JP2934308B2 - 透過電子顕微鏡用試料ホルダー - Google Patents
透過電子顕微鏡用試料ホルダーInfo
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- JP2934308B2 JP2934308B2 JP2335788A JP33578890A JP2934308B2 JP 2934308 B2 JP2934308 B2 JP 2934308B2 JP 2335788 A JP2335788 A JP 2335788A JP 33578890 A JP33578890 A JP 33578890A JP 2934308 B2 JP2934308 B2 JP 2934308B2
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は透過電子顕微鏡の試料ホルダーに関し、特に
鏡筒の側面より対物レンズの磁極片間隙に挿入されるサ
イドエントリー形の試料ホルダーに関する。
鏡筒の側面より対物レンズの磁極片間隙に挿入されるサ
イドエントリー形の試料ホルダーに関する。
［従来の技術］ 従来、第７図（ａ），（ｂ）に示すような構成の透過
電子顕微鏡の試料ホルダーが知られている。
電子顕微鏡の試料ホルダーが知られている。
第７図（ａ）において、試料ホルダーの導入棒１の先
端には試料保持部２が設けられ、該試料保持部２に設け
られた凹部３には試料Ｓを載置したメッシュ４がばねや
ねじなどの押圧部材５により固定されている。該試料ホ
ルダーは図示しないゴニオメータに保持されており、該
ホルダー先端の部はゴニオメータにより磁極片６の間隙
の電子線光軸Ｏの位置まで挿入されて電子線の照射を受
ける。また、前記ゴニオメータは、試料を光軸に直交す
る平面内で移動させたり、光軸に対して傾斜させたりす
る機能を備えている。
端には試料保持部２が設けられ、該試料保持部２に設け
られた凹部３には試料Ｓを載置したメッシュ４がばねや
ねじなどの押圧部材５により固定されている。該試料ホ
ルダーは図示しないゴニオメータに保持されており、該
ホルダー先端の部はゴニオメータにより磁極片６の間隙
の電子線光軸Ｏの位置まで挿入されて電子線の照射を受
ける。また、前記ゴニオメータは、試料を光軸に直交す
る平面内で移動させたり、光軸に対して傾斜させたりす
る機能を備えている。
［発明が解決しようとする課題］ さて、上述のような所謂サイドエントリータイプの試
料ホルダーには複数の試料を比較観察するために第７図
（ｂ）に示すように試料保持部２に複数の試料を装着す
ることができるものもあるが、その数は高々数個であ
る。これ以上の試料に対して比較観察を行なう場合に
は、一度、試料をホルダーから取り外して交換するか、
または試料ホルダーを必要本数用意することによって行
なっている。前者のように、試料をホルダーから取り外
して交換した場合には、外した試料を再び装着する際に
前と同じ条件例えば、数万倍に拡大して観察されるよう
な領域（部位）に関して試料の方位（取り付けの回転
角）を再び同じ向きに取り付け一致させることは手作業
では不可能である。また、薄片状の試料では表裏を誤っ
て取り付けてしまう場合もあり、観察条件の再現性に乏
しくなることが問題となる。
料ホルダーには複数の試料を比較観察するために第７図
（ｂ）に示すように試料保持部２に複数の試料を装着す
ることができるものもあるが、その数は高々数個であ
る。これ以上の試料に対して比較観察を行なう場合に
は、一度、試料をホルダーから取り外して交換するか、
または試料ホルダーを必要本数用意することによって行
なっている。前者のように、試料をホルダーから取り外
して交換した場合には、外した試料を再び装着する際に
前と同じ条件例えば、数万倍に拡大して観察されるよう
な領域（部位）に関して試料の方位（取り付けの回転
角）を再び同じ向きに取り付け一致させることは手作業
では不可能である。また、薄片状の試料では表裏を誤っ
て取り付けてしまう場合もあり、観察条件の再現性に乏
しくなることが問題となる。
また、後者のように使用者が試料ホルダを複数本用意
するような場合は、装置のコスト高となり甚だ不経済で
ある。
するような場合は、装置のコスト高となり甚だ不経済で
ある。
さらに、透過電子顕微鏡用の試料は非常に薄く、且つ
メッシュの直径も3mmと小さいため、その交換作業は至
極面倒であり、不慣れな操作者は交換作業に時間がかか
ると共に試料の取付け作業中に大切な試料を壊してしま
う場合もある。
メッシュの直径も3mmと小さいため、その交換作業は至
極面倒であり、不慣れな操作者は交換作業に時間がかか
ると共に試料の取付け作業中に大切な試料を壊してしま
う場合もある。
本発明は上述した問題点を考慮し、簡単且つ再現性を
良く試料交換が行なえ、また、試料の取付け作業中も簡
単に行なうことのできる透過電子顕微鏡試料ホルダーを
提供することを目的としている。
良く試料交換が行なえ、また、試料の取付け作業中も簡
単に行なうことのできる透過電子顕微鏡試料ホルダーを
提供することを目的としている。
［課題を解決するための手段］ この目的を達成する第１の本発明の透過電子顕微鏡用
試料ホルダーは、フレーム（12b）と、該フレーム（12
b）に設けられた第１の軸（22）と、該第１の軸（22）
に回動自在に取り付けられた、試料薄片または試料を載
置したメッシュを保持するための薄板（12c）と、前記
フレーム（12b）に設けられた第２の軸（25）と、前記
薄板（12c）に設けられた第３の軸（26）と、前記第２
の軸（25）に回動自在に取り付けられると共に、前記第
３の軸（26）を介して前記薄板（12c）に連結されたて
こ体（24）と、前記フレーム（12b）の端部を着脱自在
に保持する導入棒（11）と、該導入棒（11）に設けられ
た駆動棒（23）を備えた透過電子顕微鏡用試料ホルダー
であって、前記てこ体（24）が前記駆動棒（23）に押さ
れて前記第２の軸（25）を軸として回動し、該てこ体
（24）の回動により前記薄板（12c）が前記第１の軸（2
2）を軸として回動するように構成されていることを特
徴とする。
試料ホルダーは、フレーム（12b）と、該フレーム（12
b）に設けられた第１の軸（22）と、該第１の軸（22）
に回動自在に取り付けられた、試料薄片または試料を載
置したメッシュを保持するための薄板（12c）と、前記
フレーム（12b）に設けられた第２の軸（25）と、前記
薄板（12c）に設けられた第３の軸（26）と、前記第２
の軸（25）に回動自在に取り付けられると共に、前記第
３の軸（26）を介して前記薄板（12c）に連結されたて
こ体（24）と、前記フレーム（12b）の端部を着脱自在
に保持する導入棒（11）と、該導入棒（11）に設けられ
た駆動棒（23）を備えた透過電子顕微鏡用試料ホルダー
であって、前記てこ体（24）が前記駆動棒（23）に押さ
れて前記第２の軸（25）を軸として回動し、該てこ体
（24）の回動により前記薄板（12c）が前記第１の軸（2
2）を軸として回動するように構成されていることを特
徴とする。
第２の本発明の透過電子顕微鏡用試料ホルダーは、フ
レーム（12b）と、該フレーム（12b）に設けられた第１
の軸（22）と、該第１の軸（22）に回動自在に取り付け
られた、試料薄片または試料を載置したメッシュを保持
するための薄板（12c）と、前記フレーム（12b）に設け
られた前記第１の軸（22）に平行な第２の軸（25）と、
該第２の軸（25）に回動自在に取り付けられると共に前
記薄板（12c）に連結されたてこ体（24）と、前記フレ
ーム（12b）に設けられた電歪素子（30）と、該電歪素
子（30）に駆動信号を供給するための手段（32、32a）
と、前記フレーム（12b）の端部を着脱自在に保持する
導入棒（11）を備えた透過電子顕微鏡用試料ホルダーで
あって、前記てこ体（24）が前記電歪素子（30）に押さ
れて前記第２の軸（25）を軸として回動し、該てこ体
（24）の回動により前記薄板（12c）が前記第１の軸（2
2）を軸として回動するように構成されていることを特
徴とする。
レーム（12b）と、該フレーム（12b）に設けられた第１
の軸（22）と、該第１の軸（22）に回動自在に取り付け
られた、試料薄片または試料を載置したメッシュを保持
するための薄板（12c）と、前記フレーム（12b）に設け
られた前記第１の軸（22）に平行な第２の軸（25）と、
該第２の軸（25）に回動自在に取り付けられると共に前
記薄板（12c）に連結されたてこ体（24）と、前記フレ
ーム（12b）に設けられた電歪素子（30）と、該電歪素
子（30）に駆動信号を供給するための手段（32、32a）
と、前記フレーム（12b）の端部を着脱自在に保持する
導入棒（11）を備えた透過電子顕微鏡用試料ホルダーで
あって、前記てこ体（24）が前記電歪素子（30）に押さ
れて前記第２の軸（25）を軸として回動し、該てこ体
（24）の回動により前記薄板（12c）が前記第１の軸（2
2）を軸として回動するように構成されていることを特
徴とする。
［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。第
１図及び第２図は本発明による透過電子顕微鏡用試料ホ
ルダーの一実施例を説明するための構成図、第３図は試
料保持部の取り外し動作を説明するための図、第４図は
試料保持用の薄板への試料の取り付け作業を示す図、第
５図（ａ），（ｂ）は試料保持用の薄板内に組み込まれ
た試料傾斜機構を説明するための図、第６図（ａ），
（ｂ）は試料保持用の薄板に組み込まれた試料移動機構
の他の実施例を説明するための図である。
１図及び第２図は本発明による透過電子顕微鏡用試料ホ
ルダーの一実施例を説明するための構成図、第３図は試
料保持部の取り外し動作を説明するための図、第４図は
試料保持用の薄板への試料の取り付け作業を示す図、第
５図（ａ），（ｂ）は試料保持用の薄板内に組み込まれ
た試料傾斜機構を説明するための図、第６図（ａ），
（ｂ）は試料保持用の薄板に組み込まれた試料移動機構
の他の実施例を説明するための図である。
第１図及び第２図において試料保持用の薄板12に設け
られた凹部13には試料Ｓを載置したメッシュ14が押圧ね
じ15により固定されている。この試料保持用の薄板12の
裏面に設けられた受け穴16は導入棒11の先端部11aに設
けられたピン17と嵌合し、さらに、薄板12の端部12aは
軸18に回転可能に設けられた押え19によつて導入棒の先
端部11aとの間に挾持されている。この押え19の回転は
導入棒に固着されたばね20の押圧によって規制されてい
る。ここで、前記試料保持用の薄板12を導入棒11の先端
より取り外す場合は、第３図に示すように前記押え19を
回動する。このとき、前記ばね20は押え19の移動に応じ
て伸縮するため、その規制が一時的に解除され、前記押
え19を位置Ａまで開くことができる。
られた凹部13には試料Ｓを載置したメッシュ14が押圧ね
じ15により固定されている。この試料保持用の薄板12の
裏面に設けられた受け穴16は導入棒11の先端部11aに設
けられたピン17と嵌合し、さらに、薄板12の端部12aは
軸18に回転可能に設けられた押え19によつて導入棒の先
端部11aとの間に挾持されている。この押え19の回転は
導入棒に固着されたばね20の押圧によって規制されてい
る。ここで、前記試料保持用の薄板12を導入棒11の先端
より取り外す場合は、第３図に示すように前記押え19を
回動する。このとき、前記ばね20は押え19の移動に応じ
て伸縮するため、その規制が一時的に解除され、前記押
え19を位置Ａまで開くことができる。
さて、従来の試料ホルダーは、導入棒と試料保持部が
一体で長くまた重量のある構造であるため、試料ホルダ
ーを卓上等に固定した上でピンセット等によって掴んだ
試料を導入棒の先端へ搬送して取り付けを行なってい
た。しかし、上述したような導入棒11の先端11aより取
り外された薄板12は、１〜2cm2程度の面積を有する小形
なもので、第４図に示すように直接片手で持った際に取
扱い易い大きさであるため、ピンセット21によって掴ん
試料やメッシュを該薄板12に設けられた凹部13に搬送し
てセットする場合でも薄板12側を自在に移動させたり傾
けたりすることができるようになるので、従来に比べ簡
単に試料の取り付けを行なうことができる。また、取り
外された薄板12は小形であるから試料を載置したままの
状態でデシケータ等の保存装置内に収容しておくことが
できる。
一体で長くまた重量のある構造であるため、試料ホルダ
ーを卓上等に固定した上でピンセット等によって掴んだ
試料を導入棒の先端へ搬送して取り付けを行なってい
た。しかし、上述したような導入棒11の先端11aより取
り外された薄板12は、１〜2cm2程度の面積を有する小形
なもので、第４図に示すように直接片手で持った際に取
扱い易い大きさであるため、ピンセット21によって掴ん
試料やメッシュを該薄板12に設けられた凹部13に搬送し
てセットする場合でも薄板12側を自在に移動させたり傾
けたりすることができるようになるので、従来に比べ簡
単に試料の取り付けを行なうことができる。また、取り
外された薄板12は小形であるから試料を載置したままの
状態でデシケータ等の保存装置内に収容しておくことが
できる。
第５図（ａ）は試料保持用の薄板内に組み込まれた試
料傾斜機構とその駆動機構を説明するための図で、第５
図（ｂ）は同図（ａ）の上面図である。
料傾斜機構とその駆動機構を説明するための図で、第５
図（ｂ）は同図（ａ）の上面図である。
第５図（ａ）（ｂ）に示す実施例では、薄板によって
フレーム12bを構成し、そのフレーム12b内に球軸22を介
して試料を保持する凹部13を有する薄板12cが前記軸22
について傾斜可能に設けられている。また、23は導入棒
11内部に設けられた駆動棒、24はフレーム内に設けられ
たてこ体、25,26,27は軸、28は薄板12cに常に時計方向
への回転力を与えておくためのばねである。
フレーム12bを構成し、そのフレーム12b内に球軸22を介
して試料を保持する凹部13を有する薄板12cが前記軸22
について傾斜可能に設けられている。また、23は導入棒
11内部に設けられた駆動棒、24はフレーム内に設けられ
たてこ体、25,26,27は軸、28は薄板12cに常に時計方向
への回転力を与えておくためのばねである。
第５図（ａ）からもわかるように、駆動棒23を図面右
方向へ前進させると、フレーム12bに設けられた軸25に
取り付けられたてこ体24は該軸25について反時計方向に
回転する。該てこ体の回転によりその作用点と軸26を介
して係合された薄板12cは球軸22について時計方向に回
動されるため、球軸22の軸線上に配置された試料が傾斜
される。
方向へ前進させると、フレーム12bに設けられた軸25に
取り付けられたてこ体24は該軸25について反時計方向に
回転する。該てこ体の回転によりその作用点と軸26を介
して係合された薄板12cは球軸22について時計方向に回
動されるため、球軸22の軸線上に配置された試料が傾斜
される。
この試料保持用の薄板を導入棒11の先端11aより取り
外す場合は、先述した実施例の場合と同様に押え19を回
動すれば良い。このとき、フレーム12b内の傾斜機構に
機械的に係合される駆動棒23が導入棒側に残され、傾斜
機構を備えた薄板のみが取り外される。
外す場合は、先述した実施例の場合と同様に押え19を回
動すれば良い。このとき、フレーム12b内の傾斜機構に
機械的に係合される駆動棒23が導入棒側に残され、傾斜
機構を備えた薄板のみが取り外される。
第６図（ａ）及び（ｂ）は試料保持用の薄板内に組み
込まれた試料移動機構の他の実施例を説明するための図
で、いずれも薄板を裏面から見た図である。第６図
（ａ）に示される実施例は、第５図に示される試料傾斜
機構と略同じ機構であるが、てこ体24に駆動力を与える
ための駆動棒に代えて、フレーム12bとてこ体24との間
に電歪素子30を設けている。この電歪素子30に電圧を印
加して電歪素子を伸縮させることによって、てこ体に回
転力を与え試料を傾斜させるようにしている。また、第
６図（ｂ）に示される実施例において、31は電歪素子に
よる平面内回転機構で例えば、超音波モータや圧電素子
によるウォーカ等によって構成されている。第６図
（ａ）（ｂ）に示される各素子への駆動電圧または駆動
用の制御信号の供給には薄板端部12aに印刷された配線3
2等が用いられており、該配線の端部32aは導入棒11の端
部11aとの接面で該導入棒内部を通して配線された供給
線の端部と接続されるように構成されている。
込まれた試料移動機構の他の実施例を説明するための図
で、いずれも薄板を裏面から見た図である。第６図
（ａ）に示される実施例は、第５図に示される試料傾斜
機構と略同じ機構であるが、てこ体24に駆動力を与える
ための駆動棒に代えて、フレーム12bとてこ体24との間
に電歪素子30を設けている。この電歪素子30に電圧を印
加して電歪素子を伸縮させることによって、てこ体に回
転力を与え試料を傾斜させるようにしている。また、第
６図（ｂ）に示される実施例において、31は電歪素子に
よる平面内回転機構で例えば、超音波モータや圧電素子
によるウォーカ等によって構成されている。第６図
（ａ）（ｂ）に示される各素子への駆動電圧または駆動
用の制御信号の供給には薄板端部12aに印刷された配線3
2等が用いられており、該配線の端部32aは導入棒11の端
部11aとの接面で該導入棒内部を通して配線された供給
線の端部と接続されるように構成されている。
尚、上述した実施例は本発明の一実施例に過ぎず、本
発明は種々変形して実施することができる。例えば、上
述した実施例において、導入棒にフレームを取り付けた
際に、該導入棒側に設けられた駆動棒に機械的に係合さ
れる試料移動機構は、試料傾斜機構であったが、該試料
移動機構は平面内回転機構等であっても良いし、その他
複数の移動機構を同時に備えたものであっても良い。な
お、フレーム内に複数の移動機構を設けた場合は、導入
棒内に駆動棒を複数備えておき、前記フレームに備えら
れた試料移動機構がいずれかの駆動棒に係合するように
しておけば良い。この場合、駆動棒側には複数の駆動棒
を設けておく必要があるが、一本の導入棒に対して試料
を載置する薄板を選ぶことによって種々の試料移動を行
なうことができるので、高価な試料ホルダーを必要本数
用意することは不要となり経済的である。また、試料導
入棒の先端部に取り出された供給線端にフレームに印刷
された配線を接続して電気的に電歪素子等を駆動する場
合も同様である。
発明は種々変形して実施することができる。例えば、上
述した実施例において、導入棒にフレームを取り付けた
際に、該導入棒側に設けられた駆動棒に機械的に係合さ
れる試料移動機構は、試料傾斜機構であったが、該試料
移動機構は平面内回転機構等であっても良いし、その他
複数の移動機構を同時に備えたものであっても良い。な
お、フレーム内に複数の移動機構を設けた場合は、導入
棒内に駆動棒を複数備えておき、前記フレームに備えら
れた試料移動機構がいずれかの駆動棒に係合するように
しておけば良い。この場合、駆動棒側には複数の駆動棒
を設けておく必要があるが、一本の導入棒に対して試料
を載置する薄板を選ぶことによって種々の試料移動を行
なうことができるので、高価な試料ホルダーを必要本数
用意することは不要となり経済的である。また、試料導
入棒の先端部に取り出された供給線端にフレームに印刷
された配線を接続して電気的に電歪素子等を駆動する場
合も同様である。
［発明の効果］ 第１の本発明によれば、フレーム（12b）が導入棒（1
1）に保持された状態において、てこ体（24）が駆動棒
（23）に押されて回動し、てこ体（24）の回動により薄
板（12c）が回動するように構成されているので、像観
察中に試料を光軸に対して任意に傾斜させることがで
き、所望の透過電子顕微鏡像を得ることができる。
1）に保持された状態において、てこ体（24）が駆動棒
（23）に押されて回動し、てこ体（24）の回動により薄
板（12c）が回動するように構成されているので、像観
察中に試料を光軸に対して任意に傾斜させることがで
き、所望の透過電子顕微鏡像を得ることができる。
第２の本発明によれば、フレーム（12b）が導入棒（1
1）に保持された状態において、てこ体（24）が電歪素
子（30）に押されて回動し、てこ体（24）の回動により
薄板（12c）が回動するように構成されているので、像
観察中に試料を光軸に対して任意に傾斜させることがで
き、所望の透過電子顕微鏡像を得ることができる。
1）に保持された状態において、てこ体（24）が電歪素
子（30）に押されて回動し、てこ体（24）の回動により
薄板（12c）が回動するように構成されているので、像
観察中に試料を光軸に対して任意に傾斜させることがで
き、所望の透過電子顕微鏡像を得ることができる。
第１図及び第２図は本発明による透過電子顕微鏡用試料
ホルダーの一実施例を説明するための構成図、第３図は
試料保持部の取り外し動作を説明するための図、第４図
は試料保持用の薄板への試料の取り付け作業を示す図、
第５図（ａ），（ｂ）は試料保持用の薄板内に組み込ま
れた試料傾斜機構およびその駆動機構を説明するための
図、第６図（ａ），（ｂ）は試料保持用の薄板に組み込
まれた試料移動機構の他の実施例を説明するための図、
第７図は従来の試料ホルダーの一例を示すための図であ
る。 12:薄板、12a:薄板端部 13:凹部、14:メッシュ 15:押圧ねじ、16:受け穴 17:ピン、18:軸 19押え、S:試料
ホルダーの一実施例を説明するための構成図、第３図は
試料保持部の取り外し動作を説明するための図、第４図
は試料保持用の薄板への試料の取り付け作業を示す図、
第５図（ａ），（ｂ）は試料保持用の薄板内に組み込ま
れた試料傾斜機構およびその駆動機構を説明するための
図、第６図（ａ），（ｂ）は試料保持用の薄板に組み込
まれた試料移動機構の他の実施例を説明するための図、
第７図は従来の試料ホルダーの一例を示すための図であ
る。 12:薄板、12a:薄板端部 13:凹部、14:メッシュ 15:押圧ねじ、16:受け穴 17:ピン、18:軸 19押え、S:試料
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−147238（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−276555（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−169762（ＪＰ，Ａ) 実開 昭52−83654（ＪＰ，Ｕ) 実公 昭49−31500（ＪＰ，Ｙ１) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01J 37/20
Claims (2)
- 【請求項１】フレーム（12b）と、該フレーム（12b）に
設けられた第１の軸（22）と、該第１の軸（22）に回動
自在に取り付けられた、試料薄片または試料を載置した
メッシュを保持するための薄板（12c）と、前記フレー
ム（12b）に設けられた第２の軸（25）と、前記薄板（1
2c）に設けられた第３の軸（26）と、前記第２の軸（2
5）に回動自在に取り付けられると共に、前記第３の軸
（26）を介して前記薄板（12c）に連結されたてこ体（2
4）と、前記フレーム（12b）の端部を着脱自在に保持す
る導入棒（11）と、該導入棒（11）に設けられた駆動棒
（23）を備えた透過電子顕微鏡用試料ホルダーであっ
て、前記てこ体（24）が前記駆動棒（23）に押されて前
記第２の軸（25）を軸として回動し、該てこ体（24）の
回動により前記薄板（12c）が前記第１の軸（22）を軸
として回動するように構成されていることを特徴とする
透過電子顕微鏡用試料ホルダー。 - 【請求項２】フレーム（12b）と、該フレーム（12b）に
設けられた第１の軸（22）と、該第１の軸（22）に回動
自在に取り付けられた、試料薄片または試料を載置した
メッシュを保持するための薄板（12c）と、前記フレー
ム（12b）に設けられた前記第１の軸（22）に平行な第
２の軸（25）と、該第２の軸（25）に回動自在に取り付
けられると共に前記薄板（12c）に連結されたてこ体（2
4）と、前記フレーム（12b）に設けられた電歪素子（3
0）と、該電歪素子（30）に駆動信号を供給するための
手段（32、32a）と、前記フレーム（12b）の端部を着脱
自在に保持する導入棒（11）を備えた透過電子顕微鏡用
試料ホルダーであって、前記てこ体（24）が前記電歪素
子（30）に押されて前記第２の軸（25）を軸として回動
し、該てこ体（24）の回動により前記薄板（12c）が前
記第１の軸（22）を軸として回動するように構成されて
いることを特徴とする透過電子顕微鏡用試料ホルダー。
Priority Applications (2)
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|---|---|---|---|
| JP2335788A JP2934308B2 (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | 透過電子顕微鏡用試料ホルダー |
| US07/800,587 US5225683A (en) | 1990-11-30 | 1991-11-27 | Detachable specimen holder for transmission electron microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2335788A JP2934308B2 (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | 透過電子顕微鏡用試料ホルダー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04206333A JPH04206333A (ja) | 1992-07-28 |
| JP2934308B2 true JP2934308B2 (ja) | 1999-08-16 |
Family
ID=18292449
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2335788A Expired - Fee Related JP2934308B2 (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | 透過電子顕微鏡用試料ホルダー |
Country Status (1)
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-
1990
- 1990-11-30 JP JP2335788A patent/JP2934308B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
| JPH04206333A (ja) | 1992-07-28 |
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