置された
状態で、前記探針及び前記試料に対して照明用光を照射
する照明機構と、前記３次元スキャナ、観察機構、及
び、照明機構を支持するＳＰＭ本体と、を具備し、前記
照明機構は、前記ＳＰＭ本体に収容され得る寸法を有し
ており、前記ＳＰＭ本体に配置されていることを特徴と
する。

【００１８】上記構成により、第１の発明の走査型プロ
ーブ顕微鏡は、前記照明機構をＳＰＭ本体に収容し得る
ため、ＳＰＭ本体に照明用光を導くためのファイバーを
必要としない。このため、本発明の走査型プローブ顕微
鏡は、前記ファイバーにより振動を受けず、試料を安定
して測定し得る。また、本発明の走査型プローブ顕微鏡
は、前記ファイバーを有していないため、前記ＳＰＭ本
体の周辺に、ファイバー引き回しのためのスペースを必
要としない。

【００１９】前記課題を解決し目的を達成するために、
本発明の光顕別軸一体型走査型プローブ顕微鏡は、下記
の如く構成されている。

【００２０】本発明の光顕別軸一体型走査型プローブ顕
微鏡は、探針を有しており、前記探針を用いて前記試料
の表面を測定する走査型プローブ顕微鏡と、少なくとも
１つ以上の検鏡法を有する光学顕微鏡と、を具備してお
り、前記走査型プローブ顕微鏡は、自身を前記光学顕微
鏡に接続するための顕微鏡接続部を有し、前記顕微鏡接
続部は、前記光学顕微鏡に対して着脱自在に構成されて
いることを特徴とする。

【００２１】上記構成により、本発明の光顕別軸一体型
走査型プローブ顕微鏡は、前記走査型プローブ顕微鏡を
前記光学顕微鏡に対して着脱自在に構成しているため、
前記走査型プローブ顕微鏡を取り付ける前記光学顕微鏡
の種類を任意に選定し得る。このため、本発明の走査型
プローブ顕微鏡は、前記走査型プローブ顕微鏡による表
面の測定と、任意の検鏡法による観察とを自由に組み合
わせることが出来る。また、本発明の光顕別軸一体型走
査型プローブ顕微鏡は、光学顕微鏡と走査型プローブ顕
微鏡とが一体的に構成されていないため、安価に製造し
得る。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
の実施の形態について説明する。

【００２３】（第１の実施の形態）まず、第一の実施の
形態に従った走査型プローブ顕微鏡１について図１を用
いて説明する。図１は、本実施の形態の走査型プローブ
顕微鏡１を示す概略的な断面図である。

【００２４】本実施の形態の走査型プローブ顕微鏡１
は、探針２０と、カンチレバー２１と、３次元スキャナ
３０と、変位検出機構４０と、照明機構５０と、観察機
構６０と、ＳＰＭ本体７０と、ＸＹステージを有してい
る。

【００２５】前記ＸＹステージ（図示せず）には、試料
９０が載せられる。前記ＸＹステージは、試料９０を、
試料９０の表面に沿った方向に移動させる。前記ＸＹス
テージを移動させることで、探針２０に対して、試料９
０を所望の位置に移動し得る。

【００２６】探針２０は、試料９０の特性を測定し得る
ように、先端が試料９０の表面と対面する位置に配置さ
れており、試料９０に向けて延びている。探針２０は、
前記試料９０と前記先端とが、退避状態では、所定の距
離離間するように配置されている。なお、前記退避状態
とは、探針２０と、試料９０との間隔が、測定可能な間
隔まで達していない初期状態を指している。

【００２７】カンチレバー２１は、一端が探針２０を固
定しており、他端が３次元スキャナ３０に支持されてい
る。また、カンチレバー２１は、水平面に対して傾斜し
て配置されている。

【００２８】３次元スキャナ３０は、支持部３１と駆動
部３２（例えば圧電体）と探針位置決め機構３３とを有
している。支持部３１は、探針位置決め機構３３を支持
しているとともに、カンチレバー２１の変位を検出する
変位検出機構４０を支持している。

【００２９】駆動部３２は、一端が支持部３１を固定し
ており、他端がＳＰＭ本体７０に固定されている。駆動
部３２は、探針２０に試料９０の表面上を走査するとと
もに、前記試料９０の表面と直交する方向の位置を調整
し得るように、３次元的に駆動する。より詳しくは、駆
動部３２は、試料９０の表面に沿った方向ならびに前記
表面に直交する方向に駆動する。

【００３０】探針位置決め機構３３は、一端が支持部３
１に固定されており、他端にカンチレバー２１の他端を
固定している。また、探針位置決め機構３３は、駆動部
３２と同一の方向に駆動することが出来、探針２０の位
置を確定し得る。

【００３１】変位検出機構４０は、前記カンチレバーに
対して測定用光を照射する測定用光源４１（例えばレー
ザーダイオード）と、カンチレバー２１から反射した測
定用光を受光し、前記カンチレバーの変位を検出するポ
ジションディテクタである受光部４２とを有している。
変位検出機構４０は、測定用光源４１から照射された測
定用光を、カンチレバー２１に照射するために、ミラー
４４と、ハーフミラー４５とを有している。上記構成に
より、測定用光源４１から出射された測定用光は、前記
ミラー４４により反射され、ハーフミラー４５を透過し
て、カンチレバー２１の試料９０の反対側の面に、照射
される。なお、測定用光源４１は、自身の光軸と直交す
る方向に位置調整し得るように、測定用光源位置調整機
構４３を有している。このため、測定用光源４１は、カ
ンチレバー２１の面に照射された測定用光のスポット
を、所望の位置に調整し得る。

【００３２】受光部４２は、カンチレバー２１の面で反
射した測定用光を受光し、カンチレバー２１の変位を検
出する。なお、自身の光軸と直交する方向に位置調整し
得るように、受光部位置調整機構４６を有している。こ
のため、前記受光部４２は、測定用光のスポットを自身
の基準位置（自身の略中央部）に照射されるように、位
置を調整し得る。

【００３３】上述の構成により、変位検出機構４０は、
測定用光源４１と、受光部４２とによりカンチレバー２
１の変位を検出する光テコセンサを構成している。

【００３４】照明機構５０は、ＳＰＭ本体７０に固定さ
れている。照明機構５０は、試料９０及びカンチレバー
２１を照明する照明用光を照射する照明用光源５１を有
している。照明機構５０は、試料９０及びカンチレバー
２１に照明用光を導くために、レンズ５２，ハーフミラ
ー５３，対物レンズ５４，ミラー５５を有している。照
明用光源５１から出射された照明用光は、レンズ５２に
より平行光にされ、ハーフミラー５３に反射され、対物
レンズを透過し、ミラー５５により反射される。ミラー
５５により反射された照明用光は、ハーフミラー４５に
より反射され、試料９０及びカンチレバー２１に照射さ
れる。なお、照明用光源５１は、ＬＥＤにより構成され
ており、ＳＰＭ本体に収容され得る寸法を有している。

【００３５】観察機構６０は、撮像部６１と、表示部６
２とを有している。撮像部６１は、一端がＳＰＭ本体７
０に固定されている。撮像部６１は、撮像素子にＣＣＤ
が用いられている。撮像部６１は、自身の光軸と、探針
２０の位置とが実質的に略一致するように配置され、探
針２０及び試料９０を観察する。なお、上記観察法のこ
とを、自身の光軸と、探針２０の位置とが略一致してい
るため同軸観察という。本実施の形態においては、撮像
部６１の光軸は、探針２０の先端を通るように配置され
ている。観察機構６０は、前記同軸観察をするために、
結像レンズ６５を有している。前記撮像部６１は、試料
９０及び／又はカンチレバー２１で反射した照明用光を
受光して、試料９０及び／又はカンチレバー２１を撮像
する。撮像部６１に入射する照明用光は、具体的には、
以下のように進む。試料９０及び／又はカンチレバー２
１を反射した前記照明用光は、ハーフミラー４５により
反射され、続いてミラー５５により反射され、対物レン
ズ５４を透過し、ハーフミラー５３を透過する。ハーフ
ミラーを透過した前記照明用光は、結像レンズ６５を透
過して、撮像部６１で結像する。表示部６２は、撮像部
６１に接続されており、撮像部６１で撮像した像を表示
する。また、観察機構６０は、試料９０とカンチレバー
２１との観察を選択的に行えるように、焦点調節機構６
３を有している。前記焦点調節機構６３は、対物レンズ
５４をこの対物レンズ５４の光軸に沿って（紙面におい
て上下方向に）移動させることにより焦点を調節する。
具体的には、焦点調節機構６３の駆動により、観察機構
６０は、カンチレバー２１に焦点を合わしたり、試料９
０に焦点を合わしたり出来る。

【００３６】以下に本実施の形態に従った走査型プロー
ブ顕微鏡１の動作について説明する。

【００３７】走査型プローブ顕微鏡１は、試料９０の表
面の測定をする前に、変位検出機構４０の初期設定をす
る。前記初期設定は、まず、観察機構６０をカンチレバ
ー２１に焦点を合わせ、観察しながら、測定用光源位置
調整機構４３若しくは探針位置決め機構３３により、カ
ンチレバー２１上の測定用光のスポットの位置を所定の
位置に調整する。そして、前記初期設定では、受光部位
置調整機構４６により、と受光部４２上のスポット位置
を調整する。

【００３８】前記初期設定が終了の後、続いて、測定部
位確定工程を行う。測定部位確定工程は、観察機構６０
を試料９０に焦点を合わせ、前記ＸＹステージを用い
て、試料９０の所望の測定部位を探針２０の先端の位置
に合せる。なお、上記構成に示すように、観察機構６０
の光軸は、探針の先端を通るため、表示部６２の略中心
に探針２０が位置する。このため、探針２０の位置と、
試料９０の測定部位との位置合わせを容易に行うことが
出来る。なお、このとき、探針２０は、試料９０を測定
し得る位置まで、試料９０の表面に近接されていない退
避状態である。

【００３９】前記測定部位確定工程が終了後、探針２０
は、退避状態から、試料９０の表面に対して測定可能の
距離まで近接されるアプローチ工程を行う。探針２０
と、試料９０とは、測定可能な状態であるときをアプロ
ーチ状態とする。なお、探針２０を前記アプローチ状態
にすることをアプローチするという。また、探針２０
を、前記アプローチ状態から退避状態にすることを退避
行動をするという。

【００４０】このアプローチ工程が終了すると、試料９
０の表面の測定である測定工程を行う。なお、本実施の
形態において、前記照明機構をＳＰＭ本体に収容してい
るため、ＳＰＭ本体に照明用光を導くためのファイバー
がない。このため、走査型プローブ顕微鏡１は、前記フ
ァイバーにより振動を受けず、試料を安定して測定し得
る。また、光源に小型のもの、例えばＬＥＤを使用して
いるため、装置の小型化も実現している。また、本発明
の走査型プローブ顕微鏡は、前記ファイバーを有してい
ないため、前記ＳＰＭ本体の周辺に、ファイバー引き回
しのためのスペースを必要としない。

【００４１】なお、本実施の形態において、照明機構
は、同軸観察の照明用光として明視野照明を用いている
が、暗視野照明にしたり、撮像部６１の光軸に対して斜
めに照射するような斜照明にしたりすることも可能であ
り、所望の観察がし得るならば照明方法において限定さ
れることはない。

【００４２】また、本実施の形態において、撮像部６１
の撮像素子は、ＣＣＤが用いられているが、ＣＭＯＳセ
ンサなどの他の撮像素子を使用することも可能であり、
所望の所望の観察がし得るならば照明方法において限定
されることはない。

【００４３】また、本実施の形態において、変位検出機
構４０は、光テコセンサに構成されているが、光干渉方
式等を用いることも可能であり、カンチレバー２１の変
位が検出し得るならば構成において限定されることはな
い。

【００４４】なお、本実施の形態において、走査型プロ
ーブ顕微鏡１は、ＡＦＭ（atomic force microscope）
により測定を行うように構成されているが、ＭＦＭ(mag
neticforce microscope),STM(scanning tunneling micr
oscope)等により構成されることも可能であり、前記照
明機構がＳＰＭ本体７０中に収容し得るように構成され
るならば限定されることはない。

【００４５】（第２の実施の形態）以下に、第２の実施
の形態に従った走査型プローブ顕微鏡１１について説明
する。なお、本実施の形態において、前述した本発明の
第１の実施の形態に従った走査型プローブ顕微鏡１と同
じ構成部材は、この走査型プローブ顕微鏡１の同じ構成
部材を指摘した参照符号を使用して指摘し、詳細な説明
は省略する。

【００４６】本実施の形態に従った走査型プローブ顕微
鏡１１は、照明機構５０’の構成が異なっている。照明
機構５０’は、図示しない照明用光源駆動回路を有して
いる。前記照明用光源駆動回路は、前記照明用光源の光
量を調節する光量制御部である。このため、本実施の形
態に従った走査型プローブ顕微鏡１１は、前述の試料９
０の表面の測定時及び探針２０の前記アプローチ工程時
に、自動的に照明光の光量を減じる／又は消灯させ得
る。

【００４７】上記構成により、本実施の形態に従った走
査型プローブ顕微鏡１１は、試料９０の測定中及びアプ
ローチ中に、前記照明用光が受光部４２に入射すること
を防ぎ、より確実に前記測定並びにアプローチが行え
る。

【００４８】なお、前記照明用光駆動回路は、手動によ
り光量を調整し得るように構成することも可能であり、
前述の試料９０の表面の測定時及び探針２０の前記アプ
ローチ工程時に、手動により、前記観察用光を所望の光
量に調節又は消灯し得るように構成することも可能であ
る。

【００４９】（第３の実施の形態）以下に、第３の実施
の形態に従った走査型プローブ顕微鏡１２を図２を参照
して説明する。なお、本実施の形態において、前述した
本発明の第１の実施の形態に従った走査型プローブ顕微
鏡１と同じ構成部材は、この走査型プローブ顕微鏡１の
同じ構成部材を指摘した参照符号を使用して指摘し、詳
細な説明は省略する。

【００５０】図２は、本実施の形態の走査型プローブ顕
微鏡１２を示す概略的な断面図である。本実施の形態の
走査型プローブ顕微鏡１２は、第１の実施の形態の走査
型プローブ顕微鏡１の構成部材に加えて、さらに、変位
検出機構４０は、光学フィルター４７を有しており、照
明機構５０は、光フィルター５６を有している。

【００５１】光学フィルター４７は、受光部４２の前に
配置されている。光学フィルター４７は、測定用光源４
１の出射する測定用光の波長域の光のみを通すように構
成されている。具体的には、例えば、測定用光の発光波
長が６８０ｎｍの場合、光学フィルター４７は、６６０
ｎｍ以上のみの発光波長を透過する性質を有すように構
成する。

【００５２】光学フィルター５６は、照明用光源５１の
出射口の前に配置されている。光学フィルター５６は、
測定用光源４１の出射する測定用光の波長域以外の光の
みを通すように構成されている。具体的には、例えば、
測定用光の発光波長が６８０ｎｍの場合、光学フィルタ
ー５６は、６６０ｎｍ以下のみの発光波長を透過する性
質を有すように構成する。

【００５３】上記構成により、本実施の形態の走査型プ
ローブ顕微鏡１２は、光学フィルター４７により、カン
チレバー２１で反射した照明用光の迷光などの外乱光が
受光部４２に入射することが防がれる。また、本実施の
形態の走査型プローブ顕微鏡１２は、光学フィルター５
６を有しているため、さらに受光部４２に照明用光の迷
光などの外乱光が入射することが防がれる。従って、本
実施の形態の走査型プローブ顕微鏡１２は、安定してカ
ンチレバー２１の変位検出を行うことが出来る。

【００５４】なお、本実施の形態の走査型プローブ顕微
鏡１２は、光学フィルター４７，５６を有しているが、
少なくともどちらか一方を有しているだけでも、カンチ
レバーの変位検出の安定性を向上させ得るが、好ましく
は両方を有する。

【００５５】また、本実施の形態の走査型プローブ顕微
鏡１２は、測定用光の発光波長が６８０ｎｍの場合にお
いて説明しているが、他の発光波長の場合においても受
光部４２に外乱光が入射することを防ぐように光学フィ
ルター４７，５６を構成し得れば他の発光波長に対応さ
せ得ることはいうまでもない。

【００５６】また、本実施の形態の走査型プローブ顕微
鏡１２は、照明用光の発光波長のうち、測定光の発光波
長域を取り除くために光学フィルター５６を有している
が、照明用光源５１自体の特性を変更して、光学フィル
ター５６を省略することも可能である。具体的には、測
定用光の発光波長が６８０ｎｍの場合、照明用光源５１
は、６６０ｎｍ以上の発光波長を含まない発光特性を有
すように構成される。例えば、上記特性を有している照
明用光源５１は、緑色ＬＥＤである。

【００５７】（第４の実施の形態）以下に、第４の実施
の形態に従った走査型プローブ顕微鏡１３を図３及び図
４（ａ）（ｂ）を参照して説明する。なお、本実施の形
態において、前述した本発明の第１の実施の形態に従っ
た走査型プローブ顕微鏡１と同じ構成部材は、この走査
型プローブ顕微鏡１の同じ構成部材を指摘した参照符号
を使用して指摘し、詳細な説明は省略する。

【００５８】図３は、本実施の形態の走査型プローブ顕
微鏡１３を示す概略的な断面図である。図４（ａ）
（ｂ）は、表示部を示す概略図である。

【００５９】本実施の形態の走査型プローブ顕微鏡１３
は、第１の実施の形態の走査型プローブ顕微鏡１の構成
部材に加えて、さらに、クロスライン発生器６６を有し
ている。

【００６０】クロスライン発生器６６は、表示部６２
に、図４（ａ）（ｂ）に示すような２つの破線が交わっ
ているクロスラインを表示する。

【００６１】以下に、本実施の形態に従った走査型プロ
ーブ顕微鏡１３の動作について説明する。本実施の形態
の走査型プローブ顕微鏡１３は、第１の実施の形態に示
すように前記初期設定を行う。このとき、観察機構６０
の焦点は、焦点調整機構６３により、退避状態のカンチ
レバー２１に合わされている。続いて行う前記測定部確
定工程の前に、探針２０の位置を記憶する位置記憶工程
を行う。

【００６２】前記位置記憶工程は、図４（ａ）中に示す
ように、前記初期設定により確定した探針２０の位置に
前記クロスラインの中心（前記２つの破線の交点）を合
せる。なお、図４中において、測定用光のスポットの位
置を参照符号８０、クロスラインを参照符号５７ａで指
摘している。このことにより、表示部６２には、明示的
に探針の位置が示される（即ち、探針の位置が記憶され
る）。このように、クロスライン発生器６６は、前記探
針の位置を記憶できるため、位置記憶部であるといえ
る。このとき観察機構６０の焦点は、カンチレバー２１
に合わされている。なお、クロスラインの中心は、探針
２０の先端の位置にすることが好ましい続いて、前記測
定部位確定工程が行われる。このとき、観察機構６０の
焦点は、カンチレバー２１から試料９０の表面に変更さ
れている。なお、図４（ｂ）中において、所望の測定部
位を円８１で示している。このため、表示部６２には、
図４（ｂ）中に示すように、カンチレバー２１は映ら
ず、試料９０の表面のみが表示される。しかし、前述の
ようにして探針２０の位置がクロスラインにより示され
ているため、探針２０の位置と、試料９０の所望の測定
部位との位置合わせを容易に行うことが出来る。

【００６３】なお、本実施の形態において、探針２０の
位置を記憶するために、表示部６２にクロスラインを印
として表示するように構成されているが、探針の先端を
示すように、点などの印を表示することも可能であり、
探針２０の位置を記憶し得れば、表示する印の形状にお
いて限定されることはない。

【００６４】（第５の実施の形態）以下に、第５の実施
の形態に従った光顕別軸一体型走査型プローブ顕微鏡２
００を図５及び図６を参照して説明する。なお、本実施
の形態において、前述した本発明の第１の実施の形態に
従った走査型プローブ顕微鏡１と同じ構成部材は、この
走査型プローブ顕微鏡１の同じ構成部材を指摘した参照
符号を使用して指摘し、詳細な説明は省略する。

【００６５】図５は、光顕別軸一体型走査型プローブ顕
微鏡２００を示す概略的な斜視図である。図６は、光顕
別軸一体型走査型プローブ顕微鏡２００を示す概略的な
斜視図である。

【００６６】光顕別軸一体型走査型プローブ顕微鏡２０
０は、光学顕微鏡１００と、走査型プローブ顕微鏡１４
とを有している。

【００６７】図５中に示されている光学顕微鏡１００
は、公知の光学顕微鏡である。光学顕微鏡１００は、対
物レボルバー１１０，３眼鏡筒１２０，鏡基１３０、Ｘ
Ｙステージ１５０，及びＺステージ１６０を有してい
る。

【００６８】対物レボルバー１１０は、複数の検鏡法で
試料９０の観察が行い得るように複数の対物レンズを有
しており、前記対物レンズを選択的に使用し得る。

【００６９】３眼鏡筒１２０は、ＣＣＤなどの撮像機構
１２１が取り付けられている。前記撮像機構１２１は、
表示装置１２２に接続され、光学顕微鏡１００により観
察された観察部位を表示する。

【００７０】鏡基１３０は、前記対物レボルバー１１０
を接続する対物レボルバー接続部１１１、３眼鏡筒１２
０を接続する３眼鏡筒接続部１２４、及びＤＩＣプリズ
ム（図示せず）を接続するプリズム接続部１４０を有し
ている。

【００７１】３眼鏡筒接続部１２４は、丸アリを有して
いる。３眼鏡筒接続部１２４は、この丸アリにより、３
眼鏡筒１２０と接続されている。

【００７２】ＸＹステージ１５０は、Ｚステージ１６０
により支持されており、光学顕微鏡１００の対物レンズ
と対面する位置に配置されている。ＸＹステージ１５０
には、試料９０が配置される。ＸＹステージ１５０は、
試料９０を試料９０の表面に沿った方向に移動し得る。

【００７３】Ｚステージ１６０は、ＸＹステージ１５０
の試料９０が配置される面と反対側（紙面において下）
に配置されている。Ｚステージ１６０は、ＸＹステージ
１５０を介して試料９０を、ＸＹステージ１５０の試料
９０が配置される面に対して直交する方向（紙面におい
て上下方向）に移動させるように駆動する。このＺステ
ージ１６０の駆動により、ＳＰＭ本体７０は、ＸＹステ
ージ１５０との間隔を調整する。前記間隔の調整によ
り、探針２０は、試料９０にアプローチ及び退避行動を
行い得る。

【００７４】走査型プローブ顕微鏡１４は、第１の実施
の形態で説明した探針２０と、カンチレバー２１と、３
次元スキャナ３０と、変位検出機構４０と、照明機構５
０と、観察機構６０と、ＳＰＭ本体７０とを有してい
る。さらに、走査型プローブ顕微鏡１４は、Ｚステージ
７２と、顕微鏡接続部７３とを有している。

【００７５】Ｚステージ７２は、一側面が走査型プロー
ブ顕微鏡１４のＳＰＭ本体７０を固定しており、他側面
が顕微鏡接続部７３に固定されている。Ｚステージ７２
は、Ｚステージ１６０と同様に、上下方向に駆動する。
この駆動は、Ｚステージ１６０の駆動と同様に、探針２
０を、試料９０にアプローチ及び退避行動を行わせ得
る。

【００７６】顕微鏡接続部７３は、一端がＺステージ７
２を固定しており、他端が取り付けアリフレーム７４を
有している。取り付けアリフレーム７４は、３眼鏡筒接
続部１２４と接続可能な丸アリを有している。取り付け
アリフレーム７４は、３眼鏡筒接続部１２４と、３眼鏡
筒１２０との間に配置され、鏡基１３０に取り付けられ
る。この取り付けにより、探針２０は、光学顕微鏡１０
０の測定位置に対して所定の間隔を有するように配置さ
れる。この顕微鏡接続部７３により、図６中に示すよう
に、光学顕微鏡１００と、走査型プローブ顕微鏡１４と
は、接続される。前記接続は、取り外し可能になされて
いる。

【００７７】以下に、本実施の形態に従った光顕別軸一
体型走査型プローブ顕微鏡２００の動作について説明す
る。

【００７８】試料９０は、光学顕微鏡１００により、所
望の検鏡法で観察される。本実施の形態の光顕別軸一体
型走査型プローブ顕微鏡２００は、この光学顕微鏡１０
０による観察のち、ＸＹステージ１５０を駆動させ、走
査型プローブ顕微鏡１４の探針２０の位置に、光学顕微
鏡１００での観察部位を移動させる。この際、走査型プ
ローブ顕微鏡１４は、観察機構６０により試料９０の表
面を観察し、確実に、探針２０の位置と、光学顕微鏡１
００での観察部位とを位置合わせし得る。

【００７９】上記構成により、本実施の形態の光顕別軸
一体型走査型プローブ顕微鏡２００は、走査型プローブ
顕微鏡１４を光学顕微鏡１００に対して着脱自在に構成
しているため、走査型プローブ顕微鏡１４を取り付ける
光学顕微鏡の種類を任意に選定し得る。このため、光顕
別軸一体型走査型プローブ顕微鏡２００は、走査型プロ
ーブ顕微鏡１４による試料９０の表面の測定と、接続さ
れた光学顕微鏡の種類に従った任意の検鏡法による観察
とを自由に組み合わせることが出来る。また、本実施の
形態の光顕別軸一体型走査型プローブ顕微鏡２００は、
光学顕微鏡１００と走査型プローブ顕微鏡１４とが一体
的に構成されていないため、安価に製造し得る。

【００８０】なお、本実施の形態の光顕別軸一体型走査
型プローブ顕微鏡２００は、走査型プローブ顕微鏡１４
を光学顕微鏡１００に接続するために、光学顕微鏡１０
０自身の部品を取り付ける既存の取り付け部である３眼
鏡筒取り付け部１２４を利用しているため、光学顕微鏡
１００に特別な加工をすることなく、所望の種類の光学
顕微鏡と組み合わせて使用し得る。

【００８１】また、本実施の形態の光顕別軸一体型走査
型プローブ顕微鏡２００は、走査型プローブ顕微鏡１４
を光学顕微鏡１００に接続するために、上記のように既
存の取り付け部を利用しているが、光学顕微鏡１００
に、走査型プローブ顕微鏡を取り付けのための専用の取
り付け部を設けて、走査型プローブ顕微鏡を取り付ける
ことが可能であることは言うまでもない。

【００８２】なお、本実施の形態の走査型プローブ顕微
鏡１４において、照明機構５０の照明用光源は、ＳＰＭ
本体に収容し得る小型のもの、例えばＬＥＤを使用する
ことが好ましい。前記照明用光源にＬＥＤなどの小型の
光源を利用した場合、走査型プローブ顕微鏡１４は、小
型化が可能であるとともに、測定中に振動が受けにくく
構成され得る。この結果、上記構成の走査型プローブ顕
微鏡１４を有している光顕別軸一体型走査型プローブ顕
微鏡２００は、小型化が可能であるとともに、測定中に
振動が受けにくく構成され得る。

【００８３】また、本実施の形態に従った光顕別軸一体
型走査型プローブ顕微鏡２００は、走査型プローブ顕微
鏡１４のＺステージ７２を、電動で駆動し、探針２０の
試料９０へのアプローチ並びに退避行動を行い得る。

【００８４】なお、本実施の形態に従った光顕別軸一体
型走査型プローブ顕微鏡２００は、ＸＹステージ１５０
を位置座標指示可能な電動ステージで構成することによ
り、光学顕微鏡１００の光軸と、光顕同軸の走査型プロ
ーブ顕微鏡１４の光軸（探針２０の位置）との光軸間の
相対座標を記憶させて、探針２０の位置と、光学顕微鏡
１００での観察部位とをより精度良く位置決めし得る。

【００８５】また、本実施の形態に従った光顕別軸一体
型走査型プローブ顕微鏡２００は、図９に示すような、
光軸間移動機構１５１を有することも可能である。光軸
間移動機構１５１は、基台１５２と、試料台１５３とを
有している。基台１５２は、ＸＹステージ１５０上に配
置されており、試料台１５３を所定の方向でかつ所定距
離移動可能に支持している。試料台１５３は、試料９０
が載せられる。光顕同軸の走査型プローブ顕微鏡の光軸
（探針２０の位置）とが、所定の間隔で配置されている
場合、光軸間移動機構１５１により、探針２０の位置
と、光学顕微鏡１００での観察部位とは、容易に位置決
めし得る。また、光軸間移動機構１５１は、カンチレバ
ーの交換により、前記光軸間のずれを補正する微調整機
構を有することで、さらに再現よく前記位置決めをし得
る。

【００８６】また、本実施の形態の光顕別軸一体型走査
型プローブ顕微鏡２００は、落射、倒立、透過、明視
野、暗視野、微分干渉、位相差、共焦点、等の検鏡法を
有している光学顕微鏡１００と、走査型プローブ顕微鏡
１４とを組み合わせ得ることはもちろんのこと、測定顕
微鏡、レーザー走査顕微鏡、紫外光観察顕微鏡などにも
走査型プローブ顕微鏡１４を組み合わせ得る。

【００８７】また、本実施の形態の光顕別軸一体型走査
型プローブ顕微鏡２００において、走査型プローブ顕微
鏡１４は、光学顕微鏡１００に取り付けた状態で出荷す
ることも可能であるし、出荷後に取り付けて利用するこ
とも可能である。また、走査型プローブ顕微鏡１４が取
り外された光学顕微鏡１００が、通常通り使用し得るこ
とはいうまでもない。

【００８８】なお、本実施の形態の光顕別軸一体型走査
型プローブ顕微鏡２００において、において、走査型プ
ローブ顕微鏡１４は、ＡＦＭ（atomic force microscop
e）により測定を行うように構成されているが、ＭＦＭ
(magnetic force microscope),STM(scanning tunneling
microscope)等により構成されることも可能であり、光
軸顕微鏡１００と着脱自在に接続し得るように構成され
るならば限定されることはない。

【００８９】以下に本実施の形態の光顕別軸一体型走査
型プローブ顕微鏡２００の変形例を示す。

【００９０】（変形例１）本実施の形態の光顕別軸一体
型走査型プローブ顕微鏡２００において、走査型プロー
ブ顕微鏡１４の顕微鏡接続部７３は、３眼鏡筒接続部１
２４に接続し得るように構成したが、本変形例の走査型
プローブ顕微鏡１５は、図７（ａ）中に示すように、顕
微鏡接続部７３ａを対物レボルバー接続部１１１に接続
し得るように構成している。具体的には、顕微鏡接続部
７３ａの取り付けアリフレーム７４ａは、対物レボルバ
ー接続部１１１に接続し得る形状を有している。

【００９１】（変形例２）本実施の形態の光顕別軸一体
型走査型プローブ顕微鏡２００において、本変形例の走
査型プローブ顕微鏡１６は、図７（ｂ）中に示すよう
に、顕微鏡接続部７３ｂをプリズム接続部１４０に接続
し得るように構成している。具体的には、顕微鏡接続部
７３ｂの取り付け穴フレーム７４ｂは、ＤＩＣプリズム
が取り付けられ得るプリズム接続部１４０に接続し得る
形状を有している。

【００９２】なお、上記変形例１及び２において、光顕
別軸一体型走査型プローブ顕微鏡２００は、光学顕微鏡
１００自身の部品を取り付ける対物レボルバー接続部１
１１並びにプリズム接続部１４０を、走査型プローブ顕
微鏡１５，１６の接続のために利用している。しかし、
光顕別軸一体型走査型プローブ顕微鏡２００は、プリズ
ム接続部１４０にＤＩＣプリズムを接続し、対物レボル
バー接続部１１１に走査型プローブ顕微鏡１５を接続す
るなどのように、光学顕微鏡１００の本来の機能を損な
うことなく利用し得る。

【００９３】また、本実施の形態及び変形例１，２の走
査型プローブ顕微鏡１４，１５，１６は、上記３眼鏡筒
接続部１２４，対物レボルバー接続部１１１．プリズム
接続部１４０を利用して接続されているが、上記３つの
接続部に限らず、光学顕微鏡１００の各機構、各部材の
取り付け機構を利用して、光学顕微鏡１００に接続する
ことも可能である。

【００９４】（変形例３）また、本実施の形態の光顕別
軸一体型走査型プローブ顕微鏡２００において、図５及
び図６中に示されている光学顕微鏡１００は、鏡基１３
０に対物レボルバー１１０が支持される構成となってい
るが、レーザー顕微鏡や測定顕微鏡のように、図７
（ｃ）中に示されるような対物レボルバー１１０を上下
し得るＺステージ１３１が設けられている光学顕微鏡も
存在する。このとき、対物レボルバー１１０並びに３眼
鏡筒１２０は、Ｚステージ１３１により移動される移動
本体１３２に接続されている。光学顕微鏡１００が前述
のような構成の場合、走査型プローブ顕微鏡１７は、移
動本体１３２に接続される。

【００９５】上記構成により、本実施の形態の光顕別軸
一体型走査型プローブ顕微鏡２００において、走査型プ
ローブ顕微鏡１７は、探針２０の試料９０へのアプロー
チ並びに退避行動にＺステージ１３１を用いることが出
来、Ｚステージ７２を省略することが可能である。

【００９６】なお、図５及び図６中に示されている光学
顕微鏡１００は、Ｚステージ１６０を用いて試料９０へ
焦点を合せるが、前記構成の光学顕微鏡１００は、試料
９０への焦点を合せるために、Ｚステージ１６０ではな
く、Ｚステージ１３１を用い得る。

【００９７】（変形例４）本実施の形態の光顕別軸一体
型走査型プローブ顕微鏡２００において、本変形例の走
査型プローブ顕微鏡１８は、図８（ａ）及び（ｂ）中に
示すように、Ｚステージ１６０を介して光学顕微鏡１０
０に接続されている。走査型プローブ顕微鏡１８の顕微
鏡接続部７３ｃは、ベースプレート１５４と、ＸＹステ
ージ１５５と、支持フレーム１５６とを有している。

【００９８】ベースプレート１５４は、光学顕微鏡１０
０のＺステージ１６０に固定されている。また、ベース
プレート１５４には、ＸＹステージ１５５と支持フレー
ム１５６が固定されている。支持フレーム１５６は、３
つの柱を有しており、前記３つの柱によりＺステージ７
２を介して走査型プローブ顕微鏡１８を支持している。
ベースプレート１５４において、前記３つの柱に囲まれ
た領域に、ＸＹステージ１５５が配置されている。支持
フレーム１５６に支持された走査型プローブ顕微鏡１８
は、ＸＹステージ１５５と対面する位置に位置してお
り、退避状態において、ＸＹステージ１５５と所定の間
隔（高さ方向の間隔）があけられている。

【００９９】ＸＹステージ１５５は、本実施の形態で説
明したＸＹステージ１５０と同様に、動作し、観察機構
６０を用いて、探針２０の位置と、光学顕微鏡１００で
の観察部位とを位置合わせし得る。

【０１００】これまで、いくつかの実施の形態について
図面を参照しながら具体的に説明したが、本発明は、上
述した実施の形態に限定されるものではなく、その要旨
を逸脱しない範囲で行なわれるすべての実施を含む。

【０１０１】

【発明の効果】本発明は、振動の影響を受けにくい光顕
同軸走査型プローブ顕微鏡を提供する。

【０１０２】また、本発明は、所望の複数の検鏡法での
測定し得る光学顕微鏡と、前記光学顕微鏡と自由に組み
合わし得る走査型プローブ顕微鏡とを有している光顕別
軸一体型走査型プローブ顕微鏡を提供することである。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、第１の実施の形態の走査型プローブ顕
微鏡を示す概略的な断面図である。

【図２】図１は、第３の実施の形態の走査型プローブ顕
微鏡を示す概略的な断面図である。

【図３】図３は、第４の実施の形態の走査型プローブ顕
微鏡を示す概略的な断面図である。

【図４】図４（ａ）は、表示部を示す概略図である。図
４（ｂ）は、表示部を示す概略図である。

【図５】図５は、第４の実施の形態に従った光顕別軸一
体型走査型プローブ顕微鏡を示す概略的な分解斜視図で
ある。

【図６】図６は、図５の光顕別軸一体型走査型プローブ
顕微鏡を示す概略的な斜視図である。

【図７】図７（ａ）は、顕微鏡接続部の変形例を示す斜
視図である。図７（ｂ）は、顕微鏡接続部の変形例を示
す斜視図である。図７（ｃ）は、第４の実施の形態の光
顕別軸一体型走査型プローブ顕微鏡の変形例を示す斜視
図である。

【図８】図８（ａ）は、第４の実施の形態の光顕別軸一
体型走査型プローブ顕微鏡の変形例を示す分解斜視図で
ある。図８（ｂ）は、第４の実施の形態の光顕別軸一体
型走査型プローブ顕微鏡の変形例を示す斜視図である。

【図９】図９は、光軸間移動機構を示す斜視図である。

【符号の説明】

１、１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７，１８
走査型プローブ顕微鏡 ２０ 探針 ２１ カンチレバー ３０ ３次元スキャナ ４０ 変位検出機構 ４１ 測定用光源 ４２ 受光部 ４７、５６ 光学フィルター ５０ 照明機構 ５１ 照明用光源 ６０ 観察機構 ７０ ＳＰＭ本体 ７２ Ｚステージ ７３、７３ａ、７３ｂ、７３ｃ 顕微鏡接続部 ７４、７４ａ 取り付けアリフレーム ７４ｂ 取り付け穴フレーム ９０ 試料 １００ 光学顕微鏡 １１０ 対物レボルバー １２０ ３眼鏡筒 １３０ 鏡基 １５０ ＸＹステージ １６０ Ｚステージ ２００ 光顕別軸一体型走査型プローブ顕微鏡

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） // Ｇ１２Ｂ 21/20 Ｇ１２Ｂ 1/00 ６０１Ｇ Ｆターム(参考） 2F065 AA06 AA09 CC00 DD14 EE00 FF09 GG06 GG07 GG12 HH12 JJ01 JJ08 JJ16 LL00 LL04 LL12 LL22 PP04 PP12 QQ23 SS02 SS13 TT02 2F069 AA60 DD09 FF01 GG04 GG62 HH05 JJ08 LL03 MM23 MM32 2H052 AA07 AC04 AC28 AC33 AF02 AF11 AF23

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 前記試料の表面を測定するように設けら
   れた探針と、 前記探針を備えるカンチレバーと、 前記カンチレバーを支持し、前記探針に前記試料の表面
   を走査させる３次元スキャナと、 前記３次元スキャナに支持され、前記カンチレバーの変
   位を検出する変位検出機構と、 前記探針が自身の光軸上に配置された状態で、前記探針
   及び前記試料を観察する観察機構と、 前記探針が自身の光軸上に配置された状態で、前記探針
   及び前記試料に対して照明用光を照射する照明機構と、 前記３次元スキャナ、観察機構、及び、照明機構を支持
   するＳＰＭ本体と、を具備し、 前記照明機構は、前記ＳＰＭ本体に収容され得る寸法を
   有しており、前記ＳＰＭ本体に配置されていることを特
   徴とする走査型プローブ顕微鏡。
2. 【請求項２】 前記照明機構は、照明用光源を有してお
   り、前記照明用光源は、ＬＥＤであることを特徴とする
   請求項１に記載の走査型プローブ顕微鏡。
3. 【請求項３】 前記変位検出機構は、前記カンチレバー
   に対して測定用光を照射する測定用光源と、前記カンチ
   レバーから反射した測定用光を受光し、前記カンチレバ
   ーの変位を検出する受光部とを有していることを特徴と
   する請求項１又は２に記載の走査型プローブ顕微鏡。
4. 【請求項４】 前記照明機構は、照明用光源の光量を制
   御する光量制御部を有していることを特徴とする請求項
   ３に記載の走査型プローブ顕微鏡。
5. 【請求項５】 前記変位検出機構は、測定用光源の発光
   波長域の光のみを透過する光学フィルターを有している
   ことを特徴とする請求項３又は４に記載の走査型プロー
   ブ顕微鏡。
6. 【請求項６】 前記照明機構は、照明用光源の出射する
   光のうち測定用光源の発光波長域以外の光のみを透過す
   る光学フィルターを有していることを特徴とする請求項
   ３乃至５のいずれか１項に記載の走査型プローブ顕微
   鏡。
7. 【請求項７】 前記照明機構の照明用光源は、前記測定
   用光源の発光波長域以外の光のみを出射することを特徴
   とする請求項３乃至５のいずれか１項に記載の走査型プ
   ローブ顕微鏡。
8. 【請求項８】 前記観察機構は、前記カンチレバーと前
   記試料とに焦点を合わす焦点調整部と、前記焦点調整部
   により焦点が合っている前記カンチレバー又は前記試料
   を表示する為の表示部と、前記カンチレバーに焦点を合
   わした際に、前記探針の位置を記憶する位置記憶部とを
   有しており、 前記表示部は、前記焦点調整部により前記試料に焦点が
   ある際に、前記試料の表面とともに前記位置記憶部によ
   り記録された前記探針の位置を表示することを特徴とす
   る請求項１乃至７のいずれか１項に記載の走査型プロー
   ブ顕微鏡。
9. 【請求項９】 探針を有しており、前記探針を用いて前
   記試料の表面を測定する走査型プローブ顕微鏡と、 少なくとも１つ以上の検鏡法を有する光学顕微鏡と、 を具備しており、 前記走査型プローブ顕微鏡は、自身を前記光学顕微鏡に
   接続するための顕微鏡接続部を有し、 前記顕微鏡接続部は、前記光学顕微鏡に対して着脱自在
   に構成されていることを特徴とする光顕別軸一体型走査
   型プローブ顕微鏡。
10. 【請求項１０】 前記走査型プローブ顕微鏡は、前記顕
    微鏡接続部により、前記光学顕微鏡自身の部品を取り付
    ける取り付け部に着脱自在に取り付けられることを特徴
    とする請求項９に記載の光顕別軸一体型走査型プローブ
    顕微鏡。
11. 【請求項１１】 前記走査型プローブ顕微鏡は、前記試
    料及び探針を観察するための観察機構を有しており、前
    記観察機構は、自身の光軸上に前記探針が配置された状
    態で、前記光学顕微鏡で観察した部位と同一の部位と、
    前記走査型プローブ顕微鏡の前記探針の位置とを位置あ
    わせするための前記試料の表面の観察に用いることを特
    徴とする請求項９又は１０に記載の光顕別軸一体型走査
    型プローブ顕微鏡。
12. 【請求項１２】 前記走査型プローブ顕微鏡は、前記探
    針及び前記試料に対して照明用光を照射する照明機構を
    有しており、前記照明機構は、照明用光源を有し、前記
    照明用光源は、ＬＥＤであることを特徴とする請求項９
    乃至１１のいずれか１項に記載の光顕別軸一体型走査型
    プローブ顕微鏡。