JP2004301728A - 顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】走査型プローブユニット1は、顕微鏡の対物レボルバに取り付けられる対物レボルバ取付部2と、対物レボルバ取付部2に取付ネジ3によって連結された固定調整部4と、固定調整部4にZ案内部5を介して連結されたスキャナ固定部9と、スキャナ固定部9によって支持されたスキャナ部組部36と、スキャナ部組部36をZ方向に移動させるZ駆動機構を有している。スキャナ部組部36は、自由端に探針11を持つレバー部を有するカンチレバー10と、カンチレバー10を支持するスキャナヘッド部6と、スキャナヘッド部6と共にカンチレバー10を走査する三次元スキャナ7とを有している。スキャナヘッド部6は、探針11の変位を検出する変位検出系を有している。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、プローブすなわち探針を用いて試料表面を例えば原子オーダーの分解能で測定する走査型プローブユニット、特に、顕微鏡の対物レボルバに取り付けられる顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニットに関する。
【0002】
【従来の技術】
走査型プローブ顕微鏡(SPM)は、先端の尖ったプローブすなわち探針を、試料に対してnmのオーダーで接近させるとともに、試料の表面を走査させ、探針と試料との間に生じる原子間力などによる探針の変位等を測定することにより、試料表面の形状等の特性を測定する装置である。このため、走査型プローブ顕微鏡は、探針と、探針を走査する走査部と、探針の変位を測定する変位検出機構とを有している。
【0003】
走査型プローブ顕微鏡の試料表面の測定範囲は数十μm平方程度の範囲である。そのような測定範囲の一部分の微小部分に探針の先端を目視で合わせることは非常に困難である。そのため、通常、走査型プローブ顕微鏡は、試料を平面内、例えば直交するX軸とY軸で定義されるXY平面内で相対的に大きな変位量で変位させるためのXYステージと、走査型プローブ顕微鏡の測定範囲よりも大きな観察領域を有する観察光学系とを備えている。
【0004】
つまり、通常の走査型プローブ顕微鏡は光学顕微鏡と組み合わされている。このように光学顕微鏡と組み合わされた光顕一体型は、例えば、特開2002−350321号公報や特許第2824463号や特許第3093896号に開示されている。
【0005】
特開2002−350321号公報は、光顕別軸一体型走査型プローブ顕微鏡を開示している。この装置は、図10に示すように、探針90と、カンチレバー91と、三次元スキャナ92と、変位検出機構93と、照明機構94と、観察機構95とを備える走査型プローブ顕微鏡本体96を有している。走査型プローブ顕微鏡本体96は、図11に示すように、アリ溝101等を利用して光学顕微鏡100に取り付けられる。
【0006】
この装置では、まず、光学顕微鏡100によって、走査型プローブ顕微鏡の測定範囲よりも大きな観察領域を光学的に観察して、測定位置を決定する。次に、光学顕微鏡100に取り付けてあるXYステージ102を移動させて、走査型プローブ顕微鏡本体96の探針を測定位置に略位置決めする。続いて、走査型プローブ顕微鏡本体96に搭載されている観察機構95を用いて、精密に探針位置と測定位置を調整し、走査型プローブ顕微鏡本体96を用いてSPM測定を行なう。
【0007】
なお、この装置では、Z方向の粗調整や大きい段差試料測定時のアプローチは、走査型プローブ顕微鏡本体96に搭載されているZステージ103を用いて、走査型プローブ顕微鏡本体全体を上下動させて行なわれる。
【0008】
特許第2824463号は、光顕切替一体型プローブ顕微鏡を開示している。この装置では、図12に示すように、光学顕微鏡の対物レボルバ111には、対物レンズ116に加えて、微動素子ブロック110(走査型プローブユニット)が取り付けられる。微動素子ブロック110は、図13に示すように、探針121と、これを走査する三次元スキャナである微動素子120とを有している。微動素子ブロック110の探針位置は対物レンズ116の光軸に一致している。
【0009】
この装置では、まず、対物レンズ116を用いた光学顕微鏡観察により、試料112を光学的に観察しながら試料112を載せたXYステージ113を操作して、所望の測定範囲を位置決めする。次に、顕微鏡の対物レボルバ111を回転させ、微動素子ブロック110を試料112に上方に配置する。これにより、探針121は所望の観察範囲に位置決めされる。その後、微動素子ブロック110を用いてSPM測定を行なう。
【0010】
なお、この装置では、Z方向の粗調整や大きい段差試料測定時のアプローチは、XYステージ113が載置されたZステージ114によって行なわれる。
【0011】
特許第3093896号は、光顕同軸一体型走査型プローブ顕微鏡を開示している。この装置は、図14に示すように、変位検出光学系と観察光学系は結像レンズ131を共通に含んでいる。変位検出光学系は、変位検出器130と結像レンズ131とから構成され、探針133を支持するカンチレバー134の自由端の変位を検出する。また、観察光学系は、結像レンズ131と結像レンズ136と撮像素子135とから構成され、撮像素子135を光軸に沿って移動可能であり、これにより、試料132の表面とカンチレバー134とを光学的に観察できる。
【0012】
【特許文献1】
特開2002−350321号公報
【0013】
【特許文献2】
特許第2824463号
【0014】
【特許文献3】
特許第3093896号
【0015】
【発明が解決しようとする課題】
特開2002−350321号に開示された光顕別軸一体型走査型プローブ顕微鏡は、光学顕微鏡で測定範囲を決定した後、走査型プローブ顕微鏡本体の探針位置まで、XYステージによって試料を精密に移動させなければならないため、専用の精密XYステージが必要となり、専用の精密XYステージが必要なため装置全体のコストが高くなってしまう。
【0016】
また、Z方向の粗調整や大きい段差試料測定時のアプローチは、走査型プローブ顕微鏡本体に搭載されているZステージを用いて、走査型プローブ顕微鏡本体全体を上下動させて行なっているため、駆動重量が大きく、駆動手段、例えばステッピングモータ等は大きい駆動力を有している必要がある。そのため、駆動手段の大型化、ひいては装置全体の大型化を招き、光学顕微鏡等への取り付けのための配置にも影響を及ぼしてしまう。配置的な制約の他、駆動手段の大型化により、駆動スピードによる熱的影響も大きく、アプローチ等の高速移動が難しくなる。
【0017】
また、走査型プローブ顕微鏡本体にZ駆動機構(Zステージ)が機械的(ネジ止め等)で固定されているため、ユーザの要望に応じてZ駆動機構の取り付けを選択することが出来ず、例えば、既に光学顕微鏡にZ駆動機構がある場合には、どちらか一方は使用しないことになるなど、装置のスペックを有効に活用できない。つまり、無駄が発生し、装置価格も高くなる。更に走査型プローブ顕微鏡本体と、Z駆動機構が機械的に固定されているため、走査型プローブ検出部やZ駆動機構の寿命や破損による取り替え、メンテナンス時の、お互いの測定軸、駆動軸のアライメント調整が容易に行なえず、調整工数が多大にかかってしまう。
【0018】
また、特許第2824463号に開示された光顕切替一体型プローブ顕微鏡は、光学顕微鏡観察時の対物レンズ軸芯と、走査型ブローブ顕微鏡の観察時の微動素子フロックの測定芯を予め調整しておけば、精密なXYステージを使用しなくてよい。しかし、走査型プローブ顕微鏡の微動素子ブロックには、Z方向の駆動機構が無く、特許第2824463号のZ方向の待避や移動やアプローチには、試料を搭載し、上下動するZステージが必要となり、装置コストが高くなってしまう。つまり、走査型プローブユニットを取り付ければ、SPM測定が出来る状態でなく、どの装置にも取り付けて使用できると言うわけでない。
【0019】
また、特許第3093896号に開示された光顕同軸一体型走査型プローブ顕微鏡は、観察光学系と変位検出光学系とが結像レンズを共有しており、観察光学系は撮像素子を上下動させることにより、探針と試料表面の両方の観察に対応している。走査型プローブ顕微鏡専用機であれば、撮像素子を上下動させる構成は可能であるが、通常の光学顕微鏡は、このような構成を備えてはいない。従って、通常の光学顕微鏡との組み合わせにおいて、観察光学系と変位検出光学系とで結像レンズを共通に用いる場合、観察光学系の結像位置と変位検出光学系の結像位置は同じ試料表面上になってしまい、カンチレバーの変位検出に影響を及ぼしてしまう。
【0020】
本発明の目的は、対物レボルバを有するすべての顕微鏡においてSPM測定を行なうことを可能にする顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニットを提供することである。
【0021】
【課題を解決するための手段】
本発明は、顕微鏡の対物レボルバに取り付け可能な顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニットに向けられており、以下の各項に列記する顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニットを含んでいる。
【0022】
1.本発明の顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニットは、(a)顕微鏡の対物レボルバの対物レンズ取付部に取り付けられる対物レボルバ取付部と、(b)自由端に探針を有するレバー部を有するカンチレバーと、試料表面に対して探針を走査する三次元スキャナと、探針の変位を検出する変位検出系とを有するスキャナ部組部と、(c)スキャナ部組部を対物レンズ取付部の軸に沿って移動可能に支持する支持機構と、(d)スキャナ部組部を対物レンズ取付部の軸に沿って移動させる移動機構とを備えていることを特徴とする。
【0023】
この顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニットは、対物レボルバを有するすべての顕微鏡においてSPM測定を行なうことを可能にする。
【0024】
2.本発明の別の顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニットは、第1項の顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニットにおいて、スキャナ部組部が移動機構に非連結に接続されていることを特徴とする。
【0025】
この顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニットにおいては、支持機構と移動機構のアライメント調整が不要である。
【0026】
3.本発明の別の顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニットは、第1項の顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニットにおいて、スキャナ部組部と移動機構の非連結な接続が点接触または線接触または面接触であることを特徴とする。
【0027】
この顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニットは、スキャナ部組部と移動機構の非連結な接続の様々な態様を提供する。
【0028】
4.本発明の別の顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニットは、第1項の顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニットにおいて、変位検出系は測定用光源とコリメートレンズと結像レンズとを有し、結像レンズは顕微鏡の観察光学系の結像レンズを兼ね、測定用光源は、その光射出端面がコリメートレンズと結像レンズによるレバー部の自由端の結像位置に位置するように配置されていることを特徴とする。
【0029】
この顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニットにおいては、顕微鏡の観察光学系に影響されることなく、探針の変位検出を行なえる。
【0030】
5.本発明の別の顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニットは、第1項の顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニットにおいて、移動機構が対物レボルバ取付部に対して着脱可能であることを特徴とする。
【0031】
この顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニットにおいては、Z駆動機構のメンテナンスや交換を容易に行なえる。
【0032】
6.本発明の別の顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニットは、第1項の顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニットにおいて、スキャナ部組部の移動距離を計測する計測系を更に備えていることを特徴とする。
【0033】
この顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニットにおいては、アプローチ動作を安全に高速に行なうことができる。
【0034】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態について説明する。
【0035】
第一実施形態
一般に、顕微鏡の対物レボルバは、雌ネジを有する対物レンズ取付部を有している。これに対応して、対物レンズは、その雌ネジに合う雄ねじを有する対物レボルバ取付部を有している。対物レンズは、その中心軸すなわち光軸を、対物レンズ取付部の軸すなわち雌ネジの中心軸に合わせた状態で、顕微鏡の対物レボルバに取り付けられる。対物レボルバに取り付けられた対物レンズは、光学観察に実際に使用される際には、その光軸が垂直になる姿勢に配置される。
【0036】
本実施形態は、このような顕微鏡の対物レボルバに取り付けられる走査型プローブユニットすなわち顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニットである。顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニットは、実際にSPM測定に使用される際には、対物レンズと同様に、その中心軸が垂直になる姿勢に配置される。
【0037】
以下では、実際にSPM測定に使用される姿勢を想定して、つまり、顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニットの中心軸が垂直になっているものとして説明する。また、その状態の顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニットの中心軸に平行な軸をZ軸とし、Z軸に直交する軸をX軸とし、Z軸とX軸の両方に直交する軸をY軸とする。さらに、X軸・Y軸・Z軸に平行な方向をそれぞれX方向・Y方向・Z方向と呼ぶものとする。
【0038】
図1は、本実施形態の顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニットを概略的に示している。
【0039】
顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニット1は、顕微鏡の対物レボルバの対物レンズ取付部に取り付けられる対物レボルバ取付部2と、対物レボルバ取付部2に取付ネジ3によって連結された固定調整部4と、固定調整部4にZ案内部5を介して連結されたスキャナ固定部9と、スキャナ固定部9によって支持されたスキャナ部組部36とを有している。
【0040】
対物レボルバ取付部2は、通常の対物レンズと同様、顕微鏡の対物レボルバの対物レンズ取付部の雌ネジに合う雄ねじを有している。対物レボルバ取付部2を通常の対物レンズと同様にして顕微鏡の対物レボルバの対物レンズ取付部にねじ込むことによって、顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニット1が顕微鏡の対物レボルバに取り付けられる。
【0041】
固定調整部4は、取付ネジ3を緩めることにより、対物レボルバ取付部2から取り外し可能である。さらに、固定調整部4は対物レボルバ取付部2に対して回転可能である。このため、対物レボルバ取付部2に対する軸周りの方向を調整することにより、走査型プローブユニット1の走査方向を調整できる。
【0042】
スキャナ固定部9と固定調整部4はZ案内部5を介して連結されており、スキャナ固定部9は固定調整部4に対してZ方向に沿って移動し得る。つまり、Z案内部5は、スキャナ部組部36を対物レンズ取付部の軸に沿って移動可能に支持する支持機構を構成している。より詳しくは、図2に示されるように、Z案内部5はリニアガイドで構成されており、リニアガイドのレール5aがスキャナ固定部9に固定され、リニアガイドのレール5bが固定調整部4に固定されている。
【0043】
スキャナ部組部36は、自由端に探針11を持つレバー部を有するカンチレバー10と、カンチレバー10を支持するスキャナヘッド部6と、スキャナヘッド部6と共にカンチレバー10を走査する三次元スキャナ7とを有している。スキャナヘッド部6は、カンチレバー10のレバー部の自由端の変位すなわち探針11の変位を検出する変位検出系を有している。変位検出系については、後に図3を参照しながら詳しく説明する。
【0044】
探針11は、カンチレバー10のレバー部の下面から下方に向かって突出している。カンチレバー10は、探針11以外の不所望な部分が試料表面に過剰に接近するのを避けるため、水平面に対して傾斜させてスキャナヘッド部6に取り付けられている。
【0045】
探針11が試料表面に非常に近づけられると、探針11と試料表面の間に原子間力が発生する。カンチレバー10のレバー部は柔軟で、探針11に作用する原子間力に応じてZ方向に撓み変形を起こす。つまり、レバー部の自由端すなわち探針11がZ方向に変位する。
【0046】
図3に示されるように、三次元スキャナ7は、スキャナ固定部9に固定されたスキャナ取付固定部22と、スキャナ取付固定部22に固定されたスキャナ固定部21と、スキャナ固定部21に一端が固定されたXY走査部34と、XY走査部34の自由端に接続部23を介して一端が固定されたZ走査部24とを有している。
【0047】
スキャナ取付固定部22は、図示していないアリ機構やネジ止め等によってスキャナ固定部9に固定される。Z走査部24の自由端には、スキャナヘッド部6が固定されている。
【0048】
XY走査部34は、スキャナヘッド部6と共にそれに支持されたカンチレバー10の探針11を、XY方向に走査し、Z走査部24は、スキャナヘッド部6と共にそれに支持されたカンチレバー10の探針11を、Z方向に移動させる。
【0049】
XY走査部34とZ走査部24は共に、円筒形状の圧電体を用いたチューブスキャナで構成されているが、これに限定されるものではなく、Z走査部24は積層型圧電体で構成されてもよい。また、スキャナ固定部21と接続部23は貫通孔を有している。XY走査部34とZ走査部24の内側空間とスキャナ固定部21と接続部23の貫通孔は、三次元スキャナ7の内側を通る光の通路を提供し、三次元スキャナ7の内側を通しての光学的観察を可能にしている。
【0050】
スキャナ固定部21は、スキャナ取付固定部22にネジ20によって固定されており、ネジ20を緩めることにより、スキャナ取付固定部22から取り外し可能である。このにより、XY走査部34とZ走査部24とスキャナヘッド部6を含む構造体は、スキャナ固定部9から容易に取り外すことができる。これは、XY走査部34やZ走査部24やスキャナヘッド部6の故障や寿命の際に必要な交換作業を容易にする。
【0051】
図3に示されるように、スキャナヘッド部6は、測定光ビームを発する測定用光源と、測定光ビームの形状を整える絞り30と、測定光ビームを平行化するコリメートレンズ29と、測定光ビームをカンチレバー10のレバー部の自由端部に方向付けるハーフプリズム28と、測定光ビームを収束させる結像レンズ27と、カンチレバー10のレバー部の自由端部で反射された測定光ビームを反射するミラー26と、ミラー26で反射された測定光ビームを受光する受光素子25とを有している。
【0052】
これらは、探針11の変位を検出する変位検出系を構成している。この変位検出系は、いわゆる光てこ法の光学系で構成されているが、これは限定されるものではなく、光干渉方式等の他の方式の光学系で構成されてもよい。
【0053】
測定用光源からの測定光ビームを効率良く受光素子25に伝達するため、ハーフプリズム28は、測定用光源から射出される測定光の偏光と同じ偏向の光のみを反射する偏光ビームスプリッタ(PBS)や、測定用光源から射出される測定光の波長と同じ波長の光のみを反射するダイクロイックミラ一で構成されるとよい。
【0054】
結像レンズ27は、図示されていない顕微鏡の観察光学系の一部を構成している。つまり、結像レンズ27は、顕微鏡の観察光学系の結像レンズとしても働く。結像レンズ27は、ハーフプリズム28によって、顕微鏡の観察光学系の図3の上方に位置する部分と光学的に結合されている。
【0055】
測定用光源は、図4に示されるように、その光射出端面がコリメートレンズ29と結像レンズ27のレンズ系によるカンチレバー10のレバー部の自由端部の結像位置に位置するように配置されている。従って、測定用光源は、結像レンズ27とコリメートレンズ29によるレンズ系による試料16の表面の結像位置33の後方に位置している。
【0056】
図1に示されるように、顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニット1は、更に、固定調整部4に対してスキャナ部組部36を、対物レボルバの対物レンズ取付部の軸に沿って移動させる移動機構、言い換えれば、Z方向に移動させるZ駆動機構を有している。Z駆動機構は、固定調整部4に固定されたZ駆動軸15と、スキャナ固定部9に接するジョイント部14と、Z駆動軸15の回転軸の回転運動をジョイント部14の直線運動に変換する駆動伝達部12と13と、スキャナ固定部9を下方に付勢する弾性部材8とから構成されている。
【0057】
Z駆動軸15は、例えばボールネジで構成される。しかし、Z駆動軸15は、これに限定されるものではなく、滑りネジ等で構成されてもよい。Z駆動軸15は、例えばステッピングモ一夕を備えており、ステッピングモ一夕によってその回転軸が回転される。
【0058】
ジョイント部14は、例えば、先端にボールを備えたナットで構成されており、それ自身の回転によってZ軸に沿って直線的に移動する。ジョイント部14の先端のボールはスキャナ固定部9に非連結に接続されている。ここで、非連結に接続されているとは、接触はしているが、何らかの機械的な機構を介して接続されてはおらず、容易に離れ得る接続を言う。例えば、ジョイント部14はスキャナ固定部9に点接触している。非連結な接続は、点接触に限定されるものではなく、線接触や面接触であってもよい。
【0059】
駆動伝達部12と13は、例えば歯車で構成されている。駆動伝達部12と13はZ駆動軸15の回転軸の回転をジョイント部14であるナットに伝え、これによりジョイント部14はZ軸に沿って直線的に移動する。
【0060】
ジョイント部14は、先端にボールを備えたナットに限定されるものではなく、普通のネジやノックピン等で構成されてもよい。ジョイント部14は、Z軸に沿って移動可能であり、スキャナ固定部9と機械的に接続されていない、どのような構成であってもよい。
【0061】
このようなZ駆動機構は、ジョイント部14とスキャナ固定部9が機械的に接続されていないため、Z駆動軸15とZ案内部5の間のアライメント調整が不要である。
【0062】
弾性部材8は、例えばスプリングバネで構成される。しかし、弾性部材8は、これに限定されるものではなく、他の弾性変形可能な適当な部材で構成されてもよい。弾性部材8は固定調整部4に対してスキャナ固定部9を下方に移動させる下向きの力を発生させる。これにより、弾性部材8はジョイント部14からの上向きの力とのバランスを取り、スキャナ部組部36のZ方向への駆動を滑らかにする。
【0063】
次に、顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニット1の動作について、図1と図5と図6を用いて説明する。以下では、取り付け筐体は、走査型レーザ顕微鏡として説明する。なお、走査型レーザ顕微鏡は、レーザ光源から射出されたレーザ光を、カルバノスキャナ等の二次元又は一次元スキャナによって試料に走査し、試料からの反射光をフォトマルチプライヤ等の受光素子で輝度情報を受光し、画像化する既知の装置である。
【0064】
まず、図5に示されるように、走査型レーザ顕微鏡の対物レボルバ52の対物レンズ取付部の一つに顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニット1を取り付ける。図5では、対物レボルバ52の別の対物レンズ取付部には、対物レンズ50が取り付けられている。図5には示されていないが、対物レボルバ52の上方には、走査型レーザ顕微鏡の光学系が配置されている。
【0065】
最初に、この対物レンズ50を試料に対面させて配置し、走査型レーザ顕微鏡を用いて、試料表面の像を取得し、より詳細に測定したい位置を決定した後、XYステージ51を用いて位置合わせた後、対物レボルバ52を回転させ、走査型プローブユニットを試料に対面するように配置する。なお、対物レンズ50の中心位置と走査型プローブユニット1の中心位置は、対物レボルバ52を回転させた際に両者が略一致するように、例えば図1の取付ネジ3を用いて予め調整されている。
【0066】
次に、図5の待避状態から図6の状態に、探針11を試料16の表面に近づけるアプローチ動作を行なう。この場合、予め対物レンズ50の結像位置と走査型プローブユニット1の探針11と位置関係が既知であれば、例えば両者の相対距離が1mmであると分かっていれば、対物レボルバ52を回転させて走査型プローブユニット1を所定位置に配置した後、1mmアプローチ動作を行なえばよい。さらに、アプローチ動作は、例えば、最初の0.9mmを高速で、残りの0.1mmを低速で行なうとよい。これにより、試料16に対するアプローチ動作が高速で行なえる。
【0067】
このとき、Z駆動機構では、まず、アプローチ動作の指令により、図示していないステッピングモ一夕が駆動され、ステッピングモータに連結されているボールネジ15が回転され、その回転が駆動伝達部12と13を介してジョイント部14に伝達され、ジョイント部14が下方に移動される。ジョイント部14の下方への移動に伴い、スキャナ固定部9は、弾性部材8によって下方に押されていることと相俟って、滑らかに下降する。その結果、スキャナ固定部9に支持されているスキャナ部組部36、従ってスキャナヘッド部6が下降する。その後、スキャナヘッド部6の下降は、探針11による測定可能状態の位置で停止され、アプローチ動作を完了する。
【0068】
アプローチ動作終了後、走査型レーザ顕微鏡で取得した像により詳細に測定したい試料16位置の測定を行なう。
【0069】
尚、本願における光学系の構成の場合、アプローチ動作終了後、この走査型プローブユニットにて測定を行なう前に、走査型レーザ顕微鏡によって、試料16の位置とカンチレバー10の探針11位置を確認することが可能である。つまり、走査型レーザ顕微鏡を動作させ、試料表面からの反射光を受光し、表示手段80に像を表示させることにより、例えば図7に示されるように、試料表面83とカンチレバー上の探針81と、スキャナヘッド部6の変位検出系の測定光ビームのスポット82が観察される。
【0070】
走査型レーザ顕微鏡の観察光学系の結像位置は試料上であり、カンチレバーはその結像位置から光軸に沿ってずれているが、カンチレバーは、試料位置と探針位置を確認するには問題ないレベルで表示される。
【0071】
さらに、スキャナヘッド部6の変位検出系の結像位置はカンチレバー上であるため、スキャナヘッド部6の変位検出系は、走査型レーザ顕微鏡の観察光学系に影響されることなく、探針の変位検出を行なえる。言い換えれば、走査型レーザ顕微鏡の観察光学系は、変位検出に影響を与えることなく、試料表面の観察を行なえる。
【0072】
表示画面上にクロス等のスーパーインポーズ等を表示させ、予め探針位置を記録しておき、試料観察時には、一旦、カンチレバーを待避させて(抜いて)、像を取得してもよい。
【0073】
このように、本実施形態の顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニット1は、スキャナ部組部36のみをZ方向に移動させるZ駆動機構を備えているため、対物レボルバを有するすべての顕微鏡においてSPM測定を行なうことを可能にする。また、走査型プローブユニットの小型化、Z移動の高速移動を行なうことが出来る。
【0074】
また、Z駆動機構は、ジョイント部14がスキャナ部組部36を支持するスキャナ固定部9と機械的に接続されていないため、スキャナ部組部36をガイドするZ案内部5との間のアライメント調整が不要である。
【0075】
第二実施形態
図8は、本発明の第二実施形態の顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニットを示している。図8において、図1中の部材と同一の参照符号で指示された部材は同様の部材であり、その詳しい説明は省略する。
【0076】
本実施形態の顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニット1Aは、その殆どの構成は第一実施形態の顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニットと同じであるが、スキャナ部組部36をZ方向に移動させるZ駆動機構が固定調整部に対して着脱可能である点において相違している。
【0077】
このため、図8に示されるように、固定調整部材61は、ボールネジ15と駆動伝達部12と13とジョイント部14とから成るZ駆動機構を固定するためのネジ60を有している。ボールネジ15と駆動伝達部12と13とジョイント部14とから成るZ駆動機構は、Z駆動機構を所定位置に配置してネジ60を締めることにより固定調整部材61に固定され、ネジ60を緩めることにより固定調整部材61から取り外せる。
【0078】
このように、本実施形態の顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニット1Aにおいては、スキャナ部組部36をZ方向に移動させるZ駆動機構が取り外し可能であるため、Z駆動機構のメンテナンスや交換を容易に行なえる。
【0079】
第三実施形態
図9は、本発明の第三実施形態の顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニットを示している。図9において、図1中の部材と同一の参照符号で指示された部材は同様の部材であり、その詳しい説明は省略する。
【0080】
本実施形態の顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニット1Bは、その殆どの構成は第一実施形態の顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニットと同じであるが、スキャナ部組部のZ方向の移動距離を計測する計測系70を有している点において相違している。
【0081】
計測系70は、測定時のアプローチ動作において、スキャナ部組部36のZ方向の移動距離を計測する。これにより、探針位置と試料表面までの移動距離をより正確に把握することができる。その結果、より高速なアプローチを行なうことが可能になる。
【0082】
計測系70は、例えば、リニアスケール(ガラススケールを用いた透過型や磁気スケール)やレーザ測長器で構成されるが、特にこれらに限定されるものではなく、スキャナ部組部36の移動距離を測長できさえすれば、どのような構成であってもよい。
【0083】
このように、本実施形態の顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニット1Bは、スキャナ部組部36のZ方向の移動距離を計測する計測系70を有しているため、アプローチ動作を安全に高速に行なうことができる。
【0084】
これまで、図面を参照しながら本発明の実施の形態について述べたが、本発明は、これらの実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において様々な変形や変更が施されてもよい。
【0085】
例えば、第一実施形態ないし第三実施形態においては、走査型レーザ顕微鏡に取り付けられる走査型プローブユニットを例にあげて、本発明の走査型プローブユニットについて説明したが、本発明の走査型プローブユニットが取り付けられる対象は、特に走査型レーザ顕微鏡に限定されるものではない。本発明の走査型プローブユニットは、通常の光学顕微鏡や、観察手段を有する検査装置など、それらに類するいかなる装置に取り付けられてもよい。
【0086】
【発明の効果】
本発明によれば、対物レボルバを有するすべての顕微鏡においてSPM測定を行なうことを可能にする顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニットが提供される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第一実施形態の顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニットを概略的に示している。
【図2】図1のA−A線に沿った顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニットの断面図である。
【図3】図1に示された顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニットのスキャナ部組部を示している。
【図4】図3に示されたスキャナ部組部内の変位検出部の光学系であり、特に光源が結像レンズとコリメートレンズによるカンチレバーの結像位置に配置されている状態を示している。
【図5】図1に示された顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニットであり、顕微鏡の対物レボルバに取り付けられたアプローチ前の状態を示している。
【図6】図1に示された顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニットであり、顕微鏡の対物レボルバに取り付けられたアプローチ後の状態を示している。
【図7】図1に示された顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニットが取り付けられた走査型レーザ顕微鏡において観察される試料表面と探針を示している。
【図8】第二実施形態の顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニットを概略的に示している。
【図9】第三実施形態の顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニットを概略的に示している。
【図10】特開2002−350321号公報に開示された光顕別軸一体型走査型プローブ顕微鏡の走査型プローブ顕微鏡本体の構成を示している。
【図11】図10に示された走査型プローブ顕微鏡本体を含む光顕別軸一体型走査型プローブ顕微鏡の全体構成を示している。
【図12】特許第2824463号に開示された光顕切替一体型プローブ顕微鏡の構成を示している。
【図13】図12に示された微動素子ブロック110の構成を示している。
【図14】特許第3093896号に開示された光顕同軸一体型走査型プローブ顕微鏡の光学系を示している。
【符号の説明】
1、1A、1B…顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニット、2…対物レボルバ取付部、3…取付ネジ、4…固定調整部、5…Z案内部、6…スキャナヘッド部、7…三次元スキャナ、8…弾性部材、9…スキャナ固定部、10…カンチレバー、11…探針、12、13…駆動伝達部、14…ジョイント部、15…ボールネジ、27…結像レンズ、28…ハーフプリズム、29…コリメートレンズ、31…光源、36…スキャナ部組部、52…対物レボルバ、60…ネジ、61…固定調整部材、70…計測系。
Claims (6)
- 顕微鏡の対物レボルバに取り付け可能な顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニットであり、
顕微鏡の対物レボルバの対物レンズ取付部に取り付けられる対物レボルバ取付部と、
自由端に探針を有するレバー部を有するカンチレバーと、試料表面に対して探針を走査する三次元スキャナと、探針の変位を検出する変位検出系とを有するスキャナ部組部と、
スキャナ部組部を対物レンズ取付部の軸に沿って移動可能に支持する支持機構と、
スキャナ部組部を対物レンズ取付部の軸に沿って移動させる移動機構とを備えていることを特徴とする顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニット。 - スキャナ部組部は移動機構に非連結に接続されていることを特徴とする請求項1記載の顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニット。
- スキャナ部組部と移動機構の非連結な接続は点接触または線接触または面接触であることを特徴とする請求項2に記載の顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニット。
- 変位検出系は測定用光源とコリメートレンズと結像レンズとを有し、結像レンズは顕微鏡の観察光学系の結像レンズを兼ね、測定用光源は、その光射出端面がコリメートレンズと結像レンズによるレバー部の自由端の結像位置に位置するように配置されていることを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニット。
- 移動機構は対物レボルバ取付部に対して着脱可能であることを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニット。
- スキャナ部組部の移動距離を計測する計測系を更に備えていることを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡対物レボルバ取付型走査型プローブユニット。
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