JP3174465B2 - 原子間力顕微鏡 - Google Patents
原子間力顕微鏡Info
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q10/00—Scanning or positioning arrangements, i.e. arrangements for actively controlling the movement or position of the probe
- G01Q10/04—Fine scanning or positioning
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
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- G01Q30/025—Optical microscopes coupled with SPM
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- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S977/00—Nanotechnology
- Y10S977/84—Manufacture, treatment, or detection of nanostructure
- Y10S977/849—Manufacture, treatment, or detection of nanostructure with scanning probe
- Y10S977/86—Scanning probe structure
- Y10S977/868—Scanning probe structure with optical means
- Y10S977/87—Optical lever arm for reflecting light
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、片持ち梁の自由端部に
針が取り付けられてなる探針の先端と、試料表面との間
に作用する原子間力により生ずる探針の変位を光学的に
検出する原子間力顕微鏡に関し、特に大型、大面積の試
料に対応するに適した原子間力顕微鏡に関するものであ
る。
針が取り付けられてなる探針の先端と、試料表面との間
に作用する原子間力により生ずる探針の変位を光学的に
検出する原子間力顕微鏡に関し、特に大型、大面積の試
料に対応するに適した原子間力顕微鏡に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】試料表面の凹凸をナノメートル以下の精
度で測定する原子間力顕微鏡は、近年、光ディスク、磁
気記録、半導体などの高密度化、高集積化に伴い、急速
に応用範囲が拡大している。原子間力顕微鏡には、光て
こ方式、光干渉方式、臨界角方式等の様々な方式のもの
がある。以下においては極めて簡単な構成で実現できる
光てこ方式の原子間力顕微鏡について、図５を用いて説
明する。
度で測定する原子間力顕微鏡は、近年、光ディスク、磁
気記録、半導体などの高密度化、高集積化に伴い、急速
に応用範囲が拡大している。原子間力顕微鏡には、光て
こ方式、光干渉方式、臨界角方式等の様々な方式のもの
がある。以下においては極めて簡単な構成で実現できる
光てこ方式の原子間力顕微鏡について、図５を用いて説
明する。
【０００３】図５において、試料４１はＸ、Ｙ、Ｚ方向
に移動可能なスキャナー４４上に固定されている。探針
ホルダー４３に一端が支持された探針４２は、試料４１
上に位置している。
に移動可能なスキャナー４４上に固定されている。探針
ホルダー４３に一端が支持された探針４２は、試料４１
上に位置している。
【０００４】光源４５は、探針４２の試料４１に対して
の反対側の反射面に光ビーム４６をレンズ４７を通して
照射する。光検出器４８は、探針４２上の前記反射面か
ら反４してきた光ビーム４６を捕捉する位置に支持され
る。レンズ４７は、光源４５と、探針４２を結ぶ軸上に
位置し、光源４５が照射した光ビーム４６を、光検出器
４８上、あるいはその近傍の一点に集光する。
の反対側の反射面に光ビーム４６をレンズ４７を通して
照射する。光検出器４８は、探針４２上の前記反射面か
ら反４してきた光ビーム４６を捕捉する位置に支持され
る。レンズ４７は、光源４５と、探針４２を結ぶ軸上に
位置し、光源４５が照射した光ビーム４６を、光検出器
４８上、あるいはその近傍の一点に集光する。
【０００５】探針４２を試料４１の表面に十分接近させ
ると、探針４２と試料４１表面に作用する原子間力によ
り探針４２にたわみが生じる。これにより、探針４２の
反射面で反射される光ビーム４６の反射角度が微小量変
化する。この探針４２のＺ方向の変位△Ｚは、探針４２
の反射面で反射した光ビームを捕捉している光検出器４
８上において拡大されて検出される。このＺ方向の変位
を検出しつつ、試料４１が固定されているスキャナー４
４を、図６に示すように、Ｘ、Ｙ方向にラスター状に走
査し、かつＺ方向にも振動させることにより、試料４１
の表面形状を測定する。
ると、探針４２と試料４１表面に作用する原子間力によ
り探針４２にたわみが生じる。これにより、探針４２の
反射面で反射される光ビーム４６の反射角度が微小量変
化する。この探針４２のＺ方向の変位△Ｚは、探針４２
の反射面で反射した光ビームを捕捉している光検出器４
８上において拡大されて検出される。このＺ方向の変位
を検出しつつ、試料４１が固定されているスキャナー４
４を、図６に示すように、Ｘ、Ｙ方向にラスター状に走
査し、かつＺ方向にも振動させることにより、試料４１
の表面形状を測定する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図５に
示した従来例においては、試料４１をラスター状に走査
する際に試料を固定したスキャナー４４をＸ、Ｙ、Ｚ方
向に移動させるため、大面積・大型の試料の表面を観察
する場合に、試料自身の重量により大きな慣性力が生ず
る。このため、試料４１を固定したスキャナー４４の制
御が困難となる。
示した従来例においては、試料４１をラスター状に走査
する際に試料を固定したスキャナー４４をＸ、Ｙ、Ｚ方
向に移動させるため、大面積・大型の試料の表面を観察
する場合に、試料自身の重量により大きな慣性力が生ず
る。このため、試料４１を固定したスキャナー４４の制
御が困難となる。
【０００７】また、原子間力顕微鏡は数十μｍ角以下の
微細領域をナノメートル以下の精度で測定するには適し
ているが、もっと大きな範囲を観察することは原子間力
顕微鏡自身の倍率が高すぎて難しい。例えば、光学顕微
鏡で観察可能な試料表面の欠陥等のピットを測定する際
に、実際に観察したい場所と実際に観察している場所と
のズレの補正の問題がある。
微細領域をナノメートル以下の精度で測定するには適し
ているが、もっと大きな範囲を観察することは原子間力
顕微鏡自身の倍率が高すぎて難しい。例えば、光学顕微
鏡で観察可能な試料表面の欠陥等のピットを測定する際
に、実際に観察したい場所と実際に観察している場所と
のズレの補正の問題がある。
【０００８】最近では直径３０ｃｍの光ディスクのピッ
ト形状や、シリンダー付きビデオヘッドの磁気ヘッドの
ギャップ長評価や、電子部品の評価に原子間力顕微鏡が
用いられている。これらの測定においては、製造ライン
での抜取り検査の為に、試料を非破壊で測定したいとい
う現場の要望が増大しているが、これまでの原子間力顕
微鏡では、試料自身を１ｃｍ角程度に切削しないと難し
かった。本発明は前記のような従来の問題点を解決する
ためのもので、大面積・大型サンプルを切削の必要なし
にそのままの大きさで測定可能な原子間力顕微鏡を提供
することを目的とする。
ト形状や、シリンダー付きビデオヘッドの磁気ヘッドの
ギャップ長評価や、電子部品の評価に原子間力顕微鏡が
用いられている。これらの測定においては、製造ライン
での抜取り検査の為に、試料を非破壊で測定したいとい
う現場の要望が増大しているが、これまでの原子間力顕
微鏡では、試料自身を１ｃｍ角程度に切削しないと難し
かった。本発明は前記のような従来の問題点を解決する
ためのもので、大面積・大型サンプルを切削の必要なし
にそのままの大きさで測定可能な原子間力顕微鏡を提供
することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本願の第１発明は、検出
光放射系より放射された略平行な変位検出光を、ミラー
によって略直角方向に方向を変えて共焦点レンズに導
き、この共焦点レンズによって変位検出光を探針の反射
面近傍に集光させ、試料表面との間に働く原子間力によ
り変位する探針の前記反射面より反射する前記変位に応
じて反射角が異なる反射光を前記共焦点レンズに導き、
次いで前記ミラーによって略直角方向に方向を変えて変
位検出系に導き、ここで探針の変位を拡大して検出する
原子間力顕微鏡において、前記共焦点レンズ及び探針を
備えたＺ方向走査ブロックと、Ｚ方向走査ブロックを試
料表面に対し垂直方向に移動させるＺ方向スキャナー
と、前記Ｚ方向走査ブロック、前記Ｚ方向スキャナー及
び前記ミラーを備えたＸ方向走査ブロックと、Ｘ方向走
査ブロックを試料表面に対し平行な面内の第１の軸方向
に移動させるＸ方向スキャナーと、前記Ｘ方向走査ブロ
ック、前記Ｘ方向スキャナー、前記検出光放射系及び前
記変位検出系を備えたＹ方向走査ブロックと、Ｙ方向走
査ブロックを試料表面に対し平行な面内の第１の軸方向
に直交する第２の軸方向に移動させるＹ方向スキャナー
とを備えることを特徴とする。
光放射系より放射された略平行な変位検出光を、ミラー
によって略直角方向に方向を変えて共焦点レンズに導
き、この共焦点レンズによって変位検出光を探針の反射
面近傍に集光させ、試料表面との間に働く原子間力によ
り変位する探針の前記反射面より反射する前記変位に応
じて反射角が異なる反射光を前記共焦点レンズに導き、
次いで前記ミラーによって略直角方向に方向を変えて変
位検出系に導き、ここで探針の変位を拡大して検出する
原子間力顕微鏡において、前記共焦点レンズ及び探針を
備えたＺ方向走査ブロックと、Ｚ方向走査ブロックを試
料表面に対し垂直方向に移動させるＺ方向スキャナー
と、前記Ｚ方向走査ブロック、前記Ｚ方向スキャナー及
び前記ミラーを備えたＸ方向走査ブロックと、Ｘ方向走
査ブロックを試料表面に対し平行な面内の第１の軸方向
に移動させるＸ方向スキャナーと、前記Ｘ方向走査ブロ
ック、前記Ｘ方向スキャナー、前記検出光放射系及び前
記変位検出系を備えたＹ方向走査ブロックと、Ｙ方向走
査ブロックを試料表面に対し平行な面内の第１の軸方向
に直交する第２の軸方向に移動させるＹ方向スキャナー
とを備えることを特徴とする。
【００１０】本願の第２発明は、前記共焦点レンズ及び
探針を備えたＺ方向走査ブロックと、Ｚ方向走査ブロッ
クを試料表面に対し垂直方向に移動させるＺ方向スキャ
ナーと、前記Ｚ方向走査ブロック、前記Ｚ方向スキャナ
ー、前記ミラー、前記検出光放射系及び前記変位検出系
を備えたＸ−Ｙ方向走査ブロックと、Ｘ−Ｙ方向走査ブ
ロックを試料表面に対し平行な面内に移動させるＸ−Ｙ
方向スキャナーとを備えることを特徴とする。
探針を備えたＺ方向走査ブロックと、Ｚ方向走査ブロッ
クを試料表面に対し垂直方向に移動させるＺ方向スキャ
ナーと、前記Ｚ方向走査ブロック、前記Ｚ方向スキャナ
ー、前記ミラー、前記検出光放射系及び前記変位検出系
を備えたＸ−Ｙ方向走査ブロックと、Ｘ−Ｙ方向走査ブ
ロックを試料表面に対し平行な面内に移動させるＸ−Ｙ
方向スキャナーとを備えることを特徴とする。
【００１１】本願の第３発明は、第１発明または第２発
明において、ミラーが変位検出光のみを反射し、それ以
外の波長の光を透過するものであり、前記ミラーを透過
する光によって探針及びその近傍の試料表面の画像を取
り込み、これを表示する画像表示手段を備えることを特
徴とする。
明において、ミラーが変位検出光のみを反射し、それ以
外の波長の光を透過するものであり、前記ミラーを透過
する光によって探針及びその近傍の試料表面の画像を取
り込み、これを表示する画像表示手段を備えることを特
徴とする。
【００１２】後述する実施例において、半導体レーザー
光源１０１、コリメーターレンズ１０２、偏向ビームス
プリッター１０４及び１／４波長板１０５が上記検出光
放射系に相当し、ダイクロイックミラー１０６が上記ミ
ラーに相当し、１／４波長板１０５、偏向ビームスプリ
ッター１０４、ミラー１１１及び２分割フォトダイオー
ド１１２が上記変位検出系に相当する。又後述する実施
例において、ＣＤＤカメラ１１３が上記画像表示手段に
相当する。
光源１０１、コリメーターレンズ１０２、偏向ビームス
プリッター１０４及び１／４波長板１０５が上記検出光
放射系に相当し、ダイクロイックミラー１０６が上記ミ
ラーに相当し、１／４波長板１０５、偏向ビームスプリ
ッター１０４、ミラー１１１及び２分割フォトダイオー
ド１１２が上記変位検出系に相当する。又後述する実施
例において、ＣＤＤカメラ１１３が上記画像表示手段に
相当する。
【００１３】
【作用】本願の第１発明及び第２発明によれば、Ｚ方向
走査ブロックを非常に、軽量なものとすることができ、
数ＫＨｚの応答周波数が必要とされるＺ方向スキャナー
による走査を円滑に行うことができる。一方、Ｘ方向走
査ブロック及びＹ方向走査ブロック、或いはＸ−Ｙ方向
走査ブロックは重量を有するものとなるが、これらに対
しては応答周波数が数Ｈｚから１／数百Ｈｚと小さいた
め、Ｘ方向スキャナー及びＹ方向スキャナー、或いはＸ
−Ｙ方向スキャナーによる走査に支障が生じない。そし
て、Ｚ方向走査ブロックは、Ｘ方向走査ブロック或いは
Ｘ−Ｙ方向走査ブロックに対して、Ｚ方向に移動する
が、Ｚ方向走査ブロックの共焦点レンズと、Ｘ方向走査
ブロック或いはＸ−Ｙ方向走査ブロックのミラーとのＸ
方向の位置は常に同一に保たれ、ミラーから共焦点レン
ズに入射する変位検出光が平行光であるので、探針の変
位量の測定に誤差は生じない。従って試料側を固定し
て、探針側の走査による円滑かつ正確な測定が可能とな
る。
走査ブロックを非常に、軽量なものとすることができ、
数ＫＨｚの応答周波数が必要とされるＺ方向スキャナー
による走査を円滑に行うことができる。一方、Ｘ方向走
査ブロック及びＹ方向走査ブロック、或いはＸ−Ｙ方向
走査ブロックは重量を有するものとなるが、これらに対
しては応答周波数が数Ｈｚから１／数百Ｈｚと小さいた
め、Ｘ方向スキャナー及びＹ方向スキャナー、或いはＸ
−Ｙ方向スキャナーによる走査に支障が生じない。そし
て、Ｚ方向走査ブロックは、Ｘ方向走査ブロック或いは
Ｘ−Ｙ方向走査ブロックに対して、Ｚ方向に移動する
が、Ｚ方向走査ブロックの共焦点レンズと、Ｘ方向走査
ブロック或いはＸ−Ｙ方向走査ブロックのミラーとのＸ
方向の位置は常に同一に保たれ、ミラーから共焦点レン
ズに入射する変位検出光が平行光であるので、探針の変
位量の測定に誤差は生じない。従って試料側を固定し
て、探針側の走査による円滑かつ正確な測定が可能とな
る。
【００１４】本願の第３発明によれば、上記第１発明又
は第２発明の作用に加えて、探針直下の像を同時に、広
範囲にとらえることができる。
は第２発明の作用に加えて、探針直下の像を同時に、広
範囲にとらえることができる。
【００１５】
（実施例１）以下本発明の実施例１について、図面を参
照しながら説明する。図１は、本実施例の原子間力顕微
鏡の基本構成を示している。
照しながら説明する。図１は、本実施例の原子間力顕微
鏡の基本構成を示している。
【００１６】探針１１０は、片持ち梁１０９とその自由
端部下面に取付けた針１００とを備え、片持ち梁１０９
の自由端部上面に反射面を有すると共に、片持ち梁１０
９の基端においてホルダー１０８に支持されている。半
導体レーザー光源１０１は、レーザー光（変位検出光）
１０３を下方または上方（図１は上方の場合を、図２は
下方の場合を示す。）のコリメーターレンズ１０２に向
けて射出する。コリメーターレンズ１０２は、前記レー
ザー光１０３を平行光にする。偏向ビームスプリッター
１０４は、レーザー光源１０１から射出されたレーザー
光１０３を直角方向に反射し、このレーザー光１０３を
１／４波長板１０５、ダイクロイックミラー１０６に導
く。ダイクロイックミラー１０６はレーザー光１０３を
直角方向に反射し、その下方の共焦点レンズ１０７を介
して前記片持ち梁１０９の自由端部の反射面に導く。こ
こで反射されたレーザー光１０３は、共焦点レンズ１０
７、ダイクロイックミラー１０６、１／４波長板１０５
を介して前記偏向ビームスプリッター１０４に戻るが、
この偏向ビームスプリッター１０４は反射レーザー光１
０３を透過し、ミラー１１１に導く。この反射レーザー
光１０３はミラー１１１によって直角に反射され、下方
に位置する２分割フォトダイオード１１２に導かれる。
端部下面に取付けた針１００とを備え、片持ち梁１０９
の自由端部上面に反射面を有すると共に、片持ち梁１０
９の基端においてホルダー１０８に支持されている。半
導体レーザー光源１０１は、レーザー光（変位検出光）
１０３を下方または上方（図１は上方の場合を、図２は
下方の場合を示す。）のコリメーターレンズ１０２に向
けて射出する。コリメーターレンズ１０２は、前記レー
ザー光１０３を平行光にする。偏向ビームスプリッター
１０４は、レーザー光源１０１から射出されたレーザー
光１０３を直角方向に反射し、このレーザー光１０３を
１／４波長板１０５、ダイクロイックミラー１０６に導
く。ダイクロイックミラー１０６はレーザー光１０３を
直角方向に反射し、その下方の共焦点レンズ１０７を介
して前記片持ち梁１０９の自由端部の反射面に導く。こ
こで反射されたレーザー光１０３は、共焦点レンズ１０
７、ダイクロイックミラー１０６、１／４波長板１０５
を介して前記偏向ビームスプリッター１０４に戻るが、
この偏向ビームスプリッター１０４は反射レーザー光１
０３を透過し、ミラー１１１に導く。この反射レーザー
光１０３はミラー１１１によって直角に反射され、下方
に位置する２分割フォトダイオード１１２に導かれる。
【００１７】前記ダイクロイックミラー１０６は、特定
波長を有して前記レーザー光１０３のみを反射し、前記
レーザー光１０３を共焦点レンズ１０７を介して、前記
片持ち梁１０９の自由端部の反射面に導くと共に、特定
波長を有した前記レーザー光１０３以外の波長の光を透
過する。前記共焦点レンズ１０７は、光路上の行き交う
二方向にそれぞれ焦点距離ｆを有したレンズであり、ダ
イクロイックミラー１０６から導かれたレーザー光１０
３を、探針ホルダー１０８に支持された片持ち梁１０９
の自由端部反射面の近傍に集光させ、更に前記自由端部
反射面からの反射レーザー光１０３をダイクロイックミ
ラー１０６、１／４波長板１０５、偏向ビームスプリッ
ター１０４、ミラー１１１を介して、２分割フォトダイ
オード１１２上に集光させる。片持ち梁１０９の自由端
部反射面と共焦点レンズ１０７の下端部との間を、共焦
点レンズ１０７の有する焦点距離ｆから△ｆだけ遠ざけ
て、ダイクロイックミラー１０６から共焦点レンズ１０
７を介して入射してきたレーザー光１０３を、前記片持
ち梁１０９の自由端部の反射面から△ｆだけデフォーカ
スさせることにより、片持ち梁１０９の前記自由端部反
射面からの反射レーザー光１０３を２分割フォトダイオ
ード１１２上に集光させることができる。
波長を有して前記レーザー光１０３のみを反射し、前記
レーザー光１０３を共焦点レンズ１０７を介して、前記
片持ち梁１０９の自由端部の反射面に導くと共に、特定
波長を有した前記レーザー光１０３以外の波長の光を透
過する。前記共焦点レンズ１０７は、光路上の行き交う
二方向にそれぞれ焦点距離ｆを有したレンズであり、ダ
イクロイックミラー１０６から導かれたレーザー光１０
３を、探針ホルダー１０８に支持された片持ち梁１０９
の自由端部反射面の近傍に集光させ、更に前記自由端部
反射面からの反射レーザー光１０３をダイクロイックミ
ラー１０６、１／４波長板１０５、偏向ビームスプリッ
ター１０４、ミラー１１１を介して、２分割フォトダイ
オード１１２上に集光させる。片持ち梁１０９の自由端
部反射面と共焦点レンズ１０７の下端部との間を、共焦
点レンズ１０７の有する焦点距離ｆから△ｆだけ遠ざけ
て、ダイクロイックミラー１０６から共焦点レンズ１０
７を介して入射してきたレーザー光１０３を、前記片持
ち梁１０９の自由端部の反射面から△ｆだけデフォーカ
スさせることにより、片持ち梁１０９の前記自由端部反
射面からの反射レーザー光１０３を２分割フォトダイオ
ード１１２上に集光させることができる。
【００１８】ダイクロイックミラー１０６の上方に配さ
れたＣＣＤカメラ１１３は、片持ち梁１０９の自由端部
反射面及び試料表面等から反射されてきた試料観察用の
照明光１１４を、ダイクロイックミラー１０６、共焦点
レンズ１０７を介して捕捉し、探針１１０の針１００及
びその近傍の画像情報を得る。
れたＣＣＤカメラ１１３は、片持ち梁１０９の自由端部
反射面及び試料表面等から反射されてきた試料観察用の
照明光１１４を、ダイクロイックミラー１０６、共焦点
レンズ１０７を介して捕捉し、探針１１０の針１００及
びその近傍の画像情報を得る。
【００１９】次に、変位検出原理について図１を用いて
説明する。図１に示したように、共焦点レンズ１０７の
焦点距離をｆとし、片持ち梁１０９の固定端部から針１
００までの距離をＬ、試料表面と針１００との間に生ず
る原子間力による片持ち梁１０９のＺ方向の変位を△
Ｚ、２分割フォトダイオード１１２上のレーザー光１０
３のＸ方向の変位を△Ｘとすると、△Ｘ＝（３ｆ／Ｌ）
／△Ｚとなる。ここで、ｆ＝８ｍｍ、Ｌ＝０．１ｍｍと
すると、△Ｘ＝２４０・△Ｚとなり、２分割フォトダイ
オード１１２上においては、片持ち梁１０９のＺ方向の
変位△Ｚは、２４０倍に拡大されて検出される。ここ
で、２分割フォトダイオード１１２の検出感度が０．０
２５μｍとすると、Ｚ方向の分解能は約０．１ｎｍとな
る。
説明する。図１に示したように、共焦点レンズ１０７の
焦点距離をｆとし、片持ち梁１０９の固定端部から針１
００までの距離をＬ、試料表面と針１００との間に生ず
る原子間力による片持ち梁１０９のＺ方向の変位を△
Ｚ、２分割フォトダイオード１１２上のレーザー光１０
３のＸ方向の変位を△Ｘとすると、△Ｘ＝（３ｆ／Ｌ）
／△Ｚとなる。ここで、ｆ＝８ｍｍ、Ｌ＝０．１ｍｍと
すると、△Ｘ＝２４０・△Ｚとなり、２分割フォトダイ
オード１１２上においては、片持ち梁１０９のＺ方向の
変位△Ｚは、２４０倍に拡大されて検出される。ここ
で、２分割フォトダイオード１１２の検出感度が０．０
２５μｍとすると、Ｚ方向の分解能は約０．１ｎｍとな
る。
【００２０】以上述べたように本構成においては、２分
割フォトダイオード１１２上で変位検出光であるレーザ
ー光１０３を集束させるため、２分割フォトダイオード
１１２上でのレーザー光１０３のスポット径が小さくな
る。このため、２分割フォトダイオード１１２の片持ち
梁１０９の変位量△Ｚに対する検出感度を向上させるこ
とができ、測定ヘッドを試料表面に走査させた場合で
も、オングストローム以下の分解能を実現することが可
能となる。
割フォトダイオード１１２上で変位検出光であるレーザ
ー光１０３を集束させるため、２分割フォトダイオード
１１２上でのレーザー光１０３のスポット径が小さくな
る。このため、２分割フォトダイオード１１２の片持ち
梁１０９の変位量△Ｚに対する検出感度を向上させるこ
とができ、測定ヘッドを試料表面に走査させた場合で
も、オングストローム以下の分解能を実現することが可
能となる。
【００２１】次に、本実施例の走査系の説明を図２を用
いて行う。通常、原子間力顕微鏡の走査は図６に示した
ように、探針１１０を試料４１表面に追随させながらＸ
方向に１ライン走査し、ライン５２、５３、５４…と画
像情報を取り込みながら順次Ｘ方向に直角な方向である
Ｙ方向に移動させて、試料４１表面の形状情報を得る。
この図６に図示した走査の場合、試料表面を追随するた
めにＺ方向には数ＫＨｚの応答周波数が必要とされる。
また、上記で説明したラスター走査のためにＸ方向には
数Ｈｚ程度、Ｙ方向には１／数百Ｈｚ程度の応答周波数
が必要とされる。
いて行う。通常、原子間力顕微鏡の走査は図６に示した
ように、探針１１０を試料４１表面に追随させながらＸ
方向に１ライン走査し、ライン５２、５３、５４…と画
像情報を取り込みながら順次Ｘ方向に直角な方向である
Ｙ方向に移動させて、試料４１表面の形状情報を得る。
この図６に図示した走査の場合、試料表面を追随するた
めにＺ方向には数ＫＨｚの応答周波数が必要とされる。
また、上記で説明したラスター走査のためにＸ方向には
数Ｈｚ程度、Ｙ方向には１／数百Ｈｚ程度の応答周波数
が必要とされる。
【００２２】測定ヘッド３３を示した図２において、２
６で示すＺ方向スキャナーは、共焦点レンズ１０７、探
針ホルダー１０８及び探針１１０から構成されるＺ方向
走査ブロック２３を、試料４１表面に垂直な方向である
Ｚ方向に移動させるものである。前記Ｚ方向走査ブロッ
ク２３は、その構成要素が共焦点レンズ１０７、探針１
１０等で構成されるため、非常に軽量にすることがで
き、Ｚ方向に高速に応答させることが可能である。図２
に２４で示すＸ方向スキャナーは、前記Ｚ方向走査ブロ
ック２３、Ｚ方向スキャナー２６に加えて、ダイクロイ
ックミラー１０６およびあおり調整機構２７から構成さ
れるＸ方向走査ブロック２１をＸ方向に移動させるもの
である。Ｘ方向スキャナー２４により移動させるＸ方向
走査ブロック２１は、Ｘ方向に必要とされる応答周波数
が数Ｈｚ程度と小さいため、Ｚ方向走査ブロック２６よ
り相当重くなっても、Ｘ方向に十分制御可能である。ま
た共焦点レンズ１０７に入射してきたレーザー光１０３
は平行光のため、Ｚ方向走査ブロック２３をＸ方向走査
ブロック２１内でＺ方向に移動させても、両者は常に同
一のＸ方向位置をとるので、探針１１０の変位量△Ｚの
測定に誤差は生じない。図２に２５で示すＹ方向スキャ
ナーは、前記Ｘ方向走査ブロック２１及びＸ方向スキャ
ナー２４に加えて、半導体レーザー光源１０１、コリメ
ーターレンズ１０２、偏向ビームスプリッター１０４、
１／４波長板１０５、ミラー１１１、あおり調整機構２
８及び２分割フォトダイオード１１２から構成されるＹ
方向走査ブロック２２をＹ方向に移動させるものであ
る。Ｙ方向スキャナー２５により移動させるＹ方向走査
ブロック２２は、Ｙ方向に必要とされる応答周波数が１
／数百Ｈｚと非常に小さいため、かなり大型のブロック
（数百グラム）であってもＹ方向に十分制御可能であ
る。
６で示すＺ方向スキャナーは、共焦点レンズ１０７、探
針ホルダー１０８及び探針１１０から構成されるＺ方向
走査ブロック２３を、試料４１表面に垂直な方向である
Ｚ方向に移動させるものである。前記Ｚ方向走査ブロッ
ク２３は、その構成要素が共焦点レンズ１０７、探針１
１０等で構成されるため、非常に軽量にすることがで
き、Ｚ方向に高速に応答させることが可能である。図２
に２４で示すＸ方向スキャナーは、前記Ｚ方向走査ブロ
ック２３、Ｚ方向スキャナー２６に加えて、ダイクロイ
ックミラー１０６およびあおり調整機構２７から構成さ
れるＸ方向走査ブロック２１をＸ方向に移動させるもの
である。Ｘ方向スキャナー２４により移動させるＸ方向
走査ブロック２１は、Ｘ方向に必要とされる応答周波数
が数Ｈｚ程度と小さいため、Ｚ方向走査ブロック２６よ
り相当重くなっても、Ｘ方向に十分制御可能である。ま
た共焦点レンズ１０７に入射してきたレーザー光１０３
は平行光のため、Ｚ方向走査ブロック２３をＸ方向走査
ブロック２１内でＺ方向に移動させても、両者は常に同
一のＸ方向位置をとるので、探針１１０の変位量△Ｚの
測定に誤差は生じない。図２に２５で示すＹ方向スキャ
ナーは、前記Ｘ方向走査ブロック２１及びＸ方向スキャ
ナー２４に加えて、半導体レーザー光源１０１、コリメ
ーターレンズ１０２、偏向ビームスプリッター１０４、
１／４波長板１０５、ミラー１１１、あおり調整機構２
８及び２分割フォトダイオード１１２から構成されるＹ
方向走査ブロック２２をＹ方向に移動させるものであ
る。Ｙ方向スキャナー２５により移動させるＹ方向走査
ブロック２２は、Ｙ方向に必要とされる応答周波数が１
／数百Ｈｚと非常に小さいため、かなり大型のブロック
（数百グラム）であってもＹ方向に十分制御可能であ
る。
【００２３】なお、前記ダイクロイックミラー１０６に
あおり調整機構２７を備えることで、レーザー光１０３
を片持ち梁１０９の自由端部反射面で集束させる位置を
調整することが可能である。同様に、ミラー１１１にあ
おり調整機構２８を備えることで、レーザー光１０３を
２分割フォトダイオード１１２で集束させる位置を調整
することが可能である。
あおり調整機構２７を備えることで、レーザー光１０３
を片持ち梁１０９の自由端部反射面で集束させる位置を
調整することが可能である。同様に、ミラー１１１にあ
おり調整機構２８を備えることで、レーザー光１０３を
２分割フォトダイオード１１２で集束させる位置を調整
することが可能である。
【００２４】前記Ｚ方向スキャナー２６は圧電体等で実
現することができる。Ｘ方向スキャナー２４及びＹ方向
スキャナー２５も同様に圧電体等で構成できるが、ラス
ター走査時に測定ヘッド自身の自重により生じる蛇行現
象に対応させるため、平行板ばねと圧電体を組み合わせ
た構成とし、安定した試料表面の走査を実現させること
が望ましい。
現することができる。Ｘ方向スキャナー２４及びＹ方向
スキャナー２５も同様に圧電体等で構成できるが、ラス
ター走査時に測定ヘッド自身の自重により生じる蛇行現
象に対応させるため、平行板ばねと圧電体を組み合わせ
た構成とし、安定した試料表面の走査を実現させること
が望ましい。
【００２５】図３は、上述した原子間力顕微鏡の測定ヘ
ッド３３を、本体３７に支持された回転レボルバー３６
に取り付けた状態を示した図である。このように構成す
ることで測定ヘッド３３は、回転レボルバー３６に取り
付けるほど十分小型にすることができる。回転レボルバ
ー３６には、対物レンズ取り付け口３５をいくつか備え
ており、この対物レンズ取り付け口３５に倍率の異なる
対物レンズ３４を取り付け、試料４１表面を光学的に観
察することが可能である。本装置を用いた測定において
は、回転レボルバー３６を回転させて、測定ヘッド３３
を図３に示した位置に固定する。粗動テーブル３８は、
その上に試料４１を載せて、上下方向に移動する。測定
ヘッド３３に取り付けられた探針１１０に試料４１を十
分近くにアプローチし、試料４１表面を測定し、前記２
分割フォトダイオード１１２、Ｘ方向スキャナー２４及
びＹ方向スキャナー２５からの信号に基いて画像を作成
する。
ッド３３を、本体３７に支持された回転レボルバー３６
に取り付けた状態を示した図である。このように構成す
ることで測定ヘッド３３は、回転レボルバー３６に取り
付けるほど十分小型にすることができる。回転レボルバ
ー３６には、対物レンズ取り付け口３５をいくつか備え
ており、この対物レンズ取り付け口３５に倍率の異なる
対物レンズ３４を取り付け、試料４１表面を光学的に観
察することが可能である。本装置を用いた測定において
は、回転レボルバー３６を回転させて、測定ヘッド３３
を図３に示した位置に固定する。粗動テーブル３８は、
その上に試料４１を載せて、上下方向に移動する。測定
ヘッド３３に取り付けられた探針１１０に試料４１を十
分近くにアプローチし、試料４１表面を測定し、前記２
分割フォトダイオード１１２、Ｘ方向スキャナー２４及
びＹ方向スキャナー２５からの信号に基いて画像を作成
する。
【００２６】（実施例２）以下本発明の実施例２につい
て、図４を参照しながら説明する。図４において、図２
と同一の符号を付けた構成要素は、実施例１で説明した
ものと同じ構成要素である。また変位検出原理は実施例
１と同一のため、以下において説明は省略する。
て、図４を参照しながら説明する。図４において、図２
と同一の符号を付けた構成要素は、実施例１で説明した
ものと同じ構成要素である。また変位検出原理は実施例
１と同一のため、以下において説明は省略する。
【００２７】図４においてＺ方向スキャナー２６は、共
焦点レンズ１０７、探針ホルダー１０８及び探針１１０
ら構成されるＺ方向走査ブロック２３をＺ方向に移動さ
せる。前記Ｚ方向走査ブロック２３は非常に軽量のた
め、Ｚ方向に高速に応答可能であるのは実施例１と同様
である。Ｘ方向及びＹ方向については、前記のＺ方向走
査ブロック２３、Ｚ方向スキャナー２６に加えてダイク
ロイックミラー１０６、そのあおり調整機構２７、半導
体レーザー光源１０１、コリメーターレンズ１０２、偏
向ビームスプリッター１０４、１／４波長板１０５、ミ
ラー１１１、そのあおり調整機構２８、２分割フォトダ
イオード１１２から構成されるＸ−Ｙ方向走査ブロック
３０をＸ−Ｙ方向スキャナー２９により試料４１表面と
平行な面を走査させる。実施例１のように、Ｘ方向に移
動する走査機構と、Ｙ方向に移動する走査機構がそれぞ
れ独立に存在する走査機構を有した構成の場合、測定時
に相互の走査の干渉による非線形歪が生じることがある
が、本実施例に示すようにＸ、Ｙ方向を一体に移動させ
ることにより前述の干渉を防止できる。Ｘ−Ｙ方向スキ
ャナー２９により移動させるＸ−Ｙ方向走査ブロック３
０は、Ｘ−Ｙ方向に必要とされる応答周波数が数Ｈｚか
ら１／数百Ｈｚと小さいため、かなり大型のブロック
（数百グラム以内）であってもＸ−Ｙ方向の走査の制御
は可能である。
焦点レンズ１０７、探針ホルダー１０８及び探針１１０
ら構成されるＺ方向走査ブロック２３をＺ方向に移動さ
せる。前記Ｚ方向走査ブロック２３は非常に軽量のた
め、Ｚ方向に高速に応答可能であるのは実施例１と同様
である。Ｘ方向及びＹ方向については、前記のＺ方向走
査ブロック２３、Ｚ方向スキャナー２６に加えてダイク
ロイックミラー１０６、そのあおり調整機構２７、半導
体レーザー光源１０１、コリメーターレンズ１０２、偏
向ビームスプリッター１０４、１／４波長板１０５、ミ
ラー１１１、そのあおり調整機構２８、２分割フォトダ
イオード１１２から構成されるＸ−Ｙ方向走査ブロック
３０をＸ−Ｙ方向スキャナー２９により試料４１表面と
平行な面を走査させる。実施例１のように、Ｘ方向に移
動する走査機構と、Ｙ方向に移動する走査機構がそれぞ
れ独立に存在する走査機構を有した構成の場合、測定時
に相互の走査の干渉による非線形歪が生じることがある
が、本実施例に示すようにＸ、Ｙ方向を一体に移動させ
ることにより前述の干渉を防止できる。Ｘ−Ｙ方向スキ
ャナー２９により移動させるＸ−Ｙ方向走査ブロック３
０は、Ｘ−Ｙ方向に必要とされる応答周波数が数Ｈｚか
ら１／数百Ｈｚと小さいため、かなり大型のブロック
（数百グラム以内）であってもＸ−Ｙ方向の走査の制御
は可能である。
【００２８】また、Ｚ方向スキャナー２６を、圧電体等
で実現できるのは実施例１と同様である。Ｘ−Ｙ方向ス
キャナー２９も同様に圧電体等で構成できるが、実施例
１と同様に平行板ばねと圧電体を組み合わせる構成によ
り安定な走査を実現できる。
で実現できるのは実施例１と同様である。Ｘ−Ｙ方向ス
キャナー２９も同様に圧電体等で構成できるが、実施例
１と同様に平行板ばねと圧電体を組み合わせる構成によ
り安定な走査を実現できる。
【００２９】本実施例においても、実施例１と同様、Ｃ
ＣＤカメラ１１３をダイクロイックミラー１０６の上方
に配し、探針１１０の針１００及びその近傍の画像情報
を得られるように構成すると好適である。
ＣＤカメラ１１３をダイクロイックミラー１０６の上方
に配し、探針１１０の針１００及びその近傍の画像情報
を得られるように構成すると好適である。
【００３０】
【発明の効果】本願の第１発明及び第２発明の原子間力
顕微鏡によれば、試料を固定した状態で、探針側を走査
して、円滑かつ正確に測定を行うことができ、従来では
不可能であった大型・大面積の試料を非破壊状態で測定
することができる。
顕微鏡によれば、試料を固定した状態で、探針側を走査
して、円滑かつ正確に測定を行うことができ、従来では
不可能であった大型・大面積の試料を非破壊状態で測定
することができる。
【００３１】又本願の第３発明によれば、上記効果に加
えて、探針直下の像を同時に、広範囲にとらえることが
でき、測定したい場所へのアプローチが容易となる。
えて、探針直下の像を同時に、広範囲にとらえることが
でき、測定したい場所へのアプローチが容易となる。
【図１】本発明の実施例１における原子間力顕微鏡の構
成を示した原理図である。
成を示した原理図である。
【図２】原子間力顕微鏡の測定ヘッドの構成を示した原
理図である。
理図である。
【図３】光学顕微鏡ヘッドに、測定ヘッドを取り付けた
斜視図である。
斜視図である。
【図４】本発明の実施例２における原子間力顕微鏡の測
定ヘッドの構成を示した原理図である。
定ヘッドの構成を示した原理図である。
【図５】従来の原子間力顕微鏡の構成を示した原理図で
ある。
ある。
【図６】原子間力顕微鏡における試料表面の走査方法を
示した斜視図である。
示した斜視図である。
２１ Ｘ方向走査ブロック ２２ Ｙ方向走査ブロック ２３ Ｚ方向走査ブロック ２４ Ｘ方向スキャナー ２５ Ｙ方向スキャナー ２６ Ｚ方向スキャナー ２９ Ｘ−Ｙ方向スキャナー ３０ Ｘ−Ｙ方向走査ブロック ４１ 試料 １０３ 変位検出光 １０６ ミラー １０７ 共焦点レンズ １１０ 探針 １１３ 画像表示手段 １０１、１０２、１０４、１０５ 検出光放射系 １０５、１０４、１１１、１１２ 変位検出系
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉住 恵一 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 平６−26853（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−231863（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−255907（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−187863（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−71001（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−198730（ＪＰ，Ａ) 特表 平10−506457（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 13/10 - 13/24 G01B 21/30 G01B 11/30 G01B 7/34 G01R 33/12 H01J 37/28 ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)
Claims (3)
- 【請求項１】 検出光放射系より放射された略平行な変
位検出光を、ミラーによって略直角方向に方向を変えて
共焦点レンズに導き、この共焦点レンズによって変位検
出光を探針の反射面近傍に集光させ、試料表面との間に
働く原子間力により変位する探針の前記反射面より反射
する前記変位に応じて反射角が異なる反射光を前記共焦
点レンズに導き、次いで前記ミラーによって略直角方向
に方向を変えて変位検出系に導き、ここで探針の変位を
拡大して検出する原子間力顕微鏡において、 前記共焦点レンズ及び探針を備えたＺ方向走査ブロック
と、 Ｚ方向走査ブロックを試料表面に対し垂直方向に移動さ
せるＺ方向スキャナーと、 前記Ｚ方向走査ブロック、前記Ｚ方向スキャナー及び前
記ミラーを備えたＸ方向走査ブロックと、 Ｘ方向走査ブロックを試料表面に対し平行な面内の第１
の軸方向に移動させるＸ方向スキャナーと、 前記Ｘ方向走査ブロック、前記Ｘ方向スキャナー、前記
検出光放射系及び前記変位検出系を備えたＹ方向走査ブ
ロックと、 Ｙ方向走査ブロックを試料表面に対し平行な面内の第１
の軸方向に直交する第２の軸方向に移動させるＹ方向ス
キャナーとを備えることを特徴とする原子間力顕微鏡。 - 【請求項２】 検出光放射系より放射された略平行な変
位検出光を、ミラーによって略直角方向に方向を変えて
共焦点レンズに導き、この共焦点レンズによって変位検
出光を探針の反射面近傍に集光させ、試料表面との間に
働く原子間力により変位する探針の前記反射面より反射
する前記変位に応じて反射角が異なる反射光を前記共焦
点レンズに導き、次いで前記ミラーによって略直角方向
に方向を変えて変位検出系に導き、ここで探針の変位を
拡大して検出する原子間力顕微鏡において、 前記共焦点レンズ及び探針を備えたＺ方向走査ブロック
と、 Ｚ方向走査ブロックを試料表面に対し垂直方向に移動さ
せるＺ方向スキャナーと、 前記Ｚ方向走査ブロック、前記Ｚ方向スキャナー、前記
ミラー、前記検出光放射系及び前記変位検出系を備えた
Ｘ−Ｙ方向走査ブロックと、 Ｘ−Ｙ方向走査ブロックを試料表面に対し平行な面内に
移動させるＸ−Ｙ方向スキャナーとを備えることを特徴
とする原子間力顕微鏡。 - 【請求項３】 ミラーが変位検出光のみを反射し、それ
以外の波長の光を透過するものであり、前記ミラーを透
過する光によって探針及びその近傍の試料表面の画像を
取り込みこれを表示する画像表示手段を備えることを特
徴とする請求項１又は２記載の原子間力顕微鏡。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29246094A JP3174465B2 (ja) | 1994-11-28 | 1994-11-28 | 原子間力顕微鏡 |
| US08/563,071 US5616916A (en) | 1994-11-28 | 1995-11-27 | Configuration measuring method and apparatus for optically detecting a displacement of a probe due to an atomic force |
| CN95118196A CN1068677C (zh) | 1994-11-28 | 1995-11-28 | 原子力显微镜 |
| KR1019950044101A KR100192097B1 (ko) | 1994-11-28 | 1995-11-28 | 원자간력현미경 |
| DE19544299A DE19544299C2 (de) | 1994-11-28 | 1995-11-28 | Verfahren und Vorrichtung zum Vermessen von Strukturen |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29246094A JP3174465B2 (ja) | 1994-11-28 | 1994-11-28 | 原子間力顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08146018A JPH08146018A (ja) | 1996-06-07 |
| JP3174465B2 true JP3174465B2 (ja) | 2001-06-11 |
Family
ID=17782097
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29246094A Expired - Fee Related JP3174465B2 (ja) | 1994-11-28 | 1994-11-28 | 原子間力顕微鏡 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5616916A (ja) |
| JP (1) | JP3174465B2 (ja) |
| KR (1) | KR100192097B1 (ja) |
| CN (1) | CN1068677C (ja) |
| DE (1) | DE19544299C2 (ja) |
Families Citing this family (31)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5949070A (en) * | 1995-08-18 | 1999-09-07 | Gamble; Ronald C. | Scanning force microscope with integral laser-scanner-cantilever and independent stationary detector |
| EP0759537A3 (en) * | 1995-08-18 | 1998-03-04 | Ronald C. Gamble | A scanning force microscope with optical device |
| US5811802A (en) * | 1995-08-18 | 1998-09-22 | Gamble; Ronald C. | Scanning probe microscope with hollow pivot assembly |
| JP3577141B2 (ja) * | 1995-09-22 | 2004-10-13 | オリンパス株式会社 | プローブ走査機構、および、それを用いた走査型プローブ顕微鏡 |
| US5834644A (en) * | 1995-11-13 | 1998-11-10 | The University Of Virginia Patent Foundation | Automatic atomic force microscope with piezotube scanner |
| JP3075981B2 (ja) * | 1996-04-05 | 2000-08-14 | 松下電器産業株式会社 | 形状測定装置 |
| US5825020A (en) * | 1996-09-06 | 1998-10-20 | The Regents Of The University Of California | Atomic force microscope for generating a small incident beam spot |
| US5854487A (en) * | 1997-02-28 | 1998-12-29 | Park Scientific Instruments | Scanning probe microscope providing unobstructed top down and bottom up views |
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| ATE421150T1 (de) * | 2001-09-24 | 2009-01-15 | Jpk Instruments Ag | Vorrichtung und verfahren für ein rastersondenmikroskop |
| CN100343652C (zh) * | 2003-06-30 | 2007-10-17 | 广东工业大学 | 超微质量及超微载荷变化量检测装置及其检测方法 |
| US7249494B2 (en) * | 2005-06-06 | 2007-07-31 | Academia Sinica | Beam tracking system for scanning-probe type atomic force microscope |
| JP4810251B2 (ja) * | 2006-02-16 | 2011-11-09 | キヤノン株式会社 | 原子間力顕微鏡 |
| KR100778175B1 (ko) * | 2006-03-06 | 2007-11-22 | 엘에스전선 주식회사 | 광수신기용 광소자 어셈블리 및 그 제조방법 |
| US7440120B2 (en) * | 2006-06-27 | 2008-10-21 | Barbara E. Parlour | Internal and external measuring device |
| CN100541708C (zh) * | 2006-12-07 | 2009-09-16 | 中国科学院电工研究所 | 一种利用原子力显微镜的套刻对准方法及装置 |
| US8166567B2 (en) * | 2007-03-16 | 2012-04-24 | Bruker Nano, Inc. | Fast-scanning SPM scanner and method of operating same |
| US8156568B2 (en) * | 2007-04-27 | 2012-04-10 | Picocal, Inc. | Hybrid contact mode scanning cantilever system |
| JP2009128139A (ja) * | 2007-11-22 | 2009-06-11 | Hitachi Ltd | 走査プローブ顕微鏡及び走査プローブ顕微鏡用探針ユニット |
| US7880897B2 (en) | 2007-12-28 | 2011-02-01 | Fujinon Corporation | Light wave interferometer apparatus |
| JP5545987B2 (ja) * | 2010-06-16 | 2014-07-09 | 株式会社ミツトヨ | 光干渉測定装置および形状測定装置 |
| EP2835652A4 (en) * | 2012-04-04 | 2016-01-13 | Olympus Corp | SCANNING MECHANISM AND SCANNING PROBE MICROSCOPE |
| KR20160013931A (ko) * | 2013-05-23 | 2016-02-05 | 어플라이드 머티리얼즈 이스라엘 리미티드 | 기판을 평가하기 위한 평가 시스템 및 방법 |
| CN103529243B (zh) * | 2013-10-28 | 2016-11-16 | 天津大学 | 一种光束跟踪式原子力显微镜扫描测头 |
| WO2016110198A1 (zh) * | 2015-01-07 | 2016-07-14 | 史拓莱姆有限公司 | 检测装置 |
| KR101791669B1 (ko) * | 2016-02-05 | 2017-10-30 | 한국표준과학연구원 | 듀얼 채널 산란형 근접장 주사광학 현미경 |
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