JPH0545265A - 走査電子顕微鏡の性能評価用試料及びその製作方法 - Google Patents
走査電子顕微鏡の性能評価用試料及びその製作方法Info
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- JPH0545265A JPH0545265A JP22657191A JP22657191A JPH0545265A JP H0545265 A JPH0545265 A JP H0545265A JP 22657191 A JP22657191 A JP 22657191A JP 22657191 A JP22657191 A JP 22657191A JP H0545265 A JPH0545265 A JP H0545265A
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- JP
- Japan
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- specimen
- microscope
- island
- electron microscope
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 分解能の測定が簡単に行なえる走査電子顕微
鏡の性能評価用試料およびその製作方法を提供するこ
と。 【構成】 蒸発源５からの金の蒸発粒子の内、被蒸着部
材３の遮蔽部材のエッジＱに衝突したものは、被蒸着部
材３の表面（ａ〜ｅ）に回りこんで吸着する。位置ａに
金の蒸発粒子が最も多く飛来し、位置ｅ方向に進むに従
ってその数が減少し、島状塊の成長に差が生じる。この
為、位置ａでの島状塊の平均粒径が最も大きくなり、位
置ｅ方向に進むに従ってそれは小さくなる。また、隣り
合う島状塊の間隔は、位置ｅ方向に進むに従って密にな
る。このような島状塊の平均粒径が一定方向に徐々に大
きくなっている試料を電子顕微鏡の試料室にセットし、
電子線を照射する位置を適宜選べば分解能の測定が簡単
にできる。
鏡の性能評価用試料およびその製作方法を提供するこ
と。 【構成】 蒸発源５からの金の蒸発粒子の内、被蒸着部
材３の遮蔽部材のエッジＱに衝突したものは、被蒸着部
材３の表面（ａ〜ｅ）に回りこんで吸着する。位置ａに
金の蒸発粒子が最も多く飛来し、位置ｅ方向に進むに従
ってその数が減少し、島状塊の成長に差が生じる。この
為、位置ａでの島状塊の平均粒径が最も大きくなり、位
置ｅ方向に進むに従ってそれは小さくなる。また、隣り
合う島状塊の間隔は、位置ｅ方向に進むに従って密にな
る。このような島状塊の平均粒径が一定方向に徐々に大
きくなっている試料を電子顕微鏡の試料室にセットし、
電子線を照射する位置を適宜選べば分解能の測定が簡単
にできる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】 本発明は走査電子顕微鏡の性能
評価に使用する試料及びその製作方法に関する。
評価に使用する試料及びその製作方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】 走査電子顕微鏡は、細く絞り込まれた
電子線をＸとＹ方向に偏向して試料表面を走査し、各照
射点から放出される信号を検出し、その信号量の違いを
陰極線管上に輝度変調して表示する装置である。
電子線をＸとＹ方向に偏向して試料表面を走査し、各照
射点から放出される信号を検出し、その信号量の違いを
陰極線管上に輝度変調して表示する装置である。
【０００３】このような走査電子顕微鏡の分解能の測定
は、次のような標準試料を用いて行なっている。即ち、
基板に例えば金を蒸着させると、基板上に蒸着した金が
各部分で集合して成長し、基板上に無数の島状の塊が形
成される。このような標準試料に加速電圧を高くして細
く絞った電子線を照射して陰極線管上に島状塊の像を表
示し、認識できる隣り合う島状塊の最短距離を測定する
ようにしている。この際、走査電子顕微鏡の分解能は装
置固有の性能差および加速電圧などの観察条件により異
なるので、島状塊間の距離の異なる性能評価用試料を複
数個用意し、全ての試料を用いて分解能の測定を行なっ
ている。
は、次のような標準試料を用いて行なっている。即ち、
基板に例えば金を蒸着させると、基板上に蒸着した金が
各部分で集合して成長し、基板上に無数の島状の塊が形
成される。このような標準試料に加速電圧を高くして細
く絞った電子線を照射して陰極線管上に島状塊の像を表
示し、認識できる隣り合う島状塊の最短距離を測定する
ようにしている。この際、走査電子顕微鏡の分解能は装
置固有の性能差および加速電圧などの観察条件により異
なるので、島状塊間の距離の異なる性能評価用試料を複
数個用意し、全ての試料を用いて分解能の測定を行なっ
ている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】 このような分解能の
測定は、性能評価用試料の交換に時間と手間がかかり非
常に厄介である。
測定は、性能評価用試料の交換に時間と手間がかかり非
常に厄介である。
【０００５】本発明はこのような点に鑑みて成されたも
ので、分解能の測定が簡単に行なえる走査電子顕微鏡の
性能評価用試料およびその製作方法を提供することを目
的としている。
ので、分解能の測定が簡単に行なえる走査電子顕微鏡の
性能評価用試料およびその製作方法を提供することを目
的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】 本発明の走査電子顕微
鏡の性能評価用試料は、被蒸着部材に蒸着剤を蒸着させ
る事により形成された島状塊の平均粒径が一定方向に徐
々に大きくなっている。このような試料を製作する本発
明の方法は、被蒸着部材と蒸発源の間に遮蔽部材を配置
し、該遮蔽部材のエッジ部に衝突した蒸発粒子を前記被
蒸着部材表面に吸着させる。
鏡の性能評価用試料は、被蒸着部材に蒸着剤を蒸着させ
る事により形成された島状塊の平均粒径が一定方向に徐
々に大きくなっている。このような試料を製作する本発
明の方法は、被蒸着部材と蒸発源の間に遮蔽部材を配置
し、該遮蔽部材のエッジ部に衝突した蒸発粒子を前記被
蒸着部材表面に吸着させる。
【０００７】
【実施例】 以下、本発明を図面を参照して説明する。
【０００８】図１において、１は真空排気された真空
室、２は加熱体（例えばタンタルから成る）で、この加
熱体２の上には、段差（遮蔽部材）を有する被蒸着部材
（例えばカーボン）３が載置されている。また、加熱体
２は加熱電源４に接続されている。５は蒸発源で、電源
６に接続されたタングステンフィラメント７，このタン
グステンフィラメント７に引掛けられた金線８から成
る。
室、２は加熱体（例えばタンタルから成る）で、この加
熱体２の上には、段差（遮蔽部材）を有する被蒸着部材
（例えばカーボン）３が載置されている。また、加熱体
２は加熱電源４に接続されている。５は蒸発源で、電源
６に接続されたタングステンフィラメント７，このタン
グステンフィラメント７に引掛けられた金線８から成
る。
【０００９】このような構成において、加熱電源４を制
御することにより加熱体２は加熱され、その為、被蒸着
部材３も加熱される。また、電源６を制御することによ
りタングステンフィラメント７に電流が流れ、タングス
テンフィラメント７に引掛けられた金線８が熱せられ
る。この金線８の温度がこの金の融点に達すると、金の
蒸発粒子が放射状に飛び散る。この蒸発粒子の内、前記
被蒸着部材３の遮蔽部材のエッジＱに衝突したものは、
被蒸着部材３の表面（ａ〜ｅ）に回りこんで吸着する。
御することにより加熱体２は加熱され、その為、被蒸着
部材３も加熱される。また、電源６を制御することによ
りタングステンフィラメント７に電流が流れ、タングス
テンフィラメント７に引掛けられた金線８が熱せられ
る。この金線８の温度がこの金の融点に達すると、金の
蒸発粒子が放射状に飛び散る。この蒸発粒子の内、前記
被蒸着部材３の遮蔽部材のエッジＱに衝突したものは、
被蒸着部材３の表面（ａ〜ｅ）に回りこんで吸着する。
【００１０】図２は上記処理を終えた被蒸着部材３の位
置ａからｅの走査電子顕微鏡像を示したものである。位
置ａでの島状塊の平均粒径が最も大きく、位置ｅ方向に
進むに従ってそれは小さくなっている。また、隣り合う
島状塊の間隔は、位置ｅ方向に進むに従って密になって
いる。これは、位置ａに金の蒸発粒子が最も多く飛来
し、位置ｅ方向に進むに従ってその数が減少し、島状塊
の成長に差が生じたためである。
置ａからｅの走査電子顕微鏡像を示したものである。位
置ａでの島状塊の平均粒径が最も大きく、位置ｅ方向に
進むに従ってそれは小さくなっている。また、隣り合う
島状塊の間隔は、位置ｅ方向に進むに従って密になって
いる。これは、位置ａに金の蒸発粒子が最も多く飛来
し、位置ｅ方向に進むに従ってその数が減少し、島状塊
の成長に差が生じたためである。
【００１１】さて、電子顕微鏡の分解能を測定する場合
は、このようにして作成された性能評価用試料を電子顕
微鏡の試料室にセットする。そして、電子線を照射する
位置を適宜選べば、従来のような試料の交換を行うこと
なく、種々の大きさで分解能の測定ができる。
は、このようにして作成された性能評価用試料を電子顕
微鏡の試料室にセットする。そして、電子線を照射する
位置を適宜選べば、従来のような試料の交換を行うこと
なく、種々の大きさで分解能の測定ができる。
【００１２】また、被蒸着部材に段差を設ける代わり
に、図３に示すように、被蒸着部材９と蒸発源の間に遮
蔽部材である衝立１０を設け、被蒸着部材の表面への金
の蒸発粒子の飛来数に差が生じるようにしてもよい。
に、図３に示すように、被蒸着部材９と蒸発源の間に遮
蔽部材である衝立１０を設け、被蒸着部材の表面への金
の蒸発粒子の飛来数に差が生じるようにしてもよい。
【００１３】
【発明の効果】 本発明の走査電子顕微鏡の性能評価用
試料は、被蒸着部材に蒸着剤を蒸着させる事により形成
された島状塊の平均粒径が一定方向に徐々に大きくなっ
ているので、電子線を照射する位置を適宜選ぶだけで広
い範囲にわたる走査電子顕微鏡の分解能の測定が簡単に
行える。
試料は、被蒸着部材に蒸着剤を蒸着させる事により形成
された島状塊の平均粒径が一定方向に徐々に大きくなっ
ているので、電子線を照射する位置を適宜選ぶだけで広
い範囲にわたる走査電子顕微鏡の分解能の測定が簡単に
行える。
【図１】 本発明を説明するために示したものである。
【図２】 本発明の性能評価用試料の電子顕微鏡像を示
したものである。
したものである。
【図３】 他の実施例を説明するために示したものであ
る。
る。
１…真空室、２…加熱体、３…被蒸着部材、４…加熱電
源、５…蒸発源、６…電源、７…タングステンフィラメ
ント、８…金線、９…被蒸着部材、１０…衝立、Ｑ…エ
ッジ
源、５…蒸発源、６…電源、７…タングステンフィラメ
ント、８…金線、９…被蒸着部材、１０…衝立、Ｑ…エ
ッジ
Claims (2)
- 【請求項１】 被蒸着部材に蒸着剤を蒸着させる事によ
り形成された島状塊の平均粒径が一定方向に徐々に大き
くなっている走査電子顕微鏡の性能評価用試料。 - 【請求項２】 被蒸着部材と蒸発源の間に遮蔽部材を配
置し、該遮蔽部材のエッジ部に衝突した蒸発粒子を前記
被蒸着部材表面に吸着させる事を特徴とする走査電子顕
微鏡の性能評価用試料の製作方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22657191A JPH0545265A (ja) | 1991-08-12 | 1991-08-12 | 走査電子顕微鏡の性能評価用試料及びその製作方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22657191A JPH0545265A (ja) | 1991-08-12 | 1991-08-12 | 走査電子顕微鏡の性能評価用試料及びその製作方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0545265A true JPH0545265A (ja) | 1993-02-23 |
Family
ID=16847256
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22657191A Withdrawn JPH0545265A (ja) | 1991-08-12 | 1991-08-12 | 走査電子顕微鏡の性能評価用試料及びその製作方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0545265A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6166380A (en) * | 1997-05-08 | 2000-12-26 | Hitachi, Ltd. | Resolving power evaluation method and specimen for electron microscope |
| JP2001202911A (ja) * | 1999-09-03 | 2001-07-27 | Applied Materials Inc | ビームの評価 |
| US7236651B2 (en) | 2001-08-24 | 2007-06-26 | Hitachi, Ltd. | Image evaluation method and microscope |
| JP2011158257A (ja) * | 2010-01-29 | 2011-08-18 | Hitachi High-Technologies Corp | 像分解能評価用試料，荷電粒子線装置、および試料作成方法 |
| JP2012002552A (ja) * | 2010-06-15 | 2012-01-05 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 電子顕微鏡用試料作製方法 |
| US8294118B2 (en) | 2009-02-03 | 2012-10-23 | Hitachi High-Technologies Corporation | Method for adjusting optical axis of charged particle radiation and charged particle radiation device |
-
1991
- 1991-08-12 JP JP22657191A patent/JPH0545265A/ja not_active Withdrawn
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6166380A (en) * | 1997-05-08 | 2000-12-26 | Hitachi, Ltd. | Resolving power evaluation method and specimen for electron microscope |
| JP2001202911A (ja) * | 1999-09-03 | 2001-07-27 | Applied Materials Inc | ビームの評価 |
| US7236651B2 (en) | 2001-08-24 | 2007-06-26 | Hitachi, Ltd. | Image evaluation method and microscope |
| US7340111B2 (en) | 2001-08-24 | 2008-03-04 | Hitachi, Ltd. | Image evaluation method and microscope |
| US7805023B2 (en) | 2001-08-24 | 2010-09-28 | Hitachi, Ltd. | Image evaluation method and microscope |
| US8294118B2 (en) | 2009-02-03 | 2012-10-23 | Hitachi High-Technologies Corporation | Method for adjusting optical axis of charged particle radiation and charged particle radiation device |
| JP2011158257A (ja) * | 2010-01-29 | 2011-08-18 | Hitachi High-Technologies Corp | 像分解能評価用試料，荷電粒子線装置、および試料作成方法 |
| JP2012002552A (ja) * | 2010-06-15 | 2012-01-05 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 電子顕微鏡用試料作製方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19981112 |