JPH03210745A - 試料傾斜装置 - Google Patents
試料傾斜装置Info
- Publication number
- JPH03210745A JPH03210745A JP2005700A JP570090A JPH03210745A JP H03210745 A JPH03210745 A JP H03210745A JP 2005700 A JP2005700 A JP 2005700A JP 570090 A JP570090 A JP 570090A JP H03210745 A JPH03210745 A JP H03210745A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tilting
- tilting body
- sample
- projection
- shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、透過電子顕微鏡における試料傾斜装置に関す
るものである。
るものである。
［従来の技術］
透過電子顕微鏡において試料像を観察する場合、試料表
面を分析するために試料を固定させる試料台を任意の位
置に傾斜させ、かつ、その操作を外部より行う必要があ
る。
面を分析するために試料を固定させる試料台を任意の位
置に傾斜させ、かつ、その操作を外部より行う必要があ
る。
ところが、従来から使用されている試料傾斜装置は、構
造が複雑で、傾斜させるために駆動の方向を数段階に変
換しているので、傾斜駆動精度が悪かった。
造が複雑で、傾斜させるために駆動の方向を数段階に変
換しているので、傾斜駆動精度が悪かった。
このような欠点をなくした試料傾斜装置として、試料台
にＶ溝を設け、回転軸に偏心して取り付けられたピンを
Ｖ溝に接合させ、回転軸を回転させてピンにより試料台
を傾斜させる方式の試料傾斜装置が、特公昭５２−２５
２９１号公報に提案されている。
にＶ溝を設け、回転軸に偏心して取り付けられたピンを
Ｖ溝に接合させ、回転軸を回転させてピンにより試料台
を傾斜させる方式の試料傾斜装置が、特公昭５２−２５
２９１号公報に提案されている。
［発明が解決しようとする課題］
透過電子顕微鏡においては、試料が光軸と直交するよう
に対物レンズを構成する上磁極片と下磁極片の間に試料
傾斜装置が挿入される。ところが、高分解能観察を行う
場合、上磁極片と下磁極片の間隙が狭ければ狭いほうが
良いといわれている。
に対物レンズを構成する上磁極片と下磁極片の間に試料
傾斜装置が挿入される。ところが、高分解能観察を行う
場合、上磁極片と下磁極片の間隙が狭ければ狭いほうが
良いといわれている。
そこで、狭い間隙の中で試料を傾斜させるには、試料台
の厚さが薄くなければならない。
の厚さが薄くなければならない。
前述した従来装置において、構造は簡単になり、そして
、傾斜駆動精度は良くなったが、この場合、■溝を設け
る関係上試料台を薄くすることができないので、高分解
能観察をするために傾斜可能角度が制限されるか、大き
な傾斜角度を設定するために、高分解能観察を諦めなけ
ればならないという不具合がある。
、傾斜駆動精度は良くなったが、この場合、■溝を設け
る関係上試料台を薄くすることができないので、高分解
能観察をするために傾斜可能角度が制限されるか、大き
な傾斜角度を設定するために、高分解能観察を諦めなけ
ればならないという不具合がある。
そこで、本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり
、高分解能観察に適する試料傾斜装置を提供することを
目的とするものである。
、高分解能観察に適する試料傾斜装置を提供することを
目的とするものである。
［課題を解決するための手段］
上記目的を達成するため、本発明の試料傾斜装置は、光
軸と直交する軸心を中心に傾斜するように構成された傾
斜体と、傾斜体の光軸と交差する部分に保持される試料
台と、前記傾斜体に対して傾斜軸を中心とした回転モー
メントを与え得る位置に設けられた突起と、突起を挟み
込む長溝を有する部材と、部材を回動させるための回転
軸とを備え、回転軸を回転させることにより、傾斜軸を
軸心として傾斜体を傾斜させるようにしたことを特徴と
している。
軸と直交する軸心を中心に傾斜するように構成された傾
斜体と、傾斜体の光軸と交差する部分に保持される試料
台と、前記傾斜体に対して傾斜軸を中心とした回転モー
メントを与え得る位置に設けられた突起と、突起を挟み
込む長溝を有する部材と、部材を回動させるための回転
軸とを備え、回転軸を回転させることにより、傾斜軸を
軸心として傾斜体を傾斜させるようにしたことを特徴と
している。
［作用］
傾斜体の突起部を、長溝を有する部材で挟み込み、この
長溝を有する部材を回動させることにより、傾斜軸を軸
心として傾斜体及び試料台を傾斜させる。
長溝を有する部材を回動させることにより、傾斜軸を軸
心として傾斜体及び試料台を傾斜させる。
［実施例］
以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳説する。
第１図は本発明にかかる試料傾斜装置の一実施例を示す
構成概略図で、第２図は第１図で使用されるガイドの正
面図である。
構成概略図で、第２図は第１図で使用されるガイドの正
面図である。
同図中、１は試料傾斜装置に取り付けられた傾斜体であ
る。この本体１の先端部には電子線光軸０に直交する傾
斜軸２に、傾斜体３が傾動可能に保持されている。４は
傾斜体３の中心部に電子線が通過するように設けられた
開口に着脱可能に取り付けられた試料台である。５は傾
斜体３に一体に設けられ、傾斜体３に対して傾斜軸を中
心とした回転モーメントを与え得る位置に設けられた突
起部で、長溝を有するガイド６によって挟まれて摺動す
る。７はガイド６を回動させるための回転軸で図示しな
いモータ等の駆動部に接続されている。
る。この本体１の先端部には電子線光軸０に直交する傾
斜軸２に、傾斜体３が傾動可能に保持されている。４は
傾斜体３の中心部に電子線が通過するように設けられた
開口に着脱可能に取り付けられた試料台である。５は傾
斜体３に一体に設けられ、傾斜体３に対して傾斜軸を中
心とした回転モーメントを与え得る位置に設けられた突
起部で、長溝を有するガイド６によって挟まれて摺動す
る。７はガイド６を回動させるための回転軸で図示しな
いモータ等の駆動部に接続されている。
この様な構成において、回転軸７をＡ方向に回転させる
と、ガイド６は第２図の点線で示すように上の方向に回
動する。この日動にともない、突起部５がガイド６に挟
まれつつ持ち上げられ、それにより、傾斜体３は傾斜軸
２を中心として傾斜する。回転軸７をＢ方向に回転させ
れば、傾斜体３は反対方向に傾斜する。
と、ガイド６は第２図の点線で示すように上の方向に回
動する。この日動にともない、突起部５がガイド６に挟
まれつつ持ち上げられ、それにより、傾斜体３は傾斜軸
２を中心として傾斜する。回転軸７をＢ方向に回転させ
れば、傾斜体３は反対方向に傾斜する。
そのため、従来例で述べた装置では、試料台にＶ溝を設
ける関係上試料台を余り薄くできなかったのに対し、本
発明では、傾斜体にＶ溝を設けなくても、傾斜体を傾斜
できるようにしたため、傾斜体を薄くすることができる
。
ける関係上試料台を余り薄くできなかったのに対し、本
発明では、傾斜体にＶ溝を設けなくても、傾斜体を傾斜
できるようにしたため、傾斜体を薄くすることができる
。
［効果］
以上詳述したように本発明によれば、傾斜体とその突起
部を一体に構成し、傾斜体にＶ溝を設けなくても、傾斜
体を傾斜できるようにしたため、傾斜体を薄くすること
ができ、それにより、高分解能観察の際も十分な傾斜角
度を取れる試料傾斜装置が提供される。
部を一体に構成し、傾斜体にＶ溝を設けなくても、傾斜
体を傾斜できるようにしたため、傾斜体を薄くすること
ができ、それにより、高分解能観察の際も十分な傾斜角
度を取れる試料傾斜装置が提供される。
第１図は本発明にかかる試料傾斜装置の一実施例を示す
構成概略図で、第２図は第１図で使用されるガイドの正
面図である。 に本体 ２：傾斜軸 ３二傾斜体 ４：試料台 ５：突起部 ６：ガイド ７：回転軸
構成概略図で、第２図は第１図で使用されるガイドの正
面図である。 に本体 ２：傾斜軸 ３二傾斜体 ４：試料台 ５：突起部 ６：ガイド ７：回転軸
Claims (1)
- 光軸と直交する軸心を中心に傾斜するように構成され
た傾斜体と、傾斜体の光軸と交差する部分に保持される
試料台と、前記傾斜体に対して傾斜軸を中心とした回転
モーメントを与え得る位置に設けられた突起と、突起を
挟み込む長溝を有する部材と、部材を回動させるための
回転軸とを備え、回転軸を回転させることにより、傾斜
軸を軸心として傾斜体を傾斜させるようにしたことを特
徴とする試料傾斜装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005700A JPH03210745A (ja) | 1990-01-12 | 1990-01-12 | 試料傾斜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005700A JPH03210745A (ja) | 1990-01-12 | 1990-01-12 | 試料傾斜装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03210745A true JPH03210745A (ja) | 1991-09-13 |
Family
ID=11618384
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2005700A Pending JPH03210745A (ja) | 1990-01-12 | 1990-01-12 | 試料傾斜装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03210745A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015220057A (ja) * | 2014-05-16 | 2015-12-07 | 株式会社メルビル | 試料ホルダー |
-
1990
- 1990-01-12 JP JP2005700A patent/JPH03210745A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015220057A (ja) * | 2014-05-16 | 2015-12-07 | 株式会社メルビル | 試料ホルダー |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TW486566B (en) | Laser microdissection unit | |
| US4412727A (en) | Optical system for tiltable lens barrel of a microscope | |
| US4218112A (en) | Photometer microscope for microphotometer scanning of fine specimen structures | |
| US5930033A (en) | Slit scan centrifuge microscope | |
| US5483065A (en) | Electron beam microanalyzer | |
| JPH03210745A (ja) | 試料傾斜装置 | |
| JP2988762B2 (ja) | 走査型顕微鏡の光軸調整装置 | |
| EP1293817A3 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Fokuskontrolle in einem Mikroskop mit digitaler Bildgebung, vorzugsweise einem konfokalen Mikroskop | |
| JPH10115784A (ja) | 鏡筒を有する光学機器 | |
| JPH04308638A (ja) | 電子顕微鏡用試料駆動装置 | |
| JP2003014611A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
| JP2556098Y2 (ja) | 顕微鏡 | |
| JPS6143054B2 (ja) | ||
| JPH04179041A (ja) | 試料ステージ | |
| JPH0756093A (ja) | 顕微鏡のステージ装置 | |
| JPH0584014U (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JPS5849568Y2 (ja) | 電子顕微鏡等における試料装置 | |
| JPH0334250A (ja) | 光学顕微鏡複合走査型トンネル顕微鏡 | |
| JPH0227488Y2 (ja) | ||
| JPH01225906A (ja) | 定偏波光フアイバの融着接続方法 | |
| JPH03110403A (ja) | 観察装置 | |
| JPS60230345A (ja) | 走査型電子顕微鏡に於ける試料台装置 | |
| JPS6363109B2 (ja) | ||
| JP3559473B2 (ja) | 観察光学機器 | |
| JPH0460298B2 (ja) |