JP5321918B2 - 電子顕微鏡用試料作製方法 - Google Patents
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Description
本発明の第1の実施の形態について、図1〜図5を参照して以下説明する。図1は、針状試料の作製方法を説明する図である。図1(a)〜(e)は、観察したい試料の埋め込まれている基板からTEMトモグラフィー観察用の針状形状の試料を作製する各工程を表す。図1のxyz軸は、作製後の針状試料との関係を説明するために付与したものであり、y軸はTEM内での試料の回転軸と平行な向きで、z軸はTEM内での試料への電子線入射方向と平行な向きである。x軸は、それらに垂直な軸である。
なお、dzとdyは、集束イオンビーム装置の二次イオン像から確認しておく。
2 保護膜(カーボン膜)
3 集束イオンビーム
4 支持部
5 プローブ
6 カーボン膜
7 分離試料
8 試料ステージ
9 カーボン膜
10 マスク
11 観察領域
12 真空部分
31 電極
32 タングステンワイヤー
33 金線
Claims (5)
- 電子顕微鏡用試料の作製方法であって、
試料を集束イオンビームで針状試料に形成加工する際に、前記試料からマスクを、後の前記針状試料への金微粒子の蒸着工程で金微粒子を選択的に遮蔽する位置に、形成加工する形成加工工程と、
前記形成加工工程後、蒸着装置内で、前記マスクにより、金微粒子を付着させる領域と付着させない領域を分離させるよう蒸着する蒸着工程とを備え、
前記金微粒子を付着させない領域が電子顕微鏡の観察領域であることを特徴とする電子顕微鏡用試料作製方法。 - 前記金微粒子を付着させる領域が、針状先端部であることを特徴とする請求項1記載の電子顕微鏡用試料作製方法。
- 請求項1又は2記載の作製方法により作製した電子顕微鏡用試料の電子顕微鏡画像形成方法であって、前記針状試料の針状長手方向に対して垂直に電子線を入射し、針状試料の針状長手方向を回転軸として、透過電子顕微鏡画像の回転像シリーズを撮影し、前記回転像の金微粒子をマーカーとして位置合わせを行い、試料の三次元像を得ることを特徴とする電子顕微鏡画像形成方法。
- 位置合わせのための金微粒子が付着した領域を先端部に有して、金微粒子の付着しない観察領域を中間部に有する針状試料と、マスク部と、前記針状試料と前記マスク部とを繋ぐ台座部とを備える一体構造の透過型の電子顕微鏡用の試料であって、
前記マスク部は、前記観察領域への金微粒子の付着を遮蔽する位置に設けられ、前記針状試料の前記観察領域より針状長手方向高さが低いことを特徴とする電子顕微鏡用試料。 - 前記針状試料の針状長手方向に対して垂直に電子線を入射して、針状試料の針状長手方向を回転軸として、透過電子顕微鏡画像の回転像シリーズを撮影し、前記回転像の金微粒子をマーカーとして位置合わせを行い、試料の三次元像を得ることを特徴とする請求項4記載の電子顕微鏡用試料を用いる電子顕微鏡画像形成方法。
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