JP2006220597A - 表面情報計測装置。 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 大きな凹面および凸面形状をした試料5aまたは5b表面に対して、先端に探針(プローブ)を有するカンチレバー13を用いて試料形状を測定する表面計測装置において、試料5a(5b)側に試料移動ステージとカンチレバー13側に微動機構回転ステージ18とを備えて、大きな凹面5bおよび凸面5a形状の試料表面の位置に関わらず、探針表面状態およびカンチレバーたわみに係わる、探針が受ける原子間力の方向が変わらないように調整して、試料表面形状を測定できるようにした。
【選択図】 図6
Description
プローブ顕微鏡の原理は、先端を充分に鋭くした検出チップと試料間に働く物理力を、前記検出チップが取り付けられているばね要素の変位として測定し、前記ばね要素の変位量を一定に保ちながら前記試料表面を走査し、前記ばね要素の変位量を一定に保つための制御信号を形状情報として、前記試料表面の形状を測定するものである。
また、プロ−ブ顕微鏡は、試料に対向する位置に配置された探針(プロ−ブ)が試料から原子間力を受けるものならば原子間力顕微鏡と称され、磁気力ならば磁気力顕微鏡と称される様に試料から生じる様々な力を検出して試料の状態を観察できるものである。
試料面内の形状や物性を視覚的に画像化することもできる。
G. Binnig, C.F. Quate and Ch. Gerber, Atomic Force Microscope, 撤hysical Review Letters・ American, Physical Society, 1986, Vol.56, No.9, p.931 R. Erlandsson, G. M. McClelland, C. M. Mate, and S. Chiang, Atomic force microscopy using optical interferometry, 笛ournal of Vacuum Science Technology・ Mar/Apr 1988, A6(2), pp. 266-270 S. Alexander, L. Hellemans, O. Marti, J. Schneir, V. Elings, and P. K. Hansma, Matt Longmire and John Gurley, An atomic-resolution atomic-force microscope implemented using an optical lever, 笛ournal of Applied Physics・ 1989, 65(1), pp. 164-167
本発明の第二実施形態の構成を、図3から図6を用いて説明する。
2 除振台
3 弾性材
4 ベース
5 試料
5a 凸面試料
5b 凹面試料
6 試料移動ステージ
7 試料傾斜ステージ
8 試料回転ステージ
9 試料台
10 アーム
11 粗動機構
12 微動機構
13 カンチレバー
14 探針(プロ−ブ)
15 カンチレバーベース部
16 防音ボックス
17 試料搬送機構
18 微動機構回転ステージ
19 光学顕微鏡
20 CCDカメラ
21 制御部
22 データ取り込みやユーザーインターフェース部
23 光学顕微鏡位置調整ステージ
Claims (8)
- プローブを試料表面に接近または接触させて、試料表面の形状情報または試料の物理情報を計測する表面情報計測装置であって、
前記試料を移動させる試料移動ステージと、
前記プローブを先端に固定すると共に、電圧を印加させたときに前記試料表面に垂直なZ方向に伸縮して、前記プローブを前記試料表面に対して接近離間させる微動機構を有し、
相対的に前記試料と前記プローブがなす角度を調整する角度調整機構を前記試料側または前記プローブ側の少なくとも1つを備えたことを特徴とする表面情報計測装置。 - 請求項1記載の表面情報計測装置において、
前記角度調整機構として、前記試料移動ステージ上に前記試料を傾斜する試料傾斜ステージを備えたことを特徴とする表面情報計測装置。 - 請求項2記載の表面情報計測装置において、
前記試料傾斜ステージが、XYの二方向に傾斜することを特徴とする表面情報計測装置。 - 請求項1記載の表面情報計測装置において、
前記角度調整機構として、前記微動機構を試料表面に対して傾斜させるために該微動機構を180度以内で、回転させる微動機構回転機構であることを特徴とする表面情報計測装置。 - 請求項4記載の表面情報計測装置において、
前記試料移動ステージ上に前記試料を傾斜する試料傾斜ステージを備えたことを特徴とする表面情報計測装置 - 請求項4記載の表面情報計測装置において、
前記試料傾斜ステージがXY軸の2方向の傾斜が可能なステージであることを特徴とする表面情報計測装置。 - 請求項2または4記載の表面情報計測装置において、
前記試料移動ステージが前記試料表面に対して面内方向に回転する試料回転機構を備えたことを特徴とする表面情報計測装置。 - 請求項1乃至7の少なくとも1つに記載の表面情報計測装置において、
前記試料の計測対象面形状が、凹面または凸面であることを特徴とする表面情報計測装置。
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- 2005-02-14 JP JP2005035879A patent/JP2006220597A/ja not_active Withdrawn
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