JP2004354371A - 微小試料取り出し装置および微小試料取り出し方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】低振動ステッピングモータを利用してプローブを回転させるXYZ駆動機構5は支持するものを3次元方向へ駆動させる。駆動機構とプローブ保持具3の間にそれぞれに固定して低振動ステッピンモータ4を設ける。プローブ保持具は円筒状あるいは円柱状でプローブ2を保持する。プローブ保持具は低振動ステッピングモータの回転軸に取り付けられる。プローブにより微小試料1を取り出した後、低振動ステッピングモータを回転させてプローブ保持具全体を回転させる。この時プローブ先端の様子を工学顕微鏡、電子顕微鏡、あるいはイオン顕微鏡により観察し、微小試料が所望の向きになった時点で低振動ステッピングモータの回転を止める。以上のようにプローブ保持具に触れずに精度良く調整することができる。
【選択図】図1
Description
F. A. Stevie et al. "Application of focused ion beam lift-out specimen preparation to TEM, SEM, STEM, AES,STEM,AES and SIMS analysis", Surface and Interface Analysis,31,pp345(2001) 坂田大祐、「追加工ができるFIBリフトアウト法」、日本電子顕微鏡学会第58回学術講演会要旨集、Vol.37、P247(2002)
2 プローブ
3 プローブ保持具
4 低振動(ステッピング)モータ
5 プローブ操作用XYZ駆動機構
6 ウェーハ
7 荷電粒子ビーム
8 特殊試料台
9 有機薄膜
10 人間の手
11 光学顕微鏡
Claims (6)
- 被加工試料より切り出された微小試料を取り出すことを目的とされた、試料を取り出すためのプローブと、前記プローブを保持するためのプローブ保持具と、前記プローブ保持具をXYZの3次元方向に動作させるXYZ駆動機構と試料及びプローブを観察する為の観察機構を搭載したマニピュレータ付顕微鏡において、前記プローブをその中心軸の回りに回転させる低振動R軸回転機構を搭載することを特徴とする微小試料取り出し装置。
- 前記低振動R軸回転機構は、前記XYZ駆動機構と前記プローブ保持具の間にそれぞれに接続されて設けられていることを特徴とする請求項1に記載の微小試料取り出し装置。
- 前記低振動R軸回転機構は、前記プローブ保持具内に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の微小取り出し装置。
- 前記観察機構が、光学顕微鏡であることを特徴とする請求項1に記載の微小取り出し装置。
- 前記観察機構が、電子顕微鏡あるいはイオン顕微鏡であることを特徴とする請求項1に記載の微小取り出し装置。
- 被加工試料より切り出された微小試料を、試料を取り出すためのプローブと前記プローブを保持するためのプローブ保持具と前記プローブ保持具を操作するためのXYZ駆動機構と試料及びプローブを観察する為の観察機構を搭載したマニピュレータ付顕微鏡を用いて取り出す方法において、前記マニピュレータ付顕微鏡に低振動R軸回転機構を搭載させることにより、プローブの回転方向を制御して切り出された微小試料の向きを制御することを特徴とする微小試料取り出し方法。
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