JP4393352B2 - 電子顕微鏡 - Google Patents
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Description
更に観察対象近傍をすり鉢状に研磨して厚さ数10μmにした後、例えば特開平5−312700 号記載のTEM試料の作製装置を用いて100nm以下に薄膜化する。
まず投影切断面定理を用いて各2次元断面を再構成し、それらを積み重ねて3次元構造を構築する。
この構造では、試料台内の試料位置の微調整を4本のネジで行える。また試料片10の脱着が容易なので、一度観察した試料片10に他の装置で処理を施した後、同じ試料片10を観察することも可能である。また接着剤を用いないので、試料室内の真空度の劣化を避けられる。
試料台13の目印17を結ぶ直線と十字パターン18が一致する様に試料台13を設置し、上記試料台13に突起11の先端が十字パターン18の中心と一致するよう試料を固定すれば、突起11の中心軸zと試料ホルダの試料傾斜軸Zが一致する。
本法は従来の集束イオンビーム加工装置の集束イオンビーム偏向器の制御プログラムを書替えれば実現できる。
加速電圧100kV〜300kVで通常のTEM像を得る際、試料厚さを数10nm程度にして観察しており、これ以上厚くすると観察像が不鮮明になってくる。厚膜試料観察に対しては、エネルギフィルタを用いた非弾性散乱電子の除去が効果を発揮する。試料内を通過した電子のうち弾性散乱電子のみが通過できる様にエネルギフィルタのスリットを設定して非散乱電子を除去すれば、フィルタなしの場合の数倍の厚さの試料が観察できるようになる。
Claims (6)
- 電子線を試料に照射する照射光学系と、
前記試料を保持し、電子レンズのギャップに配置される試料ホルダと、
前記試料を傾斜させる試料傾斜機構と、
前記試料を透過した電子線を検出する検出系と、を有する電子顕微鏡であって、
前記試料ホルダは、
前記試料を固定する第一の面を有し、該第一の面と対向する面にネジ部を有する試料台と、前記ネジ部により前記試料台を取り付け可能なネジ穴を有し、かつ当該ネジ穴の中心軸まわりに任意角度傾斜できる支持具とを有し、
前記支持具に前記試料台を取り付けることにより、前記試料台に固定された前記試料に
前記ネジの中心軸まわりの任意傾斜角度から前記電子線を照射できる構造であり、
前記試料は前記電子線が透過可能な突起部と試料片からなり、
前記突起部の破損を防ぐための筒状の保護カバーが、前記試料台に取り付けられており、
前記保護カバーは、前記ネジ穴の中心軸方向に、前記試料台に対して移動可能な構造であることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の電子顕微鏡において、
前記突起部の形状は、柱状形状または円錐形状または板状形状を含むことを特徴とする電
子顕微鏡。 - 請求項1に記載の電子顕微鏡において、
前記試料は半導体デバイスまたは生物試料または支持棒に観察対象が付着した試料を含む
ことを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の電子顕微鏡において、
前記ネジの中心軸に対し任意角度傾斜した前記試料に前記電子線を照射して、前記ネジの
中心軸に対する任意の傾斜角度から得られた複数の観察像から、三次元像を構成する手段
を備えることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1または2記載の電子顕微鏡において、
前記突起の中心軸と前記ネジの中心軸とを一致させて試料を試料台に固定することにより
、前記突起の中心軸まわりの任意傾斜角度から前記電子線を前記突起に照射できることを
特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の電子顕微鏡において、
前記試料台は、前記試料台を取り付けるためのネジ穴を有する観察装置の試料台として共
通使用可能であることを特徴とする電子顕微鏡。
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