JPH0584014U - 走査電子顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 対物レンズや試料装置を破損させずに、試料
を傾斜および回転させることができる試料装置を備えた
走査電子顕微鏡を提供すること。 【構成】 回転ステージ４を図示外の駆動源により回転
させると、この回転ステージ４にセットされているギア
９が回転する。ギア９の回転により、ギア９に接続され
ているギア１５はＲを軸として回転する。ギア１５の回
転により、ギア１５に固定されている試料ホルダ１４が
回転する。この結果、試料ホルダ１４にセットしている
試料２を回転させる事ができる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】 本考案は、試料を傾斜および回転させる試料装置を 備えた走査電子顕微鏡に関する。

【０００２】

【従来の技術】 図２は、従来の走査電子顕微鏡の試料装置の概略を示した ものである。図において、１は対物レンズで、図示外の電子銃から発生した電子 線は対物レンズ１により試料２上に細く集束される。３は試料２を保持する試料 ホルダである。４は試料を回転させる回転ステージ、５は試料をＸ方向に移動さ せるＸ方向移動ステージ、６は試料をＹ方向に移動させるＹ方向移動ステージ、 ７は試料を傾斜させる傾斜ステージ、８は試料をＺ方向に移動させるＺ方向移動 ステージである。それぞれのステージは、図示外の駆動源により駆動される。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】 走査電子顕微鏡による高分解能観察にお いては、試料面と対物レンズは極度に近接されている。このため、傾斜ステージ ７を傾斜させると、図３に示すように、ステージが対物レンズ１に接触してしま う。この接触により、ステージおよび対物レンズが破損してしまう事がある。

【０００４】 本考案はこのような点に鑑みて成されたもので、その目的は、対物レンズや試 料装置を破損させずに、試料を傾斜および回転させることができる試料装置を備 えた走査電子顕微鏡を提供することである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】 本考案の走査電子顕微鏡は、水平移動ステ ージと、該水平移動ステージ上に設けられた回転ステージとを有する試料装置を 備えた走査電子顕微鏡において、前記水平移動ステージに取り付けられた支持部 材と、該支持部材によって光軸に対して傾斜した軸の周りに回転可能に支持され た試料ホルダと、前記回転ステージの回転を前記試料ホルダに伝達して該試料ホ ルダを回転させるための機構とを備えている。

【０００６】

【実施例】 以下に、図面を参照して本考案を説明する。

【０００７】 図１は本考案の要部である走査電子顕微鏡の試料装置を示しており、本考案の 試料ホルダは、従来の試料装置に簡単に取り付け可能である。図において、前記 図２と同一番号を付したものは同一構成要素である。９はカサ歯車１０を有する ギアで、回転部４にセットされている。１１はネジで、ガイド１２に捩じ込まれ ている。１３はベアリングである。１４は試料ホルダで、ガイド１２の孔Ｏに挿 入されている。１５はカサ歯車１６を有するギアで、ネジ１７により試料ホルダ １４に固定されている。また、ギア１５とギア９は夫々のカサ歯車で噛み合って いる。前記ガイド１２はブロック１８に固定されており、ブロック１８はネジ１ ９によりＸ方向移動ステージ５に固定されている。試料２の観察面は、光軸Ｚに 対してθ傾斜している。

【０００８】 以下に、このような構成の試料装置の動作を説明する。

【０００９】 回転ステージ４を図示外の駆動源により回転させると、この回転ステージ４に セットされているギア９が回転する。ギア９の回転により、ギア９に接続されて いるギア１５はＲを軸として回転する。ギア１５の回転により、ギア１５に固定 されている試料ホルダ１４が回転する。この結果、試料ホルダ１４にセットして いる試料２を回転させる事ができる。

【００１０】 試料２を更に傾斜させる場合は、図示外の駆動源により傾斜ステージ７を傾斜 させる。

【００１１】 なお、上記説明においては、回転の伝達にギアを使用したが、摺動抵抗の大き い材料およびＯリングなどのゴムを使用してもよい。

【００１２】

【考案の効果】 本考案の走査電子顕微鏡は、水平移動ステージに取り付け られた支持部材と、該支持部材によって光軸に対して傾斜した軸の周りに回転可 能に支持された試料ホルダと、回転ステージの回転を前記試料ホルダに伝達して 該試料ホルダを回転させるための機構とを備えているので、傾斜した試料を回転 させることができる。試料は試料装置に傾斜してセットされているので、従来に 比べ試料を傾斜させる角度を小さくすることができる。この為、試料装置が対物 レンズに接触する事はなく、対物レンズや試料装置が破損することはない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の要部である走査電子顕微鏡の試料装置
の概略図。

【図２】従来の走査電子顕微鏡の試料装置の概略図。

【図３】図２に示した試料装置が傾斜した状態を示した
図。

【符号の説明】 １ 対物レンズ ２ 試料 ３ 試料ホルダ ４ 回転ステージ ５ Ｘ方向移動ステージ ６ Ｙ方向移動ステージ ７ 傾斜ステージ ８ Ｚ方向移動ステージ ９，１５ ギア １０，１６ カサ歯車 １１，１７，１９ ネジ １２ ガイド １３ ベアリング １４ 試料ホルダ １８ ブロック Ｏ 孔

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 水平移動ステージと、該水平移動ステー
   ジ上に設けられた回転ステージとを有する試料装置を備
   えた走査電子顕微鏡において、前記水平移動ステージに
   取り付けられた支持部材と、該支持部材によって光軸に
   対して傾斜した軸の周りに回転可能に支持された試料ホ
   ルダと、前記回転ステージの回転を前記試料ホルダに伝
   達して該試料ホルダを回転させるための機構とを備えた
   走査電子顕微鏡。