JPS60230345A - 走査型電子顕微鏡に於ける試料台装置 - Google Patents
走査型電子顕微鏡に於ける試料台装置Info
- Publication number
- JPS60230345A JPS60230345A JP59086792A JP8679284A JPS60230345A JP S60230345 A JPS60230345 A JP S60230345A JP 59086792 A JP59086792 A JP 59086792A JP 8679284 A JP8679284 A JP 8679284A JP S60230345 A JPS60230345 A JP S60230345A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- axis
- scanning electron
- electron microscope
- block
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 12
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 241001589086 Bellapiscis medius Species 0.000 description 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/20—Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は走査型電子顕微鏡に１糸わり、特に試料台装置
の改良に関する。
の改良に関する。
走査型電子顕微鏡で試料を観察する場合に単に視野の選
択を行うばかシでなく傾けたり、回転させて観察できる
ことが有効な検鏡手段であることは周知の通りである。
択を行うばかシでなく傾けたり、回転させて観察できる
ことが有効な検鏡手段であることは周知の通りである。
従来からこの目的に適した構成の各種ステージが商品化
されており、その中で試料の視野中心傾斜可能な試料ス
テージにおいては、試料面を傾斜軸に一致させる調整機
構を用い、試料の視野中心傾斜を可能としていた。しか
し特許第７７６．０３７号「電子走査型試料像観察装置
」においては、−上記特許中第５図に示すように主基台
９０の突起両端部９０’ 、９０“と基板３のアリ溝３
′、３“の嵌合によって、主基台９０のＺ方向移動を規
制し、電子光学軸と傾斜軸のセンタリングを機械加工精
度に依存している。また特公昭５８−５７８６０公報に
おいては電子光学軸と傾斜軸のセンタリングのための機
構は完全に欠除している。
されており、その中で試料の視野中心傾斜可能な試料ス
テージにおいては、試料面を傾斜軸に一致させる調整機
構を用い、試料の視野中心傾斜を可能としていた。しか
し特許第７７６．０３７号「電子走査型試料像観察装置
」においては、−上記特許中第５図に示すように主基台
９０の突起両端部９０’ 、９０“と基板３のアリ溝３
′、３“の嵌合によって、主基台９０のＺ方向移動を規
制し、電子光学軸と傾斜軸のセンタリングを機械加工精
度に依存している。また特公昭５８−５７８６０公報に
おいては電子光学軸と傾斜軸のセンタリングのための機
構は完全に欠除している。
以上のように従来のこの種のステージにおいては、電子
光学軸と傾斜軸を精密にクロスさせる機構が欠除してい
るために、完全な視野中心での試料傾斜が実現できない
と言う欠点があった。
光学軸と傾斜軸を精密にクロスさせる機構が欠除してい
るために、完全な視野中心での試料傾斜が実現できない
と言う欠点があった。
本発明の目的は試料室の気密を保ったまま試料のＸ、Ｙ
移動、回転、試料傾斜、対物レンズ−試料間距離可変等
の機能をもったブロックをこれを保持する部材の一点を
中心とする扇形運動をさせることにより上記した電子光
学軸と傾斜軸とのセンタリングを映像を観察しながら行
うことのできる走査型電子顕微鏡に於ける試料台装置を
提供することにある。
移動、回転、試料傾斜、対物レンズ−試料間距離可変等
の機能をもったブロックをこれを保持する部材の一点を
中心とする扇形運動をさせることにより上記した電子光
学軸と傾斜軸とのセンタリングを映像を観察しながら行
うことのできる走査型電子顕微鏡に於ける試料台装置を
提供することにある。
本発明は、Ｘ、Ｙ移動、回転、試料傾斜、対物レンズ−
試料可変等の機能を内蔵したブロックを電子光学軸と気
密を保ったままで精密にクロスさせるために試料室側壁
に気密的に保持された第１の部材を設け、この部材上に
上記ブロックを設置し、さらにこのブロックの上下方向
自在、左右方向を規制するための第２の部材を付加し、
この第２の部材と第１の部材を一点で固定して第１の部
材に支承されるねじで第２の部材の側面を押圧し第１の
部材と第２の部材を固定した１点を中心とする扇形運動
を行うことによって試料傾斜軸線が電子光学軸をよぎる
ように構成して、２つの軸線を正しくクロースするよう
にしたものである。
試料可変等の機能を内蔵したブロックを電子光学軸と気
密を保ったままで精密にクロスさせるために試料室側壁
に気密的に保持された第１の部材を設け、この部材上に
上記ブロックを設置し、さらにこのブロックの上下方向
自在、左右方向を規制するための第２の部材を付加し、
この第２の部材と第１の部材を一点で固定して第１の部
材に支承されるねじで第２の部材の側面を押圧し第１の
部材と第２の部材を固定した１点を中心とする扇形運動
を行うことによって試料傾斜軸線が電子光学軸をよぎる
ように構成して、２つの軸線を正しくクロースするよう
にしたものである。
以下本発明の１実施例を図面により詳細に説明する。第
１図は本発明の１実施例を示す立体図である。図中１は
走査型電子顕微鏡の対物レンズを示す。２は２次電子線
の検出器を示す。３は省略しである試料室の側壁に密接
して試料室を気密に保ち、かつ試料台装置の部材４を気
密的に支承している基台である。５は筒体６を回動自在
に支承′１−るブロックで部側４に精密に嵌合し部材３
によって左右方向の運動を規制され気密を保ったまま上
下動可能なように保持されている。７は部材４に回動自
在に支承されているねじで、筒体５に設けたねし穴と螺
合し７これを回動することによって筒体４を上下動１〜
試料間一対物レンズの距離を変えられるようにしである
。筒体６ ｉｄ筒体５にベアリング２４を介して精密に
嵌合しかつ気密を保ったまま回転自在に筒体５を貫通し
て支承されている。８は球形支点を持つ筒体で詳細図示
は省略しであるが、軸１９が貫通していてつ１み２０を
回動するとこの軸が進退して試料１５をＸ方向に移動し
、更につ捷み２１を回動すると図示は省略しである貫通
軸を介して両軸２２，２３この間を連結する歯車等を経
て試料に回転を与えるようになっている。そして球形部
は筒体６に固定された球面承と０リングで気密的にかつ
首振り自在に支承されている。９は筒体８の一部に設け
られた矩形の断面をもつ矩形ブロックで短形の上下面は
筒体６に設けたねし穴と螺合しているねじ１０とばね１
１とで挾持され筒体８の上下方向の運動を規制されてい
る。筒体８の左右の短形間は同じく筒体８に設けたねし
穴と螺合しているねじ１２とばね１３で挾持され筒体８
の左右方向を規制している。
１図は本発明の１実施例を示す立体図である。図中１は
走査型電子顕微鏡の対物レンズを示す。２は２次電子線
の検出器を示す。３は省略しである試料室の側壁に密接
して試料室を気密に保ち、かつ試料台装置の部材４を気
密的に支承している基台である。５は筒体６を回動自在
に支承′１−るブロックで部側４に精密に嵌合し部材３
によって左右方向の運動を規制され気密を保ったまま上
下動可能なように保持されている。７は部材４に回動自
在に支承されているねじで、筒体５に設けたねし穴と螺
合し７これを回動することによって筒体４を上下動１〜
試料間一対物レンズの距離を変えられるようにしである
。筒体６ ｉｄ筒体５にベアリング２４を介して精密に
嵌合しかつ気密を保ったまま回転自在に筒体５を貫通し
て支承されている。８は球形支点を持つ筒体で詳細図示
は省略しであるが、軸１９が貫通していてつ１み２０を
回動するとこの軸が進退して試料１５をＸ方向に移動し
、更につ捷み２１を回動すると図示は省略しである貫通
軸を介して両軸２２，２３この間を連結する歯車等を経
て試料に回転を与えるようになっている。そして球形部
は筒体６に固定された球面承と０リングで気密的にかつ
首振り自在に支承されている。９は筒体８の一部に設け
られた矩形の断面をもつ矩形ブロックで短形の上下面は
筒体６に設けたねし穴と螺合しているねじ１０とばね１
１とで挾持され筒体８の上下方向の運動を規制されてい
る。筒体８の左右の短形間は同じく筒体８に設けたねし
穴と螺合しているねじ１２とばね１３で挾持され筒体８
の左右方向を規制している。
ねし１０を回動する事によって左右方向を規制された筒
体８は球形支点を介して上下方向に首振りを行い筒体６
の回転中心（すなわち傾斜軸１．４ ）と試料面１５を
一致さぜる事ができる。軸１７は部材３に植設され部材
４を回動自在に貫通していて部材４が軸１７を中心に扇
形運動可能なようになっている。捷た部材３の両側に設
けられているねし穴に螺合しているねじ１６ａ、１６ｂ
（１６ｂは図示省略）はこれを回動することによって部
材４を左右に動かすことができるがこの運動は結果的に
は部材４の軸１７を中心とする扇形移動となる。部材４
と筒体５は精密に嵌合しているため部材４と同時に扇形
移動を行い、また筒体５の扇形移動範囲内に部材３と筒
体５との気密用０リングがあれば、筒体５が扇形運動を
行っても試料室内の気密は保持される。従って筒体５を
扇形運動させる事により気密的に試料室を保持されたま
ま傾斜軸１４と電子光学軸１８を一致させる事ができる
。試料室内が気密的に保たれていれば、電子光学軸と傾
斜軸のずれは節体６を傾斜させた時のＣＲＴディスプレ
イ上の像の移動を観察する事によってこれを調整する事
ができる。以上のように構成されているのでねじ１６に
よる電子光学軸と傾斜軸のクロスは、試料微動の他の機
能を阻害する事なく映像を観察しなから精密に行う事が
できるので、実施例に示す走査型電子顕微鏡における視
野中心傾斜試料台装置等に適用して実用上の効果は大で
ある。
体８は球形支点を介して上下方向に首振りを行い筒体６
の回転中心（すなわち傾斜軸１．４ ）と試料面１５を
一致さぜる事ができる。軸１７は部材３に植設され部材
４を回動自在に貫通していて部材４が軸１７を中心に扇
形運動可能なようになっている。捷た部材３の両側に設
けられているねし穴に螺合しているねじ１６ａ、１６ｂ
（１６ｂは図示省略）はこれを回動することによって部
材４を左右に動かすことができるがこの運動は結果的に
は部材４の軸１７を中心とする扇形移動となる。部材４
と筒体５は精密に嵌合しているため部材４と同時に扇形
移動を行い、また筒体５の扇形移動範囲内に部材３と筒
体５との気密用０リングがあれば、筒体５が扇形運動を
行っても試料室内の気密は保持される。従って筒体５を
扇形運動させる事により気密的に試料室を保持されたま
ま傾斜軸１４と電子光学軸１８を一致させる事ができる
。試料室内が気密的に保たれていれば、電子光学軸と傾
斜軸のずれは節体６を傾斜させた時のＣＲＴディスプレ
イ上の像の移動を観察する事によってこれを調整する事
ができる。以上のように構成されているのでねじ１６に
よる電子光学軸と傾斜軸のクロスは、試料微動の他の機
能を阻害する事なく映像を観察しなから精密に行う事が
できるので、実施例に示す走査型電子顕微鏡における視
野中心傾斜試料台装置等に適用して実用上の効果は大で
ある。
本発明によれば前述したように走査型電子顕微鏡の映像
を出したまま電子光学軸と試料傾斜軸線を合せることが
できるので 従来電子光学軸と傾斜軸のセンタリングを
機械工作による精度にたより、ミクロンオーダーでの一
致が望めなかったりセンタリングの調整方法が困難であ
ったなどの問題点を解消できると言う効果があり、走査
型電子顕微鏡の試料台装置に適用して工業上、実用上の
゛効果はすこぶる大である。
を出したまま電子光学軸と試料傾斜軸線を合せることが
できるので 従来電子光学軸と傾斜軸のセンタリングを
機械工作による精度にたより、ミクロンオーダーでの一
致が望めなかったりセンタリングの調整方法が困難であ
ったなどの問題点を解消できると言う効果があり、走査
型電子顕微鏡の試料台装置に適用して工業上、実用上の
゛効果はすこぶる大である。
第１図は本発明の実施例の要点を示す立体図である。
Claims (1)
- １、試料室の側壁に電子光学軸と平行な面を設け、ここ
に気密を保ったまま移動できるようにしたブロックを設
け、この中に前記面と垂直をなす方向に傾斜軸線をもつ
試料傾斜台、更にこの中に試料の視野選択の機能を設け
た試料台装置に於て、前記ブロックを上下動自在とし、
左右方向を規制するように保持した部材を設け、この部
材を前記傾斜軸線から離れた位置に設けた固定軸で支承
し、この軸を支点としてブロックが前記面に沿って扇形
運動自在のようにし、この運動量を調節する過程で試料
傾斜軸線が電子光学軸をよぎるように構成することによ
って、走査電子顕微鏡の映像を観測しながら、電子光学
軸と試料傾斜軸を精密に７致させることができるように
したことを特徴とする走査型電子顕微鏡用試料台装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59086792A JPS60230345A (ja) | 1984-04-28 | 1984-04-28 | 走査型電子顕微鏡に於ける試料台装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59086792A JPS60230345A (ja) | 1984-04-28 | 1984-04-28 | 走査型電子顕微鏡に於ける試料台装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60230345A true JPS60230345A (ja) | 1985-11-15 |
Family
ID=13896623
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59086792A Pending JPS60230345A (ja) | 1984-04-28 | 1984-04-28 | 走査型電子顕微鏡に於ける試料台装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60230345A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0226804A2 (de) * | 1985-12-24 | 1987-07-01 | Firma Carl Zeiss | Goniometertisch |
| KR100851128B1 (ko) | 2007-03-26 | 2008-08-08 | 현대자동차주식회사 | 차량용 에어벤트의 공기 유입조절장치 |
| JP2012028019A (ja) * | 2010-07-20 | 2012-02-09 | Horiba Ltd | 集光器装置 |
-
1984
- 1984-04-28 JP JP59086792A patent/JPS60230345A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0226804A2 (de) * | 1985-12-24 | 1987-07-01 | Firma Carl Zeiss | Goniometertisch |
| US4771178A (en) * | 1985-12-24 | 1988-09-13 | Carl-Zeiss-Stiftung | Goniometer stage |
| EP0226804A3 (en) * | 1985-12-24 | 1989-01-11 | Firma Carl Zeiss | Goniometric stage |
| KR100851128B1 (ko) | 2007-03-26 | 2008-08-08 | 현대자동차주식회사 | 차량용 에어벤트의 공기 유입조절장치 |
| JP2012028019A (ja) * | 2010-07-20 | 2012-02-09 | Horiba Ltd | 集光器装置 |
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