JP6393448B2 - Tem/stemトモグラフィ連続傾斜の取得および位置合せのための基準マーク形成 - Google Patents
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Description
試料を、トモグラフィ用のピラー形に整形するために、1つまたは複数の荷電粒子ビームを試料に導くことと、
試料内に第1の基準穴を作製するために、試料を第1の位置に配置すること、および前記荷電粒子ビームのうちの1つの荷電粒子ビームをドウェル動作モードで試料に導くことと、
第1の基準穴を作製した後に、試料を、一連のトモグラフィ・データ走査のために配置することと、
試料の一連のトモグラフィ・データ走査を実施することと、
トモグラフィ・データ走査における第1の基準穴の位置に基づいて、トモグラフィ・データ走査におけるトモグラフィ・データの正確さを改善することと
を含む方法を提供する。
トモグラフィによって調査するための円錐形またはピラー形の試料を提供することと、
第1の基準マークを作製するために、荷電粒子ビーム・システム内において試料を第1の位置に配置すること、および、試料に荷電粒子ビームを導くことと、
第1の基準マークを作製した後に、一連のトモグラフィ・データ走査のために試料を顕微鏡内に配置することと、
顕微鏡を用いて試料の一連のトモグラフィ・データ走査を実施することと、
トモグラフィ・データ走査における第1の基準マークの位置に基づいて、トモグラフィ・データ取得におけるデータの位置合せをすることと
を含む方法を提供する。
ピラー形試料を提供することと、
ピラー形試料を形成した後に、ピラー形試料上に基準マークを形成することと、
顕微鏡を用いて試料の一連のトモグラフィ・データ走査を実施することと、
トモグラフィ・データ走査における基準マークの位置に基づいて、トモグラフィ・データ走査におけるデータの位置合せをすることと
を含む方法。
201 第1の基準穴
202 第2の基準穴
203 第3の基準穴
204 第4の基準穴
220 ピラーの長手方向軸
510 回転試料ホルダ(傾斜試料ホルダ)
Claims (25)
- ピラー形試料のトモグラフィ分析の方法であって、
(a)試料を、トモグラフィ用のピラー形に整形するために、1つまたは複数の荷電粒子ビームを前記試料に導くことと、
(b)前記試料内に第1の基準穴を作製するために、前記試料を第1の位置に配置すること、および前記荷電粒子ビームのうちの1つの荷電粒子ビームを、前記荷電粒子ビームを動かさずに保持する、ドウェル動作モードで前記試料に導くことと、
(c)前記第1の基準穴を作製した後に、前記試料を、一連の傾斜のトモグラフィ・データ走査のために配置することと、
(d)前記試料の一連の傾斜のトモグラフィ・データ走査を実施することと、
(e)前記トモグラフィ・データ走査における前記第1の基準穴の位置に基づいて、前記トモグラフィ・データ走査から得られたトモグラフィ・データの正確さを改善することと
を含む方法。 - 前記試料内に第2の基準穴を作製するために、前記試料を第2の位置に配置すること、および前記荷電粒子ビームのうちの1つの荷電粒子ビームを前記試料に導くことをさらに含み、前記トモグラフィ・データ走査における前記第1および第2の基準穴の位置に基づいて、前記トモグラフィ・データの正確さを改善する、請求項1に記載の方法。
- トモグラフィ用に前記試料を整形することが、関心領域を含む試料ピラーを前記試料内に形成するために集束イオン・ビームを使用することを含み、前記第1および第2の基準穴が前記関心領域の外側に配置され、前記方法がさらに、前記試料を第3の位置に配置することと、前記荷電粒子ビームのうちの1つの荷電粒子ビームを用いて第3の基準穴を作製することと、前記試料を第4の位置に配置することと、前記荷電粒子ビームのうちの1つの荷電粒子ビームを用いて第4の基準穴を作製することとを含み、前記第3および第4の基準穴が、前記第1および第2の基準穴とは反対側の前記関心領域の外側に配置される、請求項2に記載の方法。
- 前記第1の基準穴と前記第2の基準穴の向きが直交方向である、請求項2に記載の方法。
- 前記第1の基準穴の作製が、前記一連の傾斜のトモグラフィ・データ走査を実施する透過電子顕微鏡内において原位置で実行される、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の基準穴が、傾斜トモグラフィ・ホルダ内に前記試料を保持して形成され、前記一連の傾斜のトモグラフィ・データ走査が、透過電子顕微鏡によって前記傾斜試料ホルダ内で実行される、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の基準穴の作製が、第1の方向に沿って前記試料の少なくとも半分まで達する第1の穴の作製を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記試料内に第2の基準穴を作製するために、前記試料を第2の位置に配置すること、および、前記荷電粒子ビームのうちの1つの荷電粒子ビームを前記試料に導くことをさらに含み、前記第1および第2の穴が、それらの穴のそれぞれの方向に前記試料を完全に貫通する、請求項7に記載の方法。
- 前記第1の穴と前記第2の穴が共通の平面に沿って形成される、請求項8に記載の方法。
- トモグラフィ用の前記試料を整形することが、関心領域を含む試料ピラーを前記試料内に形成するために、集束イオン・ビームを使用することを含み、前記一連の傾斜のトモグラフィ・データ走査が、前記ピラー形の長手方向軸を軸にして前記試料を傾け、透過電子顕微鏡を用いて、前記ピラー形の長手方向軸に対してほぼ直角に走査することによって実施される、請求項1に記載の方法。
- 前記トモグラフィ・データの正確さを改善することが、データ群の位置合せを、相互相関位置合せだけに依存して改善するために前記第1の基準穴を識別することにより、トモグラフィ再構成を改善することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記トモグラフィ・データの正確さを改善することが、前記一連の傾斜のトモグラフィ・データ走査のうちの連続するトモグラフィ・データ走査において前記試料を配置する間に、前記第1の基準穴を識別することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記トモグラフィ・データの正確さを改善することが、前記トモグラフィ・データ群の位置合せ中に、前記第1の基準穴を、特徴部分追跡技法のための目標物として識別することを含む、請求項1に記載の方法。
- 試料を分析する方法であって、
(a)トモグラフィによって調査するための円錐形またはピラー形の試料を提供することと、
(b)第1の基準穴を前記試料内に作製するために、荷電粒子ビーム・システム内において前記試料を第1の位置に配置すること、および、前記試料に荷電粒子ビームを導くことと、
(c)前記第1の基準穴を作製した後に、一連の傾斜のトモグラフィ・データ走査のために前記試料を顕微鏡内に配置することと、
(d)前記顕微鏡を用いて前記試料の一連の傾斜のトモグラフィ・データ走査を実施することと、
(e)前記トモグラフィ・データ走査における前記第1の基準穴の位置に基づいて、前記トモグラフィ・データ走査から得られたデータの位置合せをすることと
を含む方法。 - 第1の基準穴を作製するために前記試料に荷電粒子ビームを導くことが、前記試料に向かって電子ビームを導くことを含む、請求項14に記載の方法。
- 前記顕微鏡を用いて前記試料の一連の傾斜のトモグラフィ・データ走査を実施することが、電子顕微鏡を用いて前記試料の一連の傾斜のトモグラフィ・データ走査を実施することを含む、請求項15に記載の方法。
- 第2の基準穴を作製するために、前記荷電粒子ビーム・システム内において前記試料を第2の位置に配置すること、および、前記試料に前記荷電粒子ビームを導くことをさらに含み、前記トモグラフィ・データの正確さを改善することが、前記第2の基準穴の位置にも基づく、請求項14に記載の方法。
- 前記試料が、関心領域を含む太さ200nm未満のピラーであり、前記第1および第2の基準穴が、前記関心領域の第1の端部の近くに提供された穴であり、前記方法がさらに、前記第1の端部の反対側の前記関心領域の第2の端部の近くに、前記試料を貫通する第3および第4の基準穴を形成することを含み、前記トモグラフィ・データの正確さを改善することが、前記第3および第4の基準穴の位置にも基づく、請求項17に記載の方法。
- 前記試料が円筒ピラー形に形成され、前記一連の傾斜のトモグラフィ・データ走査が、前記ピラー形の長手方向軸を軸にして前記試料を傾け、前記顕微鏡を用いて、前記ピラー形の長手方向軸に対してほぼ直角に走査することによって実施される、請求項14に記載の方法。
- 前記トモグラフィ・データからのデータの位置合せをすることが、前記第1の基準穴を、再構成プロセスの位置合せ手順中に特徴部分追跡アルゴリズムを用いて追跡する特徴部分として識別することにより、トモグラフィ再構成を改善することを含む、請求項14に記載の方法。
- 前記試料をより良好に配置するために、前記一連の傾斜のトモグラフィ・データ走査の連続する走査のために前記試料を配置する間に、前記第1の基準穴を識別することをさらに含む、請求項14に記載の方法。
- トモグラフィを形成する方法であって、
ピラー形試料を提供することと、
前記ピラー形試料を形成した後に、前記ピラー形試料内に基準穴を形成することと、
顕微鏡を用いて前記試料の一連の傾斜のトモグラフィ・データ走査を実施することと、
前記トモグラフィ・データ走査における前記基準穴の位置に基づいて、前記トモグラフィ・データ走査におけるデータの位置合せをすることと
を含む方法。 - 前記ピラー形試料内に基準穴を形成することが、荷電粒子ビームを使用して前記ピラー内に穴を形成することを含む、請求項22に記載の方法。
- 前記トモグラフィ・データ走査におけるデータの位置合せをすることが、所定のレベル内の走査の位置合せをすることを含む、請求項22に記載の方法。
- 前記トモグラフィ・データ走査におけるデータの位置合せをすることが、異なるレベルからの画像の位置合せをすることを含む、請求項22に記載の方法。
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