JP2009216498A - 薄片試料作製方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】薄片試料作製方法は、対象試料の対象断面を含む位置に荷電粒子ビームを照射して、対象試料Aに対象断面を含む薄片部を形成する薄片部形成工程S2と、細長な保持手段の先端によって薄片部を保持して薄片試料として対象試料から取り出す試料取り出し工程S3と、保持手段を軸回りに回転させることで、取り出した薄片試料を反転させる試料反転工程S4と反転した薄片試料の一部を、薄片試料を固定するための固定台に予め形成した薄片試料の側面を支持する挿入溝に挿入した後に、薄片試料と固定台とを少なくとも一箇所で接合させる試料固定工程と、固定台に固定された薄片試料の対象断面を含む面に荷電粒子ビームを照射する仕上げ工程S7とを備える。
【選択図】図2
Description
本発明は、荷電粒子ビームを照射して対象試料の一部を薄片状に切り出して、断面観察用の薄片試料を作製する薄片試料作製方法であって、前記対象試料の観察を行いたい対象断面を含む位置に荷電粒子ビームを照射して、前記対象試料に前記対象断面を含む薄片部を形成する薄片部形成工程と、細長な保持手段の先端によって前記薄片部を保持して前記薄片試料として前記対象試料から取り出す試料取り出し工程と、前記保持手段を軸回りに回転させることで、取り出した前記薄片試料を反転させる試料反転工程と、反転した前記薄片試料の一部を、該薄片試料を固定するための固定台に予め形成した前記薄片試料の側面を支持する挿入溝に挿入した後に、前記薄片試料と前記固定台とを少なくとも一箇所で接合させる試料固定工程と、前記固定台に固定された前記薄片試料の前記対象断面を含む面に荷電粒子ビームを照射する仕上げ工程とを備えることを特徴としている。
図1から図10は、この発明に係る第1の実施形態を示している。まず、本実施形態の薄片試料作製方法で使用される荷電粒子ビーム装置として、荷電粒子ビームとして集束イオンビームを照射可能な集束イオンビーム装置の概要について説明する。
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。図11から図13は、本発明の第2の実施形態を示したものである。この実施形態において、前述した実施形態で用いた部材と共通の部材には同一の符号を付して、その説明を省略する。
8b ナノピンセット
10 試料ホルダ(固定台)
11、20 挿入溝
11b 段部
11c、20b 底面
A 対象試料
A1 対象断面
A3 薄片部
B 薄片試料
I 集束イオンビーム(荷電粒子ビーム)
S2 薄片部形成工程
S3 薄片試料取り出し工程
S4 試料反転工程
S5 挿入溝形成工程
S6 試料固定工程
S7 仕上げ工程
Claims (5)
- 荷電粒子ビームを照射して対象試料の一部を薄片状に切り出して、断面観察用の薄片試料を作製する薄片試料作製方法であって、
前記対象試料の観察を行いたい対象断面を含む位置に荷電粒子ビームを照射して、前記対象試料に前記対象断面を含む薄片部を形成する薄片部形成工程と、
細長な保持手段の先端によって前記薄片部を保持して前記薄片試料として前記対象試料から取り出す試料取り出し工程と、
前記保持手段を軸回りに回転させることで、取り出した前記薄片試料を反転させる試料反転工程と、
反転した前記薄片試料の一部を、該薄片試料を固定するための固定台に予め形成した前記薄片試料の側面を支持する挿入溝に挿入した後に、前記薄片試料と前記固定台とを少なくとも一箇所で接合させる試料固定工程と、
前記固定台に固定された前記薄片試料の前記対象断面を含む面に荷電粒子ビームを照射する仕上げ工程とを備えることを特徴とする薄片試料作製方法。 - 請求項1に記載の薄片試料作製方法において、
前記固定台に荷電粒子ビームを照射して前記挿入溝を形成する挿入溝形成工程を備え、
前記試料固定工程では、該挿入溝形成工程で前記挿入溝を形成した前記固定台を使用することを特徴とする薄片試料作製方法。 - 請求項1または請求項2に記載の薄片試料作製方法において、
前記試料取り出し工程では、前記保持手段として、細長の一対の把持部材によって前記薄片部を把持可能なナノピンセットを有するものを使用することを特徴とする薄片試料作製方法。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載の薄片試料作製方法において、
前記試料固定工程では、前記固定台として前記挿入溝の終端に段部が形成されたものを使用し、反転した前記薄片試料を前記挿入溝の底面及び前記段部に当接して固定することを特徴とする薄片試料作製方法。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載の薄片試料作製方法において、
前記試料固定工程では、前記固定台として、前記薄片試料の長さよりも長い延長の前記挿入溝を有するものを使用し、前記保持手段に保持された前記薄片試料の一部を前記挿入溝に挿入した後に、前記保持手段から前記薄片試料を離脱させることで、前記薄片試料を前記挿入溝に落とし込むことを特徴とする薄片試料作製方法。
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