JP2009192341A - 透過電子顕微鏡用薄片試料の作製方法、及びそれに用いる試料台 - Google Patents
透過電子顕微鏡用薄片試料の作製方法、及びそれに用いる試料台 Download PDFInfo
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Abstract
【課題】従来の1個の試料を搭載固定した試料台を有する透過電子顕微鏡用試料の作製方法と比べて、作製時間とTEMによる観察時間が大幅に短縮することができる透過電子顕微鏡用試料の作製方法の提供。
【解決手段】イオンビームの光軸に対して垂直な面内を回転する機構を有するホルダー上の試料台に最大4個まで微小試料を搭載し、各微小試料は隣の微小試料とは90度以上の角度になるように離すように固定することを特徴とする透過電子顕微鏡用薄片試料の作製方法及び最大4個まで使用される微小試料が、隣の微小試料とは90度以上の角度になるように離すように搭載固定されている保持台並びに該保持台を有することを特徴とする透過電子顕微鏡観察用薄片試料ホルダーにて提供。
【選択図】図2
【解決手段】イオンビームの光軸に対して垂直な面内を回転する機構を有するホルダー上の試料台に最大4個まで微小試料を搭載し、各微小試料は隣の微小試料とは90度以上の角度になるように離すように固定することを特徴とする透過電子顕微鏡用薄片試料の作製方法及び最大4個まで使用される微小試料が、隣の微小試料とは90度以上の角度になるように離すように搭載固定されている保持台並びに該保持台を有することを特徴とする透過電子顕微鏡観察用薄片試料ホルダーにて提供。
【選択図】図2
Description
本発明は、透過電子顕微鏡用薄片試料の作製方法、及びそれに用いる試料台に関し、更に詳しくは、集束イオンビーム加工装置を用いて、特定部位から微小試料片を摘出し、透過電子顕微鏡用薄片試料とする際、作製時間を大幅に短縮することができる透過電子顕微鏡用微小試料の作製方法、及びそれに用いる試料台に関する。
物理学、化学、工学、生物学、医学などの各分野では、デバイス、金属薄膜、複合材料、有機材料の微細断面加工と観察を行うために電子顕微鏡が広く利用されている。電子顕微鏡には、観察対象(薄片試料)に電子線をあて、それを透過してきた電子を拡大して観察する透過電子顕微鏡(TEM:Transmission Electron Microscope)と、電子線で試料表面を走査し、表面から放出される二次電子を検出してディスプレイ上に走査イオン像としてとらえ、試料の表面状態を高分解能で観察可能とする走査電子顕微鏡(SEM:Scannig Electron Microscope)がある。
透過電子顕微鏡(TEM)では、観察対象(薄片試料)にあてた電子線が透過しなければならないので、薄く丈夫な試料が必要となる。電子材料や機能材料の開発には、例えば、結晶の粒子サイズや配向性、粒界における析出物の有無などの微細構造が特性を左右するため、ミクロな領域からの材料解析が重要になっている。このような原子レベルに近い微細構造を観察し解析するには、試料を数千A以下の厚さまで元の状態を維持したまま薄片化する必要がある。
TEM用試料の作製方法には、Arイオンを試料に照射し薄片化する方法(以下、イオンシニング法と記す)が以前はよく用いられていた。この方法は、試料を事前に数10μmの厚さまで加工した後、装置にセットしArイオンで適切な厚さになるまで削っていくが、試料作製に数日以上を要する場合がある。
近年では、Gaイオンを利用した集束イオンビーム加工装置(FIB)による加工が一般的となり、1日で複数の試料作製することが可能になった。FIBを用いたTEM用試料作製方法は、試料をFIBで加工し易い30〜50μm程度の厚さまでダイシングソーなどにより粗加工する必要がある。しかし、最近になって、バルク試料から所望の特定部位を含む試料片のみを摘出して、シリコン(Si)片にFIB照射によって形成するデポジション膜を用いて固定し、分析装置の試料ステージに装着するいわゆるマイクロサンプリング法や、TEM観察できる厚さまでFIBで加工後マニュピレータを用いて薄片を摘出し支持膜付きのメッシュにのせるリフトアウト法などが一般的に用いられるようになった。(例えば、特許文献1参照。)。
このうちマイクロサンプリング法は、試料の応力の影響を受け難く、リフトアウト法や従来法などに比べると確実に摘出することができるなど優れた特徴を持っている。また、イオンビーム軸やホルダー軸に対して垂直な面内を360度回転できる機構を有するホルダーとマイクロサンプリング法を組み合わせることで3Dトモグラフィー法に代表される様々な方向からの解析が容易となった(例えば、特許文献2参照。)
この回転機構を有するホルダーを用いる場合は、図1のようにピラー状の試料台の上にマイクロサンプリング法で摘出した試料を固定してFIB加工による薄片処理を行う。この場合、試料台に載せられる試料は一つに限られる。もし、2つ以上載せると薄片化処理の際の削りカスが他の試料に付着したり、TEM観察の際に観察方向に他の試料が干渉してしまうためである。
材料開発では様々な条件で作製した試料の特性や違いを評価する必要がある。そのためTEM分析においても多くの試料の観察が必要であるが、TEM内に入れられる試料が前記の理由により一つだけであるため、試料ごとに入れ替えの作業があり非常に効率が悪いという欠点があった。
このように試料台に1個の微小試料を搭載して、FIBで1個の薄片試料を加工するのには、通常3〜5時間かかり、かつ神経を尖らせる熟練技能的な手作業を要し、また、こうして作製された薄片試料をTEMに装着して観察する場合、透過電子顕微鏡の内部を真空状態にするため長時間を必要としている。
このように試料台に1個の微小試料を搭載して、FIBで1個の薄片試料を加工するのには、通常3〜5時間かかり、かつ神経を尖らせる熟練技能的な手作業を要し、また、こうして作製された薄片試料をTEMに装着して観察する場合、透過電子顕微鏡の内部を真空状態にするため長時間を必要としている。
SEMの場合は、TEMほどの薄い試料が必要とされるわけではないが、観察効率を高めるために、複数試料を装置内に入れられるように試料台の表面に切り込み部を設けることが提案されている(例えば、特許文献3参照。)具体的には3個の切り込み部を設けた試料台に、3個の試料を立て、カーボンペーストで接着することが例示されている。そして、これにより従来困難であった同一試料台による複数の試料の断面観察が可能となり、また試料交換のためのSEMリークの時間等を短縮することが可能であるとしている。
しかし、このような試料台では隣の試料との距離が接近しているため、FIB加工ができず、観察中に削りカスによる不具合が発生してしまうためにTEMに適用することはできない。したがって、TEM用の薄片試料を作製する時間を短縮することができ、TEM観察においても精度を落とすことなく、観察時間も短縮できる試料台の開発が要請されている。
特開平11−108813号公報
特開2004−87214号公報
特開平7−65767号公報(段落0014)
本発明の目的は、上記問題点を解決するために、集束イオンビーム加工装置を用いて、特定部位から微小試料片を摘出し、透過電子顕微鏡用薄片試料とする際、作製時間を大幅に短縮することができる透過電子顕微鏡用微小試料の作製方法、及びそれに用いる試料台を提供することを課題とする。
本発明者は、上記課題に鑑み鋭意研究の結果、回転機構を有するホルダー上の試料台が特定の形状であれば複数個の微小試料を搭載でき、FIBで薄片化処理作業を行う際に、隣り合う微小試料の角度を90度以上にすることで、TEM観察の精度に影響を与えることなく処理時間、観察時間を短縮できることを見出し、本発明を完成させた。
すなわち、本発明の第1発明によれば、集束イオンビーム加工装置を用いて、試料の特定部位から微小試料片を摘出し、摘出した微小試料片を試料台に固定する方法において、イオンビームの光軸に対して垂直な面内を回転する機構を有するホルダー上の試料台に2〜4個の微小試料片を搭載することを特徴とする透過電子顕微鏡用薄片試料の作製方法が提供される。
また、本発明の第2発明によれば、集束イオンビーム加工装置を用いて、試料の特定部位から微小試料片を摘出し、摘出した微小試料片を試料台に固定する方法において、ホルダーの軸に対して垂直な面内を回転する機構を有するホルダー上の試料台に2〜4個の微小試料片を搭載することを特徴とする透過電子顕微鏡用薄片試料の作製方法が提供される。
さらに、本発明の第3発明によれば、第1又は第2発明において、微小試料は、隣同士が90度以上の角度になるように互いに離して試料台に固定されることを特徴とする透過電子顕微鏡用薄片試料の作製方法が提供される。
さらに、本発明の第3発明によれば、第1又は第2発明において、微小試料は、隣同士が90度以上の角度になるように互いに離して試料台に固定されることを特徴とする透過電子顕微鏡用薄片試料の作製方法が提供される。
一方、本発明の第4発明によれば、第1〜3発明のいずれかに係る透過電子顕微鏡用薄片試料の作製方法に用いられる試料台であり、その形状が円柱状、三角柱状、または四角柱状のいずれかであることを特徴とする試料台が提供される。
本発明の方法によれば、試料台に最大4個まで微小試料を搭載するので、試料作製に要する時間が短縮でき、従来の熟練技能的な手作業から開放される。また、隣りあう微小試料が90度以上の角度になるように離して固定することで、FIBで微小試料を薄片化処理するとき削りカスが薄片試料に付着しない。
本発明による試料作製方法および試料台を用いれば、試料の入れ替えを極力少なくでき、しかも視野内で隣の試料が干渉せずに試料全面を観察効率的なTEM観察を行うことができる。
本発明による試料作製方法および試料台を用いれば、試料の入れ替えを極力少なくでき、しかも視野内で隣の試料が干渉せずに試料全面を観察効率的なTEM観察を行うことができる。
以下、本発明の透過電子顕微鏡用薄片試料の作製方法、及びそれに用いる試料台について、各項目毎に詳細に説明する。
本発明の透過電子顕微鏡用薄片試料の作製方法は、集束イオンビーム加工装置を用いて、試料の特定部位から微小試料片を摘出し、摘出した微小試料片を試料台に固定する方法において、イオンビームの光軸に対して垂直な面内を回転する機構を有するホルダー上の試料台に2〜4個の微小試料片を搭載することを特徴とする(第1の方法)。
また、本発明の透過電子顕微鏡用薄片試料の作製方法は、集束イオンビーム加工装置を用いて、試料の特定部位から微小試料片を摘出し、摘出した微小試料片を試料台に固定する方法において、ホルダーの軸に対して垂直な面内を回転する機構を有するホルダー上の試料台に2〜4個の微小試料片を搭載することを特徴とする(第2の方法)。
また、本発明の透過電子顕微鏡用薄片試料の作製方法は、集束イオンビーム加工装置を用いて、試料の特定部位から微小試料片を摘出し、摘出した微小試料片を試料台に固定する方法において、ホルダーの軸に対して垂直な面内を回転する機構を有するホルダー上の試料台に2〜4個の微小試料片を搭載することを特徴とする(第2の方法)。
1.集束イオンビーム加工装置(FIB)
透過電子顕微鏡を用いて試料を観察するためには、集束イオンビームを用いて、予め試料の観察部分を非常に薄い薄膜形状(例えば、100nm程度の薄膜)すなわち薄片試料に加工する。
透過電子顕微鏡を用いて試料を観察するためには、集束イオンビームを用いて、予め試料の観察部分を非常に薄い薄膜形状(例えば、100nm程度の薄膜)すなわち薄片試料に加工する。
集束イオンビーム加工装置は、電界によりガリウムイオン源(液体ガリウム)から引き出したガリウムイオンを細く絞りイオンビームを抽出し、5〜10nmに集束させた上で、試料に走査して照射することで、試料表面上の原子や分子を真空中にはじき出させ、このスパッタリング現象を応用したエッチングにより、試料にサブミクロンの精度で平滑な断面の作製や穴開け加工を行うことができる加工装置である。
2.試料台
本発明の試料台は、上記透過電子顕微鏡用薄片試料の作製方法に用いられる試料台であり、その形状が円柱状、三角柱状、または四角柱状のいずれかであることを特徴とする。
本発明の試料台は、上記透過電子顕微鏡用薄片試料の作製方法に用いられる試料台であり、その形状が円柱状、三角柱状、または四角柱状のいずれかであることを特徴とする。
試料台の素材は、試料片を支持できる強度を有するものであれば特に限定されず、例えば、モリブデンや銅などの金属および合金や、炭素、高分子材料などが挙げられる。試料台の大きさは、装置の種類にもよるので一概に規定できないが、例えば、直径(縦・横)2〜5mm程度、高さ5〜20mm程度である。
試料を直接固定する部位は、予めFIBやその他の加工方法によって、試料台の形状が円柱、三角柱、四角柱になるように加工することが好ましい。形状を円柱状、三角柱状、または四角柱状のいずれかとするのは、試料台が回転機構を有するホルダーの一部を構成しており、試料台が回転するので最大4個まで微小試料を搭載し、各微小試料は隣の微小試料とは90度以上の角度になるように離すように固定するためである。
3.試料作製
本発明においては、試料から集束イオンビーム加工装置を用いてマイクロサンプリング法により、観察すべき領域を含む微小試料が短冊状ペレットとして切り出される。このペレットの大きさは、おおよそ20×15×3μm(3μmは短冊状ペレットの厚み)である。
本発明においては、試料から集束イオンビーム加工装置を用いてマイクロサンプリング法により、観察すべき領域を含む微小試料が短冊状ペレットとして切り出される。このペレットの大きさは、おおよそ20×15×3μm(3μmは短冊状ペレットの厚み)である。
次に、この短冊状ペレットの一部を薄壁状にFIB加工してTEM用薄片試料とする。すなわち薄片試料は、透過型電子顕微鏡で透過観察できるように薄片化された観察対象物であり、前記の微小試料(短冊状ペレット)の一部を薄いウォール状に加工したものである。
本発明の第1の方法では、イオンビームの光軸に対して垂直な面内を回転する機構を有するホルダー上の試料台に2〜4個の微小試料を搭載する。また、本発明の第2の方法では、ホルダーの軸に対して垂直な面内を回転する機構を有するホルダー上の試料台に2〜4個の微小試料を搭載する。いずれの場合も、微小試料は、隣り同士と90度以上の角度になるように互いに離して試料台に固定する。
微小試料間の角度は、試料の数、試料台の形状によって異なる。図2(a)のように円柱の試料台2に試料を搭載する場合は、最大4個まで試料1を固定する。隣の試料とは図2(b)のように90度以上の角度になるように離すように固定する。隣の試料との角度が90度よりも小さい場合、FIBで薄片化処理を行うと隣の試料の削りカスが付着し易くなり良好なTEM観察試料を作ることができない。さらに、TEM観察する場合に視野内で隣の試料が干渉し試料全面を観察することができなくなってしまうのでこの角度は重要である。
試料台および試料の配置は、図3(a)のようにFIBのビーム3に対して平行な方向でも図3(b)のように垂直(ホルダー軸に対して水平)であっても良いが、イオンビームの照射に対して隣の試料が下方になるため、削りカスの影響が出る場合もあるのでビームに対して平行な方向の方がより好ましい。
試料は、図4(a)、図4(b)、図4(c)、図4(d)、図4(e)のように辺の部分や角に試料を固定すると良い。なお、五角柱では、角試料を固定すると隣の試料となす角が90度以下になってしまい、前に記載したようなFIB加工中やTEM観察中における不具合が発生してしまうため注意が必要である。ただし、試料を固定し易くする意味で角を僅かに面取りすることはこの限りではない。角を大きく面取りすれば、三角柱、四角柱は、それぞれ六角柱、八角柱となる。また、図5のように既製の試料台に円柱、三角柱、四角柱の形状の素材(試料固定部4)を接着する方法でも良い。
本発明において、試料台の部位とは、予めマイクロサンプリング法で摘出した微小試料片を載せる場所であり、部位はイオンビームもしくはホルダー軸に対して水平になるように円柱もしくは三角柱や四角柱の所定の場所に加工し、試料台に最大4個までの微小試料を搭載できるようにするものである。
なお、本発明においては、集束イオンビーム加工及び透過電子顕微鏡観察に共用できるホルダーが使用される。ホルダーは、集束イオンビーム加工においては、微小試料を薄片試料とするまでの間、試料を搭載・保持する機能、また透過電子顕微鏡観察においては、微小試料を観察する間、試料を搭載・保持する機能を果たす。
ホルダーは、上記の理由で回転機構を有していなければならない。回転機構を有するホルダーの一部に試料台をセットし、試料台には最大4個まで微小試料を搭載し、各微小試料は隣の微小試料とは90度以上の角度になるように離すように固定することが望ましい。本発明において使用する回転機構を有するホルダーは、特開2004−87214号公報に詳細に説明されている。
TEMを用いた薄片試料を観察する場合も、薄片試料を試料台ごとTEMホルダーに搭載し、TEM装置に導入してウォール部を観察する。TEM観察部の寸法は、おおよそ10μm×10μm程度とされる。FIBで作成した薄片試料が2つであれば、薄片試料を約180度回転させてTEM観察することになる。薄片試料が3つであれば、薄片試料を約120度回転させ、4つの薄片試料であれば、薄片試料を約90度回転させる。
従来の方法では、試料台に1個の薄片試料を取付けていたので、試料ごとに入替作業を行わなければならなかったが、本発明であれば、例えば4個の薄片試料を有する試料台を用いた場合、1度で試料の入れ替えが済むから、1個の薄片試料を有する試料台の場合に対しておよそ4分の1の時間となる。また、作製された4個の薄片試料を有する試料台をホルダーに取付けた後、TEMで観察するので、観察時間もおよそ4分の1の時間となる。したがって、薄片試料作製のための入替時間とTEM観察のための入替時間の合計では、1個の薄片試料を有する試料台の場合のおおよそ8分の1となり、高価なFIBやTEMの稼働率が上がり償却費、薄片試料作製コストを削減でき、TEM観察に携わる熟練技能者の労力も軽減される。
以下、本発明の透過電子顕微鏡用薄片試料の作製方法及び試料台について最良の形態としての実施例を説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
(実施例1)
まず、棒状の銅を原料として円柱の試料台(サイズ:φ100μm)を作製した。これを集束イオンビーム加工装置(FIB)のホルダーにセットし、マイクロサンプリング法で摘出したSi基板(サイズ:20×15×3μm)を図2(a)のように4個の微小試料が、隣の試料と図2(b)のように90度以上の角度になるように離してカーボンデポジションで固定した。FIBで100nmまで加工したところ、この薄片化処理を行っても隣の試料の削りカスが付着せず、短時間で良好なTEM観察用の薄片試料を作ることができた。
次に、TEM観察を行ったが、視野内で隣の試料が干渉することなく試料全面を観察できた。
まず、棒状の銅を原料として円柱の試料台(サイズ:φ100μm)を作製した。これを集束イオンビーム加工装置(FIB)のホルダーにセットし、マイクロサンプリング法で摘出したSi基板(サイズ:20×15×3μm)を図2(a)のように4個の微小試料が、隣の試料と図2(b)のように90度以上の角度になるように離してカーボンデポジションで固定した。FIBで100nmまで加工したところ、この薄片化処理を行っても隣の試料の削りカスが付着せず、短時間で良好なTEM観察用の薄片試料を作ることができた。
次に、TEM観察を行ったが、視野内で隣の試料が干渉することなく試料全面を観察できた。
(実施例2)
実施例1と同様に、試料台および試料の配置を図3bのように垂直(ホルダー軸に対して水平)とした。
イオンビームの照射に対して隣の試料が下方になるため削りカスの影響が出たが、TEM観察する場合に視野内で隣の試料が干渉することなく試料全面を観察できた。
実施例1と同様に、試料台および試料の配置を図3bのように垂直(ホルダー軸に対して水平)とした。
イオンビームの照射に対して隣の試料が下方になるため削りカスの影響が出たが、TEM観察する場合に視野内で隣の試料が干渉することなく試料全面を観察できた。
(比較例1)
マイクロサンプリング法で摘出したSi基板を5個の微小試料として用意し、実施例1とは異なり、隣の試料との角度が70度前後となるようにした。
FIBで薄片化処理を行うと隣の試料の削るカスが付着し易くなり、良好なTEM観察試料を作ることができなかった。さらに、TEM観察する場合に視野内で隣の試料が干渉し試料の試料台側を観察できなかった。
マイクロサンプリング法で摘出したSi基板を5個の微小試料として用意し、実施例1とは異なり、隣の試料との角度が70度前後となるようにした。
FIBで薄片化処理を行うと隣の試料の削るカスが付着し易くなり、良好なTEM観察試料を作ることができなかった。さらに、TEM観察する場合に視野内で隣の試料が干渉し試料の試料台側を観察できなかった。
1 試料
2 試料台
3 FIBビーム
4 試料固定部
2 試料台
3 FIBビーム
4 試料固定部
Claims (4)
- 集束イオンビーム加工装置を用いて、試料の特定部位から微小試料片を摘出し、摘出した微小試料片を試料台に固定する透過電子顕微鏡観察用薄片試料の作製方法において、イオンビームの光軸に対して垂直な面内を回転する機構を有するホルダー上の試料台に2〜4個の微小試料片を搭載することを特徴とする透過電子顕微鏡用薄片試料の作製方法。
- 集束イオンビーム加工装置を用いて、試料の特定部位から微小試料片を摘出し、摘出した微小試料片を試料台に固定する透過電子顕微鏡観察用薄片試料の作製方法において、ホルダーの軸に対して垂直な面内を回転する機構を有するホルダー上の試料台に2〜4個の微小試料片を搭載することを特徴とする透過電子顕微鏡用薄片試料の作製方法。
- 微小試料片は、隣同士が90度以上の角度になるように互いに離して試料台に固定することを特徴とする請求項1または2に記載の透過電子顕微鏡用薄片試料の作製方法。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の透過電子顕微鏡用薄片試料の作製方法に用いられる試料台であり、その形状が円柱状、三角柱状、または四角柱状のいずれかであることを特徴とする試料台。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US9514913B2 (en) | 2014-07-21 | 2016-12-06 | Fei Company | TEM sample mounting geometry |
EP3125270A1 (en) * | 2015-07-27 | 2017-02-01 | FEI Company | Tem sample mounting geometry |
CN113176284A (zh) * | 2021-03-22 | 2021-07-27 | 中国原子能科学研究院 | 适用于放射性小冲杆试验和透射电子显微镜的制样方法 |
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2008
- 2008-02-14 JP JP2008032645A patent/JP2009192341A/ja active Pending
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